JP2006267461A - 転写用凹版とこの転写用凹版を用いた半透過型カラーフィルタの作製方法、およびこの作製方法からなる半透過型カラーフィルタ - Google Patents

Abstract

【課題】半透過型液晶表示装置に使用されるカラーフィルタであって、一画素内で厚さが部分的に２段階に異なる構造のカラーフィルタを、高精度、低コストで作製する。
【解決手段】転写用凹版１として、全部の画素ａに対応する凹部２の厚さが一画素内で２段階に異なるものを作製し、カラーフィルタの色材インクを全部の画素ａに充填し、固化または硬化した状態でカラーフィルタ用ガラス基板へ転写する。その後、裏面露光法によって遮光部ｈを形成し、カラーフィルタとする。
【選択図】 図６−１

Description

本発明は、液晶表示装置等に使用される半透過型カラーフィルタを作製する際に使用する転写用凹版、この転写用凹版を使用して半透過型カラーフィルタを作製する方法、そして、この作製方法により得られた半透過型カラーフィルタに関するものである。さらに詳しくは、モバイル表示装置等の、所謂、半透過型液晶表示装置に使用される半透過型カラーフィルタを作製するための転写用凹版、この転写用凹版を用いて半透過型カラーフィルタを作製する方法、この作製方法からなる半透過型カラーフィルタに関するものである。

携帯電話、デジタルカメラ、ビデオカメラ等の持ち運び可能で、屋外でも使用されるカラー表示装置に使用される液晶表示装置は、例えば太陽光の下でも、また屋内の薄暗い場所でも同じ画質で見られることが好ましい。
そのための工夫として、図１に例示するように、一画素ａ内に、バックライト光ｂを透過させてその透過光ｃにより表示する部分と、太陽光等の入射外光ｄが一旦入射し、内部で反射した反射外光ｅを透過させて表示する部分とを形成する方法が一般的に使用されている。なお、図１に示した液晶表示装置において、ｆはカラーフィルタ、ｇはガラス基板であるカラーフィルタ用基板、ｈはカラーフィルタｆでの画素ａ間に位置する遮光部（ブラックマトリックス）、ｉはカラーフィルタｆ側に設けられた透明電極、ｊは液晶、ｋは透明電極ｉの対向電極であって入射外光ｄが反射する光反射電極、ｌは対向電極であってバックライト光ｂが透過する透明電極、ｍはＴＦＴアレイ部、ｎは対向電極側のガラス基板である。

上述した構造を「半透過型」液晶表示装置、あるいは「透過・反射型」液晶表示装置と呼ぶことが多い。本発明ではこの構造を有した液晶表示装置のことを半透過型液晶表示装置と称している。そして、この半透過型液晶表示装置に使用され、一画素内に、バックライト光が透過しその透過光を利用して表示する部分と、太陽光等の外光が一旦入射し、内部の対向電極側で反射した反射外光が透過し、その反射外光を利用して表示する部分とを有するカラーフィルタは半透過型カラーフィルタと呼ばれることが多い。本発明ではこの構造を有したカラーフィルタを半透過型カラーフィルタと称している。その平面構造の例が図２に示されていて、カラーフィルタの構成色である色材Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）が設けられた画素ａにおいて、透過光を利用する部分を透過部ｏとし、反射光を利用する部分を反射部ｐとして、その両者の平面形態を概略的に示した。
なお、このような半透過型カラーフィルタを使用した半透過型液晶表示装置においては、透過表示モードと反射表示モードでの視認できる明るさのバランスをとる方法として、各画素内の反射部と透過部の面積比率、透過比率およびバックライト光の強度を調整するようにしている。

この半透過型液晶表示装置では、半透過型カラーフィルタの色材層の透過部分は光が１回しか通過しないが、反射部分は２回通過するので、両部分の色材層の色濃度が同じであるとすると、反射部分は暗くなりすぎるとともに、透過部分と併用する場合に色調が異なってしまう。この問題点に関しては、例えば非特許文献１に、半透過型カラーフィルタの色材層の厚さを反射部分を１とすると透過部分を２とする工夫が紹介されている。この工夫によって反射部と透過部に同一のカラーフィルタ用色材を使用しても、色濃度が反射時と透過時で同じになる。この場合、厚さが丁度１：２でなくてもよい。例えば、特許文献２では、各色で厚さの比率に幅を持たせている。また、特許文献３では、各色について色材の厚さの比を規定している。
色材層において透過部と反射部の厚さを変えている構造例を図３に示す。図３（ａ），（ｂ），（ｃ）は単純に色材層ｑの厚さを変えているが、図３（ｄ）は、先ず、反射部ｐを形成する部分に透明材料ｒを配置し、その後、色材で前記透明材料ｒを覆うようにしたパターンを形成している。
このように、１画素内で色材層の厚さを変えているカラーフィルタをマルチ厚カラーフィルタと称されることがある。

上述した半透過型カラーフィルタの色材層の従来製法はフォトリソグラフ法である。しかし、フォトリソグラフ法は工程が長く高コストであるので、フォトリソグラフ法で形成する方法であっても低コスト化を目指していくつかの方法が開示され、実施されているものもある。
第一の方法は、Ｒ，Ｇ，Ｂの３色の露光・現像の各パターンニング工程を２倍の６回（３色×２回）行なう方法である。第二の方法は、非特許文献１のＰ４０４、特許文献１に記載されているように先ず反射部に透明な層を形成し、次にＲ，Ｇ，Ｂ層を形成する方法であり、パターンニング工程が４回に減少する。類似した方法が特許文献２に開示されている。第三の方法は特許文献３に開示されている方法であって、露光方法を工夫して、部分的に露光量を調整する方法であり、パターンニング工程がＲ，Ｇ，Ｂ各１回、計３回になる。しかし、いずれの方法も、フォトリソ工程を使用するので、工程が複雑で、カラーフィルタの低コスト化の障害であった。

さらに、透過部と反射部の厚さの比率はある程度の任意性があるが、少なくとも一つの表示装置内でばらつくことは好ましくなく、所定の厚さ比率の範囲内に納まることが好ましい。従来のフォトリソグラフ法による形成では、毎回の塗布条件の変動による厚さの変動があった。そのため、変動をもっと減少することが求められていた。例えば特許文献１に記載されている方法は、反射部と透過部の厚さを変える手段が、インクの流動性に依存した方法であって、粘度のバラツキや塗布時の条件変動で厚さが異なることが問題であった。この点に関して図３（ｄ）の構造は色材インクの塗布を１回とし、しかも表面が平坦であるようにしているので、色材層の厚さが、色材インクの流動性に依存することが少なく好適である。また、特許文献３は、色材インクの塗布を一回とし、異なった厚さを得る方法として、露光量を変える方法を開示している。この方法も厚さの変動を少なく抑える方法として好適である。しかし、反射部については硬化不完全の状態の色材インクを現像するので、所定の膜厚を得ることができる露光・現像条件を維持することが難しく、厚さのバラツキが大であった。

