JPH0862856A - 平版印刷版現像装置 - Google Patents
平版印刷版現像装置Info
- Publication number
- JPH0862856A JPH0862856A JP19972694A JP19972694A JPH0862856A JP H0862856 A JPH0862856 A JP H0862856A JP 19972694 A JP19972694 A JP 19972694A JP 19972694 A JP19972694 A JP 19972694A JP H0862856 A JPH0862856 A JP H0862856A
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- Japan
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- printing plate
- cleaning
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 平版印刷版特にＰＳ版の現像において、ＰＳ
版の砂目に入り込んだ現像液が洗浄されにくく充分洗浄
されないまま不感脂化処理工程に行くと不感脂化処理液
が早く汚染され減力されていろいろな障害を伴うので洗
浄工程にその防止策を施した現像装置を提供する。 【構成】 平版印刷版の版面に浸漬又は液供給機構によ
り処理液を接触させ、現像処理する現像装置において、
現像後の該印刷版に水を加熱し蒸気にして吹き付ける洗
浄機構、又は水をニードルノズル又は超音波により霧状
にして吹き付ける洗浄機構、又は水を小粒子の泡状物と
して吹き付ける洗浄機構を備えた現像装置の構成とす
る。更に洗浄廃液を蒸発濃縮させる機構も付置できる構
成とする。
版の砂目に入り込んだ現像液が洗浄されにくく充分洗浄
されないまま不感脂化処理工程に行くと不感脂化処理液
が早く汚染され減力されていろいろな障害を伴うので洗
浄工程にその防止策を施した現像装置を提供する。 【構成】 平版印刷版の版面に浸漬又は液供給機構によ
り処理液を接触させ、現像処理する現像装置において、
現像後の該印刷版に水を加熱し蒸気にして吹き付ける洗
浄機構、又は水をニードルノズル又は超音波により霧状
にして吹き付ける洗浄機構、又は水を小粒子の泡状物と
して吹き付ける洗浄機構を備えた現像装置の構成とす
る。更に洗浄廃液を蒸発濃縮させる機構も付置できる構
成とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は平版印刷版特にＰＳ版の
現像装置に関する。尚、以後平版印刷版を単にＰＳ版と
言うことがある。
現像装置に関する。尚、以後平版印刷版を単にＰＳ版と
言うことがある。
【０００２】
【従来の技術】平版印刷版現像装置においては、ＰＳ版
は現像処理したあと洗浄処理がおこなわれ、そのあと更
に不感脂化処理がおこなわれ最後に乾燥して仕上げられ
て回収される。しかし、現像処理後の洗浄が不十分であ
るとアルカリ性の現像液が酸性の不感脂化処理液のＰＨ
を変えてしまい不感脂化処理の効果が薄れ印刷時の汚れ
等の原因となっていた。そしてその汚れはかなり発生し
易い為、頻繁に不感脂化剤を交換する必要があった。
は現像処理したあと洗浄処理がおこなわれ、そのあと更
に不感脂化処理がおこなわれ最後に乾燥して仕上げられ
て回収される。しかし、現像処理後の洗浄が不十分であ
るとアルカリ性の現像液が酸性の不感脂化処理液のＰＨ
を変えてしまい不感脂化処理の効果が薄れ印刷時の汚れ
等の原因となっていた。そしてその汚れはかなり発生し
易い為、頻繁に不感脂化剤を交換する必要があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ＰＳ版の画像中で現像
されて感光層が落とされインクを付けられなくした部分
には無数の細かい砂目が設けられていて、その砂目にの
こった現像液や剥離した感光層を洗浄しても除去しにく
く、それが前記汚れの原因であることが本出願人に分か
って来た。また、使用後の水洗水、即ち、廃液の処理が
難しく廃液業者に依頼することにより費用もかかり問題
