JPH0863818A - 光学ヘッド - Google Patents

光学ヘッド

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Publication number
JPH0863818A
JPH0863818A JP6203854A JP20385494A JPH0863818A JP H0863818 A JPH0863818 A JP H0863818A JP 6203854 A JP6203854 A JP 6203854A JP 20385494 A JP20385494 A JP 20385494A JP H0863818 A JPH0863818 A JP H0863818A
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JP
Japan
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light
prism
optical head
beam splitter
analyzer
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Application number
JP6203854A
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English (en)
Inventor
Takuo Hayashi
卓生 林
Toru Nakamura
徹 中村
Hideki Aiko
秀樹 愛甲
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 磁気光学効果により情報の記録、再生、消去
を行う光学ヘッドにおいて、光の利用効率が良く、十分
なSNの光磁気信号が得られ、高価なアンプを必要とし
ない小型の光学ヘッドを提供することを目的とする。 【構成】 半導体基板3上に設けられた複数の受光領域
を有する受光素子15,16の上方にプリズム5を設
け、プリズム5の光13が入射する斜面に、P偏光とS
偏光とで反射率および透過率の異なるビームスプリッタ
ー20と、光13を互いに直交する二つの偏光成分を有
する複数の光13a,13b,13cに分岐し、略同一
方向に出射する検光子19とを一体に構成し、分岐光1
3a,13b,13cを、それぞれ受光素子15,16
の分割された異なる領域(A〜J)で受光する構成とす
ることで、光の利用効率が良く、良好なSNが得られ、
かつ高価なアンプを多数必要としない光学ヘッドを提供
する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、音声および画像用ファ
イル、文書ファイル、およびコンピューター用外部メモ
リー装置などに用いられ、光ビームを用いて磁気光学効
果により情報の記録、再生、消去などを繰り返して行え
る光学式記録再生装置の光学ヘッドに関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】近年、光学式記録再生装置の中で、繰り
返し情報の記録、再生、消去が行える方式の一つである
光磁気記録再生装置が注目されている。光学ヘッドは、
この光磁気記録再生装置の基本的構成要素として、特
に、その小型化技術が重要視されている。
【0003】小型化を図った従来の光学ヘッドとして、
例えば特開平5−205339号公報に開示のものがあ
るので、以下に図5の(a),(b)を用いて説明す
る。
【0004】図5の(a),(b)において、1,2は
Si基板3上に形成されたフォトダイオードであり、こ
れらの配列方向とは直角な方向に分割されている3個ず
つの部分A〜CおよびB〜Dから成っている。4はSi
基板3の上面全体に設けられた偏光膜であり、P偏光の
光のみを透過しS偏光の光は反射する。5は偏光膜4上
でフォトダイオード1,2の上方に設けられた断面台形
のプリズムであり、その斜面には、反射率が50%であ
る無偏光膜6が形成されている。7はプリズム5の上面
に設けられた四分の一波長板であり、その上面には全反
射膜8が形成されている。9はSi基板3上に設けられ
た別のSi基板であり、プリズム5の斜面に対向する位
置に配置されている。10はSi基板9上に設けられた
レーザーダイオードであり、偏光面が無偏光膜6の入射
面に対して45°だけ傾いた光を放射する。11はSi
