JPH0862415A - カラーフィルターの製造方法 - Google Patents
カラーフィルターの製造方法Info
- Publication number
- JPH0862415A JPH0862415A JP19869094A JP19869094A JPH0862415A JP H0862415 A JPH0862415 A JP H0862415A JP 19869094 A JP19869094 A JP 19869094A JP 19869094 A JP19869094 A JP 19869094A JP H0862415 A JPH0862415 A JP H0862415A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- color filter
- transfer sheet
- alignment
- transfer
- base film
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】カラーフィルター転写時のアライメントマーク
の見にくさを解決することを目的とする。 【構成】低膨張性の金属シートを転写用ベースフィルム
とする転写シートに形成されたカラーフィルター層を、
ガラス等の透明基板に転写することでカラーフィルター
を透明基板上に形成するカラーフィルターの製造方法に
おいて、前記透明基板上の遮光性のアライメントマーク
と、前記転写シートのベースフィルム上に開孔した位置
合わせ用の穴とを透過光のもとで重ね合わせることによ
り位置合わせを行い、カラーフィルターを転写する。
の見にくさを解決することを目的とする。 【構成】低膨張性の金属シートを転写用ベースフィルム
とする転写シートに形成されたカラーフィルター層を、
ガラス等の透明基板に転写することでカラーフィルター
を透明基板上に形成するカラーフィルターの製造方法に
おいて、前記透明基板上の遮光性のアライメントマーク
と、前記転写シートのベースフィルム上に開孔した位置
合わせ用の穴とを透過光のもとで重ね合わせることによ
り位置合わせを行い、カラーフィルターを転写する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、カラー液晶表示装置に
内蔵されるカラーフィルターの製造方法に関する。
内蔵されるカラーフィルターの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】転写シートから透明基板上にカラーフィ
ルター層を転写形成するカラーフィルターの製造方法に
おいては、低膨張ガラス製の透明基板との熱膨張率の差
を少なくして寸法精度を高くするため、また、転写工程
の途中で加熱工程があることから、低膨張性の金属シー
トをベースフィルムとする。
ルター層を転写形成するカラーフィルターの製造方法に
おいては、低膨張ガラス製の透明基板との熱膨張率の差
を少なくして寸法精度を高くするため、また、転写工程
の途中で加熱工程があることから、低膨張性の金属シー
トをベースフィルムとする。
【０００３】かかる製造工程において転写シートとクロ
ムパターン付きガラス基板を貼り合わせて転写する際に
は、従来、図２に示すように金属シート４上にあるカラ
ーフィルター層５Ｒ（赤）、５Ｇ（緑）、５Ｂ（青）の
うち１色を用いた位置合わせマーク５Ａとガラス基板１
上にあるクロムを用いたアライメントマーク２ａを、反
射光を用いて顕微鏡で位置合わせをしていた。このた
め、クロムのアライメントマーク２ａが白く反射して見
にくく、時間がかかり非能率的であった。
ムパターン付きガラス基板を貼り合わせて転写する際に
は、従来、図２に示すように金属シート４上にあるカラ
ーフィルター層５Ｒ（赤）、５Ｇ（緑）、５Ｂ（青）の
うち１色を用いた位置合わせマーク５Ａとガラス基板１
上にあるクロムを用いたアライメントマーク２ａを、反
射光を用いて顕微鏡で位置合わせをしていた。このた
め、クロムのアライメントマーク２ａが白く反射して見
にくく、時間がかかり非能率的であった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、以上のよう
な、カラーフィルター転写時のアライメントマークの見
にくさを解決することを目的とする。
な、カラーフィルター転写時のアライメントマークの見
にくさを解決することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、ガラス等の透
明基板に、低膨張性の金属シートを転写用ベースフィル
ムとする転写シート上に形成されたカラーフィルター層
を転写することでカラーフィルターを透明基板上に形成
するカラーフィルターの製造方法において、前記透明基
板上の遮光性のアライメントマークと、前記転写シート
のベースフィルム上に開孔した位置合わせ用の穴とを透
過光のもとで重ね合わせることにより位置合わせを行
い、カラーフィルターを転写することを特徴とするカラ
ーフィルターの製造方法である。
明基板に、低膨張性の金属シートを転写用ベースフィル
ムとする転写シート上に形成されたカラーフィルター層
を転写することでカラーフィルターを透明基板上に形成
するカラーフィルターの製造方法において、前記透明基
板上の遮光性のアライメントマークと、前記転写シート
のベースフィルム上に開孔した位置合わせ用の穴とを透
過光のもとで重ね合わせることにより位置合わせを行
い、カラーフィルターを転写することを特徴とするカラ
ーフィルターの製造方法である。
【０００６】すなわち、具体的には、図３に示すように
金属シート４を、ブラックマトリクスパターン形成用ク
