JPH085364A

JPH085364A - エッジ検査方法及びその装置

Info

Publication number: JPH085364A
Application number: JP14061294A
Authority: JP
Inventors: Mitsuaki Adachi; 光明足立
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1994-06-23
Filing date: 1994-06-23
Publication date: 1996-01-12

Abstract

(57)【要約】【構成】本発明は、エッジ部にナイフ・エッジ状の測定
子を当接させ、このとき測定子にて発生した力に基づい
て、エッジ部の異常検出を行うようにしたものである。【効果】本発明は、エッジ検査を、熟練を要することな
く、自動的かつ高精度で行うことができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、部品のエッジの欠陥検
査を行うためのエッジ検査方法及びその装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、例えば金属製品の鋳造加工や切
削加工あるいはプラスチックの成形加工後の検査工程に
おいては、エッジに“ばり”や“凹み”が発生していな
いか、あるいは、形状不良の有無についての検査を行っ
ている。従来においては、このエッジの検査は、人間の
視覚や触覚を利用する感応検査により行っていた。ある
いは、触針式表面形状測定器に楔形状の触針を取り付
け、部品のエッジを走査することにより、エッジ検査を
行っていた。さらには、エッジ部の画像を取り込み、画
像処理によりエッジ検査を行っていた。

【０００３】しかるに、従来のエッジ検査は、以下のよ
うな問題点をもっている。すなわち、＜１＞人間による
感応試験では、定量的かつ客観的な判定が困難で、エッ
ジ欠陥を看過したり正常なエッジを“異常”と誤信する
虞があった。＜２＞触針粗さ計を用いる場合は、客観的
な検査が可能となっているが、測定子が触針であるの
で、このような測定子をエッジに沿って相対的に動かす
ことはすこぶる困難であり、正確なエッジ測定が不可能
である。＜３＞触針式表面形状測定器を使用した場合、
エッジの異常検出は、エッジ方向に対して直角の縦方向
の変位に基づいて行っているので、微細なエッジ異常を
看過する確率が高くなり、超精密なエッジ異常検出が不
可能である。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】以上のように、従来の
エッジ検査である人間による感応試験あるいは触針粗さ
計を用いる試験では、エッジ検査精度を高精度に、か
つ、エッジに損傷を与えることなく行うことはできな
い。

【０００５】本発明は、上述した従来のエッジ検査方法
の欠点を参酌してなされたもので、エッジ検査を高精度
かつ再現性よく行うことができるエッジ検査方法びその
装置を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、エッジ部にナ
イフ・エッジ状の測定子を当接させ、このとき測定子に
て発生した摩擦方向を含む力に基づいて、エッジ部の異
常検出を行うようにしたものである。

【０００７】また、本発明は、導電性且つ可撓性の素線
が一列に櫛状に配列されてなる複数の測定子を導電性を
有する被測定物のエッジ部に徐々に接近させるととも
に、このときの測定子と被測定物との電気的導通を各測
定子ごとに検出し、検出結果に基づいてエッジ部の形状
を検出するとともに、測定エッジ形状と、あらかじめ設
定されている理想エッジとの比較結果に基づいてエッジ
異常を検出するようにしたものである。

【０００８】

【作用】本発明によれば、エッジ検査を、熟練を要する
ことなく、自動的かつ高精度で行うことができる。とく
に、従来の触針式表面形状測定器を使用した場合と異な
り、エッジに沿って確実に動かすことが可能になること
はもとより、エッジ方向の摩擦力に基づいてエッジ検査
を行うようにしているので、超精密なエッジ異常検出が
可能となる。

【０００９】また、本発明によれば、導電性且つ可撓性
の素線が一列に櫛状に配列されてなる複数の測定子を導
電性を有する被測定物のエッジ部に徐々に接近させると
ともに、このときの測定子と被測定物との電気的導通を
各測定子ごとに検出し、検出結果に基づいてエッジ部の
形状を検出するとともに、測定エッジ形状と、あらかじ
め設定されている理想エッジとの比較結果に基づいてエ
ッジ異常を検出するようにしたもので、エッジ異常の検
出を高精度かつ高能率で行うことができる。とくに、こ
の場合、測定子は、エッジ部に当接するだけで、摺動す
ることはないので、摩滅する虞はない。

