JPH0854923A - プロセスデータ診断方法および診断装置 - Google Patents
プロセスデータ診断方法および診断装置Info
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- JPH0854923A JPH0854923A JP6188374A JP18837494A JPH0854923A JP H0854923 A JPH0854923 A JP H0854923A JP 6188374 A JP6188374 A JP 6188374A JP 18837494 A JP18837494 A JP 18837494A JP H0854923 A JPH0854923 A JP H0854923A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 互いに関連する複数のプロセスデータの異常
値を簡単に検出することができるプロセスデータ診断方
法を提供すること。 【構成】 第１記憶手段25に記憶された複数のプロセス
データを、加算手段28で加算して和データを算出する。
この和データが第２記憶手段27に記憶された和データ用
設定値の許容範囲内であるか否かを第１判別手段29で判
別する。設定値の許容範囲外であれば、各プロセスデー
タが第２記憶手段27に記憶されたプロセスデータ用設定
値の許容範囲内であるか否かを第２判別手段30で判別し
て異常データを検出し、プリンタ23にエラー情報を印刷
する。また、各プロセスデータ、和データはディスプレ
イ22に表示され、光磁気ディスク装置21で保存される。
値を簡単に検出することができるプロセスデータ診断方
法を提供すること。 【構成】 第１記憶手段25に記憶された複数のプロセス
データを、加算手段28で加算して和データを算出する。
この和データが第２記憶手段27に記憶された和データ用
設定値の許容範囲内であるか否かを第１判別手段29で判
別する。設定値の許容範囲外であれば、各プロセスデー
タが第２記憶手段27に記憶されたプロセスデータ用設定
値の許容範囲内であるか否かを第２判別手段30で判別し
て異常データを検出し、プリンタ23にエラー情報を印刷
する。また、各プロセスデータ、和データはディスプレ
イ22に表示され、光磁気ディスク装置21で保存される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、プロセスデータ診断方
法および診断装置に係り、特に複数のプロセスデータの
管理が必要なスパッタ成膜装置等の異常診断に利用でき
る。
法および診断装置に係り、特に複数のプロセスデータの
管理が必要なスパッタ成膜装置等の異常診断に利用でき
る。
【０００２】
【背景技術】光磁気ディスク（ＭＯ）、コンパクトディ
スク（ＣＤ−ＲＯＭ）、ミニディスク（ＭＤ）等の各種
光ディスクは、プラスチック製の基板上にスパッタ成膜
装置を用いて保護膜、記録膜、反射膜等の複数の膜を成
膜して生産されていた。
スク（ＣＤ−ＲＯＭ）、ミニディスク（ＭＤ）等の各種
光ディスクは、プラスチック製の基板上にスパッタ成膜
装置を用いて保護膜、記録膜、反射膜等の複数の膜を成
膜して生産されていた。
【０００３】ところで、スパッタ成膜装置では、成膜不
良が発生しないように、ターゲット電力、チャンバー内
圧（クライオポンプのオリフィス開口度およびプロセス
ガスの流量で設定される）等の各プロセスデータの大き
さおよびタイミングを管理しなければならない。
良が発生しないように、ターゲット電力、チャンバー内
圧（クライオポンプのオリフィス開口度およびプロセス
ガスの流量で設定される）等の各プロセスデータの大き
さおよびタイミングを管理しなければならない。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】プロセスデータを管理
するにあたって、化学工場の各種処理装置のように、装
置を制御するシーケンサ等の指示値と実際値とを得て各
データを比較することで正常値であるか否かを検出して
データ値およびタイミングを管理する方法が知られてい
る。しかしながら、各指示値および実際値を比較検出す
ることは、処理対象となるデータ数が多くなって処理が
複雑となり、スパッタ成膜装置のように１つのプロセス
サイクルが短い管理には適しないという問題があった。
するにあたって、化学工場の各種処理装置のように、装
置を制御するシーケンサ等の指示値と実際値とを得て各
データを比較することで正常値であるか否かを検出して
データ値およびタイミングを管理する方法が知られてい
る。しかしながら、各指示値および実際値を比較検出す
ることは、処理対象となるデータ数が多くなって処理が
複雑となり、スパッタ成膜装置のように１つのプロセス
サイクルが短い管理には適しないという問題があった。
【０００５】このため、従来のスパッタ成膜装置では、
成膜装置がシーケンサで制御されており異常動作が起こ
る可能性が低い点、および指示値にはノイズ等がのって
誤差が生じる可能性がある点を考慮し、１つのプロセス
中に実際値を一度だけ取り込んでその値をチェックする
ことで異常発生を管理していた。しかしながら、１つの
実際値のみで管理するのでは、データ取得時以外の異常
発生を検出することができず、正確な管理が行えないと