になっている。本発明はこのような原因や問題点を解消
して高品質の処理が安定して行う事のできる平版印刷版
現像装置を提供することを課題目的とする。
されて感光層が落とされインクを付けられなくした部分
には無数の細かい砂目が設けられていて、その砂目にの
こった現像液や剥離した感光層を洗浄しても除去しにく
く、それが前記汚れの原因であることが本出願人に分か
って来た。また、使用後の水洗水、即ち、廃液の処理が
難しく廃液業者に依頼することにより費用もかかり問題
になっている。本発明はこのような原因や問題点を解消
して高品質の処理が安定して行う事のできる平版印刷版
現像装置を提供することを課題目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この目的は次の技術手段
ａ，ｂ，ｃ及びｄの何れか１項によって達成される。
ａ，ｂ，ｃ及びｄの何れか１項によって達成される。
【０００５】（ａ）平版印刷版の版面に浸漬又は液供給
機構により処理液を接触させ、現像処理する現像装置に
おいて、現像後の該印刷版に水を加熱し蒸気にして吹き
付ける洗浄機構を設けたことを特徴とする平版印刷版現
像装置。
機構により処理液を接触させ、現像処理する現像装置に
おいて、現像後の該印刷版に水を加熱し蒸気にして吹き
付ける洗浄機構を設けたことを特徴とする平版印刷版現
像装置。
【０００６】（ｂ）平版印刷版の版面に浸漬又は液供給
機構により処理液を接触させ、現像処理する現像装置に
おいて、水をニードルノズル又は超音波により霧状にし
て前記印刷版面に吹き付ける洗浄機構を設けたことを特
徴とする平版印刷版現像装置。
機構により処理液を接触させ、現像処理する現像装置に
おいて、水をニードルノズル又は超音波により霧状にし
て前記印刷版面に吹き付ける洗浄機構を設けたことを特
徴とする平版印刷版現像装置。
【０００７】（ｃ）平版印刷版の版面に浸漬又は液供給
機構により処理液を接触させ、現像処理する現像装置に
おいて、洗浄液を小粒子の泡状物として前記印刷版面上
に吹き付ける洗浄機構を設けたことを特徴とする平版印
刷版現像装置。
機構により処理液を接触させ、現像処理する現像装置に
おいて、洗浄液を小粒子の泡状物として前記印刷版面上
に吹き付ける洗浄機構を設けたことを特徴とする平版印
刷版現像装置。
【０００８】（ｄ）平版印刷版の版面に浸漬又は液供給
機構により処理液を接触させ、現像処理する現像装置に
おいて、前記印刷版の洗浄に用いた洗浄液を、加熱蒸発
させる廃液処理機構を設けたことを特徴とする平版印刷
版現像装置。
機構により処理液を接触させ、現像処理する現像装置に
おいて、前記印刷版の洗浄に用いた洗浄液を、加熱蒸発
させる廃液処理機構を設けたことを特徴とする平版印刷
版現像装置。
【０００９】
【作用】請求項１の発明では加熱された蒸気で現像後の
印刷版が清浄されるので砂目からの現像液が活性化され
て追い出され、従来の大量の水に比べて、少量の加熱蒸
気での洗浄効果が大きく、これにより不感脂化工程のp
Ｈ変化率が遙かに少なくなり、フィニッシングの効果が
安定向上する。
印刷版が清浄されるので砂目からの現像液が活性化され
て追い出され、従来の大量の水に比べて、少量の加熱蒸
気での洗浄効果が大きく、これにより不感脂化工程のp
Ｈ変化率が遙かに少なくなり、フィニッシングの効果が
安定向上する。
【００１０】請求項２の発明では霧滴の大きさが砂目の
大きさと同程度又はそれ以下と思われ、通常の洗浄液の
噴流が入り込みにくい砂目の間に万遍なく入り込んで中
の現像液がきめ細かく追い出されるため少量の洗浄液で
洗浄効果の高い洗浄がなされ、洗浄廃液も少なくその廃
棄物の処理もそれだけ容易になる。
大きさと同程度又はそれ以下と思われ、通常の洗浄液の
噴流が入り込みにくい砂目の間に万遍なく入り込んで中
の現像液がきめ細かく追い出されるため少量の洗浄液で
洗浄効果の高い洗浄がなされ、洗浄廃液も少なくその廃
棄物の処理もそれだけ容易になる。
【００１１】請求項３の発明では洗浄液を細かい泡状と
して版面に吹き付けられるようにしたものであり、やは
り細かい砂目の中で残留現像液が万遍なく追い出される
効果が大きく、後工程の不感脂化処理液のpＨ変化率も
小さく押さえられている。