基板9上に設けられた別のフォトダイオードであり、レ
ーザーダイオード10の無偏光膜6へ向かう側とは反対
側の位置に配置されている。12はプリズム5の斜面の
上方に配置された対物レンズである。
【0005】上記のように構成された従来の光学ヘッド
の基本的な動作を説明すると、レーザーダイオード10
から放射された光13は、無偏光膜6へ入射し、そのう
ち50%だけが上方へ反射される。無偏光膜6で反射さ
れた光13は、対物レンズ12によって光磁気記録媒体
14上に集光され、光磁気記録媒体14上に記録されて
いる磁気信号によって偏光面が回転される。光磁気記録
媒体14で反射された光13は、再び対物レンズ12を
透過し無偏光膜6へ入射し、そのうち50%だけが無偏
光膜6を透過する。無偏光膜6を透過した光13は、プ
リズム5中を進行し、偏光膜4へ入射する。偏光膜4へ
入射した光13のうち、P偏光成分のみがこの偏光膜4
を透過してフォトダイオード1へ入射し、S偏光成分は
偏光膜4で反射される。偏光膜4で反射された光13
は、プリズム5中を進行し、四分の一波長板7を透過し
て全反射膜8へ入射し、この全反射膜8で反射されて再
び四分の一波長板7を透過する。すなわち光13は、四
分の一波長板7中を往復するのでS偏光からP偏光に変
わる。全反射膜8で反射された光13は、プリズム5中
を進行し偏光膜4へ入射するが、この光13は上述のよ
うにP偏光になっているので、偏光膜4を透過してフォ
トダイオード2へ入射する。従って、 RF=(A+B+C)−(D+E+F) という差動検出によって、光磁気信号が得られることと
なる。
【0006】また、光学ヘッドと光磁気記録媒体14と
が合焦状態にあるときに、図5に示すように光13は全
反射膜8上で焦点を結び、フォトダイオード1,2上で
の光スポットの径が同じになることから、 FE=(A+C+E)−(B+D+F) という差動検出によって、フォーカスエラー信号が得ら
れることとなる。
【0007】一方、レーザーダイオード10から無偏光
膜6へ向かう方向とは反対方向に放射された光13は、
フォトダイオード11へ入射し、フォトダイオード11
で受光する光13の受光量の変化を見ることで、レーザ
ーダイオード10からの光13の放射光量の変化を知る
ことができることとなる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記のよ
うな構成では、レーザーダイオード10から放射された
光13を反射する作用、および光磁気記録媒体14から
の反射光を透過する作用が、反射率および透過率が光の
偏光方向に関与しない無偏光膜6で行われるので、反射
率および透過率がいずれも50%と低く、光の利用効率
が悪いばかりでなく、光磁気記録媒体14上に記録され
ている磁気信号によって微小な角度だけ回転された偏光
成分、すなわち光磁気信号成分の透過率も悪いので、光
磁気信号の十分なSNを得ることができない。
【0009】また、周波数帯域の異なる光磁気信号(R
F)とフォーカスエラー信号(FE)とを、同じフォト
ダイオード1,2で検出するので、光学ヘッドを使用す
る際に、それぞれの差動検出を行う際のアンプ(図示せ
ず)が、フォトダイオード1,2のすべての分割された
部分(A〜F)に対して必要となり、多数のアンプを使
用することでノイズ成分が増大しSNが悪化するととも
に、DCから高域までの幅広い周波数特性を有する極め
て製作が困難で高価なアンプが必要となる。
【0010】本発明は、上記従来の課題を解決し、光の
利用効率が良く、良好なSNが得られ、かつ高価なアン
プを必要としない小型の光磁気記録再生装置の光学ヘッ
ドを提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の光学ヘッドは、発光素子と、光集光素子
と、半導体基板上に設けられ、複数の受光領域を有する
受光素子と、前記半導体基板の前記受光素子上に設けら
れたプリズムと、前記発光素子と前記プリズムの間に設
けられ、P偏光とS偏光とで反射率および透過率の異な
る略平板状のビームスプリッターと、前記ビームスプリ
ッターと前記プリズムの間に設けられ、入射した光を少
なくとも互いに直交する二つの偏光成分を持つ複数の光
束に分岐し略同一方向に出射する検光子とを備えたもの
である。
【0012】
【作用】この構成では、略平板上のビームスプリッター
において、発光素子からの放射光を反射させるときの反
射率を上げながら、光磁気記録媒体上で生じた光の偏光