いう問題があった。また、実際値を数多く取得してチェ
ックすることも考えられるが、管理対象のデータ数が多
くなり、かつ各実際値は通常複雑に関連しているため、
データ処理が複雑で管理しにくいという問題があった。
成膜装置がシーケンサで制御されており異常動作が起こ
る可能性が低い点、および指示値にはノイズ等がのって
誤差が生じる可能性がある点を考慮し、１つのプロセス
中に実際値を一度だけ取り込んでその値をチェックする
ことで異常発生を管理していた。しかしながら、１つの
実際値のみで管理するのでは、データ取得時以外の異常
発生を検出することができず、正確な管理が行えないと
いう問題があった。また、実際値を数多く取得してチェ
ックすることも考えられるが、管理対象のデータ数が多
くなり、かつ各実際値は通常複雑に関連しているため、
データ処理が複雑で管理しにくいという問題があった。
【０００６】本発明の目的は、互いに関連する複数のプ
ロセスデータの異常値（データ量異常およびタイミング
異常）を簡単に検出することができるプロセスデータ診
断方法およびその診断装置を提供することにある。
ロセスデータの異常値（データ量異常およびタイミング
異常）を簡単に検出することができるプロセスデータ診
断方法およびその診断装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明のプロセスデータ
診断方法は、複数のプロセスデータを加算して和データ
を算出し、この和データが予め設定されている和データ
用設定値の許容範囲内であるか否かを判別し、設定値の
許容範囲外であれば各プロセスデータを個別に設定され
ているプロセスデータ用設定値の許容範囲内であるか否
かを判別して異常データを検出することを特徴とするも
のである。
診断方法は、複数のプロセスデータを加算して和データ
を算出し、この和データが予め設定されている和データ
用設定値の許容範囲内であるか否かを判別し、設定値の
許容範囲外であれば各プロセスデータを個別に設定され
ているプロセスデータ用設定値の許容範囲内であるか否
かを判別して異常データを検出することを特徴とするも
のである。
【０００８】この際、本発明をスパッタ成膜装置におい
て利用する際には、前記プロセスデータはスパッタ成膜
装置から得られるターゲット電力データ、クライオポン
プのオリフィス開口度データ、およびプロセスガスのガ
ス流量データの３種類のプロセスデータとすればよい。
て利用する際には、前記プロセスデータはスパッタ成膜
装置から得られるターゲット電力データ、クライオポン
プのオリフィス開口度データ、およびプロセスガスのガ
ス流量データの３種類のプロセスデータとすればよい。
【０００９】一方、本発明のプロセスデータ診断装置
は、複数のプロセスデータが記憶される第１記憶手段
と、予め設定された和データ用および各プロセスデータ
用設定値が記憶される第２記憶手段と、前記プロセスデ
ータを加算して和データを算出する加算手段と、前記和
データが前記和データ用設定値の許容範囲内かを判別す
る第１判別手段と、前記各プロセスデータが各プロセス
データ用設定値の許容範囲内かを判別する第２判別手段
とを備えていることを特徴とするものである。
は、複数のプロセスデータが記憶される第１記憶手段
と、予め設定された和データ用および各プロセスデータ
用設定値が記憶される第２記憶手段と、前記プロセスデ
ータを加算して和データを算出する加算手段と、前記和
データが前記和データ用設定値の許容範囲内かを判別す
る第１判別手段と、前記各プロセスデータが各プロセス
データ用設定値の許容範囲内かを判別する第２判別手段
とを備えていることを特徴とするものである。
【００１０】
【作用】このような本発明においては、複数のプロセス
データを加算した和データを和データ用設定値と比較し
てその許容範囲内にあるか否かを判別して異常検出を行
う。このため、管理対象のデータが１種類となってその
処理が容易となり、短いサイクルで繰り返されるプロセ
スでも異常診断を容易にかつ確実に行える。
データを加算した和データを和データ用設定値と比較し
てその許容範囲内にあるか否かを判別して異常検出を行
う。このため、管理対象のデータが１種類となってその
処理が容易となり、短いサイクルで繰り返されるプロセ
スでも異常診断を容易にかつ確実に行える。
【００１１】さらに、和データが和データ用設定値の範
囲外となったときには、各プロセスデータが個別に設定
されたプロセスデータ用設定値と比較されるため、どの
データが異常値であるかが確実に判別される。このた
め、常時各プロセスデータを個別に監視する場合に比べ
て異常データ検出処理が簡単となるとともに、異常デー
タが特定されるために異常発生箇所が確実に判別されて
対応が容易となる。
囲外となったときには、各プロセスデータが個別に設定
されたプロセスデータ用設定値と比較されるため、どの
データが異常値であるかが確実に判別される。このた
め、常時各プロセスデータを個別に監視する場合に比べ
て異常データ検出処理が簡単となるとともに、異常デー
タが特定されるために異常発生箇所が確実に判別されて
対応が容易となる。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。図１には、本発明を適用した光ディスクのスパ
ッタ成膜装置１の模式図が示されている。スパッタ成膜