【００１０】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を参照して詳
述する。図１は、この実施例のエッジ検査装置Ｄ１を示
している。このエッジ検査装置Ｄ１は、例えば円筒をな
す被測定物Ｗを同軸に保持して回転させる被測定物保持
部１と、この被測定物保持部１に近接して設けられ被測
定物Ｗのエッジ部Ｅの凹凸を力の変化として検出するエ
ッジ形状検出部２と、このエッジ形状検出部２からの力
検出信号ＳＦ１，ＳＦ２と被測定物保持部１からの位置
信号Ｓθとに基づいて被測定物Ｗのエッジ部Ｅの良否判
定を行うエッジ判定部３と、このエッジ判定部３におけ
る判定結果を画面表示する画像表示部４とからなってい
る。しかして、被測定物保持部１は、被測定物Ｗを同軸
位置に載置して減圧吸着する取付台５と、この取付台５
の下部に同軸に連結して回転駆動する駆動部６と、この
駆動部６の回転軸に同軸に連設され取付台５の回転角度
θを検出しエッジ判定部３に出力する例えばロータリ・
エンコーダなどからなる回転角度検出部８とからなって
いる。上記取付台５としては、０．１ｍｍレベルの芯出
し機能を有しているものを用いる。一方、エッジ形状検
出部２は、被測定物保持部１に対して位置調節自在に設
けられた支持部９と、この支持部９に揺動自在に取付け
られた棒状のバランスアーム１０と、このバランスアー
ム１０の前端部に設けられた例えばひずみ検出方式の力
検出器１１と、この力検出器１１に取付けれ被測定物Ｗ
のエッジ部Ｅに当接してその凹凸に倣って微小変位する
ナイフ・エッジ状の測定子１２と、バランスアーム１０
の後端部に連結され力検出器１１側のウェイトを緩和す
るカウンタ・ウェイト１３とからなっている。このカウ
ンタ・ウェイト１３は、測定子１２が被測定物Ｗのエッ
ジ部Ｅを、約１０ｇｆ程度の一定の力で押し付けるよう
に設定されている。また、測定子１２は、図２に示すよ
うに、その角丸みがＲ０．０５ｍｍ以下の鋭利形状に設
定された例えば超硬合金などの材質からなっている。そ
して、力検出器１１は、測定子１２に作用する押し付け
力Ｆ１及び摩擦力Ｆ２を検出して、それぞれ力検出信号
ＳＦ１，ＳＦ２に変換するものである。さらに、エッジ
判定部３は、力検出器１１から出力された力検出信号Ｓ
Ｆ１，ＳＦ２を増幅する増幅器１４と、この増幅器１４
から出力された力検出信号ＳＦ１，ＳＦ２をＡ／Ｄ変換
するＡ／Ｄ変換器１５と、このＡ／Ｄ変換器１５から出
力されたディジタル力検出信号ＳＦ１，ＳＦ２に基づい
て例えば１Ｈｚ〜１０Ｈｚの範囲内の周波数成分の波形
のみ取り出すバンドパス・フィルタからなる波形処理部
１６と、回転角度検出部８から出力されたエッジ位置信
号Ｓθを入力するとともに、前記波形処理部１６にて処
理された検査波形信号ＳＤＦ１，ＳＤＦ２いずれか一方
例えば検査波形信号ＳＤＦ２を入力し、且つ、あらかじ
め設定されている例えば０．２秒の検査期間ごとに振幅
を求め、これをあらかじめ設定されている閾値ＴＶに基
づいて異常波形を検出するとともに、その異常波形を現
出している被測定物Ｗのエッジ部Ｅの位置を検出する異
常波形判定部１７と、この異常波形判定部１７における
判定結果をいったん記憶するデータ記憶部１９とからな
っている。他方、画像表示部４は、例えばブラウン管な
どからなるものであって、データ記憶部１９に格納され
ている異常エッジ形状判定結果を画像表示するものであ
る。

