JPH0864708A - Marking apparatus and marking method for semiconductor package - Google Patents

Marking apparatus and marking method for semiconductor package

Info

Publication number
JPH0864708A
JPH0864708A JP20046694A JP20046694A JPH0864708A JP H0864708 A JPH0864708 A JP H0864708A JP 20046694 A JP20046694 A JP 20046694A JP 20046694 A JP20046694 A JP 20046694A JP H0864708 A JPH0864708 A JP H0864708A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
semiconductor package
marking
package
sheet
marking head
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP20046694A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Junichi Goto
順一 後藤
Kenichi Shirasaki
健一 白崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP20046694A priority Critical patent/JPH0864708A/en
Publication of JPH0864708A publication Critical patent/JPH0864708A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

PURPOSE: To provide an apparatus by which both semiconductor packages in a sheet form and discrete semiconductor packages can be marked. CONSTITUTION: A conveying rail for semiconductor packages which are mounted on a lead frame which is not cut yet so as to have a continuous sheet form and a conveyer for discrete semiconductor package 3 whose leads are formed and which are bonded to the surface of an adhesive tape 4 in a belt shape are provided so as to cross each other with a common marking head at the center of the crossing.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、半導体パッケージのマ
ーキング(捺印)装置とその方法に関する。近年、半導
体装置の多様化により種々の形式のパッケージが用いら
れ、マーキング装置により半導体パッケージの搬送方法
も異なり、パッケージへの捺印装置もそれに伴って多様
なものが用いられている。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor package marking device and method. 2. Description of the Related Art In recent years, various types of packages have been used due to diversification of semiconductor devices, a semiconductor package transporting method differs depending on a marking device, and a variety of marking devices for packages are also used accordingly.

【0002】従って、マーキング装置も常に多品種のも
のが必要となり、コストの低減にともないマーキング装
置も多品種を統合した兼用機が求められている。
Therefore, it is always necessary to use various types of marking devices, and as the cost is reduced, there is also a demand for a multi-purpose marking device in which various types are integrated.

【0003】[0003]

【従来の技術】図2、図3は従来例の説明図である。図
において、1はマーキングヘッド、2はシート状半導体
パッケージ、3は単体半導体パッケージ、7は検査ユニ
ット、8は搬送レール、9はリード、10はマガジン、11
はローダー部、12はアンローダー部、13はローダートラ
ンスファ、14は移送トランスファ、15はコンベア、16は
UVキュア炉、17はアンローダトランスファ、18は滑落
式搬送レールである。
2. Description of the Related Art FIGS. 2 and 3 are explanatory views of a conventional example. In the figure, 1 is a marking head, 2 is a sheet semiconductor package, 3 is a single semiconductor package, 7 is an inspection unit, 8 is a transport rail, 9 is a lead, 10 is a magazine, and 11 is a magazine.
Is a loader section, 12 is an unloader section, 13 is a loader transfer, 14 is a transfer transfer, 15 is a conveyor, 16 is a UV curing furnace, 17 is an unloader transfer, and 18 is a slide-down transfer rail.

【0004】従来、半導体パッケージ表面への品種・型
格等のマーキング(捺印)工程において、半導体パッケ
ージの搬送系の単純化のため、シート状(例えばプラス
チック型パッケージ))、或いは単体(例えばセラミッ
ク型パッケージ)の搬送系の何れかを採用し、各々に適
した専用のマーキング装置を用いている。
Conventionally, in the step of marking (marking) the type and type of the semiconductor package surface, in order to simplify the transportation system of the semiconductor package, a sheet (for example, plastic type package) or a single (for example, ceramic type) is used. Any of the transport systems (package) is used, and a dedicated marking device suitable for each is used.

【0005】先ず、シート状マーキング装置について
は、図2に装置のルート概要を斜視図に、またマーキン
グされるシート状半導体パッケージの平面図を図3
(b)に、更に図3(a)にマーキング装置の主要部を
断面図で示す。
First, regarding the sheet marking device, FIG. 2 is a perspective view showing an outline of the route of the device, and FIG. 3 is a plan view of a sheet semiconductor package to be marked.
FIG. 3B is a sectional view showing the main part of the marking device, and FIG.