装置１のスパッタ室２内には、２つのカソード３が配置
され、カソード３には成膜材料となるターゲット４が取
り付けられている。
明する。図１には、本発明を適用した光ディスクのスパ
ッタ成膜装置１の模式図が示されている。スパッタ成膜
装置１のスパッタ室２内には、２つのカソード３が配置
され、カソード３には成膜材料となるターゲット４が取
り付けられている。
【００１３】一方、ターゲット４に対向して円盤状のキ
ャリア５が配置され、キャリア５のターゲット４側の面
には、複数のプラスチック製の基板６が円周に沿って取
り付けられている。なお、スパッタ室２の両側面には、
キャリア５を出入りさせるためのゲートバルブ７が設け
られている。
ャリア５が配置され、キャリア５のターゲット４側の面
には、複数のプラスチック製の基板６が円周に沿って取
り付けられている。なお、スパッタ室２の両側面には、
キャリア５を出入りさせるためのゲートバルブ７が設け
られている。
【００１４】前記カソード３およびキャリア５間には電
源１０が接続されている。また、スパッタ室２には、室
内を排気するクライオポンプ１１がオリフィス１２を介
して接続されているとともに、スパッタ室２内にアルゴ
ンガス等のプロセスガス（スパッタリングガス）を供給
するポンプ１３がマスフローコントローラ１４を介して
接続されている。また、スパッタ室２には、室内の真空
度（圧力）を測定するバラトロンゲージ（絶対圧真空
計）１５が設けられている。
源１０が接続されている。また、スパッタ室２には、室
内を排気するクライオポンプ１１がオリフィス１２を介
して接続されているとともに、スパッタ室２内にアルゴ
ンガス等のプロセスガス（スパッタリングガス）を供給
するポンプ１３がマスフローコントローラ１４を介して
接続されている。また、スパッタ室２には、室内の真空
度（圧力）を測定するバラトロンゲージ（絶対圧真空
計）１５が設けられている。
【００１５】電源１０、オリフィス１２、マスフローコ
ントローラ１４、バラトロンゲージ１５は、それぞれＡ
／Ｄボード（変換器）１６を介して本発明のプロセスデ
ータ診断装置２０に接続されており、電源１０からの電
力データ、オリフィス１２からのオリフィス開口度デー
タ、マスフローコントローラ１４からのガス流量デー
タ、バラトロンゲージ１５からの圧力データの各プロセ
スデータが、デジタルデータに変換されて診断装置２０
に送られるように構成されている。
ントローラ１４、バラトロンゲージ１５は、それぞれＡ
／Ｄボード（変換器）１６を介して本発明のプロセスデ
ータ診断装置２０に接続されており、電源１０からの電
力データ、オリフィス１２からのオリフィス開口度デー
タ、マスフローコントローラ１４からのガス流量デー
タ、バラトロンゲージ１５からの圧力データの各プロセ
スデータが、デジタルデータに変換されて診断装置２０
に送られるように構成されている。
【００１６】プロセスデータ診断装置２０には、各プロ
セスデータや和データを保存するための光磁気ディスク
（ＭＯ）装置２１、各プロセスデータおよび和データを
グラフ形式で表示するディスプレイ（ＣＲＴ）２２、エ
ラー（異常値）データをグラフ形式で印刷したり、エラ
ーが発生したときにスパッタ室２内にあったキャリア５
の番号、そのスパッタ室２、エラー発生理由等をそれぞ
れ印刷するプリンタ２３が接続されている。
セスデータや和データを保存するための光磁気ディスク
（ＭＯ）装置２１、各プロセスデータおよび和データを
グラフ形式で表示するディスプレイ（ＣＲＴ）２２、エ
ラー（異常値）データをグラフ形式で印刷したり、エラ
ーが発生したときにスパッタ室２内にあったキャリア５
の番号、そのスパッタ室２、エラー発生理由等をそれぞ
れ印刷するプリンタ２３が接続されている。
【００１７】プロセスデータ診断装置２０は、図２に示
すように、Ａ／Ｄボード１６からの各プロセスデータが
記憶される第１記憶手段（メモリ）２５と、キーボード
等のデータ入力手段２６によって和データ用および各プ
ロセスデータ用の設定値が記憶される第２記憶手段（メ
モリ）２７と、第１記憶手段２５に記憶された各プロセ
スデータを加算して和データを算出する加算手段２８
と、この和データを前記第２記憶手段２７の和データ用
設定値と比較して許容範囲内にあるか否かを判別する第
１判別手段２９と、前記各プロセスデータと各プロセス
データ用設定値とを比較判別する第２判別手段３０とを
備えて構成されている。
すように、Ａ／Ｄボード１６からの各プロセスデータが
記憶される第１記憶手段（メモリ）２５と、キーボード
等のデータ入力手段２６によって和データ用および各プ
ロセスデータ用の設定値が記憶される第２記憶手段（メ
モリ）２７と、第１記憶手段２５に記憶された各プロセ
スデータを加算して和データを算出する加算手段２８
と、この和データを前記第２記憶手段２７の和データ用
設定値と比較して許容範囲内にあるか否かを判別する第
１判別手段２９と、前記各プロセスデータと各プロセス
データ用設定値とを比較判別する第２判別手段３０とを
備えて構成されている。
【００１８】また、前記第１記憶手段２５および加算手
段２８は、光磁気ディスク装置２１およびディスプレイ
２２に接続されて、各プロセスデータおよび和データを
光磁気ディスクに保存するとともに、ディスプレイ２２
に表示するように構成されている。さらに、第２判別手