面の微小な回転により発生した若干のP偏光成分の透過
率を上げるように、P偏光とS偏光とで反射率および透
過率を異ならせているので、光の利用効率が良く、ま
た、十分なSNの光磁気信号を得ることができる。
【0013】さらに、光磁気記録媒体からの反射光を、
検光子において少なくとも互いに直交する二つの偏光成
分を持つ複数の光束に分岐し、略同一方向に出射された
この複数の光束を、光磁気信号(RF)とフォーカスエ
ラー信号(FE)とを検出するためのそれぞれ別の受光
領域で受光することで、光学ヘッドを使用する際に、す
べての受光領域ごとにアンプを接続する必要がなく、ま
た、用いるアンプも、光磁気信号(RF)とフォーカス
エラー信号(FE)とに分けて、それぞれの帯域に応じ
た安価なアンプを使用することが可能となる。
【0014】
【実施例】以下、本発明の一実施例の光学ヘッドを、図
面を参照しながら説明する。なお、前記従来例と同一の
部材は、同一の符号で示すものとする。
【0015】図1の(a)は、本発明の一実施例の光学
ヘッドの構成を示す側断面図であり、図1の(b)は、
受光素子部分の拡大図である。
【0016】図1において、15,16はSi基板3上
に形成されたフォトダイオードであり、これらの配列方
向とは直角な方向に分割されている5個ずつの部分A〜
CとG〜H、およびD〜FとI〜Jから成っている。1
7はSi基板3の上面のうち受光素子15の上部に設け
られた半透過膜であり、入射した光の50%を透過し、
残りの50%を反射する。Si基板3上には断面台形の
プリズム5が設けられ、その上面には全反射膜18が設
けられている。19はプリズム5の斜面に設けられ、ニ
オブ酸リチウムで構成された検光子であり、入射した光
を互いに直交する偏光成分を持つ±1次光と、その二つ
の偏光成分が混合された0次光の3つの光に分岐するも
ので、この±1次光と0次光とは略1〜4°程度の角度
をもって、略同一方向へ出射される。20は検光子19
上に設けられた略平板状のビームスプリッターであり、
S偏光の反射率が略70%、S偏光の透過率が略30
%、P偏光の透過率が略100%に設定されている。ま
た、Si基板3上のプリズム5に対向する位置には、別
のSi基板9が設けられており、その上にはS偏光の光
を放射するレーザーダイオード10と、レーザーダイオ
ード10のプリズム5へ向かう側とは反対側の位置に、
別のフォトダイオード11が設けられている。12はプ
リズム5の斜面の上方に配置された対物レンズである。
【0017】なお、ビームスプリッター20は、略平板
状のビームスプリッターではなく、検光子19上に直接
設けた偏光膜としてもよい。
【0018】また、別のSi基板11は、銅や鉄などの
金属製のステムとしてもよい。上記のように構成された
光学ヘッドの基本的な動作を説明すると、レーザーダイ
オード10から放射されたS偏光の光13は、ビームス
プリッター20へ入射する。ビームスプリッター20で
は、S偏光の反射率が略70%に設定されているので、
レーザーダイオード10から放射されてきた光13のう
ち略70%が上方へ反射される。ビームスプリッター2
0で反射された光13は、対物レンズ12によって光磁
気記録媒体14上に集光され、光磁気記録媒体14上に
記録されている磁気信号によって偏光面が略0.3〜
0.5°程度回転される。すなわち、光磁気記録媒体1
4で反射された光13は、光磁気信号である若干のP偏
光成分を含んだS偏光の光となり、再び対物レンズ12
を透過しビームスプリッター20へ入射する。ビームス
プリッター20では、S偏光の透過率が略30%、P偏
光の透過率が略100%に設定されているので、S偏光
成分の略30%と光磁気信号であるP偏光成分の略10
0%がビームスプリッター20を透過する。ビームスプ
リッター20を透過した光13は、検光子19に入射
し、S偏光とP偏光が混合した0次光13aと、S偏光
である+1次光13bと、P偏光である−1次光13c
の3つに分岐される。このとき、この3つの光13a〜
13cは、紙面に垂直な方向に略1〜4°程度の分岐角
で分岐され、検光子19を透過する。検光子19を透過
した光13a〜13cは、プリズム5中を進行し、半透
過膜17へ入射する。半透過膜17に入射した光13a
〜13cのそれぞれ50%は、半透過膜17を透過しフ
ォトダイオード15へ入射し、残りの50%は半透過膜
17で反射される。光13a〜13cがフォトダイオー
ド15へ入射するときは、フォトダイオード15の部分