【0006】すなわち、図2に矢印でパッケージの移送
ルートを示すように、ローダー部11のマガジン10にIC
チップ装填済のリードフレームをモールド樹脂封止した
六連装のシート状半導体パッケージ2を20枚程度収納す
る。そして、ローダートランスファ13により搬送レール
8上に六連装のシート状半導体パッケージ2を1個づつ
装填し、マーキングヘッド1で各パッケージ表面に捺印
した後、検査ユニット7で検査を行う。
That is, as shown by the arrow in FIG. 2 to indicate the package transfer route, the IC is mounted in the magazine 10 of the loader unit 11.
About 20 sheet-shaped semiconductor packages 2 each of which has a chip-loaded lead frame sealed with a mold resin are housed. Then, the loader transfer 13 loads the six consecutive sheet-shaped semiconductor packages 2 on the transport rail 8 one by one, the marking head 1 imprints the surface of each package, and then the inspection unit 7 inspects.

【0007】その後、移送トランスファ14でコンベア15
に載せUVキュア炉16に送られる。UVキュアを行い捺
印を焼付た後、アンローダトランスファ17によりアンロ
ーダー部12のマガジン10に収納する。
After that, the transfer transfer 14 is performed by the conveyor 15
And is sent to the UV cure furnace 16. After UV curing is performed and the marking is printed, it is stored in the magazine 10 of the unloader unit 12 by the unloader transfer 17.

【0008】また、単体半導体パッケージは図3(c)
に示すように、滑落式搬送レール18上を滑走させ、マー
キングヘッドでパッケージ毎に捺印する。このように、
マーキング装置により搬送方法が限定されるため、シー
ト状と単体の半導体パッケージを1台の装置で同時にマ
ーキングすることは機構上も大掛かりになり、場所も広
い処を要するためになかなか困難であり、現実には常に
複数台の装置が必要となり、二重の設備投資や工場の床
面積が必要となっていた。
The single semiconductor package is shown in FIG.
As shown in (1), slide on the slide-type transport rail 18 and mark each package with the marking head. in this way,
Since the conveying method is limited by the marking device, it is difficult to mark a sheet-shaped and single semiconductor package at the same time with one device because it requires a large space and a wide space. Always required multiple equipment, double capital investment and factory floor space.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】ところが、同一品種の
プラスチック型半導体でも、リード切断成形前のシート
状の半導体パッケージとリード切断成形後の単体状の半
導体パッケージとを混合してのマーキングの要求が増え
ており、これら両タイプのパッケージを1台の装置で効
率良く処理する装置が求められる様になってきた。
However, even for plastic semiconductors of the same type, there is a demand for marking by mixing a sheet-shaped semiconductor package before lead cutting and molding and a single semiconductor package after lead cutting and molding. The number of these types of packages is increasing, and there is a demand for an apparatus that efficiently processes both types of packages with a single apparatus.

【0010】しかし、従来のシート状と単体状専用のマ
ーキング装置では搬送系の共用が出来ず、依然として装
置の使い分けにより効率低下を招いていた。そのため、
本発明は、搬送系の共用化により汎用性ある装置を開発
し、投資の削減、稼働率向上によるマーキングコストの
低減を目的として提供される。
However, the conventional sheet-shaped and single-piece dedicated marking devices cannot share the transport system, and the efficiency is lowered due to the proper use of the devices. for that reason,
The present invention is provided for the purpose of developing a versatile device by sharing a transport system, reducing investment, and reducing marking cost by improving operating rate.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】図1は本発明の原理説明
図である。図において、1はマーキングヘッド、2はシ
ート状半導体パッケージ、3は単体半導体パッケージ、
4は粘着テープ、5はトレイ等、6はテープ巻取り機構
である。
FIG. 1 is a diagram illustrating the principle of the present invention. In the figure, 1 is a marking head, 2 is a sheet-like semiconductor package, 3 is a single semiconductor package,
4 is an adhesive tape, 5 is a tray, and 6 is a tape winding mechanism.

【0012】上記の問題点を解決するためには、従来の
シート状パッケージの搬送系はそのまま活かし、新たに
開発した単体状のパッケージの搬送系を付加して両者の
兼用装置とする。
In order to solve the above-mentioned problems, the conventional sheet-type package conveying system is used as it is, and a newly developed single-piece package conveying system is added to provide a dual-purpose device for both.

【0013】そのため単体のパッケージを搬送するテー
ピング機構を開発し、単体パッケージを収納するコンテ
ナ或いはトレイから単体パッケージをテープに連続的に
搭載して、マーキングヘッドに搬送するようにする。す
なわち単体状のパッケージをテーピングする搬送系は従
来のシート状の搬送系に対して直角方向(90°)に交
差して取り付ける。
Therefore, a taping mechanism for conveying a single package is developed, and the single package is continuously mounted on a tape from a container or a tray for storing the single package and is conveyed to a marking head. That is, the transport system for taping a single package is attached so as to intersect with the conventional sheet transport system at a right angle (90 °).