【００１１】つぎに、上記構成のエッジ検査装置を用い
て、この実施例のエッジ検査方法について述べる。ま
ず、被測定物Ｗを取付台５に同軸保持させる。ついで、
図２に示すように、支持部９を被測定物Ｗのエッジ部Ｅ
の形状測定可能な位置に固定し、測定子１２を、そのナ
イフエッジがエッジ部Ｅをほぼ直角に横切るように、エ
ッジ部Ｅに当接させる。そして、駆動部６を起動して取
付台５を毎分５回転程度の低速で回転させる。その結
果、回転角度検出部８からは、取付台５の回転角度θす
なわち測定されているエッジ部Ｅの位置を示すエッジ位
置信号Ｓθが異常波形判定部１７に出力される。一方、
回転しているエッジ部Ｅに当接している測定子１２は、
エッジ部Ｅの凹凸に倣って上下運動する。これに伴っ
て、力検出器１１は、エッジ部Ｅの凹凸に起因して測定
子１２に作用する押し付け力Ｆ１及び摩擦力Ｆ２を検出
して、それぞれ力検出信号ＳＦ１，ＳＦ２を出力する
（図２及び図３参照）。すなわち、図４に示すように、
力検出信号ＳＦ１，ＳＦ２の電圧値は、エッジ部Ｅの凹
部（これは打痕，欠け等に起因して生ずる。）に対応し
て急落するとともに、エッジ部Ｅの凸部（これは、主と
してバリ，反り等に起因して生ずる。）に対応して上昇
する。しかして、これら力検出信号ＳＦ１，ＳＦ２は、
増幅器１４にて増幅された後、増幅された力検出信号Ｓ
Ｆ１，ＳＦ２は、Ａ／Ｄ変換器１５にてＡ／Ｄ変換さ
れ、波形処理部１６に入力する。しかして、波形処理部
１６にては、力検出信号ＳＦ１，ＳＦ２は、例えば１Ｈ
ｚ〜１０Ｈｚの範囲内の周波数成分の波形のみ抽出さ
れ、検査波形信号ＳＤＦ１，ＳＤＦ２に変換される。そ
して、これら検査波形信号ＳＤＦ１，ＳＤＦ２のうちい
ずれか一方例えば検査波形信号ＳＤＦ２のみを異常波形
判定部１７に入力させる。すると、この異常波形判定部
１７にては、例えば０．２秒ごとの検査期間ごとに振幅
ＡＬが求められる。そして、異常波形判定部１７にて
は、求めた振幅ＡＬが、閾値ＴＶ以上であるか否かの判
定が行われる。そして、異常と判定した波形について
は、エッジ位置信号Ｓθに基づいて、その異常波形を現
出している被測定物Ｗのエッジ部Ｅの位置を算出する。
そして、異常波形判定部１７における判定結果は、いっ
たんデータ記憶部１９に格納された後、画像表示部４に
て、図５に示すように、エッジ部Ｅの輪郭とともに、異
常エッジ部位ＡＥＰ（凹部及び凸部）が例えば赤などで
示される。

【００１２】以上のように、この実施例は、エッジ部Ｅ
にナイフ・エッジ状の測定子１２を当接させ、このとき
測定子１２にて発生した押し付け力Ｆ１及び摩擦力Ｆ２
を力検出器１１にて力検出信号ＳＦ１，ＳＦ２に変換
し、この力検出信号ＳＦ１，ＳＦ２に基づいて、エッジ
部の異常検出を行うようにしているので、エッジ検査
を、熟練を要することなく、自動的かつ高精度で行うこ
とができる。とくに、従来の触針式表面形状測定器を使
用した場合と異なり、エッジに沿って確実に動かすこと
が可能になることはもとより、エッジ方向の摩擦力に基
づいてエッジ検査を行うようにしているので、超精密な
エッジ異常検出が可能となる。

【００１３】なお、上記実施例においては、被測定物Ｗ
が円筒状体の場合を例示しているが、例えば直方体をな
す被測定物にも本発明を適用できる。ただし、この場合
は、被測定物保持部１は、回転自在な取付台の代わり
に、稜線方向に精密直線移動することが可能なテーブル
を使用する必要がある。さらに、上記実施例において
は、被測定物Ｗ側をエッジ形状検出部２に対して移動さ
せているが、エッジ形状検出部２を被測定物Ｗに対して
移動させるようにしてもよい。

【００１４】さらに、上記実施例においては、検査波形
信号ＳＤＦ１，ＳＤＦ２のうちいずれか一方に基づい
て、エッジ部Ｅの異常検出を行っているが、両方の検査
波形信号ＳＤＦ１，ＳＤＦ２について異常検出を行い、
それらの結果について、ＡＮＤ処理又はＯＲ処理を行う
ようにしてもよい。