A〜Cに0次光13aが、部分Gに+1次光13bが、
部分Hに−1次光13cがそれぞれ入射される。半透過
膜17で反射された光13a〜13cは、プリズム5中
を進行し、全反射膜18へ入射し、ここで反射されてプ
リズム5中を進行し、フォトダイオード16へ入射す
る。光13a〜13cがフォトダイオード16へ入射す
るときは、フォトダイオード16の部分D〜Fに0次光
13aが、部分Iに+1次光13bが、部分Jに−1次
光13cがそれぞれ入射される。従って、フォトダイオ
ード16の部分GとIにはS偏光の光13bが入射し、
部分HとJにはP偏光の光13cが入射することになる
ので、 RF=(G+I)−(H+J) という差動検出によって、光磁気信号が得られることと
なる。
【0019】また、光学ヘッドと光磁気記録媒体14と
が合焦状態にあるときに、図1に示すように光13は全
反射膜18上で焦点を結び、フォトダイオード15,1
6上での光スポットの径が同じになることから、 FE=(A+C+E)−(B+D+F) という差動検出によって、フォーカスエラー信号が得ら
れることとなる。
【0020】なお、フォトダイオード15,16の配列
方向と光磁気記録媒体14の情報トラックの方向を合わ
せるように光学ヘッドを配置すれば、光学ヘッドに対し
て情報トラックのずれが生じたときに、フォトダイオー
ド15,16上の光スポットが、情報トラックと直交す
る方向にそれぞれ逆方向に動くので、 TE=(A+F)−(C+D) という差動検出によって、トラッキングエラー信号を得
ることも可能である。
【0021】一方、レーザーダイオード10からビーム
スプリッター20へ向かう方向とは反対方向に放射され
た光13は、フォトダイオード11へ入射し、フォトダ
イオード11で受光する光13の受光量の変化を見るこ
とで、レーザーダイオード10からの光13の放射光量
の変化を知ることができることとなる。
【0022】上記のように本発明によれば、ビームスプ
リッター20は、S偏光の反射率が略70%、S偏光の
透過率が略30%、P偏光の透過率が略100%に設定
されているので、レーザーダイオード10から放射され
ビームスプリッター20で対物レンズ12の方へ反射さ
れるS偏光の光13の反射率が略70%となり、光の利
用効率が向上するばかりでなく、光磁気記録媒体14上
に記録されている磁気信号によって、偏光面が略0.3
〜0.5°程度回転された光磁気記録媒体14からの反
射光に含まれる若干のP偏光成分、すなわち光磁気信号
成分は、再びビームスプリッター20へ戻ってきた際
に、略100%ビームスプリッター20を透過し、検光
子19およびプリズム5中を進行し、フォトダイオード
15,16へ入射するので、光磁気信号の十分なSNを
得ることができることとなる。
【0023】また、光磁気記録媒体14からの反射光1
3は、検光子19にてS偏光とP偏光が混合した0次光
13aと、S偏光である+1次光13bと、P偏光であ
る−1次光13cに紙面に垂直な方向に略1〜4°程度
の分岐角で分岐され、それぞれの光13a,13b,1
3cは、フォトダイオード15,16の分割された部分
(A〜J)のそれぞれ別の部分に入射するので、光磁気
信号(RF)とフォーカスエラー信号(FE)を、別の
受光素子の部分にて検出することになり、光学ヘッドを
使用する際に、フォトダイオード15,16の分割され
た部分を(A+C+E),(B+D+F),(G+
I),(H+J)と接続しておけば、差動検出を行う際
のアンプ(図示せず)は、この4つの接続された部分だ
けにあればよく、使用するアンプの数を削減すること
で、ノイズ成分の増大によるSNの悪化を防ぐことがで
き、また、それぞれの周波数帯域に応じた安価なアンプ
が使えることとなる。すなわち、光利用効率が良く、光
磁気信号の良好なSNが得られ、かつ安価なアンプを使
用できる光学ヘッドを提供することが可能となる。
【0024】さらに、図2〜図4により、本発明の光学
ヘッドの別の実施例を説明する。なお、図1と同一の部
材は、同一の符号で示すものとする。
【0025】図2は、本発明の光学ヘッドの第2の実施
例を示す側断面図であり、図1との違いは、フォトダイ
オード11の代わりに別のフォトダイオード21を、S
i基板3上に設け、Si基板9を、より小型のステム2
2に変えたことである。レーザーダイオード10から光
13が放射されてから、光磁気信号およびフォーカスエ
ラー信号を得るまでの動作は、第1の実施例と同じなの