【0014】テーピング搬送経路はそれ程のスペース長
さを必要とせず、また、複雑な搬送系も必要としない。
マーキングされた単体は再びテーピング装置に巻き取ら
れる。
The taping transfer path does not require such a space length and does not require a complicated transfer system.
The marked single body is wound up again on the taping device.

【0015】すなわち、本発明の目的は、半導体パッケ
ージのマーキングヘッドを中心として、リードフレーム
切断前のシート状に連装された半導体パッケージの搬送
レールに直角に、リードが成形された単体の半導体パッ
ケージを粘着テープ表面に接着した半導体パッケージテ
ープ搬送装置が配置されていることにより、シート状、
及び単体の半導体パッケージが兼用出来る半導体パッケ
ージのマーキング装置であることにより、また、リード
フレーム切断前のシート状に連装された半導体パッケー
ジを搬送レールによりマーキングヘッドの位置に搬送し
て、該半導体パッケージにマーキングする工程と、リー
ドが成形された単体の半導体パッケージを粘着テープ表
面に接着した半導体パッケージを、前記搬送レールとマ
ーキングヘッドを中心として直角に設置されたテープ搬
送装置によりマーキングヘッドの位置に搬送して、該半
導体パッケージにマーキングする工程とが、順次切り換
えてマーキングされることにより、達成される。
That is, an object of the present invention is to provide a single semiconductor package in which leads are formed centering on the marking head of the semiconductor package and at right angles to the carrier rails of the semiconductor packages connected in a sheet shape before cutting the lead frame. By arranging the semiconductor package tape transport device that is adhered to the surface of the adhesive tape,
And a semiconductor package marking device that can also be used as a single semiconductor package. Also, the semiconductor packages connected in a sheet shape before cutting the lead frame are conveyed to the position of the marking head by a conveyance rail, The step of marking and the semiconductor package in which a single semiconductor package with leads molded is adhered to the surface of the adhesive tape is transported to the position of the marking head by the tape transport device installed at a right angle with the transport rail and the marking head as the center. Then, the step of marking the semiconductor package is achieved by sequentially performing the marking.

【0016】[0016]

【作用】本発明によれば、汎用装置にシート状半導体パ
ッケージの搬送系と、単体状の半導体パッケージのテー
ピング式搬送系をマーキングヘッドを中心として直角に
交差して取り付けたことにより、シート状半導体パッケ
ージのマーキングから単体状半導体パッケージへのマー
キングの切替えが同一装置で簡単に出来る。
According to the present invention, a sheet-shaped semiconductor package conveying system and a single-piece semiconductor package taping type conveying system are attached to a general-purpose device so as to intersect at right angles with the marking head as a center. You can easily switch the marking from the package marking to the single semiconductor package with the same device.

【0017】また、単体状半導体パッケージにおいて
は、テーピングしたまま出荷することができる。
Further, the single semiconductor package can be shipped while being taped.

【0018】[0018]

【実施例】図1は本発明の原理説明図兼一実施例の説明
図である。図において、1はマーキングヘッド、2はシ
ート状半導体パッケージ、3は単体半導体パッケージ、
4は粘着テープ、5はトレイ等、6はテープ巻取り機構
である。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 is a diagram for explaining the principle of the present invention and an explanatory diagram for one embodiment. In the figure, 1 is a marking head, 2 is a sheet-like semiconductor package, 3 is a single semiconductor package,
4 is an adhesive tape, 5 is a tray, and 6 is a tape winding mechanism.

【0019】16ピンのモールド樹脂封止・Jリードタ
イプ半導体パッケージの捺印について説明する。図1
(a)に平面図で示すように、従来のシート状半導体パ
ッケージが6連のリードフレームに半導体パッケージ6
個がモールド樹脂封止され、外リード端子が未切断状態
で連装されている。従来のマーキング装置にこのシート
状半導体パッケージがマガジン、トレイ、コンテナ等に
積み重ねられ収納されている。そしてシート状の半導体
パッケージが一連装づつトランスファ機構の搬送レール
によりマーキングヘッドの位置に点線矢印のように1個
づづ送られて、半導体パッケーシの表面に種類・型格等
が印刷される。
Marking of a 16-pin mold resin-sealed J-lead type semiconductor package will be described. FIG.
As shown in the plan view of FIG. 3A, a conventional sheet-shaped semiconductor package is mounted on a lead frame with six semiconductor packages.
The individual pieces are sealed with a mold resin, and the outer lead terminals are connected in an uncut state. This sheet-shaped semiconductor package is stacked and stored in a magazine, tray, container or the like in a conventional marking device. Then, a series of sheet-shaped semiconductor packages are sent one by one to the position of the marking head by the transfer rail of the transfer mechanism as indicated by the dotted arrow, and the type, model, etc. are printed on the surface of the semiconductor package.