段３０には、前記プリンタ２３が接続され、各種エラー
データを印字できるように構成されている。
段２８は、光磁気ディスク装置２１およびディスプレイ
２２に接続されて、各プロセスデータおよび和データを
光磁気ディスクに保存するとともに、ディスプレイ２２
に表示するように構成されている。さらに、第２判別手
段３０には、前記プリンタ２３が接続され、各種エラー
データを印字できるように構成されている。
【００１９】次に、まず本実施例におけるプロセスデー
タ診断装置２０の処理手順について図３のフローチャー
トを参照して説明する。スパッタ成膜装置１で成膜プロ
セスが行われている間、プロセスデータ診断装置２０
は、Ａ／Ｄボード１６を介して複数のプロセスデータ
（電力、オリフィス開度、ガス流量、圧力の各データ）
を第１記憶手段２５に取り込むデータ取り込みルーチン
Ｓ３１を行う。この際のサンプリングタイムは例えば
０．５秒に設定されている。
タ診断装置２０の処理手順について図３のフローチャー
トを参照して説明する。スパッタ成膜装置１で成膜プロ
セスが行われている間、プロセスデータ診断装置２０
は、Ａ／Ｄボード１６を介して複数のプロセスデータ
（電力、オリフィス開度、ガス流量、圧力の各データ）
を第１記憶手段２５に取り込むデータ取り込みルーチン
Ｓ３１を行う。この際のサンプリングタイムは例えば
０．５秒に設定されている。
【００２０】データ取り込みルーチンＳ３１に続いて、
自動キャリア数カウントルーチンＳ３２が行われる。自
動キャリア数カウントルーチンＳ３２は、プロセスが何
回実行されているかをカウントするものであり、スパッ
タ成膜装置１で異常が発生した場合に、その異常発生が
どのプロセスで生じたかを検出し、その際のプロセスで
成膜されたキャリア５を特定できるように設けられてい
る。
自動キャリア数カウントルーチンＳ３２が行われる。自
動キャリア数カウントルーチンＳ３２は、プロセスが何
回実行されているかをカウントするものであり、スパッ
タ成膜装置１で異常が発生した場合に、その異常発生が
どのプロセスで生じたかを検出し、その際のプロセスで
成膜されたキャリア５を特定できるように設けられてい
る。
【００２１】続いて、プロセスデータ診断装置２０が動
作状態であれば、和データを利用した自動異常検出ルー
チンＳ３３が行われる。自動異常検出ルーチンＳ３３で
は、図４に示すように、まず加算手段２８でプロセスデ
ータを加算して和データを算出し（Ｓ４１）、この和デ
ータを第１判別手段２９で和データ用設定値の許容範囲
内にあるかを調べる（Ｓ４２）。ここで、範囲内であれ
ば異常無し（Ｓ４３）と、範囲外であれば異常有り（Ｓ
４４）と判断し、自動異常検出ルーチンを終了する（Ｓ
４５）。
作状態であれば、和データを利用した自動異常検出ルー
チンＳ３３が行われる。自動異常検出ルーチンＳ３３で
は、図４に示すように、まず加算手段２８でプロセスデ
ータを加算して和データを算出し（Ｓ４１）、この和デ
ータを第１判別手段２９で和データ用設定値の許容範囲
内にあるかを調べる（Ｓ４２）。ここで、範囲内であれ
ば異常無し（Ｓ４３）と、範囲外であれば異常有り（Ｓ
４４）と判断し、自動異常検出ルーチンを終了する（Ｓ
４５）。
【００２２】メインルーチンに戻って、前記自動異常検
出ルーチンＳ３３で異常無しと判断されていれば（Ｓ３
４）、プロセスデータや和データを光磁気ディスク装置
２１を用いて光磁気ディスクに記憶するデータ保存ルー
チンＳ３５が行われる。
出ルーチンＳ３３で異常無しと判断されていれば（Ｓ３
４）、プロセスデータや和データを光磁気ディスク装置
２１を用いて光磁気ディスクに記憶するデータ保存ルー
チンＳ３５が行われる。
【００２３】一方、異常有りと判断された場合には、第
２判別手段３０で各プロセスデータが各プロセスデータ
用設定値の許容範囲内にあるかを個別に判断し、エラー
グラフ、エラーキャリアナンバー、エラーが発生したス
パッタ室２やエラー理由をプリンタ２３で印刷する異常
処理ルーチンＳ３６が行われる。以上の処理は、データ
を取り込んだ毎に繰り返される。なお、プロセスデータ
診断装置２０が待機状態であれば、自動異常検出ルーチ
ンＳ３３は行われず、自動キャリア数カウントルーチン
Ｓ３２から直ちにデータ保存ルーチンＳ３５が行われ
る。また、各プロセスデータおよび和データのディスプ
レイ２２への表示は、動作あるいは待機状態にかかわら
ず、また異常の有無にかかわらず常時行われる。
２判別手段３０で各プロセスデータが各プロセスデータ
用設定値の許容範囲内にあるかを個別に判断し、エラー
グラフ、エラーキャリアナンバー、エラーが発生したス
パッタ室２やエラー理由をプリンタ２３で印刷する異常
処理ルーチンＳ３６が行われる。以上の処理は、データ
を取り込んだ毎に繰り返される。なお、プロセスデータ
診断装置２０が待機状態であれば、自動異常検出ルーチ
ンＳ３３は行われず、自動キャリア数カウントルーチン
Ｓ３２から直ちにデータ保存ルーチンＳ３５が行われ
る。また、各プロセスデータおよび和データのディスプ
レイ２２への表示は、動作あるいは待機状態にかかわら
ず、また異常の有無にかかわらず常時行われる。
【００２４】次に、以上の処理手順を、実際のスパッタ
成膜装置１で行った際の動作を、図５，６の動作説明図
および図７のプロセスデータと和データとの比較図をも