ロム版のパターン部を除いたアライメントマーク２ａ’
だけが形成されたクロム版７等を用いて公知のフォトエ
ッチング法により位置合わせ穴６を開孔する。なお図中
８は、感光性レジストである。このベースフィルムから
転写シートを作成し、これをガラス基板１上の遮光性の
アライメントマーク２ａと重ね合わせ、透過光により位
置合わせを行うことによりカラーフィルターを転写する
ことを特徴とするカラーフィルターの製造方法である。
金属シート４を、ブラックマトリクスパターン形成用ク
ロム版のパターン部を除いたアライメントマーク２ａ’
だけが形成されたクロム版７等を用いて公知のフォトエ
ッチング法により位置合わせ穴６を開孔する。なお図中
８は、感光性レジストである。このベースフィルムから
転写シートを作成し、これをガラス基板１上の遮光性の
アライメントマーク２ａと重ね合わせ、透過光により位
置合わせを行うことによりカラーフィルターを転写する
ことを特徴とするカラーフィルターの製造方法である。
【０００７】
【作用】上記の方法によれば、転写シートに開孔された
位置合わせ穴６からの透過光によりガラス基板１上の遮
光性のアライメントマーク２ａが見やすく、容易かつ迅
速に位置合わせができる。
位置合わせ穴６からの透過光によりガラス基板１上の遮
光性のアライメントマーク２ａが見やすく、容易かつ迅
速に位置合わせができる。
【０００８】
【実施例】以下に、本発明の一実施例を図面を用いて詳
しく説明する。ガラス等の透明基板に、低膨張性の金属
等のシートを転写用ベースフィルムとする転写シート上
に形成されたカラーフィルター層を転写することでカラ
ーフィルターを透明基板上に形成するカラーフィルター
の製造方法、いわゆる転写法においては、転写用ベース
フィルムとしては熱膨張率の低い金属及びプラスチック
類、例えばニッケル−鉄合金（４２合金）、アンバー
材、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネイト等
が用いられる。ここで金属をベースフィルムとして採用
する場合について従来発生していた転写時の不都合を解
消するため、本発明では図３に示すように金属シート４
に位置合わせ穴６を開孔する。
しく説明する。ガラス等の透明基板に、低膨張性の金属
等のシートを転写用ベースフィルムとする転写シート上
に形成されたカラーフィルター層を転写することでカラ
ーフィルターを透明基板上に形成するカラーフィルター
の製造方法、いわゆる転写法においては、転写用ベース
フィルムとしては熱膨張率の低い金属及びプラスチック
類、例えばニッケル−鉄合金（４２合金）、アンバー
材、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネイト等
が用いられる。ここで金属をベースフィルムとして採用
する場合について従来発生していた転写時の不都合を解
消するため、本発明では図３に示すように金属シート４
に位置合わせ穴６を開孔する。
【０００９】まず金属シート４上に紫外線硬化型の感光
性レジスト８を均一に塗布し、その上方から、図３
（Ａ）に示すようにブラックマトリクス用パターン部を
除いたアライメントマーク２ａ’だけが形成されたクロ
ム版７等を介してＵＶ露光し、図３（Ｂ）のように未露
光部を現像してから図３（Ｃ）の如くエッチング、剥膜
して位置合わせ穴６を開孔し、次いで図３（Ｄ）に示す
ように剥離層としてのポリビニルアルコール層９、感光
性樹脂に着色顔料を分散したカラーフィルター層５Ｒ、
５Ｇ、５Ｂを形成して転写シートを作成する。
性レジスト８を均一に塗布し、その上方から、図３
（Ａ）に示すようにブラックマトリクス用パターン部を
除いたアライメントマーク２ａ’だけが形成されたクロ
ム版７等を介してＵＶ露光し、図３（Ｂ）のように未露
光部を現像してから図３（Ｃ）の如くエッチング、剥膜
して位置合わせ穴６を開孔し、次いで図３（Ｄ）に示す
ように剥離層としてのポリビニルアルコール層９、感光
性樹脂に着色顔料を分散したカラーフィルター層５Ｒ、
５Ｇ、５Ｂを形成して転写シートを作成する。
【００１０】ここで、位置合わせ穴６の形状は、ブラッ
クマトリクス用クロム版と同じ形状のほか、図５の例よ
うな形が考えられる。
クマトリクス用クロム版と同じ形状のほか、図５の例よ
うな形が考えられる。
【００１１】一方、図１に示すように、被転写基板のガ
ラス基板１にはブラックマトリクス２及びアライメント
マーク２ａを例えばクロム膜のエッチングにより作成す
る。さらにこの上からＵＶ硬化型樹脂からなる接着剤３
を塗布してから、前記転写シートをカラーフィルター層
５Ｒ、５Ｇ、５Ｂと接着剤３が向き合うように近づけ
る。次いで透過式のアライメント装置、例えば実験段階
ならばライトテーブル、量産時はアライナーを用いて、
転写シート４に開孔された位置合わせ穴６からの透過光
によりアライメントマーク２ａと位置合わせ穴６の位置
合わせを行い、圧着、加熱し、紫外線を照射してカラー
フィルター層５Ｒ、５Ｇ、５Ｂを転写する。
ラス基板１にはブラックマトリクス２及びアライメント
マーク２ａを例えばクロム膜のエッチングにより作成す
る。さらにこの上からＵＶ硬化型樹脂からなる接着剤３
を塗布してから、前記転写シートをカラーフィルター層
５Ｒ、５Ｇ、５Ｂと接着剤３が向き合うように近づけ
る。次いで透過式のアライメント装置、例えば実験段階
ならばライトテーブル、量産時はアライナーを用いて、
転写シート４に開孔された位置合わせ穴６からの透過光
によりアライメントマーク２ａと位置合わせ穴６の位置
合わせを行い、圧着、加熱し、紫外線を照射してカラー
フィルター層５Ｒ、５Ｇ、５Ｂを転写する。