【0020】次に、単体の半導体パッケージを捺印する
場合には、図1(a)に平面図、図1(b)に断面図で
示すように、前述のシート状半導体パッケージの搬送レ
ールとはマーキングヘッドを中心として直角方向に半導
体パッケージのテーピング機構を設け、トレー或いはコ
ンテナ容器に収納された単体の半導体パッケージを1個
づづ、回転ドラムにより少しずつ巻き取られている粘着
テープの上に搬送し、マーキングヘッドの位置に点線矢
印のように1個づづ送られて、半導体パッケーシの表面
に種類・型格等が印刷される。
Next, in the case of marking a single semiconductor package, as shown in the plan view of FIG. 1A and the sectional view of FIG. A semiconductor package taping mechanism is provided in a direction perpendicular to the marking head, and individual semiconductor packages stored in trays or container containers are transported one by one onto an adhesive tape that is gradually wound up by a rotating drum. The marks are sent one by one to the position of the marking head as indicated by the dotted arrow, and the type, model, etc. are printed on the surface of the semiconductor package.

【0021】このように、シート状或いは単体の半導体
パッケージの捺印を搬送機構の切替えにより1台の兼用
マーキング装置により簡単に行うことが出来る。また、
単体パターンパッケージの搬送は、テーピング方式のみ
でなく、メカニカルチャック、或いは真空保持方式によ
り行うことも出来る。
In this way, the marking of a sheet-shaped or single semiconductor package can be easily performed by switching the transport mechanism with one combined marking device. Also,
The single pattern package can be conveyed not only by the taping method but also by a mechanical chuck or a vacuum holding method.

【0022】[0022]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
マーキング装置に係わりなくシート状、或いは単体のマ
ーキングが同一装置で可能であり、設備投資の削減、稼
働率の向上に寄与するところが大きい。
As described above, according to the present invention,
Sheet-shaped or single marking can be done with the same device regardless of the marking device, which greatly contributes to reduction of capital investment and improvement of operating rate.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 本発明の原理説明図FIG. 1 is an explanatory view of the principle of the present invention.

【図2】 従来例の説明図(その1)FIG. 2 is an explanatory diagram of a conventional example (No. 1)

【図3】 従来例の説明図(その2)FIG. 3 is an explanatory diagram of a conventional example (No. 2)

【符号の説明】[Explanation of symbols]

図において 1 マーキングヘッド 2 シート状半導体パッケージ 3 単体半導体パッケージ 4 粘着テープ 5 トレイ等 6 テープ巻取り機構 In the figure 1 marking head 2 sheet semiconductor package 3 single semiconductor package 4 adhesive tape 5 tray etc. 6 tape winding mechanism

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 リードフレーム切断前のシート状に連装
された半導体パッケージの搬送レールと、リードが整形
され、粘着テープ表面に帯状に貼着された単体の半導体
パッケージの搬送装置とが、マーキングヘッドを中心に
して交差して配置されていることを特徴とする半導体パ
ッケージのマーキング装置。
1. A marking head comprising: a carrier rail for a semiconductor package, which is continuously connected in a sheet shape before cutting a lead frame; and a carrier device for a single semiconductor package, in which leads are shaped and adhered in a strip shape on the surface of an adhesive tape. A semiconductor package marking device, wherein the marking devices are arranged so as to intersect with each other.
【請求項2】 リードフレーム切断前のシート状に連装
された半導体パッケージを搬送レールによりマーキング
ヘッドの位置に搬送して、該半導体パッケージにマーキ
ングする工程と、リードが整形され、粘着テープ表面に
帯状に貼着された単体の半導体パッケージを、前記搬送
レールとマーキングヘッドを中心として交差して設置さ
れたテープ搬送装置によりマーキングヘッドの位置に搬
送して、該半導体パッケージにマーキングする工程と
が、適宜切り換えてマーキングされることを特徴とする
半導体パッケージのマーキング方法。
2. A step of carrying a semiconductor package, which is continuously connected in a sheet shape before cutting the lead frame, to a position of a marking head by a carrying rail to mark the semiconductor package, and a lead is shaped, and a band-like shape is formed on the surface of the adhesive tape. The step of carrying the single semiconductor package adhered to the above-mentioned semiconductor package to the position of the marking head by the tape carrying device installed so as to intersect the carrying rail and the marking head as a center, and marking the semiconductor package, as appropriate. A method for marking a semiconductor package, wherein the marking is performed by switching.
JP20046694A 1994-08-25 1994-08-25 Marking apparatus and marking method for semiconductor package Withdrawn JPH0864708A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20046694A JPH0864708A (en) 1994-08-25 1994-08-25 Marking apparatus and marking method for semiconductor package