【００１５】さらにまた、上記実施例においては、異常
検出を振幅に基づいて行っているが、検査波形信号ＳＤ
Ｆ１，ＳＤＦ２を絶対値信号に変換した後、あらかじめ
設定した閾値に従って２値化することにより、エッジ異
常検出を行うようにしてもよい。

【００１６】さらに、上記実施例におけるバランスアー
ム１０の代わりに、例えばバネ定数が１０ｋｇｆ／ｍ程
度の非常に柔らかいコンプライアンス機構２０を用いて
もよい。すなわち、図６に示すように、このコンプライ
アンス機構２０は、例えば、厚み０．３５ｍｍ、幅２０
ｍｍ、長さ１００ｍｍ程度のアルミニウム製の板を２枚
平行に配置した平行板バネ２１，２１により、力検出器
１１を支持するものである。

【００１７】つぎに、本発明の他の実施例のエッジ検査
装置Ｄ２について述べる。このエッジ検査装置Ｄ２は、
図７及び図８に示すように、例えば直方体をなす導電性
の被測定物Ｗ１を減圧吸着により保持固定する被測定物
保持部３１と、例えばベリリウム（Ｂｅ）銅などの導電
性と十分な弾性を有し且つ露出部分の長さが例えば１０
ｍｍの可撓性の素線からなる複数（例えば２００本）の
測定子３１…が一列に櫛状に配列されてなるエッジ形状
検出部３２と、エッジ形状検出部３２を支持して位置決
め駆動する位置決め部３３と、一方の端子が位置決め部
３３の各測定子３１…に各別に電気的に接続され且つ他
方の端子がエッジ異常の検出対象である被測定物Ｗ１に
電気的に接続された導通検出部３４と、この導通検出部
３４から出力された導通信号ＳＱに基づいて、被測定物
Ｗ１のエッジ形状を演算により求め、且つ、あらかじめ
設定されている基準形状と比較演算することによりエッ
ジ異常を判定するとともに、異常と判定された位置を算
出するエッジ判定部３５と、このエッジ判定部３５おけ
る各種データを記憶するデータ記憶部３６と、このデー
タ記憶部３６に記憶されているデータに基づいて被測定
物Ｗ１のエッジ部Ｅ１の形状と異常位置を画像表示する
画像表示部３７とからなっている。しかして、測定子３
１…の線径は、例えば０．１ｍｍであり、各測定子３１
間の間隔Ｐ（図９参照）は、例えば０．１ｍｍである。
そして、エッジ形状検出部３２は、前記測定子３１…
と、これら測定子３１…のそれぞれの基部を角度４５度
〜６０度程度（図８角度ω参照）傾けて且つ絶縁状態に
て保持する棒状の測定子保持体３８とからなっている。
さらに、導通検出部３４は、一方の端子が測定子保持体
３８に保持されている測定子３１…の末端部に並列接続
され且つ他方の端子がエッジ異常の検出対象である被測
定物Ｗ１に電気的に接続されているマルチプレクサ３９
と、このマルチプレクサ３９により各測定子３１…ごと
に順次に電圧が走査的に印加されたとき測定子３１が被
測定物Ｗ１のエッジ部Ｅ１に接触している場合に流れた
導通信号ＳＱを入力して増幅する増幅器３９ａと、この
増幅器３９ａから出力された導通信号ＳＱを２値化して
２値化信号ＳＰに変換しエッジ判定部３５に出力する２
値化回路４０とからなっている。さらに、位置決め部３
３は、エッジ形状検出部３２を被測定物Ｗ１のエッジ部
Ｅ１に対して直角方向に微動させる第１駆動部４１と、
この第１駆動部４１を被測定物Ｗ１のエッジ部Ｅ１に沿
って水平方向に間欠的に移動させる第２駆動部４２とか
らなるもので、エッジ判定部３５から印加された制御信
号ＳＣＤに基づいて駆動されるようになっている。