して版面に吹き付けられるようにしたものであり、やは
り細かい砂目の中で残留現像液が万遍なく追い出される
効果が大きく、後工程の不感脂化処理液のpＨ変化率も
小さく押さえられている。
【００１２】請求項４の発明では、洗浄廃液はアルカリ
性の現像液がかなり含まれ、このままでは公害上、下水
や河川には流せないので廃棄処理方法は多く業者に委ね
られるようになる。そのため廃液を蒸発濃縮して回収費
を安くするようにしたものである。
性の現像液がかなり含まれ、このままでは公害上、下水
や河川には流せないので廃棄処理方法は多く業者に委ね
られるようになる。そのため廃液を蒸発濃縮して回収費
を安くするようにしたものである。
【００１３】
【実施例】本発明の実施例を図を用いて説明する。
【００１４】図１は本発明の請求項１の実施例である平
版印刷版現像装置の全体を示す概略図である。10は供給
台11、送り込みローラ対12の上下両ローラ12Ａ，12Ｂか
ら成る印刷版Ｐの供給部であり、20は現像部で現像槽21
とその中に設けられた２組の搬送ローラ対のうち中央部
の搬送ローラ対23の上下両ローラ23Ａ，23Ｂ及び次槽へ
の受渡し搬送ローラ対24の上下両ローラ24Ａ，24Ｂ及び
その下流側に設けられたスポンジ状のスクイーズローラ
対226によって、印刷版Ｐが槽内を液浸して搬送される
ようにしてある。尚、現像槽21の液中のＰＳ版Ｐに近接
して噴射ノズル126と吸引ノズル128が配置され現像液が
循環され、汚れもフィルタで濾過されるようにしてあ
る。30はプレリンス部で現像部20から前記受渡し搬送ロ
ーラ対24の上下両ローラ24Ａ，24Ｂで運び出され前記ス
クイーズローラ対226で絞られて来た印刷版Ｐがプレリ
ンス液で洗浄される槽である。即ち、プレリンス槽31に
は入口に設けられた受取り搬送ローラ対33の上下両ロー
ラ33Ａ，33Ｂと出口側の搬送ローラ対34の上下両ローラ
34Ａ，34Ｂとその中間に設けたプレリンス液として水を
加熱して蒸気としたものを上下のスプレーノズル35Ａ，
35ＢからＰＳ版面に吹き付けて洗浄するように構成され
ている。入口の受取り搬送ローラ対33の上下のローラ33
Ａ，33Ｂのうち上ローラ33Ｂにはスクイーズローラ39が
タッチしスプレーされたプレリンス液が外へ出ないよう
にしてある。
版印刷版現像装置の全体を示す概略図である。10は供給
台11、送り込みローラ対12の上下両ローラ12Ａ，12Ｂか
ら成る印刷版Ｐの供給部であり、20は現像部で現像槽21
とその中に設けられた２組の搬送ローラ対のうち中央部
の搬送ローラ対23の上下両ローラ23Ａ，23Ｂ及び次槽へ
の受渡し搬送ローラ対24の上下両ローラ24Ａ，24Ｂ及び
その下流側に設けられたスポンジ状のスクイーズローラ
対226によって、印刷版Ｐが槽内を液浸して搬送される
ようにしてある。尚、現像槽21の液中のＰＳ版Ｐに近接
して噴射ノズル126と吸引ノズル128が配置され現像液が
循環され、汚れもフィルタで濾過されるようにしてあ
る。30はプレリンス部で現像部20から前記受渡し搬送ロ
ーラ対24の上下両ローラ24Ａ，24Ｂで運び出され前記ス
クイーズローラ対226で絞られて来た印刷版Ｐがプレリ
ンス液で洗浄される槽である。即ち、プレリンス槽31に
は入口に設けられた受取り搬送ローラ対33の上下両ロー
ラ33Ａ，33Ｂと出口側の搬送ローラ対34の上下両ローラ
34Ａ，34Ｂとその中間に設けたプレリンス液として水を
加熱して蒸気としたものを上下のスプレーノズル35Ａ，
35ＢからＰＳ版面に吹き付けて洗浄するように構成され
ている。入口の受取り搬送ローラ対33の上下のローラ33
Ａ，33Ｂのうち上ローラ33Ｂにはスクイーズローラ39が
タッチしスプレーされたプレリンス液が外へ出ないよう
にしてある。
【００１５】尚、前記蒸気は図２の噴射構成を示す斜視
図のように生成され印刷版面に噴射される。即ち、水道
栓又は給水タンクより給水される水が電磁弁38を経てヒ
ータ37Ａを内蔵する加熱器37の中に形成された螺旋状パ
イプ37Ｂを通りながら加熱されて、蒸気が生成され、安
全弁36Ａを有する蒸気タンク36及び電磁弁36Ｃ及びスプ
レー配管35を通り、上下の前記スプレーノズル35Ｂ，35
Ａから吹き付けられてＰＳ版面の洗浄が強力に行われ