参照して詳述する。まず、成膜プロセス前（図７のＡ区
間）においては、クライオポンプ１１でスパッタ室２内
の排気が終わった後に、スパッタ成膜装置１は、図５
に示すようにオリフィス１２の開口度を設定するととも
に、図５’に示すようにスパッタリングガスをスパッ
タ室２内に供給する。なお、各プロセスデータは横軸を
時間に縦軸をデジタル値とされてグラフ化され、ディス
プレイ２２に順次表示され、図７に示すように和データ
もグラフ化されてディスプレイ２２に表示される。
成膜装置１で行った際の動作を、図５，６の動作説明図
および図７のプロセスデータと和データとの比較図をも
参照して詳述する。まず、成膜プロセス前（図７のＡ区
間）においては、クライオポンプ１１でスパッタ室２内
の排気が終わった後に、スパッタ成膜装置１は、図５
に示すようにオリフィス１２の開口度を設定するととも
に、図５’に示すようにスパッタリングガスをスパッ
タ室２内に供給する。なお、各プロセスデータは横軸を
時間に縦軸をデジタル値とされてグラフ化され、ディス
プレイ２２に順次表示され、図７に示すように和データ
もグラフ化されてディスプレイ２２に表示される。
【００２５】このプロセスの開始前（図７のＡ区間）で
は、プロセスデータ診断装置２０は、ガスおよびオリフ
ィスの立ち上がり時間（図７のＢ区間）となったかを、
ガス流量データおよびオリフィス開口度データの和デー
タの値がノイズの大きさ以上になったかどうかでチェッ
クする。そして、前記和データがノイズ以上になった
ら、ガスおよびオリフィスの立ち上がり時間（図７のＢ
区間）に入ったと判断し、ガスやオリフィスが設定値と
なるまでの一定時間待機する（データの取込、ディスプ
レイ２２への表示、データの保存のみが行われる）。
は、プロセスデータ診断装置２０は、ガスおよびオリフ
ィスの立ち上がり時間（図７のＢ区間）となったかを、
ガス流量データおよびオリフィス開口度データの和デー
タの値がノイズの大きさ以上になったかどうかでチェッ
クする。そして、前記和データがノイズ以上になった
ら、ガスおよびオリフィスの立ち上がり時間（図７のＢ
区間）に入ったと判断し、ガスやオリフィスが設定値と
なるまでの一定時間待機する（データの取込、ディスプ
レイ２２への表示、データの保存のみが行われる）。
【００２６】一定時間が過ぎたら、プロセスデータ診断
装置２０は、取り込んだプロセスデータの和データが設
定値（ガス＋オリフィス）±許容範囲に入っているかを
どうかを、自動異常検出ルーチンＳ３３で判別する。こ
こで、和データが範囲外であれば、異常有りと判断され
て（Ｓ３４）、異常処理ルーチンＳ３６で各プロセスデ
ータを個別に設定された設定値と比較し、どのデータが
異常値であるか、つまりどの部分に異常が発生したかを
検出する。そして、前述の通り、エラー情報をプリント
した後、データ保存ルーチンＳ３５でプロセスデータ、
和データ、エラー情報を保存する。
装置２０は、取り込んだプロセスデータの和データが設
定値（ガス＋オリフィス）±許容範囲に入っているかを
どうかを、自動異常検出ルーチンＳ３３で判別する。こ
こで、和データが範囲外であれば、異常有りと判断され
て（Ｓ３４）、異常処理ルーチンＳ３６で各プロセスデ
ータを個別に設定された設定値と比較し、どのデータが
異常値であるか、つまりどの部分に異常が発生したかを
検出する。そして、前述の通り、エラー情報をプリント
した後、データ保存ルーチンＳ３５でプロセスデータ、
和データ、エラー情報を保存する。
【００２７】一方、和データが範囲内であれば、各デー
タを保存する（Ｓ３５）。そして、図５に示すよう
に、スパッタ室２内の圧力は所定値になるまで時間がか
かるため、圧力が所定値になるまでの間、プロセスデー
タ診断装置２０は取り込んだデータの和データが設定値
の許容範囲内にあるかを常時チェックする。なお、圧力
自体はスパッタ成膜装置１が監視しており、圧力が所定
値になると成膜装置１は電源を投入する。
タを保存する（Ｓ３５）。そして、図５に示すよう
に、スパッタ室２内の圧力は所定値になるまで時間がか
かるため、圧力が所定値になるまでの間、プロセスデー
タ診断装置２０は取り込んだデータの和データが設定値
の許容範囲内にあるかを常時チェックする。なお、圧力
自体はスパッタ成膜装置１が監視しており、圧力が所定
値になると成膜装置１は電源を投入する。
【００２８】電源が投入されると、プロセスデータ診断
装置２０は電力が設定値になるまで一定時間待機する
（図７のＤ区間：電力立ち上がり時間）。そして、一定
時間が過ぎて電力が設定値になると、図６に示すよう
に、スパッタ成膜装置１によって放電が開始される。こ
の際、プロセスデータ診断装置２０は、ガス流量、オリ
フィス開口度、電力の各データの和データが設定値±許
容範囲に入っているかを判断する（図７のＥ区間）。
装置２０は電力が設定値になるまで一定時間待機する
（図７のＤ区間：電力立ち上がり時間）。そして、一定
時間が過ぎて電力が設定値になると、図６に示すよう
に、スパッタ成膜装置１によって放電が開始される。こ
の際、プロセスデータ診断装置２０は、ガス流量、オリ
フィス開口度、電力の各データの和データが設定値±許
容範囲に入っているかを判断する（図７のＥ区間）。
【００２９】ここで、例えば、図８に示すように、放電