【００１８】つぎに、上記構成のエッジ検査装置Ｄ２を
用いてこの実施例のエッジ検査方法について述べる。ま
ず、被測定物Ｗ１を減圧吸着により被測定物保持部３１
に保持させる。ついで、エッジ判定部３５から制御信号
ＳＣＤが、位置決め部３３に印加される。すると、第２
駆動部４２は、エッジ形状検出部３２を所定のエッジ部
Ｅ１の検査領域の直上位置に位置決めする。このとき測
定子３１…の配列方向とエッジ部Ｅ１の稜線方向とが平
行になるように、また、測定子３１…を、そのまま直下
に移動した際に、測定子３１…の中途部がエッジ部Ｅ１
に接触するように設定しておく。つぎに、第１駆動部４
１は、図９に示すように、測定子３１…、高さＨ１の位
置に位置決めする。すると、エッジ部Ｅ１の凸部７１に
接触した測定子３１−１から導通信号ＳＱが出力され
る。この導通信号ＳＱは、増幅器３９ａ及び２値化回路
４０を経由すると，測定子３１−１に対応する部分のみ
が論理値「１」かつ他の測定子３１…の論理値が「０」
となっている２値化信号ＳＰがエッジ判定部３５に出力
される。すると、このエッジ判定部３５にては、図９の
黒丸に示すように、高さＨ１の測定子３１−１が接触位
置つまりエッジ位置と判定される。つぎに、高さＨ１の
場合と同様にして、エッジ形状検出部３２を、高さＨ２
の位置に位置決めする。すると、測定子３１−１の他に
測定子３１−２が新たにエッジ部Ｅ１に接触する。その
結果、２値化信号ＳＰは、測定子３１−１，３１−２の
みが論理値「１」かつ他の測定子３１…の論理値が
「０」となる。その結果、エッジ判定部３５にては、図
９の黒丸に示すように、高さＨ２の測定子３１−１，３
１−２位置のみが接触位置つまりエッジ位置と判定され
る。さらに、高さＨ２の場合と同様にして、エッジ形状
検出部３２を、高さＨ３の位置に位置決めする。する
と、測定子３１−１，３１−２の他に測定子３１−３が
新たにエッジ部Ｅ１に接触する。その結果、２値化信号
ＳＰは、測定子３１−１，３１−２，３１−３のみが論
理値「１」かつ他の測定子３１…の論理値が「０」とな
る（ただし、エッジ部Ｅ１の凸部７１が他の部位より高
い場合のみ。図９では一部のみを拡大して示してい
る。）。その結果、エッジ判定部３５にては、図９の黒
丸に示すように、高さＨ３の測定子３１−３位置が新た
に接触位置つまりエッジ位置と判定される。なお、各高
さ位置間の距離は、例えば０．０５ｍｍである。以上の
ようなプロセスを繰り返すことにより、当該検査領域に
おけるエッジ部Ｅ１の形状が検出される。つぎに、第２
駆動部４２を起動することにより、他の検査領域につい
ても同様の処理を間欠的に行う。しかして、エッジ部Ｅ
１の全領域についてのエッジ形状測定が終了すると、エ
ッジ判定部３５にては、図１０に示すように、エッジ部
Ｅ１の全領域にわたるエッジ形状ＥＣＲがプロットされ
る。つぎに、エッジ判定部３５にては、測定エッジ形状
ＥＣＲとあらかじめ設定されている理想エッジ形状ＥＣ
Ｉとの比較演算を行う。その結果、両者の差が、閾値Ｅ
Ｔを越えているエッジ部分をエッジ異常領域ＲＥＡと判
定する。これら判定結果をはじめとする各種データは、
いったんデータ記憶部３６に格納されたのち、図１０に
示すように、画像表示部３７にて被測定物Ｗ１のエッジ
部Ｅ１の形状と異常領域ＲＥＡが画像表示される。

【００１９】以上のように、この実施例は、導電性且つ
可撓性の素線が一列に櫛状に配列されてなる複数の測定
子３１…を被測定物Ｗ１のエッジ部Ｅ１に徐々に接近さ
せるとともに、このときの測定子３１…と被測定物Ｗ１
との電気的導通を各測定子３１…ごとに検出し、検出結
果に基づいてエッジ部Ｅ１の形状を検出するとともに、
測定エッジ形状ＥＣＲと、あらかじめ設定されている理
想エッジＥＣＩとの比較結果に基づいてエッジ異常を検
出するようにしたもので、エッジ異常の検出を高精度か
つ高能率で行うことができる。とくに、この場合、測定
子３１…は、エッジ部Ｅ１に当接するだけで、摺動する
ことはないので、摩滅する虞はない。

