JPH08500810A - 湿った多孔質ゲルモノリスの迅速乾燥方法及び装置 - Google Patents

湿った多孔質ゲルモノリスの迅速乾燥方法及び装置

Info

Publication number
JPH08500810A
JPH08500810A JP6502561A JP50256194A JPH08500810A JP H08500810 A JPH08500810 A JP H08500810A JP 6502561 A JP6502561 A JP 6502561A JP 50256194 A JP50256194 A JP 50256194A JP H08500810 A JPH08500810 A JP H08500810A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
temperature
solvent
drying
drying chamber
chamber
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP6502561A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3514457B2 (ja
Inventor
ワング,シホ
カークバー,フィクレット
レイショウドフリ,サッティアブラタ
サルカル,アルナブ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yazaki Corp
Original Assignee
Yazaki Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yazaki Corp filed Critical Yazaki Corp
Publication of JPH08500810A publication Critical patent/JPH08500810A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3514457B2 publication Critical patent/JP3514457B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B19/00Other methods of shaping glass
    • C03B19/12Other methods of shaping glass by liquid-phase reaction processes
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F26DRYING
    • F26BDRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
    • F26B21/00Arrangements or duct systems, e.g. in combination with pallet boxes, for supplying and controlling air or gases for drying solid materials or objects
    • F26B21/14Arrangements or duct systems, e.g. in combination with pallet boxes, for supplying and controlling air or gases for drying solid materials or objects using gases or vapours other than air or steam, e.g. inert gases
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F26DRYING
    • F26BDRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
    • F26B3/00Drying solid materials or objects by processes involving the application of heat
    • F26B3/02Drying solid materials or objects by processes involving the application of heat by convection, i.e. heat being conveyed from a heat source to the materials or objects to be dried by a gas or vapour, e.g. air
    • F26B3/04Drying solid materials or objects by processes involving the application of heat by convection, i.e. heat being conveyed from a heat source to the materials or objects to be dried by a gas or vapour, e.g. air the gas or vapour circulating over or surrounding the materials or objects to be dried
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F26DRYING
    • F26BDRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
    • F26B5/00Drying solid materials or objects by processes not involving the application of heat
    • F26B5/005Drying solid materials or objects by processes not involving the application of heat by dipping them into or mixing them with a chemical liquid, e.g. organic; chemical, e.g. organic, dewatering aids
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F26DRYING
    • F26BDRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
    • F26B7/00Drying solid materials or objects by processes using a combination of processes not covered by a single one of groups F26B3/00 and F26B5/00

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Microbiology (AREA)
  • Glass Melting And Manufacturing (AREA)
  • Silicon Compounds (AREA)
  • Colloid Chemistry (AREA)

Abstract

(57)【要約】 ガラス又はセラミックの湿った多孔質ゲルモノリスを臨界未満温度において、該ゲルの亀裂形成を誘導することなく、迅速に乾燥させるための方法と装置とを述べる。湿ったゲルを室中の液体溶剤中に浸漬させ、次に該液体溶剤を加熱して、該室から追い出す。流動する不活性ガスを存在させて又は存在させずに、さらに加熱して、該湿ったゲルを完全に乾燥させる。不活性ガスを用いる場合には、溶剤分圧を制御して、ガスを該室に供給し、これに応じて、該ゲルを乾燥させる駆動力を制御する。

