JPH0851130A - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

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JPH0851130A
JPH0851130A JP6185911A JP18591194A JPH0851130A JP H0851130 A JPH0851130 A JP H0851130A JP 6185911 A JP6185911 A JP 6185911A JP 18591194 A JP18591194 A JP 18591194A JP H0851130 A JPH0851130 A JP H0851130A
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JP
Japan
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semiconductor package
substrate
semiconductor
resin
pad
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JP6185911A
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English (en)
Inventor
Jun Omori
純 大森
Takanori Jin
隆則 神
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
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Publication of JPH0851130A publication Critical patent/JPH0851130A/ja
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48225Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/48227Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item

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  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】信頼性及び商品価値の高い半導体パッケ−ジを
提供する。 【構成】絶縁基板11の一方の主表面上には、半導体チ
ップ12が搭載されている。絶縁基板11の他方の主表
面上には、平面状電極が形成されている。絶縁基板11
にはスル−ホ−ルが形成されている。半導体チップは、
配線23により、スル−ホ−ルを介して平面状電極に電
気的に接続されている。絶縁基板11の一方の主表面上
には樹脂15が形成されている。テスト用パッド24
は、樹脂15の外部であり、かつ、半導体パッケ−ジの
打ち抜きライン26に跨がって形成されている。なお、
テスト用パッド24は、樹脂15の外部であり、かつ、
半導体パッケ−ジの打ち抜きライン26の内側に形成さ
れていてもよい。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体パッケ−ジに関
するものである。
【0002】
【従来の技術】図6は、従来の半導体パッケ−ジを示し
ている。なお、図7は、図6の半導体パッケ−ジを上面
から見た場合の上面図であり、図8は、図6の半導体パ
ッケ−ジを下面から見た場合の下面図である。
【0003】絶縁基板11の一方の表面上には、半導体
チップ12が搭載され、ボンディング用パッド13が形
成されている。半導体チップ12とボンディング用パッ
ド13は、ボンディングワイヤ14により互いに接続さ
れている。
【0004】絶縁基板11の一方の表面上には、樹脂1
5が形成されている。樹脂15は、半導体チップ12、
ボンディング用パッド13及びボンディングワイヤ14
を覆うようにして形成されている。
【0005】絶縁基板11の他方の表面上には、複数の
平面状電極16が規則的なパタ−ンで形成されている。
絶縁基板11には、スル−ホ−ル17が形成されてい
る。ボンディング用パッド13と平面状電極16は、ス
ル−ホ−ル17内の導電材18を介して互いに接続され
ている。なお、図9に示すように、絶縁基板11は、ア
ウタ−ベ−スカ−ド20に嵌め込まれ、平面状電極16