そこで本発明者らは、図３（ａ）〜（ｃ）に例示する形状のカラーフィルタの色材層を厚さの変動をさらに少なくすると共に低コストで製造する方法に検討した。

カラーフィルタの色材層の低コスト製造法として種々の方法が提案、検討されているが、転写用凹版を使用する方法もその一つの方法である。その方法は基本的には、転写用凹版の凹部にカラーフィルタ用色材インクを充填して、カラーフィルタ用基板と合わせ、カラーフィルタ用色材インクを固化または硬化させた後に両者を引き剥がし、固化または硬化したカラーフィルタ用色材インクをカラーフィルタ用基板へ転写する方法によってカラーフィルタの色材層を形成する方法である。また、この方法を改良した方法で、転写用凹版の凹部にカラーフィルタ用色材インクを充填し、該色材インクが固化または硬化した後に、接着剤を介して転写用凹版の凹部内のインクをカラーフィルタ用基板へ転写する方法が知られている。たとえば、特許文献４、５、６、７、８、９に開示されている方法は、上記の基本的方法、または改良方法の範疇の方法である。
しかし、転写用凹版を使用して、色材層がマルチ厚である半透過型カラーフィルタであって、遮光部付きの半透過型カラーフィルタを形成する方法は知られていない。
「液晶」２００２年第６巻第４号Ｐ４０４ 特開２０００−２６７０８１号公報 特開２００１−１６６２８９号公報 特開２００３−４９３３号公報 特開平４−２２１６７４号公報 特開平６−３１７７７４号公報 特開平７−５３２１号公報 特開平７−２３９４１０号公報 特開平１０−６８８１０号公報 特開平１１−２０２１１５号公報

本発明の第一の課題は、転写用凹版を用いて、マルチ厚の半透過型カラーフィルタの色材層を作製するための転写用凹版を提供することであり、第二の課題は、さらにマルチ厚の半透過型カラーフィルタを作製する方法を提供することであり、第三の課題は、第二の課題で作製したカラーフィルタに対して遮光部を形成して遮光部付きマルチ厚の半透過型カラーフィルタを提供することである。

（請求項１）
本発明は上記の第一の課題を達成すべくなされたものであり、一画素内で色材層の厚さが部分的に異なる半透過型カラーフィルタの作製に際して、充填されたカラーフィルタ用色材インクがカラーフィルタ用基板に転写可能にした転写用凹版であって、半透過型カラーフィルタの各画素に対応する凹部それぞれは、該凹部の深さが部分的に２段階になっていることを特徴とする転写用凹版を提供することによって、上記第一の課題を達成するものである。
（請求項２）
上記発明において、上記転写用凹版はカラーフィルタの全構成色の画素に対応する凹部を有するものとすることが可能である。

（請求項３）
もう一つの発明は上記の第二の課題を達成すべくなされたものであり、バックライト光と外光とを選択的に用いて画像表示を行なう半透過型液晶表示装置の半透過型カラーフィルタのうち、各画素内でカラーフィルタ用色材インクの層の厚さが部分的に異なる半透過型カラーフィルタの作製方法において、少なくとも上記転写用凹版の全ての凹部に対応するカラーフィルタ用色材インクを充填する工程と、カラーフィルタ用色材インクを充填した前記転写用凹版とカラーフィルタ用基板とを合わせた状態で、前記カラーフィルタ用色材インクを固化または硬化する工程と、前記転写用凹版をカラーフィルタ基板から引き離して、固化または硬化したカラーフィルタ用色材インクをカラーフィルタ用基板へ転写する工程とを有し、各画素それぞれでカラーフィルタ用色材インクの層の厚さを異ならせることを特徴とする半透過型カラーフィルタの製造方法を提供して、上記第二の課題を達成するものである。

（請求項４）
さらにもう一つの発明は第二の課題を達成する別の方法であって、バックライト光と外光とを選択的に用いて画像表示を行なう半透過型液晶表示装置の半透過型カラーフィルタのうち、各画素内でカラーフィルタ用色材インクの層の厚さが異なる半透過型カラーフィルタの作製方法において、少なくとも請求項１または２に記載の転写用凹版の全ての凹部に対応するカラーフィルタ用色材インクを充填する工程と、前記カラーフィルタ用色材インクを固化または硬化する工程と、前記転写用凹版とカラーフィルタ用基板との間に硬化性接着剤を挟み込んでこの硬化性接着剤を硬化する工程と、前記転写用凹版をカラーフィルタ用基板から引き離して、固化または硬化したカラーフィルタ用色材インクを硬化した硬化性接着剤と共にカラーフィルタ用基板へ転写する工程とを有し、各画素それぞれでカラーフィルタ用色材インクの層の厚さを異ならせることを特徴とする半透過型カラーフィルタの作製方法を提供して。上記第二の課題を達成するものである。
（請求項５）
上記発明において、上記カラーフィルタの全構成色に対応する凹部に、カラーフィルタ用色材インクを、インクジェット法とノズル法との少なくとも何れかにより充填することが可能である。
（請求項６）
上記発明において、転写用凹版が可撓性を有するものであることが可能である。
（請求項７）
さらにもう一つの発明は本発明は上記の第三の課題を達成すべくなされたものであり、上記半透過型カラーフィルタの作製方法におけるカラーフィルタ用色材インク転写後のカラーフィルタに対して、裏面露光方法によって遮光部を形成することを特徴とする半透過型カラーフィルタの作製方法を提供することによって、上記第三の課題を解消するものである。
（請求項８）
さらにもう一つの発明は本発明は上記の第三の課題を達成すべくなされたものであり、上記半透過型カラーフィルタの作製方法により作製された半透過型カラーフィルタを提供することによって、上記第三の課題を解消するものである。

（請求項１の効果）
請求項１の発明によれば、転写用凹版が、一画素内に対応する凹部内に深さが異なる部分を設けた構造であるので、この転写用凹版を用いた転写手法による被転写体であるカラーフィルタ用基板に色材層を形成すれば、厚さが一画素内で部分的に高精度で異なる色材層を形成することが可能となる。
（請求項２の効果）
請求項２の発明により、半透過型カラーフィルタの全構成色に対応する凹部にカラーフィルタ用色材インクを充填してから転写することが可能となり、１色ごとにカラーフィルタ用基板へ転写するよりも色材相互の位置精度が向上するとともに、工程が大幅に短縮される。
（請求項３の効果）
請求項３の発明によれば、上記転写用凹版を使用して、一画素内で厚さが異なる半透過型カラーフィルタの色材層を形成することが可能になる。
（請求項４の効果）
請求項４の発明によって、上記転写用凹版を使用して、一画素内で厚さが異なる半透過型カラーフィルタの色材層を形成することが可能になる。
（請求項５の効果）
請求項５の発明によって、転写用凹版の半硬化型カラーフィルタの全構成色に対応する凹部にカラーフィルタ用色材インクの高精度充填が可能となる。
（請求項６の効果）
請求項６の発明によって、可撓性を有する転写用凹版を使用するので、転写工程が安定、確実、容易になり、色材層の欠落やクラックの発生がなくなる。
（請求項７の効果）
請求項７の発明によれば、裏面露光の方法によって遮光部を形成してカラーフィルタを形成するので、遮光部付きのカラーフィルタを作製することができるようになった。
上述したフォトリソグラフ法では、反射部と透過部の厚さを制御することが、色材の塗布厚さと現像条件によって得られる色材層の厚さが変化するので、塗布場所ムラ、毎回の塗布ムラ、ロットムラ等があるため難しかった。しかし、本発明の方法によれば、充填量だけによって、厚さが決まるので、高精度に制御することができるようになった。
また本発明の方法では、各構成色ごと透過部と反射部の厚さを変えることが可能であり、各構成色において透過部と反射部の面積比率を変えることも、フォトリソグラフ法と同様に可能である。
（請求項８の効果）
請求項８の発明によれば、一画素内で色材層の厚さが異なるマルチ厚の高精度のカラーフィルタであるため、半透過型液晶表示装置に用いることで良好で高精細な表示が行える。