Description

【発明の詳細な説明】湿った多孔質ゲルモノリスの迅速乾燥方法及び装置 発明の背景 本発明は一般に乾燥ゲルモノリスを製造するためのゾルゲル方法に関し、さら に詳しくは、亀裂を誘導することなく、湿ったゲルモノリスを迅速に乾燥するた めの乾燥方法と装置に関する。 高純度のガラス及びセラミック要素は典型的に、固体原料物質の溶融又は蒸着 のいずれかによって製造される。固体原料物質の溶融は一般的に有効な方法であ るが、原料物質中の不純物の固有の存在と高い溶融温度における加工容器の再汚 染のために、高純度の維持には困難が経験されている。さらに、高温加工のため にエネルギー費用は時には過度になり、所望の最終形状の要素を製造するための 仕上げ処理費用も過度になる可能性がある。蒸着も同様に一般的に有効であるが 、物質回収効率が比較的低く(例えば、50%)、加工及び汚染制御装置の投資 費用が高く、かつ加工速度が緩慢であるために非常に費用がかかる。 高純度セラミック要素は例えば固体押出成形又はコロイドキャスティング(co lloidal casting)のような方法によって典型的に製造される。高純度ガラス製 造方法と同様に、これらの方法も高温度加工を必要とし、得られる製品は組成、 均質性及び純度において制限される。 ガラス及びセラミックの高純度モノリシック製品を製造するためのゾルゲル法 の使用が最近研究されている。このような方法では、所望の溶液、すなわちガラ ス形成化合物又はセラミック形成化合物、溶媒、及び触媒を型に注入し、反応さ せる。加水分解と縮合反応後に、このゾルは固体の多孔質マトリックス、すなわ ちゲルを形成する。さらに時間が経過すると、孔から流体を追い出すことによっ て、ゲルのサイズは縮小する。この湿ったゲルを次に制御環境内で乾燥させて、 その孔から流体を除去し、緻密化させて固体モノリシスを形成する。 ゾルゲル法の利点には、化学的な純度と均質性、組成物の選択における可とう 性(たわみ性)、比較的低温における加工、及びそれらの最終の所望の形状に近 いモノリシック製品の製造、並びにそれによる仕上け処理費用の最小化がある。 それにも拘わらず、大型で、亀裂のないモノリスの製造にゾルゲル法を用いるこ とは、一般に極度に困難であることが実証されている。これらの亀裂はプロセス の最終乾燥工程中に生じ、ゲル孔中の毛管圧力(capillary force)による応力 に起因すると考えられる。ゾルゲルモノリス中に存在する亀裂形成問題を解消す る努力は非常に多岐にわたっている。しかし、亀裂形成問題は今までに、上記で 挙げたようなこの方法の利点の1つ以上を犠牲にせずには解消されていない。 ガラス又はセラミックのゲルの最終乾燥工程中の亀裂形成を解消する1つの方 法は、ゲルをその臨界の温度以上でオートクレーブ内で適当な流体を用いて乾燥 することである。臨界の温度と圧力以上では、孔内に蒸気/液体の界面が存在せ ず、したがって、毛管圧力は存在しない。この状態中に孔から流体が除去され、 これによって乾燥ゲルが得られる。この方法は効果的であるが、危険である恐れ があり、比較的高価な装置を必要とする。 最終乾燥工程中の亀裂形成を解消する他の方法は、種々な結晶を用いることに よって孔径分布(気孔寸法分布)を大きくすることてある。しかし、触媒が約1 00Åを越える平均孔径を生じると判明したとは考えられないので、このアプロ ーチは大きいモノリスに特に成功したとは実証されていない。 最終乾燥工程中の亀裂形成を解消するさらに他の方法は、ゾルにコロイド状シ リカ粒子を加えることであり、これが平均孔径を高め、それに応じて固体マトリ ックスの強度を高める。この方法は一般に効果的であるが、コロイド状シリカ粒 子の存在はゲルの他の場合の固有の均質性を犠牲にし、それによって使用可能な 組成物の範囲を制限する。さらに、コロイド状シリカ粒子の混合が完全でない場 合には、失透(devitrification)スポットが生ずる可能性がある。 最終乾燥工程中の亀裂形成を解消するさらに他の方法は、ゾルに乾燥制御添加 剤(drying control additive)を加え、より均一な孔径分布を得て、それによ ってゲルマトリックスを強化することである。例えばホルムアルデヒドのような 、これらの添加剤は次に乾燥工程中に除去される。この方法は、亀裂形成の解消 に一般に有効であるが、通常多数の気泡を含むモノリスを生ずる。 最終乾燥工程中の亀裂形成を解消するさらに他の方法は、乾燥前にゲルを熱水 作用によってゲルをエージングさせ、それによってゲルの平均孔径を増大させ、 それに応じて乾燥中に生ずる毛管応力を減ずることである。この方法は一般に有 効であるが、エージング工程が時間を延長させ、ゲルを乾燥させるための装置費 用を高め、したがって最終生成物の価格を高める。 最終乾燥工程中の亀裂形成を解消するさらに他の方法は、蒸発する流体を漏出 させるために幾つかのピンホールを有する室においてゲルを超臨界温度に加熱す ることである。この方法は、一般に効果的であるが、非常に緩慢であり、完成ま でに数か月を有する。