は、外部機器21のソケット22に接続される。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】上述の半導体パッケ−
ジにおいて、平面状電極16は、バ−ンイン時及び動作
テスト時に外部機器と電気的に接続される。例えば、図
10に示すように、ソケットに取り付けられたS字型の
ピン19の先端部を平面状電極16に接触させる。この
際、平面状電極16とS字型のピン19を完全に接触さ
せるためには、1つのピンに対して100g程度の荷重
をかける必要がある。
【0007】従って、S字型のピン19と平面状電極1
6の接触に際し、ピン19は、その荷重と弾性によって
スライドし、平面状電極16にキズを付けることがあ
る。しかし、この半導体パッケ−ジの平面状電極16
は、ユ−ザの目に最も触れ易い部分である。従って、平
面状電極16にキズがあると、半導体パッケ−ジの信頼
性や商品価値を著しく低下させることになる。
【0008】このように、従来の半導体パッケ−ジで
は、バ−ンイン時及び動作テスト時において、平面状電
極とS字状のピンを接触させて、半導体チップと外部機
器の電気的接続を確保していた。このため、平面状電極
にキズが生じ、半導体パッケ−ジの信頼性や商品価値を
低下させる欠点があった。
【0009】本発明は、上記欠点を解決すべくなされた
もので、その目的は、平面状電極にキズがない信頼性の
高い半導体パッケ−ジを提供し、かつ、個々のパッケ−
ジに分離した後にもバ−ンインや動作テストを行うこと
ができる半導体パッケ−ジを提供することである。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の半導体装置は、基板と、前記基板の第1主
面上に搭載される半導体チップと、前記基板の第2主面
上に形成される平面状電極と、前記基板に形成されるス
ル−ホ−ルと、前記半導体チップと前記平面状電極とを
前記スル−ホ−ルを介して電気的に接続する配線と、前
記基板の第1主面上に形成され、前記半導体チップを保
護する樹脂と、前記基板の第1主面上に形成され、前記
配線に接続される外部接続用パッドとを備えている。
【0011】前記外部接続用パッドは、前記樹脂の外部
であり、かつ、前記基板に設けられる半導体パッケ−ジ
の打ち抜きラインに跨がって形成されている。また、前
記外部接続用パッドは、前記樹脂の外部であり、かつ、
前記基板に設けられる半導体パッケ−ジの打ち抜きライ
ンよりも内側に形成されていてもよい。前記基板からは
複数個の半導体パッケ−ジが打ち抜かれ、かつ、個々の
半導体パッケ−ジには前記外部接続用パッドが残存して
いる。
【0012】
【作用】上記構成によれば、半導体チップが搭載される
側の基板の第1主表面上には、外部接続用パッドが設け
られている。しかも、この外部接続用パッドは、樹脂の
外部であり、かつ、半導体パッケ−ジの打ち抜きライン
(半導体パッケ−ジの外周となる部分)に跨がるか、又
は当該打ち抜きラインよりも内側に形成されている。
【0013】従って、バ−ンイン時及び動作テスト時に
おいて、ソケットに取り付けられたS字型のピンは、第
1主表面上の外部接続用パッドに接触させれば足り、第
2主表面上の平面状電極に接触させる必要がない。つま
り、当該平面状電極にキズが付くことがないため、半導
体パッケ−ジの信頼性や商品価値を向上させることがで
きる。
【0014】また、個々の半導体パッケ−ジに分離した
後においても、半導体チップが搭載される側の基板の第
1主表面上には外部接続用パッドが存在しているため、
当該分離後にもバ−ンインや動作テストを行うことがで
きる。
【0015】
【実施例】以下、図面を参照しながら、本発明の半導体
パッケ−ジについて詳細に説明する。図1は、本発明の
一実施例に係わる半導体パッケ−ジの基板を示してい
る。なお、図2は、図1の基板から取り出した1個の半
導体パッケ−ジを示している。図3は、図2のIII − I
II´線に沿う断面図である。
【0016】絶縁基板11の一方の表面上には、半導体
チップ12が搭載され、ボンディング用パッド13が形
成されている。半導体チップ12とボンディング用パッ
ド13は、ボンディングワイヤ14により互いに接続さ
れている。
【0017】絶縁基板11の一方の表面上には、樹脂1
5が形成されている。樹脂15は、半導体チップ12、
ボンディング用パッド13及びボンディングワイヤ14
を覆うようにして形成されている。
【0018】また、ボンディング用パッド13からは、
配線23が延在している。配線23の一端は、ボンディ