つぎに本発明を図４から図６に示す例に基づいて詳細に説明する。
図４（ａ）は本発明における転写用凹版１の構成を有効版面での断面で概略的に表していて、この転写用凹版１は、図３（ｃ）に示されている一画素ａ内において反射部ｐを中央とし、透過部ｏをその周囲とした形態の半透過型カラーフィルタを得るための凹版である。
転写用凹版１では、版面である上面に半透過型カラーフィルタの画素ａに対応する配置にして凹部２を有していて、この凹部２を有した構成とするために、まず支持板３の上面全面に底部離型材４が層にして積層され、その底部離型材４の上面に、画素ａでの反射部ｐと画素ａの間の遮光部ｈ（図３（ｃ）参照）とに対応した配置パターンで第一凸部形成材５が積層され、そして遮光部ｈに対応した配置パターンの前記第一凸部形成材５の上面に、同じく遮光部ｈに対応した配置パターンで第二凸部形成材６が積層されている。
これによって転写用凹版１では、遮光部ｈをカラーフィルタ用基板側で形成できるようにするための遮光部形成部Ｘがその遮光部ｈに対応した配置パターンで設けられ、前述したようにこの遮光部形成部Ｘが第一凸部形成材５と第二凸部形成材６との積層にて形成されている。
そして、この遮光部形成部Ｘで囲まれてなる凹部２にあっては、画素ａでの色材層ｑの層厚が大きい透過部ｏに対応して凹部内深さが深い透過部形成部Ｙが遮光部形成部Ｘに沿う配置パターンで設けられ、前述したように凸部形成材を配置させずに底部離型材４が現れるようにして形成されている。
さらに、色材層ｑの層厚が透過部ｏより小さい反射部ｐに対応して、凹部内深さが上記透過部形成部Ｙの次に深い反射部形成部Ｚが、その透過部形成部Ｙに囲まれる部分で設けられており、前述したように第一凸部形成材５のみを配置して形成されている（透過部形成部凹部内深さ＞反射部形成部凹部内深さ）。
このように凹部２の深さが画素ａの透過部ｏと反射部ｐとに対応して部分的に二段階にして、凹部２内に透過部形成部Ｙと反射部形成部Ｚとを設けている。

上記底部離型材４は液状インク受容性があり、かつ硬化インク離型性を有するものであり、これによって凹部２の底部離型材４が表出している部分では、液状のインクに対して受容性であり、インクが硬化した場合にはその硬化インクが簡単に離れるように離型性を有する。
透過部ｏの配置パターンにある第一凸部形成材５の上面と側面、そして遮光部ｐの配置パターンにある第一、第二凹部形成材５、６の側面には、図示していない凸部表面離型層が設けられていて、硬化インクが簡単に離れるように離型性が賦与されている。実際には、カラーフィルタ用色材インクに使用する樹脂成分との組み合わせによって、材料を選択する必要がある。カラーフィルタ用色材インクの樹脂成分にはアクリル樹脂系が多くの場合に使用されるが、ＵＶ硬化したアクリル系樹脂は以下に述べる凸部形成材例では、凸部表面離型層を格別形成しなくても離型性を得ることができる。凸部表面離型層が必要な場合には、通常のアクリル樹脂系の感光性のカラーフィルタ用色材インクの樹脂分を凸部形成材の表面に薄く塗布して、２３０℃で２０〜３０分程度加熱処理すれば、凸部表面離型層になる。
また、第二凸部形成材６の上面には、図示していない撥インク層が設けられていて、カラーフィルタ用色材インクを凹部２に充填したとき、凹部２の開口上縁から周囲に広がらないようにした撥インク性が賦与されている。

上記支持板３は可撓性であることが、後に述べる転写の工程等において好ましい。すなわち、可撓性であることの利点は、第一にこの転写用凹版とカラーフィルタ用基板を引き剥がす際、端部より徐々に引き剥がすことができる点であり、第二に接着剤を挟み込む際にも端部より徐々に挟み込むことが可能になり、気泡の混入を少なくすることができる点である。第三に、カラーフィルタ用基板やカラーフィルタ用基板を支持している定盤の多少の反り、うねりにも追従することができる点である。支持板３として可撓性のあるものを使用し、その上の凹部２の形成材料（凸部形成材）も可撓性の材料を使用して、全体として可撓性であるようにする。

可撓性の支持板３としては、熱伸縮が寸法精度に影響するので、熱膨張がほとんどない石英ガラス、インバー合金がよい。また、カラーフィルタ用ガラス基板そのもの、およびそれと同一組成のもの、および熱膨張率がほぼ同じ４２％鉄−ニッケル合金の板も好都合である。その厚さは、サイズにもよるが、石英ガラスやカラーフィルタ用ガラス基板と同一材では０．７〜１０ｍｍ程度が好ましい。中でも１．５〜５ｍｍの厚さが、５５０×６５０ｍｍ〜１５００×１８００ｍｍの基板に対してカラーフィルタを形成する際には好ましく、大サイズになるほど厚いものが好ましい。一方、インバー合金や４２％鉄−ニッケル合金では、０．２〜２ｍｍ程度の厚さが強度と取り扱いの便の面から好ましい。なお、表面の平坦度が低い場合には研磨して平坦度を向上させたものを使用する。