【００２０】なお、上記実施例においては、検査領域に
おける測定が終了すると、他の検査領域に移行するよう
にしているが、図１１に示すように、測定子３１…の間
隔よりもさらに細かく形状測定を行いたい場合は、白丸
で示す第１回の形状測定のあとに、半ピッチだけ測定子
３１…をずらし黒丸で示す形状測定を行うようにすれ
ば、分解能が高まることにより、さらに精密な形状測定
を行うことができ、その結果としてエッジ異常の検査精
度も高めることができる。なお、この場合、ピッチをず
らす量は、１／３ピッチずつ，１／４ピッチずつ等、任
意に設定してよい。

【００２１】さらに、上記実施例においては、被測定物
Ｗ１を被測定物保持部３１に固定させ、測定子３１…側
を位置決め部３３により移動させるようにしているが、
逆に、測定子３１…側を固定し、被測定物Ｗ１側を移動
させるようにしてもよい。要するに、被測定物Ｗ１に対
して測定子３１…側を相対的に移動させるものであれ
ば、移動・位置決め方法に拘泥する必要はない。

【００２２】

【発明の効果】本発明は、エッジ部にナイフ・エッジ状
の測定子を当接させ、このとき測定子にて発生した力に
基づいて、エッジ部の異常検出を行うようにしているの
で、エッジ検査を、熟練を要することなく、自動的かつ
高精度で行うことができる。とくに、従来の触針式表面
形状測定器を使用した場合と異なり、エッジに沿って確
実に動かすことが可能になることはもとより、エッジ方
向の摩擦力に基づいてエッジ検査を行うようにしている
ので、超精密なエッジ異常検出が可能となる。

【００２３】また、本発明の他のものは、導電性且つ可
撓性の素線が一列に櫛状に配列されてなる複数の測定子
を導電性を有する被測定物のエッジ部に徐々に接近させ
るとともに、このときの測定子と被測定物との電気的導
通を各測定子ごとに検出し、検出結果に基づいてエッジ
部の形状を検出するとともに、測定エッジ形状と、あら
かじめ設定されている理想エッジとの比較結果に基づい
てエッジ異常を検出するようにしたもので、エッジ異常
の検出を高精度かつ高能率で行うことができる。とく
に、この場合、測定子は、エッジ部に当接するだけで、
摺動することはないので、摩滅する虞はない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例のエッジ検査装置の構成図で
ある。