で省略するが、レーザーダイオード10から放射された
光13の70%は、ビームスプリッター20で略70%
が反射されるが、残りの略30%の光13dは、ビーム
スプリッター20を透過し、検光子19およびプリズム
5中を進行し、別のフォトダイオード21に入射する。
従って、フォトダイオード21で受光する光13dの受
光量の変化を見ることで、レーザーダイオード10から
放射される光13の放射光量の変化を知ることができる
こととなる。
【0026】上記のような構成により、第1の実施例と
同様に、光利用効率が良く、光磁気信号の良好なSNが
得られ、かつ安価なアンプが使用できるようになるばか
りでなく、レーザーダイオード10から放射される光1
3の放射光量の変化を、実際に光磁気記録媒体14へ照
射される光13の一部を分岐した光13dで検出するの
で、レーザーダイオード10から反対側へ放射される光
13で検出する場合より、高精度な光量変化の検出を行
うことができることとなる。また、レーザーダイオード
10の反対側に受光素子が不要となり、レーザーダイオ
ード10のみをより小型のステム22上に設けることが
でき、光学ヘッドを小型にすることが可能となる。さら
に、フォトダイオード21は、フォトダイオード15,
16と同様に同じSi基板上に設けるので、フォトダイ
オード15,16,21の作成プロセスを同時に行うこ
とができ、工数の少ない安価な光学ヘッドを提供するこ
とができることとなる。
【0027】図3は、本発明の光学ヘッドの第3の実施
例を示す側断面図であり、図1の構成要素をすべて筐体
23の中に構成し、筐体23内にアルゴンガス24を充
填し、対物レンズ12で密封する構造としたことであ
る。
【0028】光学ヘッドとしての基本的な動作は、第1
の実施例と同様なので省略するが、第1の実施例と同様
に、光の利用効率が良く、光磁気信号の良好なSNが得
られ、かつ安価なアンプが使用できるようになるばかり
でなく、アルゴンガス24という不活性ガスで内部を充
填することで、レーザーダイオード10やフォトダイオ
ード11,15,16、および半透過膜17や全反射膜
18の酸化を防ぐことができ、各素子の性能劣化を抑
え、耐久性の高い光学ヘッドを提供することが可能とな
る。
【0029】図4は、本発明の光学ヘッドの第4の実施
例を示す側断面図であり、図1との違いは、レーザーダ
イオード10の代わりに面発光レーザーダイオード25
をSi基板3上に設け、この面発光レーザーダイオード
25の上方に、面発光レーザーダイオード25からの放
射光13をビームスプリッター20の方へ折りまげる平
板状または略三角形のミラー26を設けたことである。
面発光レーザーダイオード25は、Si基板3の一部に
45°の斜面を有する凹部を設け、その中に発光チップ
を搭載して、発光チップからの放射光が45°の斜面に
あたり、反射して上方へ放射させるようにしたものであ
る。
【0030】なお、ミラー26の断面形状を台形あるい
は平行四辺形とし、ビームスプリッター20と面発光レ
ーザーダイオード25の両方あるいはいずれか一方と密
着させる構成としてもよい。
【0031】光学ヘッドとしての基本的な動作は、第1
の実施例と同様なので省略するが、第1の実施例と同様
に、光利用効率が良く、光磁気信号の良好なSNが得ら
れ、かつ安価なアンプが使用できるようになるばかりで
なく、発光素子を面発光レーザーダイオード25とした
ことで、発光素子を搭載するための別の基板が不要とな
り、またSi基板3を小さくできるので、より小型で安
価な光学ヘッドを提供することが可能となるばかりでな
く、面発光レーザーダイオード25と、フォトダイオー
ド15,16を同一のSi基板3上に設けるので、これ
らの素子への電気的接続が、すべて同一のSi基板3上
で行えるので、電気的配線が容易で組立工数の削減が可
能となり、かつ、外部からの不要なノイズに対しても強
くなるので、安価で高性能な光学ヘッドを提供すること
が可能となる。
【0032】
【発明の効果】以上のように、本発明の光学ヘッドは、
発光素子からの放射光を光磁気記録媒体の方へ反射させ
る反射率を上げ、光磁気記録媒体からの反射光に含まれ
る光磁気信号成分を透過する透過率を上げるように、P
偏光とS偏光とで反射率および透過率の異なる略平板の
ビームスプリッターを用いたことで、光の利用効率を向
上させ、かつ、光磁気信号の十分なSNを得ることがで
きる。
【0033】また、光磁気記録媒体からの反射光を、S