（Ａ）
凹部２の底においてインク反発性が強すぎると、インクを充填することが難しくなり、逆にインク受容性が強すぎる場合には、硬化したインクの離型性が低くなって転写性が低下する。よって、底部離型材４の材料は、インクが液状であるときにはインクがはじかれることなく、インクが感光硬化した時には、インク離型性である材料であることが必要である。具体的な材料としては、ポリエチエン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、メラミン樹脂、アクリル・メラミン樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミド樹脂、ポリビニルアルコール樹脂、ポリシクロオレフィン樹脂、およびこれらを変性した樹脂、例えば塩素化ポリエチレン樹脂、塩素化ポリポロピレン樹脂およびそれらを混合した樹脂系がある。成膜方法としては、溶液塗布乾燥・溶着、ラミネート等の通常のプラスチックの成膜方法を使用することができる。また、ニッケル、クロム、チタン等の離型性のある酸化膜を形成する金属、および窒化クロム、窒化チタン、窒化鉄、窒化アルミ等の金属窒化物も使用することができる。成膜方法は、メッキ、蒸着、反応性スパッターリング等の方法を使用する。
底面離型材４の厚さには格別の制限はないが、支持板３が金属板の場合で表面の平坦度が不足している場合には、その凸凹を埋めて、平坦な面になる厚さがよい。また、可撓性が損なわれない厚さである必要がある。通常は１〜２００μｍでよい。さらに、底面離型材４の厚さはあまり制限がないが、厚すぎると変形で寸法精度が不足する場合がある。通常は１０〜２０００μｍが好ましい。樹脂系の場合、支持板３と接着するには、接着剤を使用したり、加熱溶融接着したりする。

上述した実施の形態において転写用凹版１は支持板３の上面に底部離型材４を層にして積層し、その上に第一凸部形成材５、第二凸部形成材６を設けて凹部２を形成したが、転写用凹版１の積層構成はこの例に限定されるものではない。
図４（ｂ）はその他の例を示していて、この図４（ｂ）に示されているように支持板３の上面に直接第一凸部形成材５を設けるようにしてもよい。この例の場合、第一凸部形成材５と第二凸部形成材６の材質は同じであっても、異なっていてもよい。そして図４（ｂ）においても、凸部表面離型層と凸部上面の撥インク層とは図示されていない。また、この例では底面離型材４が設けられていない。そこで支持板３が凸部表面離型層の作用を兼用するようにしたり、凹部２の最底面として現れる支持板３に凸部表面離型層を設けるようにすることもできる。
図４（ｃ）も変形の一種であり、この例に示すように底部離型材４に第一、第二凸部形成材５、６が一体となった構成としてもよい。この図４（ｃ）においても凸部表面離型層と凸部上面の撥インク層とは図示されていない。
図４（ｄ）も変形の一種であり、支持板３と凹部２を形成する部材とが一体のものとすることも可能である。この図４（ｄ）においても凸部表面離型層と凸部上面の撥インク層とは図示されていない。
いずれの転写用凹版１でも、遮光部ｈに対応する遮光部形成部Ｘで囲みで凹部２が形成され、その凹部２の深さを部分的に二段階にして透過部形成部Ｙと反射部形成部Ｚとが設けられている。

図４（ａ）の構造の転写用凹版１の形成方法を、図５に基づいて以下に述べる。なお、図４（ａ）で示された転写用凹版１では遮光部ｈを形成するための遮光部形成部Ｘは第一凸部形成材５と第二凸部形成材６とが積層した構成として説明しているが、以下の形成方法ではモールド法により一体の樹脂として形成している。また、凹部２の形成方法、すなわち第一凸部形成材５、第二凸部形成材６の形成方法には高位置精度が必要なので、実際的にはフォトリソグラフ法が好ましい。その場合、図４（ａ）の構造の転写用凹版１の凹部２の形成材料は感光性樹脂であり、その場合の凹部２の形成方法については実施例１で述べる。
（母型の作製）
図５（ａ）に示すように、まず、母型を作成するために、ガラス基板７としてカラーフィルタ用ガラス板、または石英ガラス板を使用し、その上に感光硬化性の感光性樹脂８をスロットコータ等で塗布する。その乾燥厚さは、図４（ａ）において示すように透過部ｏに対応する部分と反射部ｐに対応する部分との差の厚さとなるようにする。
つぎに、図５（ｂ）（ｃ）に示すように、フォトマスクとして、カラーフィルタの反射部ｐに対応する部分が光透過部であるもの９を使用して、ＵＶ光２７で露光し、現像する。これによって反射部形成のための凸部１０が得られる。
つぎに図５（ｄ）に示すように、画素ａの間の遮光層ｈとなる部分を形成するための凸部分を得るために、光硬化性の感光性樹脂１１を、乾燥厚さが半透過型カラーフィルタの遮光部ｈの仕様厚さになるように塗布する。
つぎに図５（ｅ）（ｆ）に示すように、フォトマスクとして遮光部が、画素ａの透過部ｏと反射部ｐとに対応しているもの１２を使用して、ＵＶ光２７で露光し、現像する。これにより遮光部形成のための凸部１３が得られる。必要に応じてポストベークして母型１４が完成する。

（電鋳法による母型からの電鋳型（転写型）の作製）
つぎに図５（ｇ）に示すように、上記母型１４を使用して電鋳型（転写型）を作成するため、まず母型１４を電鋳する際の定法を使用して導電性を付与し、次にニッケル無電解メッキ、またはニッケル電気メッキ１５を厚さ５０〜５００μｍ程度行なう。
つぎに図５（ｈ）に示すように、メッキ面を研磨して平坦にしたのち、裏打ち板１６として、熱膨張対策のため、インバー材、４２％鉄−ニッケル合金材、石英ガラス、カラーフィルタ用ガラス基板と同一材から選択した板を接着剤で貼り付ける。
つぎに図５（ｉ）に示すように、母型１４と裏打ち板１６付きのニッケルメッキ膜を引き剥がして電鋳型１７が完成する。

（モールド法による電鋳型（転写型）からの凹版の作製）
つぎに図５（ｊ）に示すように、上記電鋳型１７を使用してモールド型を作成するため、電鋳型１７に樹脂１８を流し込み、固化または硬化させた後に、裏打ちに支持板３としてインバー材、４２％鉄−ニッケル合金材、石英ガラス、カラーフィルタ用ガラス基板と同一材から選択した板を接着剤で貼り付ける。この後、電鋳型１６から引きはがすと樹脂１８のモールド型１９が得られる。
つぎに図５（ｋ）に示すように、樹脂のモールド型１９において遮光部形成部Ｘとする凸部分の上面に撥インク性表面加工２０を施し、凹部２の内面に必要に応じて固化または硬化インクに対する離型性付与の表面加工２１を施して、モールド法による、遮光部形成部Ｘ、透過部形成部Ｙ、反射部形成部Ｚを有した転写用凹版１が完成する。モールド型１９に使用する樹脂１８としては、上記（Ａ）に記載した樹脂を使用する。溶剤溶解性がない樹脂については加熱溶融したものを流し込む。支持板３は溶融した状態で貼り付けてもよいし、冷却固化した後に貼り付けてもよい。

以上の製法において、耐久性や離型性を持たせることができれば、母型１４や電鋳型１７を転写用凹版として使用することができる。
例えば、母型１４を転写用凹版とするとき、母型１４の構造において耐久性や離型性を得るために、凸部形成材として感光性がないもの、例えば（Ａ）に記載した樹脂を使用する場合には、いわゆるリフトオフグラフ法で凸部を作成する。
また、電鋳型１７を転写用凹版とすれば、図４（ｄ）で示す一体型の転写用凹版１となる。この形態の転写用凹版１は、電鋳型１７を作成する際にメッキする金属としてインバー組成または４２％鉄−ニッケル合金をメッキすることによって得ることができる。なお、メッキの場合には、合金組成を一定にすることが難しいが、完全にインバーまたは４２％鉄−ニッケル合金に一致しなくても、実質的に寸法精度が仕様値内におさまる熱膨張率のものであればよい。