【００１２】このときの位置合わせの様子は図４のよう
になり、従来の反射光による場合と異なり、転写シート
４に開孔された位置合わせ穴６からの透過光によりガラ
ス基板１上のアライメントマーク２ａが見やすく、容易
に位置合わせができる。
になり、従来の反射光による場合と異なり、転写シート
４に開孔された位置合わせ穴６からの透過光によりガラ
ス基板１上のアライメントマーク２ａが見やすく、容易
に位置合わせができる。
【００１３】
【発明の効果】本発明の方法によれば、転写シートに開
孔された位置合わせ穴からの透過光によりアライメント
マークをすぐに見つけることができ、見やすく、迅速に
位置合わせができ、きわめて作業性が良いため生産性が
向上する。
孔された位置合わせ穴からの透過光によりアライメント
マークをすぐに見つけることができ、見やすく、迅速に
位置合わせができ、きわめて作業性が良いため生産性が
向上する。
【００１４】
【図１】本発明による、転写シートとクロムパターン付
きガラス基板の貼り合わせ工程の一実施例を示す説明図
である。
きガラス基板の貼り合わせ工程の一実施例を示す説明図
である。
【図２】従来の、転写シートとクロムパターン付きガラ
ス基板の貼り合わせ工程の一実施例を示す説明図であ
る。
ス基板の貼り合わせ工程の一実施例を示す説明図であ
る。
【図３】（Ａ）〜（Ｄ）は、本発明による転写シート作
成の一実施例を工程順に示す説明図である。
成の一実施例を工程順に示す説明図である。
【図４】本発明による転写シートとクロムパターン付き
ガラス基板の位置合わせ部の様子の一例を示す説明図で
ある。
ガラス基板の位置合わせ部の様子の一例を示す説明図で
ある。
【図５】（Ａ）〜（Ｃ）は、本発明による転写シート上
の位置合わせ穴６の開孔形状の複数の例を示す説明図で
ある。
の位置合わせ穴６の開孔形状の複数の例を示す説明図で
ある。
１ ガラス基板 ２ ブラックマトリクス ２ａ、２ａ’ アライメントマーク ３ 接着剤 ４ 金属シート ５Ｒ、５Ｇ、５Ｂ カラーフィルター層 ５Ａ 位置合わせマーク ６ 位置合わせ穴 ７ クロム版 ８ 感光性レジスト ９ ポリビニルアルコール層
Claims (1)
- 【請求項１】低膨張性の金属シートを転写用ベースフィ
ルムとする転写シートに形成されたカラーフィルター層
を、ガラス等の透明基板に転写することでカラーフィル
ターを透明基板上に形成するカラーフィルターの製造方
法において、前記透明基板上の遮光性のアライメントマ
ークと、前記転写シートのベースフィルム上に開孔した
位置合わせ用の穴とを透過光のもとで重ね合わせること
により位置合わせを行い、カラーフィルターを転写する
ことを特徴とするカラーフィルターの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19869094A JPH0862415A (ja) | 1994-08-23 | 1994-08-23 | カラーフィルターの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19869094A JPH0862415A (ja) | 1994-08-23 | 1994-08-23 | カラーフィルターの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0862415A true JPH0862415A (ja) | 1996-03-08 |
Family
ID=16395426
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19869094A Pending JPH0862415A (ja) | 1994-08-23 | 1994-08-23 | カラーフィルターの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0862415A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010177296A (ja) * | 2009-01-27 | 2010-08-12 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 半導体装置及び半導体装置実装基板 |
| KR20110018594A (ko) * | 2009-08-18 | 2011-02-24 | 엘지이노텍 주식회사 | 평판표시장치 |
| WO2022224438A1 (ja) * | 2021-04-23 | 2022-10-27 | 日本電子材料株式会社 | プローブカード及びプローブカード補修方法 |
-
1994
- 1994-08-23 JP JP19869094A patent/JPH0862415A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010177296A (ja) * | 2009-01-27 | 2010-08-12 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 半導体装置及び半導体装置実装基板 |
| KR20110018594A (ko) * | 2009-08-18 | 2011-02-24 | 엘지이노텍 주식회사 | 평판표시장치 |
| WO2022224438A1 (ja) * | 2021-04-23 | 2022-10-27 | 日本電子材料株式会社 | プローブカード及びプローブカード補修方法 |
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