ング用パッド13に接続され、その他端は、樹脂15の
外部においてテスト用パッド24に接続されている。
【0019】このテスト用パッド24は、樹脂15の外
部に形成され、かつ、半導体パッケ−ジの打ち抜きライ
ン(半導体パッケ−ジの外周となる部分)26に跨がる
ようにして配置されている。
【0020】なお、このテスト用パッド24は、樹脂1
5の外部であり、かつ、半導体パッケ−ジの打ち抜きラ
イン26よりも内側に配置されるようにして形成しても
構わない。
【0021】各々のテスト用パッド24からは、メッキ
用の配線25が延在している。このメッキ用の配線25
により、例えば絶縁基板11の他方の表面上の平面状電
極16に金メッキが施される。
【0022】絶縁基板11の他方の表面上の平面状電極
16は、規則的なパタ−ンで形成されている。絶縁基板
11には、スル−ホ−ル17が形成されている。ボンデ
ィング用パッド13と平面状電極16は、スル−ホ−ル
17内の導電材18を介して互いに接続されている。
【0023】上記構成によれば、絶縁基板11の一方の
表面上(半導体チップが搭載される側の表面上)には、
テスト用パッド24が設けられている。しかも、このテ
スト用パッド24は、樹脂15の外部に形成され、か
つ、半導体パッケ−ジの打ち抜きライン(半導体パッケ
−ジの外周となる部分)26に跨がるか又は打ち抜きラ
イン26よりも内側に配置されている。
【0024】従って、バ−ンイン時及び動作テスト時に
おいて、ソケットに取り付けられたS字型のピンは、テ
スト用パッド24に接触させればよく、平面状電極16
に接触させる必要がない。つまり、平面状電極16にキ
ズが付くこともなく、半導体パッケ−ジの信頼性や商品
価値を向上させることができる。
【0025】また、個々の半導体パッケ−ジに分離した
後においても、絶縁基板11の一方の表面上にはテスト
用パッド24が存在しているため、当該分離後にもバ−
ンインや動作テストを行うことができる。
【0026】図4は、図1の半導体パッケ−ジの基板の
テスト時の様子を示している。即ち、ソケットに取り付
けられたS字型のピン19は、絶縁基板11の一方の表
面上のテスト用パッド24に接触しており、平面状電極
16には接触していない。従って、平面状電極16にキ
ズが付くことがないため、半導体パッケ−ジの信頼性や
商品価値を向上させることができる。
【0027】図5は、本発明の他の実施例に係わる半導
体パッケ−ジを示している。絶縁基板11の一方の表面
上には、半導体チップ12が搭載されている。半導体チ
ップ12と配線23は、バンプ27により互いに接続さ
れている。絶縁基板11と半導体チップ12の間及び半
導体チップ12の周辺部には、樹脂15が形成されてい
る。
【0028】配線23の一端は、バンプ27に接続さ
れ、その他端は、樹脂15の外部においてテスト用パッ
ド24に接続されている。このテスト用パッド24は、
図1の半導体パッケ−ジと同様に、樹脂15の外部に形
成され、かつ、半導体パッケ−ジの打ち抜きライン(半
導体パッケ−ジの外周となる部分)に跨がるようにして
配置される。
【0029】なお、このテスト用パッド24は、樹脂1
5の外部であり、かつ、半導体パッケ−ジの打ち抜きラ
インよりも内側に配置されるように形成してもよい。絶
縁基板11の他方の表面上の平面状電極16は、規則的
なパタ−ンで形成されている。絶縁基板11には、スル
−ホ−ル17が形成されている。配線23と平面状電極
16は、スル−ホ−ル17内の導電材18を介して互い
に接続されている。
【0030】上記構成によれば、絶縁基板11の一方の
表面上(半導体チップが搭載される側の表面上)には、
テスト用パッド24が設けられている。しかも、このテ
スト用パッド24は、樹脂15の外部に形成され、か
つ、半導体パッケ−ジの打ち抜きライン(半導体パッケ
−ジの外周となる部分)に跨がるか又は打ち抜きライン
よりも内側に配置される。
【0031】従って、バ−ンイン時及び動作テスト時に
おいて、ソケットに取り付けられたS字型のピンは、テ
スト用パッド24に接触させればよく、平面状電極16
に接触させる必要がない。つまり、平面状電極16にキ
ズが付くこともなく、半導体パッケ−ジの信頼性や商品
価値を向上させることができる。
【0032】また、個々の半導体パッケ−ジに分離した
後においても、絶縁基板11の一方の表面上にはテスト
用パッド24が存在しているため、当該分離後にもバ−
ンインや動作テストを行うことができる。
【0033】
【発明の効果】以上、説明したように、本発明の半導体
パッケ−ジによれば、次のような効果を奏する。半導体