図５（ｋ）で示した転写用凹版１において、遮光部ｈを得るための遮光部形成部Ｘの上面に設ける凸部表面材（撥インク層を形成するためのもの）には、液状インク反撥性であり、かつ接着剤に接着しない層を形成する場合にはシリコーン樹脂、フッ素樹脂を使用する。シリコーン樹脂としては、離型用シリコーン、剥離紙用シリコーン、型取り用シリコーンが好ましい。たとえば、東芝シリコーン社製のＹＳＲ６２０９，ＴＳＭ６２８１、ＴＰＲ６５００，ＴＳＥ３５４０等がある。また、フッ素樹脂としては、例えば住友３Ｍ社製のＮｏｖｅｃＥＧＣ−１７２０、旭硝子社製のルミフロンがある。
上述した液状の原材料を塗布し、硬化して遮光部形成部Ｘの上面に層を形成する。層の厚さは、後工程において接着剤を介して転写する工程があるが、その際接着剤が入る部分まであれば、遮光部形成部Ｘの側面に接着剤離型性がなくてもよい。一方、遮光部形成部Ｘの形成材が、例えば、ポリエチレン等の接着剤離型性があるものの場合には、表面の撥インク性を得ることができる厚さであればよく、例えば０．１μｍであってもよい。

（色材層の形成）
カラーフィルタの色材層の形成に係る基本例を図６に基づいて述べる。
図６（ａ）は、転写用凹版１の構造の一例を示していて、支持板３と凹部形成材２２よりなる。凹部２の形状は、各色の画素ａを区切る遮光部ｈを得るための高い遮光部形成Ｘの間で、各画素ａ内の透過部ｏを得るための一番低い透過部形成部Ｙを周囲に配置し、前記透過部形成部Ｙに囲まれた状態にして、各画素ａ内の反射部ｐを得るために前記遮光部形成部Ｘより低く、前記透過部形成部Ｙより高い反射部形成部Ｚを配置したものとなる。凹部形成材２２には、図４に示すように各種の構成があるが、凹部２を形成するための構成を略示図的に表現している。

各構成色の画素ａに対応する凹部２にカラーフィルタ用色材インクを充填・硬化したとき、反射部形成部Ｚでは透過部形成部Ｙより色材インクが薄く充填・硬化されたものとなる。その厚さの差が、半透過型カラーフィルタの画素ａでの透過部ｏと反射部ｐの色材層の厚さの差となる。なお、図６（ａ）では、３色の画素ａ（Ｒ、Ｇ、Ｂ）の凹部２の深さが同じように表示されているが、各色材インクの色濃度に差がある場合などの理由で、深さ（厚さ）を色毎に変える必要がある時は、転写用凹版１をその要求に合った深さを持つようにする必要がある。実際には、工程が長くなるがそのような転写用凹版１を作製することが可能である。

（色材インクのインキング）
図６（ｂ）に示すように、カラーフィルタ用色材インク２３を３色（Ｒ、Ｇ、Ｂ）全部に充填する。色材インクを充填する方法はインクジェットインキングだけでなく、３色の色材インク２３を所定の画素部分に所定量注入することができる方法であれば、方法は問わない。例えば、ノズルインキング、スクリーン印刷でもよい。なお、遮光部形成部Ｘの表面を撥インク性として、色材インク２３が凹部２の表面高さ以上に盛られても溢れないようにしている。撥インクの機能が弱い場合には、インキングを何回かに分割する。色材インクの溶剤が揮発して体積が減少してから、溢れ出ない程度に再度色材インクを供給する。

（溶剤揮発、色材インク固化、硬化）
図６（ｃ）に示すように、色材インク２３の溶剤を揮発させて、色材インク２３を固化させる。さらに色材インクとして硬化性のあるものを使用して、硬化させてもよい。その方が、後の転写工程が安定する。中でもＵＶ硬化型は硬化時間が短く、作業性がよいので好ましい。しかし、二液硬化型や加熱硬化型など、その他の硬化型であってもよい。
転写する前の上面はできるだけ平坦であることが好ましい。平坦にするために、半硬化の状態のときにプレスしてもよい。プレスの方法は、オフセット印刷法でカラーフィルタを形成する場合に使用される方法、すなわちシリコーンゴムやフッ素樹脂などの色材インクが付着しない材質のフィルムをのせて、その上から加圧ロールでプレスする方法である。加圧ロールの表面がシリコーンゴム、フッ素樹脂として、この加圧ロールで直接プレスするようにしてもよい。

（カラーフィルタ用基板重ね、接着剤挟み込み）
図６（ｄ）に示すように、カラーフィルタ用基板２４と転写用凹版１の間に接着剤２５を挟み込んで、カラーフィルタ用基板２４側から加圧する加圧ローラ２６の移動により前記接着剤２５を広げて、カラーフィルタ用基板２４と転写用凹版１を重ね合わせる。
接着剤２５については後に述べるが、無溶剤のＵＶ硬化型接着剤が好ましい。しかし、他のものも使用することができる。接着剤なしで転写することができればそれでもよい。例えば、転写用凹版１として、凹部形成材２２に多少のクッション性があるものを使用し、色材インクとしてＵＶ硬化接着性を賦与したものを用いる方法がある。具体的には特許第１６３８７５４号に記載されている構造の凹版を使用することができる。この場合、凹版の凹部の深さは一段であるが、本発明の２段の深さをもった凹版を上述の方法を応用して作成することができる。

（接着剤硬化）
図６（ｅ）に示すように、カラーフィルタ用基板２４側からＵＶ光２７を照射して、接着剤２５を硬化させる。色材インク２３にＵＶ硬化型のものを使用した場合、図６（ｃ）で示された工程で硬化しない場合や硬化が不完全な場合は、この工程で色材インクも硬化する。
なお、色材インク２３が硬化しない状態でカラーフィルタ用基板２４を重ね合わせる場合には、接着剤が事前に塗布されたカラーフィルタ用基板を重ねるようにする。
（引き剥がし）
図６（ｆ）に示すように、色材インク２３が固化、硬化し接着剤２５が硬化した後、カラーフィルタ用基板２４と転写用凹版１を引き剥がす。凹版２内で硬化した色材インク２３は、接着剤２５を介在した状態で転写用凹版１からカラーフィルタ用基板２４へ転写する。離型性よく転写するためには、転写用凹版１の表面と色材インク２３の組成について制約があるが、後に述べる。
なお、引き剥がしはカラーフィルタ用基板２４を固定し、転写用凹版１を端部から持ち上げるようにして剥離することが、カラーフィルタの色材層パターンの損傷、変形がなく、また一方を曲げて剥離する場合、曲げた方から剥離しやすいので、好ましい。また、色材インクを充填してから、引き剥がし直前まで、転写用凹版１はなるべく定盤等に固定して曲げないようにすることが、同様の理由で好ましい。