る。高温蒸気による洗浄は活性化され、砂目の中に閉じ
込められた現像液等は掘り起こされて排除されてしまう
ことになる。排除された現像液等はプレリンス槽31又は
図示しない廃液槽に回収されるようにしてある。しか
し、加熱蒸気の作り方は前記のものに限定されるもので
はない。尚、ＰＳ版は熱に強く200℃以上にしても性能
に悪影響を及ぼすことはない。40はフィニッシャー部で
あり、そのフィニッシャー槽41の中には、プレリンス部
30から搬送されて来る印刷版Ｐを搬送する２組の搬送ロ
ーラ対とガム液を吹き付けるスプレーノズルが設けられ
ている。
図のように生成され印刷版面に噴射される。即ち、水道
栓又は給水タンクより給水される水が電磁弁38を経てヒ
ータ37Ａを内蔵する加熱器37の中に形成された螺旋状パ
イプ37Ｂを通りながら加熱されて、蒸気が生成され、安
全弁36Ａを有する蒸気タンク36及び電磁弁36Ｃ及びスプ
レー配管35を通り、上下の前記スプレーノズル35Ｂ，35
Ａから吹き付けられてＰＳ版面の洗浄が強力に行われ
る。高温蒸気による洗浄は活性化され、砂目の中に閉じ
込められた現像液等は掘り起こされて排除されてしまう
ことになる。排除された現像液等はプレリンス槽31又は
図示しない廃液槽に回収されるようにしてある。しか
し、加熱蒸気の作り方は前記のものに限定されるもので
はない。尚、ＰＳ版は熱に強く200℃以上にしても性能
に悪影響を及ぼすことはない。40はフィニッシャー部で
あり、そのフィニッシャー槽41の中には、プレリンス部
30から搬送されて来る印刷版Ｐを搬送する２組の搬送ロ
ーラ対とガム液を吹き付けるスプレーノズルが設けられ
ている。
【００１６】このようにして前記各槽を搬送されながら
仕上げられた印刷版Ｐは最後に乾燥部50に送り込まれ、
乾燥されて回収されるようにしてある。
仕上げられた印刷版Ｐは最後に乾燥部50に送り込まれ、
乾燥されて回収されるようにしてある。
【００１７】以上が請求項１の実施例であるが、次に請
求項２の実施例について述べる。
求項２の実施例について述べる。
【００１８】請求項２の実施例が請求項１の実施例と相
違する点は、洗浄を水の加熱蒸気で行うのでなく水をニ
ードルノズル又は超音波により霧状にしてＰＳ版面に吹
き付けるようにしたことであり、この点を除く後の工程
は請求項１の実施例と全く同じである。従って、この点
についてのみ図３の超音波霧滴噴射構成を示す部分正面
図を用いて説明する。
違する点は、洗浄を水の加熱蒸気で行うのでなく水をニ
ードルノズル又は超音波により霧状にしてＰＳ版面に吹
き付けるようにしたことであり、この点を除く後の工程
は請求項１の実施例と全く同じである。従って、この点
についてのみ図３の超音波霧滴噴射構成を示す部分正面
図を用いて説明する。
【００１９】水道水は超音波発振水槽137の中に電磁弁1
38を経て供給され、該水槽の水面は液面計137Ａ及び電
磁弁138によって一定レベルに制御されながら超音波発
振により水は細かい霧状になって吹き出され、パイプ13
5の中を通り上下のニードルノズル135Ｂ，135Ａから吹
き出されＰＳ版の版面に当てられ、砂目内の残留現像液
が追い出され、高度の洗浄が実現できる。この実施例で
はノズルは印刷版に垂直方向にのみ向けた構成である
が、ノズルの噴射中心方向を種々の角度に向け版の凹部
に入った汚れを完全に除去するようにしても良い。
38を経て供給され、該水槽の水面は液面計137Ａ及び電
磁弁138によって一定レベルに制御されながら超音波発
振により水は細かい霧状になって吹き出され、パイプ13
5の中を通り上下のニードルノズル135Ｂ，135Ａから吹
き出されＰＳ版の版面に当てられ、砂目内の残留現像液
が追い出され、高度の洗浄が実現できる。この実施例で
はノズルは印刷版に垂直方向にのみ向けた構成である
が、ノズルの噴射中心方向を種々の角度に向け版の凹部
に入った汚れを完全に除去するようにしても良い。
【００２０】次に請求項３の実施例について述べるが、
これも洗浄槽における洗浄液の吹き出し構成が異なるだ
けであるので、これについての説明を図４の泡噴射構成
を示す部分正面図によって行う。
これも洗浄槽における洗浄液の吹き出し構成が異なるだ