中に和データが設定値の範囲から外れた場合には、設定
された放電時間中であるのに設定範囲から外れたこと
で、あるいは和データが一度設定範囲から外れたことで
放電終了と判断した後に再度和データが設定範囲内に戻
ってきたことで、プロセスデータ診断装置２０はプロセ
スデータ異常（放電異常）と判断し、異常検出ルーチン
Ｓ３６で各個別データをチェックし、異常データつまり
異常箇所を検出し、エラー情報を印刷する。一方、和デ
ータが設定値内であれば、プロセスデータ診断装置２０
は、放電が終了するまで（放電時間は予め設定されてい
る）、前記和データのチェックを繰り返す。
中に和データが設定値の範囲から外れた場合には、設定
された放電時間中であるのに設定範囲から外れたこと
で、あるいは和データが一度設定範囲から外れたことで
放電終了と判断した後に再度和データが設定範囲内に戻
ってきたことで、プロセスデータ診断装置２０はプロセ
スデータ異常（放電異常）と判断し、異常検出ルーチン
Ｓ３６で各個別データをチェックし、異常データつまり
異常箇所を検出し、エラー情報を印刷する。一方、和デ
ータが設定値内であれば、プロセスデータ診断装置２０
は、放電が終了するまで（放電時間は予め設定されてい
る）、前記和データのチェックを繰り返す。
【００３０】放電終了後、スパッタ成膜装置１によって
図６および’に示すように、ガス、オリフィス、電
力はもとの状態（値）に戻るように制御され、この初期
状態に戻るまでに一定時間かかるため（図７のＦ区
間）、プロセスデータ診断装置２０は異常検出処理を行
わず、データ取込のみを行って一定時間待機する。
図６および’に示すように、ガス、オリフィス、電
力はもとの状態（値）に戻るように制御され、この初期
状態に戻るまでに一定時間かかるため（図７のＦ区
間）、プロセスデータ診断装置２０は異常検出処理を行
わず、データ取込のみを行って一定時間待機する。
【００３１】ガス、オリフィス、電力がもとの状態に戻
ってプロセスが終了したら（図７のＧ区間）、前記プロ
セス前の状態（図７のＡ区間）に戻って上記の手順を繰
り返す。
ってプロセスが終了したら（図７のＧ区間）、前記プロ
セス前の状態（図７のＡ区間）に戻って上記の手順を繰
り返す。
【００３２】プロセス終了によってキャリア５は次工程
に運ばれるが、プリンタ２３に印刷されたプロセス異常
が発生されたキャリア５は製造工程から外され、不良品
が次工程に運ばれないようにされている。
に運ばれるが、プリンタ２３に印刷されたプロセス異常
が発生されたキャリア５は製造工程から外され、不良品
が次工程に運ばれないようにされている。
【００３３】このような本実施例によれば、次のような
効果がある。すなわち、互いに関連する複数のプロセス
データを管理するにあたって、各プロセスデータを個別
に管理するのではなく、各プロセスデータを加算した和
データを用いて管理したので、データ処理作業が簡単と
なり、データ処理時間も短くすることができる。このた
め、スパッタ成膜装置１等のプロセスデータの種類が多
い複雑な管理を必要とする各種装置においても、データ
異常を確実に検出することができ、かつ診断装置２０も
簡単な構成にできるため、安価に提供することができ
る。
効果がある。すなわち、互いに関連する複数のプロセス
データを管理するにあたって、各プロセスデータを個別
に管理するのではなく、各プロセスデータを加算した和
データを用いて管理したので、データ処理作業が簡単と
なり、データ処理時間も短くすることができる。このた
め、スパッタ成膜装置１等のプロセスデータの種類が多
い複雑な管理を必要とする各種装置においても、データ
異常を確実に検出することができ、かつ診断装置２０も
簡単な構成にできるため、安価に提供することができ
る。
【００３４】また、各プロセスデータの和データを利用
して異常値検出を行っているため、各プロセスデータの
値（大きさ）の異常だけでなく、立ち上がり等のタイミ
ング異常も検出することができ（例えば、他のプロセス
データが一定となっていれば、和データが変化し始める
ことであるプロセスデータが増加あるいは減少し始めた
タイミングが判明する）、異常データつまりは異常発生
を確実にかつ精度良く検出することができる。
して異常値検出を行っているため、各プロセスデータの
値（大きさ）の異常だけでなく、立ち上がり等のタイミ
ング異常も検出することができ（例えば、他のプロセス
データが一定となっていれば、和データが変化し始める
ことであるプロセスデータが増加あるいは減少し始めた
タイミングが判明する）、異常データつまりは異常発生
を確実にかつ精度良く検出することができる。
【００３５】さらに、自動キャリア数カウントルーチン
Ｓ３２によって、成膜プロセスにおいて異常が発生した
キャリア５を特定することができ、異常発生によって不
良品となっている可能性があるキャリア５を次工程に送
らずに排除することができ、不良品発生を未然に防止で
きるとともに、生産効率を向上することができる。
Ｓ３２によって、成膜プロセスにおいて異常が発生した
キャリア５を特定することができ、異常発生によって不
良品となっている可能性があるキャリア５を次工程に送
らずに排除することができ、不良品発生を未然に防止で
きるとともに、生産効率を向上することができる。
【００３６】以上、本発明について好適な実施例をあげ
て説明したが、本発明は前記実施例に限らず、本発明の