（ブラックマトリックス材塗布）
図６（ｇ）に示すように、いわゆる裏面露光法によって遮光部ｈ（ブラックマトリックス（ＢＭ））を形成するために、ブラックマトリックス材（ＢＭ材）２８を一面に塗布する。
（ブランクマトリックス材の硬化）
図６（ｈ）に示すように、フォトマスク２９を用いて裏面よりＵＶ光２７を照射して、ブラックマトリックス材２８を硬化する。フォトマスクは、ブラックマトリックス材が不要な部分で硬化しないようにするためのものである。なお、反射部に相当する色材インク部の遮光性が不足して、その上のブラックマトリックス材が硬化してしまうときは、フォトマスクとして反射部に相当する部分も遮光部としたものを用いる。
（現像）
図６（ｉ）に示すように、現像液３０で未硬化のブラックマトリックス材を現像除去する。
（完成）
図６（ｊ）に示すように、乾燥し、通常は所定の熱処理を行なう。これによって画素ａに透過部ｏと反射部ｐとがある半透過型カラーフィルタ３１が完成する。

（接着剤）
図６（ｄ）の工程、すなわちカラーフィルタ用基板へ転写する際に使用する接着剤としては、まず透明であって、色材インクのカラーフィルタ特性を損なわないものであることが必要である。また、カラーフィルタの耐久性を維持することができるものであることが必要である。さらに、無溶剤型が好ましく、その中で加熱溶融型のものも使用することができるが、最初液状であって、硬化の方法がＵＶ硬化、熱硬化、２液硬化するものがロールラミネート法によって容易に気泡の混入を防ぐことができるので好ましい。中でも紫外線（ＵＶ）硬化、電子線（ＥＢ）硬化するものが、ラミネート直後に短時間で硬化することができるので一番好ましい。
実際の材料の組成としてはアクリル系の樹脂が好ましい。中でも、使用する光硬化型のカラーフィルタ用色材インクから色材成分を除いた成分、またはそれに近い成分にすることが、相性の点で好ましい。しかし、通常のカラーフィルタ用色材インクは溶剤を含み、溶剤が揮発してから貼り合わせる必要があるが、溶剤が揮発すると、固体状になり接着性を示さない場合が多い。その場合は、加熱して接着性が発現するものは、加熱接着する。加熱しても接着性を示さない場合には、同一組成であっても樹脂成分を低分子量のものに変更するか、あるいは低分子成分の量を増やして、ガラス転移点を室温以下にする。そのような組成変更によってガラス基板への接着力が不足する場合には、官能基を含む成分の割合を増やして接着力を向上させる。
また、カラーフィルタの製造方法のうち転写法に使用されている接着剤を使用することができる。例えば特開２０００−１３６３５４号公報に記載されている接着剤を使用することができる。

（ブラックマトリックス材）
裏面露光法による遮光部ｈ（ブラックマトリックスＢＭ）の形成方法としては、通常のフォトリソグラフ法で形成した三色パターンを有するカラーフィルタに使用するブラックマトリックス用の材料、方法を使用することができる。例えば特開２００３−１５２９４号公報に記載されている方法、材料を使用することができる。

以上のようにして作製され半透過型カラーフィルタを半透過型液晶表示装置に組み込むためには、さらにこの半透過型カラーフィルタに透明電極層の形成や、配向膜の形成等の工程が必要である。

（実施例１）
図４（ａ）に示した転写用凹版１を、フォトリソグラフ法を使用して以下のようにして作製した。
まず、支持板３としてカラーフィルタ用のガラス板（コーニング社イーグル２０００）の厚さ０．７ｍｍ、サイズ６８０×８８０ｍｍを使用し、その上にカラーフィルタの色材層用の青色のレジストを用い、通常のカラーフィルタの色材層の製造ラインで、図４（ａ）の底部離型材４として厚さ２μｍの全面層を形成し、全面を露光硬化した。次に、同様にカラーフィルタの青色のレジストを使用し、前記全面青色レジスト層の上にフォトリソグラフ法で所定の第一凸部形成材５を厚さ１．５μｍで形成した。
さらに、その上に青色のレジストを全面塗布し、同様にフォトリソグラフ法で第二凸部形成材６を厚さ１．０μｍで形成した。第二凸部形成材６が位置する部分が半透過型カラーフィルタ３１の遮光部ｈと対応する部分である。以上のフォトリソ工程に使用したマスクは石英マスクであり、露光装置はブラックマトリックスを形成するのに使用するミラープロジェクション型の高精度のものであり、ブラックマトリックスを形成する条件で第二凸部形成材６のパターンを形成した。
次に、２３０℃で２０分間熱処理して青色レジスト（底部離型材４、第一凸部形成材５、第二凸部形成材６）を硬化した後、フレキソ印刷法で第二凸部形成材６の上面にフッ素系表面処理剤（住友３Ｍ社 ＜ノベック＞ＥＧＣ−１７２０）を０，１μｍ厚塗布した。１００℃３０分加熱処理した後、余分のＥＧＣ−１７２０を＜ノベック＞ＨＦＥ−７１００でリンスして除去し、図４（ａ）に示した転写用凹版１を得た。このフッ素系表面処理剤にの作用によって、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを主溶剤とするカラーフィルタ用色材インクに対して５０度以上の接触角を得ることができ、図６（ｂ）に示したように、遮光部形成部Ｘの高さを越える量の色材インクを供給することができた。
このようにして得た転写用凹版１の画素パターンの寸法精度や全体の寸法精度は、通常のカラーフィルタのブラックマトリックスの精度であった。なお、加熱処理を行わない場合、青色レジストの層間（積層している第一凸部形成材５と第二凸部形成材６との層間）や青色レジストと底面離型材４の間の接着強度が弱く、転写に使用している間に層間剥離してしまうことがあった。また、青色レジスト自体の強度や対薬品性も弱く、実用に耐えないものであった。従って、加熱処理は必須の処理であるといえる。さらに、このようにして得た転写用凹版１は、通常のアクリル系樹脂をビヒクル分とする感光性カラーフィルタ材に対して、液状の場合にはヌレ性を有し、一方感光硬化した場合には離型性を有する。