チップが搭載される側の絶縁基板の表面上にテスト用パ
ッドを設けている。しかも、このテスト用パッドは、樹
脂の外部に形成され、かつ、半導体パッケ−ジの打ち抜
きライン(半導体パッケ−ジの外周となる部分)に跨が
るか又は打ち抜きラインよりも内側に配置されている。
【0034】従って、バ−ンイン時及び動作テスト時に
おいて、ソケットに取り付けられたS字型のピンは、テ
スト用パッドに接触させれば足り、平面状電極に接触さ
せる必要がない。つまり、平面状電極にキズが付くこと
がないため、半導体パッケ−ジの信頼性や商品価値を向
上させることができる。
【0035】また、個々の半導体パッケ−ジに分離した
後においても、半導体チップが搭載される側の絶縁基板
の表面上にはテスト用パッドが存在しているため、当該
分離後にもバ−ンインや動作テストを行うことができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例に係わる半導体パッケ−ジの
基板を示す平面図。
【図2】図1の基板から取り出した1個の半導体パッケ
−ジを示す平面図。
【図3】図2のIII − III´線に沿う断面図。
【図4】図1の半導体パッケ−ジの基板のテスト時の様
子を示す図。
【図5】本発明の他の実施例に係わる半導体パッケ−ジ
を示す断面図。
【図6】従来の半導体パッケ−ジを示す断面図。
【図7】図6の半導体パッケ−ジの上面図。
【図8】図6の半導体パッケ−ジの下面図。
【図9】従来の半導体パッケ−ジの応用例を示す図。
【図10】従来の半導体パッケ−ジのテスト時の様子を
示す図。
【符号の説明】
11 …絶縁基板、 12 …半導体チップ、 13 …ボンディング用パッド、 14 …ボンディングワイヤ、 15 …樹脂、 16 …平面状電極、 17 …スル−ホ−ル、 18 …導電材、 19 …ソケットピン、 20 …アウタ−ベ−スカ−ド、 21 …外部機器、 22 …ソケット、 23 …配線、 24 …テスト用パッド、 25 …メッキ用配線、 26 …半導体パッケ−ジの打ち抜きライ
ン、 27 …バンプ。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板と、前記基板の第1主面上に搭載さ
    れる半導体チップと、前記基板の第2主面上に形成され
    る平面状電極と、前記基板に形成されるスル−ホ−ル
    と、前記半導体チップと前記平面状電極とを前記スル−
    ホ−ルを介して電気的に接続する配線と、前記基板の第
    1主面上に形成され、前記半導体チップを保護する樹脂
    と、前記基板の第1主面上に形成され、前記配線に接続
    される外部接続用パッドとを具備する半導体装置。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の半導体装置において、 前記外部接続用パッドは、前記樹脂の外部であり、か
    つ、前記基板に設けられる半導体パッケ−ジの打ち抜き
    ラインに跨がって形成されていることを特徴とする半導
    体装置。
  3. 【請求項3】 請求項1に記載の半導体装置において、 前記外部接続用パッドは、前記樹脂の外部であり、か
    つ、前記基板に設けられる半導体パッケ−ジの打ち抜き
    ラインよりも内側に形成されていることを特徴とする半
    導体装置。
  4. 【請求項4】 請求項1に記載の半導体装置において、 前記基板からは複数個の半導体パッケ−ジが打ち抜か
    れ、かつ、個々の半導体パッケ−ジには前記外部接続用
    パッドが残存していることを特徴とする半導体装置。
JP6185911A 1994-08-08 1994-08-08 半導体装置 Pending JPH0851130A (ja)

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JP6185911A JPH0851130A (ja) 1994-08-08 1994-08-08 半導体装置

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100378093B1 (ko) * 1999-09-07 2003-03-29 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 반도체 패키지용 회로기판 및 이를 이용한 불량 회로기판의 감지방법

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