けであるので、これについての説明を図４の泡噴射構成
を示す部分正面図によって行う。
【００２１】これは、ＰＳ版面に蒸気でも霧でもなく洗
浄液としての水の細かい泡粒を吹き付けるようにしたも
ので泡発生装置236に活性剤を混入させた水をポンプ237
で送り込み、それをパイプ235Ｐを通して上下のノズル2
35の吹き出し口235Ｂ，235Ａに送り込み、そこから吹き
出させた泡の粒子をＰＳ版の両面に吹き付け洗浄作用を
行わせるようにしたものである。そして、洗浄槽（プレ
リンス槽）31の底部の取り出し口31Ａとポンプ237、泡
発生装置236とノズル235Ａ，235Ｂとの間に循環系が形
成され洗浄が強力円滑に行われる。
浄液としての水の細かい泡粒を吹き付けるようにしたも
ので泡発生装置236に活性剤を混入させた水をポンプ237
で送り込み、それをパイプ235Ｐを通して上下のノズル2
35の吹き出し口235Ｂ，235Ａに送り込み、そこから吹き
出させた泡の粒子をＰＳ版の両面に吹き付け洗浄作用を
行わせるようにしたものである。そして、洗浄槽（プレ
リンス槽）31の底部の取り出し口31Ａとポンプ237、泡
発生装置236とノズル235Ａ，235Ｂとの間に循環系が形
成され洗浄が強力円滑に行われる。
【００２２】非常に少量の洗浄液の泡発生により砂目の
中の残留現像液も追い出され効率のよい高度の洗浄が行
われる。
中の残留現像液も追い出され効率のよい高度の洗浄が行
われる。
【００２３】請求項４の実施例は、図５の洗浄廃液加熱
蒸発器を備えた平版印刷版現像装置の概略図に示すよう
に請求項１〜３の実施例で述べたような洗浄液の古いも
のを例えばプレリンス槽31から加熱容器339に抜きなが
らそれをヒータ339Ａで加熱して、蒸発させ、洗浄廃液
を濃縮させようとするものである。それによって廃液の
運搬処理を容易にするメリットが生まれる。この際、加
熱の前に脱泡手段として超音波をかけたりして泡をなく
し、または減少させた後に濃縮化することもできる。こ
の場合濃縮し易くなる。
蒸発器を備えた平版印刷版現像装置の概略図に示すよう
に請求項１〜３の実施例で述べたような洗浄液の古いも
のを例えばプレリンス槽31から加熱容器339に抜きなが
らそれをヒータ339Ａで加熱して、蒸発させ、洗浄廃液
を濃縮させようとするものである。それによって廃液の
運搬処理を容易にするメリットが生まれる。この際、加
熱の前に脱泡手段として超音波をかけたりして泡をなく
し、または減少させた後に濃縮化することもできる。こ
の場合濃縮し易くなる。
【００２４】
【発明の効果】本発明によりＰＳ版等平版印刷版の現像
に当たって版面の砂目の中に入り込んでいる残留現像液
が効率よく追い出されて洗浄されるようになり、不感脂
化処理、即ちフィニッシャー工程に持ち込まれる現像液
の量を減少させることが可能になり、不感脂化処理液が
汚染されてそのpＨが比較的早く変化して減力され版面
に残る汚れが印刷むらの原因になるといった懸念を無く
すことができた。
に当たって版面の砂目の中に入り込んでいる残留現像液
が効率よく追い出されて洗浄されるようになり、不感脂
化処理、即ちフィニッシャー工程に持ち込まれる現像液
の量を減少させることが可能になり、不感脂化処理液が
汚染されてそのpＨが比較的早く変化して減力され版面
に残る汚れが印刷むらの原因になるといった懸念を無く
すことができた。
【００２５】また、洗浄廃液を加熱蒸発させることによ
り廃液を濃縮して効率よく運搬処理することが可能にな
り、公害負荷対策上好ましい平版印刷版現像装置が実現
した。
り廃液を濃縮して効率よく運搬処理することが可能にな
り、公害負荷対策上好ましい平版印刷版現像装置が実現
した。
【図１】本発明の一実施例の平版印刷版現像装置の概略
図。
図。
【図２】加熱蒸気の噴射構成を示す斜視図。
【図３】超音波霧滴噴射構成を示す部分正面図。
【図４】泡噴射構成を示す部分正面図。
【図５】洗浄廃液加熱蒸発器を備えた本発明の平版印刷
版現像装置の一実施例の概略図。
版現像装置の一実施例の概略図。