（実施例２）
図４（ｃ）に示した構造の転写用凹版１を電鋳法によって以下のようにして作製した。電鋳用の原版として、実施例１の転写用凹版１を作製する工程と同一の工程で、凹部形状がオス・メス逆の形状の青色レジストのパターンを得て、同様の加熱処理を行った。フッ素系表面処理は行わずに電鋳用に原板とした。
この原版に対して通常の印刷用凹版を作製する工程を使用して、ニッケルを原版の表面に電気メッキした。メッキ厚を０．５ｍｍとし、ガラスの支持板（原版における支持板）をつけたまま研磨し、裏打ち材として４２％鉄−ニッケル合金の厚さ２ｍｍの板を、２液硬化型のエポキシ系接着剤を使用して貼り付けた。その後、原版から裏打ち板付のメッキ膜を引き剥がした（このときの裏打ち板が転写用凹版１の支持板３である）。
メッキ膜の上面に、フレキソ印刷法でフッ素系表面処理剤（住友３Ｍ社 ＜ノベック＞ＥＧＣ−１７２０）を０，１μｍ厚塗布した。１００℃３０分加熱処理した後、余分のＥＧＣ−１７２０を＜ノベック＞ＨＦＥ−７１００でリンスして除去し、図４（ｃ）に示した構造の電鋳法による転写用凹版１を得た。
このフッ素系表面処理剤の作用によって、実施例１と同様にプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを主溶剤とするアクリル樹脂系をビヒクル分とする感光性のカラーフィルタ用色材インクに対して５０度以上の接触角を得ることができ、図６（ｂ）に示したような、遮光部形成部Ｘの高さを越える量の色材インクを供給することができた。なおこの転写用凹版は硬化した色材インクに対して離型性を有する。

（実施例３）
転写用凹版１をモールド法で以下のようにして作製した。
表面を研磨したインバー合金の板（１０００×１ｍｍ、厚さ３ｍｍ）に東京応化製フォトレジストＰＭＥＲ Ｐ−ＲＺ３００を乾燥厚さ２．５μｍに塗布し、所望のカラーフィルタパターンを有するフォトマスクで露光、現像して、ブラックマトリックス部分が凹部となる母型（モールド型）を作成した。離型剤としてシリコーンオイルを塗布した後、ポリプロピレンを流し込み、さらに転写用凹版１の支持板３として、厚さ０．３ｍｍのインバー合金板を重ね、平プレス機でプレスした状態で冷却した。冷却後、両側のインバー材を引き剥がして、シリコーンオイル離型剤を溶剤で除去した。ポリプロピレン層の厚さは凸部上面までで約１ｍｍ、凹部の深さは２．５μｍであり、寸法精度は＜±３μｍ／ｍであった。
次に凸部上面（第二凸部形成材の上面）に塩素化ポリプロピレンの０．１μｍの層をフレキソ印刷法で形成し、さらに実施例２と同様にしてその上にフッ素系表面処理剤（住友３Ｍ社 ＜ノベック＞ＥＧＣ−１７２０）を０，１μｍ厚塗布した。１００℃３０分加熱処理した後、余分のＥＧＣ−１７２０を＜ノベック＞ＨＦＥ−７１００でリンスして除去し、モールド法によって図４（ｃ）に示した構造の転写用凹版１を得た。

（実施例４）
凸部上面（遮光部形成部Ｘの上面）に撥インク層を有する転写用凹版１を以下のようにして作製した。
実施例３と同様にしてモールド型を作成し、シリコーンオイルの剥離剤を塗布した。そこへ硬化してアクリル・メラミン樹脂となる神東塗料社製のオーデックス＃１００を流し込み、一度減圧状態にして脱泡した後、常圧に戻し、１４０度で２５分間加熱し、硬化した。その上に、実施例３と同様にしてインバー合金板の支持板３を接着剤で貼り付けた。接着剤としては、箔押し加工の金型を基板に接着する加熱硬化型のものを使用し、加圧状態で、１５０℃で１０分間加熱して接着を完了させた。次にモールド型と支持板３を引き剥がすと、モールド型の逆版となったアクリル・メラミン樹脂層が支持板３に接着した状態で得られた。
次にこれの凸部上面（遮光部形成部Ｘの上面）に、フッ素樹脂系表面コート剤（３Ｍ社製 ＮｏｖｅｃＥＧＣ−１７２０）を塗布し所定の温度で３０分加熱硬化して、凸部上面にフッ素樹脂系の撥インク性、固化または硬化インク離型性の層を有する転写用凹版１を得た。アクリル・メラミン樹脂の厚さは約１００μｍであり、凹部の深さは２．５μｍ、寸法精度は±３μｍであった。

（カラーフィルタの作製例）
実施例１で作製した転写用凹版１を用いて、以下のようにして転写法でカラーフィルタの色材層の３色パターンを形成した。まず、実施例１で作製した転写用凹版１をインクジェット装置の定盤にセットし、インクジェット法でカラーフィルタの色材層の３色の色材インクを充填した。（図６（ｂ）参照）
使用したインクジェット用カラーフィルタの色材層インクはアクリル系の樹脂分を有するＵＶ硬化型のものであって、通常のカラーフィルタ用のＵＶ硬化性のものの溶剤分をインクジェット用に変更したものである。そして、実施例１の転写用凹版１は、ＵＶ硬化した上記インクジェットインクに対して離型性を有する。
インクを乾燥、ＵＶ硬化した後に、図６（ｄ）に示すように、上記のようにして色材インクをＵＶ硬化した転写用凹版１とカラーフィルタ用基板２４を接着剤を介して重ね合わせ、端部からロールプレスして接着剤を両者の間全面に広げた。接着剤は特開２０００−１３６３５４号公報に記載されている大阪有機製の透明な無溶剤ＵＶ硬化型のアクリル系接着剤を使用した。ラミネートの際、圧力と速度を調整して、接着剤の厚さを約４μｍとした。次に、カラーフィルタ用基板側からＵＶを照射して接着剤を硬化した（図６（ｅ）参照）。その際、接着剤が硬化しては不都合な部分が硬化しないように、フォトマスクを使用して露光した。さらに図６（ｆ）に示すようにして両者を引き剥がして、同図に示したようなカラーフィルタ用基板上に接着剤層とその上に３色の色材のパターンが形成されたものを得た。その後、未硬化の接着剤は所定の炭酸ナトリウムと水酸化ナトリウムを成分とするアルカリ性現像液で除去し、水洗、乾燥して所望の色材層を有した半透過型カラーフィルタを得た。

（カラーフィルタのブラックマトリックスの作製）
上記（カラーフィルタの作製例）で作製した半透過型カラーフィルタに対して、以下のようにして遮光用の黒色パターン（ブラックマトリックス）を形成した。
〔ブラックマトリックス用黒色感光性樹脂組成物の作製〕
酸により架橋するヒドロキシスチレン系高分子化合物樹脂（共重合体：共重合比はｐ−ヒドロキシスチレン／メタクリル酸ｎ−ブチル／アクリル酸＝３９／４９／１２）１２ｇをバインダー樹脂に用いて、架橋剤としてヘキサ（Ｎ−メトキジメチル）−メラミン（三和ケミカル社製：ニッカラックＭＷ−３０Ｍ）を５ｇ、光酸発生剤として、みどり化学社製「ＴＡＺ−１０４」を５ｇ、顔料（カーボンブラックが高分子化合物によりグラフト化されているグラフト化カーボン分散溶液）を３００ｇ、溶剤としてＰＧＭ−Ａｃを１７２ｇ、さらにガラスビーズを５００ｇをガラス瓶に入れ、ペイントシェーカーにより２時間分散し黒色感光性樹脂組成物を作製した。