【図２】図１の要部拡大図である。

【図３】図２の側面図である。

【図４】本発明の一実施例のエッジ検査方法を説明する
タイミングチャートである。

【図５】本発明の一実施例のエッジ検査方法の検査結果
の説明図である。

【図６】本発明の一実施例のエッジ検査装置の変形例を
示す図である。

【図７】本発明の他の実施例のエッジ検査装置の構成図
である。

【図８】図７の要部拡大図である。

【図９】本発明の他の実施例のエッジ検査方法を説明す
るタイミングチャートである。

【図１０】本発明の他の実施例のエッジ検査方法の検査
結果の説明図である。

【図１１】本発明の他の実施例のエッジ検査方法の変形
例の説明図である。

【符号の説明】

１，３１：被測定物保持部，２，３２：エッジ形状検出
部，３，３５：エッジ判定部，１０：バランスアーム，
１１：力検出器，１２：測定子，２０：コンプライアン
ス機構，３１：測定子。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】エッジ部を有する被測定物の上記エッジ部
を検査するエッジ検査方法において、測定子を上記エッ
ジ部に沿って相対的に摺動させる測定子送り工程と、こ
の測定子送り工程中に上記測定子に加わる力を検出する
力検出工程と、この力検出工程にて検出された力に基づ
いて上記エッジ部の良否を判定するエッジ判定工程とを
具備することを特徴とするエッジ検査方法。
【請求項２】測定子は、ナイフ・エッジ状であることを
特徴とする請求項１記載のエッジ検査方法。
【請求項３】力検出工程にて検出された力は、押し付け
力及び摩擦力からなることを特徴とする請求項１記載の
エッジ検査方法。
【請求項４】エッジ部の良否の判定は、押し付け力及び
摩擦力のうち少なくとも一方に基づいて行うことを特徴
とする請求項１記載のエッジ検査方法。
【請求項５】エッジ部を有する被測定物の上記エッジ部
を検査するエッジ検査装置において、測定子と、この測
定子に加わる力を検出して力検出信号に変換する力検出
器と、上記測定子を上記エッジ部に沿って相対的に摺動
させる被測定物送り部と、上記力検出信号のうちあらか
じめ定められた周数数帯域の力検出信号に基づいて上記
エッジ部の良否を判定するエッジ判定部とを具備するこ
とを特徴とするエッジ検査装置。
【請求項６】測定子は、ナイフ・エッジ状に形成されて
いることを特徴とする請求項５記載のエッジ検査方法。
【請求項７】エッジ判定部にては、力検出信号の振幅を
求め、この振幅とあらかじめ設定された判定基準値とを
比較し、この比較結果に基づいてエッジ部の良否を判定
することを特徴とする請求項５記載のエッジ検査装置。
【請求項８】測定子のエッジ部に対する摺接位置を検出
するエッジ検出部を有することを特徴とする請求項５記
載のエッジ検査装置。
【請求項９】力検出器は、押し付け力及び摩擦力を検出
することを特徴とする請求項５記載のエッジ検査装置。
【請求項１０】力検出器は、揺動自在なバランスアーム
に取付けられていることを特徴とする請求項５記載のエ
ッジ検査装置。
【請求項１１】力検出器は、コンプライアンス機構に取
付けられていることを特徴とする請求項５記載のエッジ
検査装置。
【請求項１２】エッジ部を有し且つ導電性の被測定物の
上記エッジ部を検査するエッジ検査方法において、導電
性且つ可撓性の素線が一列に等ピッチで配列されてなる
複数の測定子を上記エッジ部に相対的且つ所定の間隔で
間欠的に接近停止させる測定子接近工程と、この測定子
接近工程の各停止位置において上記測定子と上記エッジ
部との電気的導通を検出する電気的導通検出工程と、こ
の電気的導通検出工程における導通データに基づいて上
記エッジ部の形状を再現するエッジ形状再現工程と、こ
のエッジ形状再現工程にて再現された上記エッジ部の形
状とあらかじめ設定されている理想形状とを比較し比較
結果に基づいて上記エッジ部の良否を判定するエッジ判
定工程とを具備することを特徴とするエッジ検査方法。
【請求項１３】測定子接近工程においては、測定子は、
この測定子の列設方向がエッジの方向と平行に設けら
れ、且つ、上記各測定子の上記エッジに対する接近に伴
って、上記各測定子の中途部が上記エッジに接触する位
置に設けられていることを特徴とする請求項１２記載の
エッジ検査方法。
【請求項１４】複数の測定子は、１回のエッジ領域の検
査終了ごとに隣接するエッジ領域に移行させエッジ良否
判定を繰り返すことを特徴とする請求項１２記載のエッ
ジ検査方法。
【請求項１５】複数の測定子は、上記測定子のピッチの
範囲内で複数回移行させ、これら各移行位置における電
気的導通データに基づいてエッジ部の形状を再現するこ
とによりエッジ良否判定を行うことを特徴とする請求項
１２記載のエッジ検査方法。
【請求項１６】エッジ部を有し且つ導電性の被測定物の
上記エッジ部の良否を検査するエッジ検査装置におい
て、導電性且つ可撓性の素線が一列に等ピッチで配列さ
れてなる複数の測定子と、上記測定子を上記エッジ部に
対して相対的且つ所定の間隔で間欠的に接近停止させる
測定子位置決め部と、一方の端子が上記測定子に各別に
電気的に接続され且つ他方の端子が上記被測定物に電気
的に接続され上記測定子の各停止位置において上記測定
子と上記エッジ部との電気的導通を検出する導通検出部
と、上記導通検出部から出力された導通信号に基づいて
上記エッジ部の形状を再現し且つあらかじめ設定されて
いる基準エッジ形状と比較することにより上記エッジ部
の良否を判定するエッジ判定部とを具備することを特徴
とするエッジ検査装置。