要旨を逸脱しない範囲において種々の改良並びに設計の
変更が可能である。例えば、和データ用および各プロセ
スデータ用の設定値の許容範囲は、実施にあたって適宜
設定すればよい。例えば、非常に高精度の診断が必要で
あれば、許容範囲を狭くして僅かな変動であっても各プ
ロセスデータを個別にチェックするようにすればよい。
て説明したが、本発明は前記実施例に限らず、本発明の
要旨を逸脱しない範囲において種々の改良並びに設計の
変更が可能である。例えば、和データ用および各プロセ
スデータ用の設定値の許容範囲は、実施にあたって適宜
設定すればよい。例えば、非常に高精度の診断が必要で
あれば、許容範囲を狭くして僅かな変動であっても各プ
ロセスデータを個別にチェックするようにすればよい。
【００３７】また、和データを算出する際に、各プロセ
スデータに重みづけをおこなってから加算して和データ
を算出してもよい。このようにすれば、特にエラー原因
となりやすいデータを重視して診断することもできる。
さらに、本発明は、前記実施例のようなスパッタ成膜装
置１のプロセスデータ診断装置２０に用いられるものに
限らず、各種プロセスデータの管理が必要な様々な装置
に広く適用することができる。
スデータに重みづけをおこなってから加算して和データ
を算出してもよい。このようにすれば、特にエラー原因
となりやすいデータを重視して診断することもできる。
さらに、本発明は、前記実施例のようなスパッタ成膜装
置１のプロセスデータ診断装置２０に用いられるものに
限らず、各種プロセスデータの管理が必要な様々な装置
に広く適用することができる。
【００３８】また、和データを元に異常診断を行う場
合、実際には殆ど可能性はないが、理論上は各プロセス
データが設定値の許容範囲外にあってもその和データは
設定値の許容範囲内にあって異常を検出できない可能性
がある。このため、和データを診断する当初の数回など
に、和データが設定値の許容範囲内であってもそのプロ
セスデータをチェックするように設定してもよい。
合、実際には殆ど可能性はないが、理論上は各プロセス
データが設定値の許容範囲外にあってもその和データは
設定値の許容範囲内にあって異常を検出できない可能性
がある。このため、和データを診断する当初の数回など
に、和データが設定値の許容範囲内であってもそのプロ
セスデータをチェックするように設定してもよい。
【００３９】さらに、プロセスデータ診断装置２０とし
ては、前記実施例の構成に限らず、和データの算出、各
設定値との比較処理が行えればよい。特に、近年パーソ
ナルコンピュータの能力が向上しているため、適切なデ
ータ診断ソフトを作成してコンピュータで実行させてプ
ロセスデータの診断処理を行うことができる。
ては、前記実施例の構成に限らず、和データの算出、各
設定値との比較処理が行えればよい。特に、近年パーソ
ナルコンピュータの能力が向上しているため、適切なデ
ータ診断ソフトを作成してコンピュータで実行させてプ
ロセスデータの診断処理を行うことができる。
【００４０】
【発明の効果】このような本発明によれば、互いに関連
する複数のプロセスデータの異常値（データ量異常およ
びタイミング異常）を簡単に検出することができるとい
う効果がある。
する複数のプロセスデータの異常値（データ量異常およ
びタイミング異常）を簡単に検出することができるとい
う効果がある。
【図１】本発明の一実施例のスパッタ成膜装置を示す模
式図である。
式図である。
【図２】前記実施例のプロセスデータ診断装置を示すブ
ロック図である。
ロック図である。
【図３】前記実施例のプロセスデータ診断装置における
処理手順を示すフローチャートである。
処理手順を示すフローチャートである。
【図４】図３に示すフローチャートにおける自動異常検
出ルーチンの処理手順を示すフローチャートである。
出ルーチンの処理手順を示すフローチャートである。
【図５】前記実施例におけるスパッタ成膜装置の動作を
示す動作説明図およびプロセスデータを示すグラフであ
る。
示す動作説明図およびプロセスデータを示すグラフであ
る。
【図６】前記実施例におけるスパッタ成膜装置の動作を
示す動作説明図およびプロセスデータを示すグラフであ
る。
示す動作説明図およびプロセスデータを示すグラフであ
る。
【図７】前記実施例におけるプロセスデータおよび和デ
ータを示すグラフである。
ータを示すグラフである。
【図８】前記実施例におけるエラー発生例を示すグラフ
である。
である。
１ スパッタ成膜装置 ２ スパッタ室 １０ 電源 １２ オリフィス １４ マスフローコントローラ １５ バラトロンゲージ １６ Ａ／Ｄボード ２０ プロセスデータ診断装置 ２５ 第１記憶手段 ２７ 第２記憶手段 ２８ 加圧手段 ２９ 第１判別手段 ３０ 第２判別手段
Claims (3)
- 【請求項１】 複数のプロセスデータを加算して和デー
タを算出し、この和データが予め設定されている和デー
タ用設定値の許容範囲内であるか否かを判別し、設定値
の許容範囲外であれば各プロセスデータが個別に設定さ
れているプロセスデータ用設定値の許容範囲内であるか
否かを判別して異常データを検出することを特徴とする
プロセスデータ診断方法。 - 【請求項２】 請求項１のプロセスデータ診断方法にお
いて、前記プロセスデータはスパッタ成膜装置から得ら