偏光とP偏光が混合した0次光と、S偏光である+1次
光と、P偏光である−1次光に分岐し、略同一方向に出
射する検光子を用いたことで、分岐されたそれぞれの光
を複数の受光領域を有する受光素子のそれぞれ異なる領
域で受光することにより、光磁気信号(RF)とフォー
カスエラー信号(FE)を受光素子の異なる分割領域で
検出することになり、光学ヘッドを使用する際に、差動
検出を行うアンプの数が必要最小限に抑えられ、ノイズ
成分の増大によるSNの悪化を防ぐことができ、また、
それぞれの周波数帯域に応じた安価なアンプが使用で
き、光磁気信号の良好なSNが得られ、かつ、安価なア
ンプが使用できる小型の光学ヘッドを提供することがで
きることとなる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)は本発明の第1の実施例における光学ヘ
ッドの構成を示す側断面図 (b)は第1の実施例における受光素子部分の拡大図
【図2】本発明の第2の実施例における光学ヘッドの構
成を示す側断面図
【図3】本発明の第3の実施例における光学ヘッドの構
成を示す側断面図
【図4】本発明の第4の実施例における光学ヘッドの構
成を示す側断面図
【図5】(a)は従来の光学ヘッドの構成を示す側断面
図 (b)は従来の光学ヘッドにおける受光素子部分の拡大
【符号の説明】
5 プリズム 10 レーザーダイオード 12 対物レンズ 15,16 フォトダイオード 19 検光子 20 ビームスプリッター

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 発光素子と、光集光素子と、半導体基板
    上に設けられ、複数の受光領域を有する受光素子と、前
    記半導体基板の前記受光素子上に設けられたプリズム
    と、前記発光素子と前記プリズムの間に設けられ、P偏
    光とS偏光とで反射率および透過率の異なる略平板状の
    ビームスプリッターと、前記ビームスプリッターと前記
    プリズムの間に設けられ、入射した光を少なくとも互い
    に直交する二つの偏光成分を持つ複数の光束に分岐し、
    略同一方向に出射する検光子とを備えた光学ヘッド。
  2. 【請求項2】 プリズムの検光子に対向する面を受光素
    子に対向する面に対して傾斜させ、この面上に前記検光
    子を一体に設け、さらに前記検光子にビームスプリッタ
    ーを一体に設けた請求項1記載の光学ヘッド。
  3. 【請求項3】 プリズムの受光素子に対向する面の一部
    に光の一部を透過する半透過膜を設け、この面の反対側
    の面に全反射膜を設けた請求項1記載の光学ヘッド。
  4. 【請求項4】 検光子を、ニオブ酸リチウムで構成した
    請求項1記載の光学ヘッド。
  5. 【請求項5】 ビームスプリッターを検光子の表面に設
    けた偏光膜とした請求項1記載の光学ヘッド。
  6. 【請求項6】 半導体基板上に設けられた受光素子と略
    同一面上に、発光素子からの放射光の一部を受光する第
    2の受光素子を設けた請求項1記載の光学ヘッド。
  7. 【請求項7】 筐体と、発光素子と、光集光素子と、半
    導体基板上に設けられ、複数の受光領域を有する受光素
    子と、前記半導体基板の前記受光素子上に設けられたプ
    リズムと、前記発光素子と前記プリズムの間に設けら
    れ、P偏光とS偏光とで反射率および透過率の異なる略
    平板状のビームスプリッターと、前記ビームスプリッタ
    ーと前記プリズムの間に設けられ、入射した光を少なく
    とも互いに直交する二つの偏光成分を持つ複数の光束に
    分岐し、略同一方向に出射する検光子とを備え、前記発
    光素子と前記受光素子と前記プリズムと前記ビームスプ
    リッターと前記検光子とを前記筐体の内部に構成すると
    ともに、前記筐体の内部に不活性ガスを封入し、前記光
    集光素子で前記筐体を密封する構造とした光学ヘッド。
  8. 【請求項8】 発光素子を面発光レーザーダイオードと
    し、前記発光素子とビームスプリッターの間に光の向き
    を変えるミラーまたはプリズムを設けた請求項1記載の
    光学ヘッド。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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