20 現像部 30 プレリンス部 31 プレリンス槽（洗浄槽） 31Ａ 取り出し口 35Ａ，35Ｂ スプレーノズル 36 蒸気タンク 37 加熱器 37Ａ ヒータ 37Ｂ 螺旋パイプ 135Ａ，135Ｂ ニードルノズル 137 超音波発振水槽 137Ａ 液面計 235 ノズル 235Ａ，235Ｂ 吹き出し口 236 泡発生器 237 ポンプ 339 加熱容器 339 ヒータ
Claims (4)
- 【請求項１】 平版印刷版の版面に浸漬又は液供給機構
により処理液を接触させ、現像処理する現像装置におい
て、現像後の該印刷版に水を加熱し蒸気にして吹き付け
る洗浄機構を設けたことを特徴とする平版印刷版現像装
置。 - 【請求項２】 平版印刷版の版面に浸漬又は液供給機構
により処理液を接触させ、現像処理する現像装置におい
て、水をニードルノズル又は超音波により霧状にして前
記印刷版面に吹き付ける洗浄機構を設けたことを特徴と
する平版印刷版現像装置。 - 【請求項３】 平版印刷版の版面に浸漬又は液供給機構
により処理液を接触させ、現像処理する現像装置におい
て、洗浄液を小粒子の泡状物として前記印刷版面上に吹
き付ける洗浄機構を設けたことを特徴とする平版印刷版
現像装置。 - 【請求項４】 平版印刷版の版面に浸漬又は液供給機構
により処理液を接触させ、現像処理する現像装置におい
て、前記印刷版の洗浄に用いた洗浄液を、加熱蒸発させ
る廃液処理機構を設けたことを特徴とする平版印刷版現
像装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19972694A JPH0862856A (ja) | 1994-08-24 | 1994-08-24 | 平版印刷版現像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19972694A JPH0862856A (ja) | 1994-08-24 | 1994-08-24 | 平版印刷版現像装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0862856A true JPH0862856A (ja) | 1996-03-08 |
Family
ID=16412601
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19972694A Pending JPH0862856A (ja) | 1994-08-24 | 1994-08-24 | 平版印刷版現像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0862856A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1302341C (zh) * | 2002-03-04 | 2007-02-28 | 东京毅力科创株式会社 | 基片处理方法和基片处理装置 |
| CN103521491A (zh) * | 2013-09-25 | 2014-01-22 | 京东方科技集团股份有限公司 | 清洗液吸取装置和显影液冲洗设备 |
| CN111841152A (zh) * | 2020-07-03 | 2020-10-30 | 山东齐鲁化纺有限公司 | 一种组件环吹网清洗装置 |
-
1994
- 1994-08-24 JP JP19972694A patent/JPH0862856A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1302341C (zh) * | 2002-03-04 | 2007-02-28 | 东京毅力科创株式会社 | 基片处理方法和基片处理装置 |
| CN103521491A (zh) * | 2013-09-25 | 2014-01-22 | 京东方科技集团股份有限公司 | 清洗液吸取装置和显影液冲洗设备 |
| CN111841152A (zh) * | 2020-07-03 | 2020-10-30 | 山东齐鲁化纺有限公司 | 一种组件环吹网清洗装置 |
| CN111841152B (zh) * | 2020-07-03 | 2021-08-31 | 山东齐鲁化纺有限公司 | 一种组件环吹网清洗装置 |
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