れるターゲット電力データ、クライオポンプのオリフィ
ス開口度データ、およびプロセスガスのガス流量データ
の３種類のプロセスデータであることを特徴とするプロ
セスデータ診断方法。 - 【請求項３】 複数のプロセスデータが記憶される第１
記憶手段と、予め設定された和データ用および各プロセ
スデータ用設定値が記憶される第２記憶手段と、前記プ
ロセスデータを加算して和データを算出する加算手段
と、前記和データが前記和データ用設定値の許容範囲内
にあるか否かを判別する第１判別手段と、前記各プロセ
スデータが各プロセスデータ用設定値の許容範囲内にあ
るか否かを判別する第２判別手段とを備えていることを
特徴とするプロセスデータ診断装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6188374A JPH0854923A (ja) | 1994-08-10 | 1994-08-10 | プロセスデータ診断方法および診断装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6188374A JPH0854923A (ja) | 1994-08-10 | 1994-08-10 | プロセスデータ診断方法および診断装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0854923A true JPH0854923A (ja) | 1996-02-27 |
Family
ID=16222507
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6188374A Pending JPH0854923A (ja) | 1994-08-10 | 1994-08-10 | プロセスデータ診断方法および診断装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0854923A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6859755B2 (en) | 2001-05-14 | 2005-02-22 | Rosemount Inc. | Diagnostics for industrial process control and measurement systems |
| US8898036B2 (en) | 2007-08-06 | 2014-11-25 | Rosemount Inc. | Process variable transmitter with acceleration sensor |
| US9052240B2 (en) | 2012-06-29 | 2015-06-09 | Rosemount Inc. | Industrial process temperature transmitter with sensor stress diagnostics |
| US9207670B2 (en) | 2011-03-21 | 2015-12-08 | Rosemount Inc. | Degrading sensor detection implemented within a transmitter |
| US9602122B2 (en) | 2012-09-28 | 2017-03-21 | Rosemount Inc. | Process variable measurement noise diagnostic |
-
1994
- 1994-08-10 JP JP6188374A patent/JPH0854923A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6859755B2 (en) | 2001-05-14 | 2005-02-22 | Rosemount Inc. | Diagnostics for industrial process control and measurement systems |
| US8898036B2 (en) | 2007-08-06 | 2014-11-25 | Rosemount Inc. | Process variable transmitter with acceleration sensor |
| US9207670B2 (en) | 2011-03-21 | 2015-12-08 | Rosemount Inc. | Degrading sensor detection implemented within a transmitter |
| US9052240B2 (en) | 2012-06-29 | 2015-06-09 | Rosemount Inc. | Industrial process temperature transmitter with sensor stress diagnostics |
| US9602122B2 (en) | 2012-09-28 | 2017-03-21 | Rosemount Inc. | Process variable measurement noise diagnostic |
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