〔ブラックマトリックス用黒色樹脂層の形成〕
上記（カラーフィルタの作製例）で形成した半透過型カラーフィルタの３色の色材パターンの層の上に、上記の黒色感光性樹脂組成物をスピンナーにより６００ｒｐｍ、５秒で塗布、乾燥し、図６（ｇ）に示すように黒色樹脂層を形成した。
次に、図６（ｈ）に示すように、３ｋＷ超高圧水銀灯により所定の露光量でガラスの裏面側より所定のマスクを介して全面露光した。所定のマスクは不要な部分に前記黒色感光性樹脂組成物が感光硬化しないようにするためのものである。また、上記３色の色材パターンの層も遮光性を有するのでフォトマスクとして作用する。露光後、ホットプレートを用いて１００℃で１分間加熱した。

続いて、図６（ｉ）に示すように、１％水酸化ナトリウム水溶液を用いて、カラーフィルタ用基板をコンベアーで搬送させながらシャワーを噴霧する方式で９０秒間現像し、複数色の着色画素上、および非露光部の黒色樹脂層を除去した。最後にオーブン中にて２３０℃で１時間加熱し、図６（ｊ）に示すような３色の色材層の間に遮光部（ブランクマトリックス）を有する半透過型カラーフィルタ３１を得た。

このようにして作製したカラーフィルタは、その画素部上には黒色感光性樹脂組成物の残留は見られず、ブラックマトリクスと３色の画素との重なりによる突起のないものであった。また、このカラーフィルタをプレッシャークッカー試験器に入れ、１２０℃、１００％ＲＨ、２気圧の条件にて５０時間放置後、「ＪＩＳ−Ｋ５４００」記載の碁盤目付着性試験法にて密着性の評価を行った結果、カラーフィルタ部、ブラックマトリックス部の剥離個数はいずれも０／１００であり密着性に全く問題ないものであった。

なお、説明の都合上、色フィルタとして赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の三色系の構成のものを取り上げたが、黄（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）の３色系の構成のカラーフィルタやその他特別な色や色数のカラーフィルタを製造する際にも、ブラックマトリクスを有するものであれば、本願発明の方法を使用することができる。
このようにして形成した３色の色材層と遮光部を有するカラーフィルタ用基板にＩＴＯの透明導電層と配向膜を定法によって形成して、液晶表示装置装置の対向側基板とした。

半透過型液晶表示装置を概略的に示す説明図である。 半透過型カラーフィルタにおける画素の透過部と反射部との配置の一例を平面で示す説明図である。 色材層の厚さが部分的にマルチ厚の半透過型カラーフィルタの構造を概略的に示す説明図である。 本発明に係る転写用凹版の例を断面で概略的に示す説明図である。 転写用凹版の作製工程の一例を示す説明図である。 転写用凹版の作製工程の一例を示す説明図である。 本発明に係る半透過型カラーフィルタの作製方法の一例を示す説明図である。 本発明に係る半透過型カラーフィルタの作製方法の一例を示す説明図である。

符号の説明

１…転写用凹版
２…凹部
３…支持板
４…底部離型材
５…第一凸部形成材
６…第二凸部形成材
１７…電鋳型
１８…樹脂
１９…モールド型
２０…撥インク表面加工
２１…離型性表面加工
２３…カラーフィルタ用色材インク
２４…カラーフィルタ用基板
２５…接着剤
２８…ブラックマトリックス材
３１…半透過型カラーフィルタ
Ｘ…遮光部形成部
Ｙ…透過部形成部
Ｚ…反射部形成部
ａ…画素
ｈ…遮光部
ｏ…透過部
ｐ…反射部
ｑ…色材層

Claims (8)

1. 一画素内で色材層の厚さが部分的に異なる半透過型カラーフィルタの作製に際して、充填されたカラーフィルタ用色材インクがカラーフィルタ用基板に転写可能にした転写用凹版であって、半透過型カラーフィルタの各画素に対応する凹部それぞれは、該凹部の深さが部分的に２段階になっていることを特徴とする転写用凹版。
2. 上記半透過型カラーフィルタの全構成色の画素に対応する凹部を有する請求項１に記載の転写用凹版。
3. バックライト光と外光とを選択的に用いて画像表示を行なう半透過型液晶表示装置の半透過型カラーフィルタのうち、各画素内でカラーフィルタ用色材インクの層の厚さが部分的に異なる半透過型カラーフィルタの作製方法において、
   少なくとも
   請求項１または２に記載の転写用凹版の全ての凹部に対応するカラーフィルタ用色材インクを充填する工程と、
   カラーフィルタ用色材インクを充填した前記転写用凹版とカラーフィルタ用基板とを合わせた状態で、前記カラーフィルタ用色材インクを固化または硬化する工程と、
   前記転写用凹版をカラーフィルタ基板から引き離して、固化または硬化したカラーフィルタ用色材インクをカラーフィルタ用基板へ転写する工程とを有し、
   各画素それぞれでカラーフィルタ用色材インクの層の厚さを異ならせることを特徴とする半透過型カラーフィルタの作製方法。
4. バックライト光と外光とを選択的に用いて画像表示を行なう半透過型液晶表示装置の半透過型カラーフィルタのうち、各画素内でカラーフィルタ用色材インクの層の厚さが異なる半透過型カラーフィルタの作製方法において、
   少なくとも
   請求項１または２に記載の転写用凹版の全ての凹部に対応するカラーフィルタ用色材インクを充填する工程と、
   前記カラーフィルタ用色材インクを固化または硬化する工程と、
   前記転写用凹版とカラーフィルタ用基板との間に硬化性接着剤を挟み込んでこの硬化性接着剤を硬化する工程と、
   前記転写用凹版をカラーフィルタ用基板から引き離して、固化または硬化したカラーフィルタ用色材インクを硬化した硬化性接着剤と共にカラーフィルタ用基板へ転写する工程とを有し、
   各画素それぞれでカラーフィルタ用色材インクの層の厚さを異ならせることを特徴とする半透過型カラーフィルタの作製方法。
5. 上記半透過型カラーフィルタの全構成色に対応する凹部に、カラーフィルタ用色材インクを、インクジェット法とノズル法との少なくとも何れかにより充填する請求項３または４に記載の半透過型カラーフィルタの作製方法。
6. 上記転写用凹版は可撓性を有しているものである請求項３から５のいずれか一項に記載の半透過型カラーフィルタの作製方法。
7. 請求項３から６の何れか一項の半透過型カラーフィルタの作製方法におけるカラーフィルタ用色材インク転写後のカラーフィルタに対して、裏面露光方法によって遮光部を形成することを特徴とする半透過型カラーフィルタの作製方法。
8. 請求項３から７の何れか一項の半透過型カラーフィルタの作製方法から作製された半透過型カラーフィルタ。

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