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20046694A JPH0864708A (en) 1994-08-25 1994-08-25 Marking apparatus and marking method for semiconductor package

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0864708A true JPH0864708A (en) 1996-03-08

Family

ID=16424789

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP20046694A Withdrawn JPH0864708A (en) 1994-08-25 1994-08-25 Marking apparatus and marking method for semiconductor package

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0864708A (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100363131B1 (en) * 2001-01-10 2002-12-05 주식회사 아남인스트루먼트 Apparatus confirming location of strip device in semi-conduct pakage marker
KR100428745B1 (en) * 2002-03-27 2004-04-28 주식회사 칩팩코리아 Tab tape attachment tool for tape ball grid array package fabrication
KR100600532B1 (en) * 2004-12-10 2006-07-13 주식회사 쎄크 Chip bonding tape attaching apparatus
JP2013254865A (en) * 2012-06-07 2013-12-19 Nitto Denko Corp Marking method of semiconductor element, manufacturing method of semiconductor device, and semiconductor device

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100363131B1 (en) * 2001-01-10 2002-12-05 주식회사 아남인스트루먼트 Apparatus confirming location of strip device in semi-conduct pakage marker
KR100428745B1 (en) * 2002-03-27 2004-04-28 주식회사 칩팩코리아 Tab tape attachment tool for tape ball grid array package fabrication
KR100600532B1 (en) * 2004-12-10 2006-07-13 주식회사 쎄크 Chip bonding tape attaching apparatus
JP2013254865A (en) * 2012-06-07 2013-12-19 Nitto Denko Corp Marking method of semiconductor element, manufacturing method of semiconductor device, and semiconductor device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100524974B1 (en) In-line apparatus for manufacturing integrated circuit chip package for facilitating dual-side stacked multi-chip packaging and method for constructing integrated circuit chip package using the same
CN110622285B (en) Electronic component handling apparatus
CN111422397A (en) Wafer box packaging equipment
FI97779B (en) Hand apparatus for transporting a film from a carrier foil onto a substrate
EP1845552B1 (en) Transportation system and transportation method
JPH0864708A (en) Marking apparatus and marking method for semiconductor package
US6848174B2 (en) Apparatus and method for processing electronic components
ATE66329T1 (en) METHOD FOR CONVEYING AND ALIGNING FLAT OBJECTS SUCH AS SEMICONDUCTOR PLATES AND DEVICE FOR TRANSPORTING SUCH OBJECTS.
KR102285727B1 (en) Reel packing apparatus
KR20060074815A (en) Tray carrying system
JP2002334917A (en) Transfer facility consisting of pallet-type single-wafer transfer conveyor holding end face of semiconductor wafer, transfer robot, id reader, and buffer station
JP2667712B2 (en) Compound processing equipment for semiconductor devices
US20090130387A1 (en) Blocking strip for die storage media
KR100346664B1 (en) cover lay attach system
JPS6236208A (en) Device for manufacturing semiconductor
JPH0826413A (en) Conveying mechanism and conveying method of platelike object
KR200159654Y1 (en) Semiconductor transfer apparatus
JPH066005Y2 (en) Transport and packaging equipment for seaweed
KR19990081307A (en) Mounter Device for Semiconductor Equipment
JP2004191166A (en) Conveyance mechanism for sheet or tape-like substrate, and inspection device using the same
JPS63275135A (en) Semiconductor wafer packing equipment
JPS5978044U (en) Workpiece conveyance device
JPH07114230B2 (en) Belt conveyor tray
JP3894612B2 (en) Component supply device and component mounter
JPH0761547A (en) Rail for carrying semiconductor package

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20011106