ピンホールの面積を大きくすることによって乾燥速度を促 進することができるが、これはしばしば亀裂形成を招く。 それ故、例えば比較的低い費用、化学的な純度と均質性、組成物の選択におけ る可とう性、及び低温での加工のような、ゾルゲル法に付随する他の利益を犠牲 にすることなく、実質的に亀裂のない、大きいガラスとセラミックのモノリスを 製造するための改良乾燥方法が必要であることを認識すべきである。本発明はこ の必要性を満たす。発明の概要 本発明は、実質的に亀裂のないガラス及びセラミックの、湿った多孔質ゲルモ ノリスを迅速に乾燥させる方法と装置において、比較的低温において機能し、比 較的安い費用である前記方法と装置に関する。シリカの場合には、型においてテ トラエチルオルトシリケート(TEOS)を水と反応させて、高濃度の顕微鏡的 孔を有する多孔質シリカゲルマトリックスを生成することによって、ゲルが形成 される。今までは、このゲルマトリックスを典型的に、小孔を有する閉じた容器 内で加熱することによって簡単に乾燥させて、最終シリカモノリスを生成してい た。しかし、この乾燥工程はしばしばモノリスの好ましくない亀裂形成を生じて いるか、又は不当に延長した乾燥時間を必要としている。本発明によると、特定 の乾燥室アセンブリにおいて、ゲルを室中の液体溶剤中に浸漬し、この室を加熱 することによって液体溶剤を排除し、液体溶剤を溶剤蒸気と置換し、ゲルが乾燥 するまで、室の温度を所定速度で高めて、ゲルを乾燥させることによって、乾燥 工程中の亀裂形成が実質的に排除される。 乾燥プロセス中の乾燥室の温度上昇速度は、亀裂形成なしにゲルの迅速な乾燥 が生ずるように選択される。典型的には、1℃/24時間〜4℃/24時間の温 度上昇速度が妥当な時間内で亀裂形成のない乾燥を生ずるが、場合によっては0 .1℃/24時間程度の低い速度も使用可能である。 任意に、乾燥工程中に溶剤蒸気で飽和した不活性ガス(例えば、窒素)を乾燥 室に通すことができる。この溶剤飽和ガスは、溶剤の沸点に近い温度に維持され た溶剤浴にガスを通すことによって得られる。この温度のガスを次に、乾燥室の 温度を上昇させながら、乾燥室に通すことができる。或いは、乾燥室の温度上昇 を開始させる前に、不活性ガスを溶剤浴と室とに通し、この間に溶剤浴の温度は 徐々に室温まで低下する。次に、不活性ガスを乾燥室に流し続けながら、乾燥室 の温度を高める。 不活性ガスを用いて又は用いずに、ゲルを乾燥させた後に、純粋な不活性ガス を室に循環させながら、室の温度を上昇させる。次に、空気を室に循環させなが ら温度をさらに約400℃に上昇させて、乾燥ゲル中の残留有機基を焼却させる 。 本発明の他の特徴と利益は、添付図面に関連して、実施例によって本発明の原 理を説明する、好ましい装置と方法の下記説明から明らかになるであろう。図面の簡単な説明 図面は、本発明の好ましい方法による、強力なゲルモノリスの乾燥に用いるた めの装置の概略図である。好ましい実施態様と方法との説明 本発明の方法による、湿ったゲルのガラス又はセラミックモノリスへの乾燥は 、亀裂のない、比較低温で加工することができ、比較的低価格であるモノリスを 形成する。この乾燥方法は特定の乾燥室において湿ったゲル中の間隙流体の臨界 未満状態下で実施される。 適当なアルコキシド前駆物質をアルコール、脱イオン水及び適当な触媒と所定 の割合で混合することによって、種々な形状の湿ったゲルを形成する。本発明の 乾燥室と装置及び方法は、高い強度を有する湿ったゲルの乾燥に非常に適する。 この乾燥方法は間隙流体の臨界未満状態下で実施するので、湿ったゲルの初期状 態(prinstine)強度は乾燥プロセス中に生ずる毛管応力に耐えるほど高い。こ のような湿ったゲルの製造方法は共通に譲渡された、同時係属特許出願第811 , 326号明細書に述べられており、この出願は参考文献としてここに関係する。 特にシリカモノリスに関しては、テトラエチルオルトシリケート(TEOS) をエタノール、脱イオン水及び例えばフッ化水素酸(HF)及び/又は塩酸(H Cl)のような触媒と所定の割合で混合して、ゾルを形成する。このゾルをゲル 形成のために円筒形型に注入すると、ゲル形成がゾル組成と用いる触媒とに依存 して、通常4〜6時間内に生ずる。このゲルを次に高温において約1週間エージ ングさせると、この時間までにゲルは実質的な収縮を受けて型の壁から離れ、そ れによってゲルの容易な取り出しを促進する。湿ったゲルを型から取り出し、純 粋なエタノールの容器内に沈める。このエタノールの温度を約60〜70℃に高 めることによって、このゲルの間隙液体はエタノールと交換される。この湿った ゲルを次に以下で詳述する乾燥室と方法とを用いて乾燥させる。 図1に示すように、本発明による乾燥室アセンブリ11は内側容器13と外側 容器15とを含み、これらの両容器は例えば石英のような非反応性物質から形成 される。内側容器は円筒形の、垂直に配向した側壁17と、一体式の円形頂部壁 19とを含む。頂部壁の一部は側壁から外方に突出して、フランジ21を画定す る。2個の入口管23と25は頂部壁を貫通して伸び、第1管23は圧力計27 に接続し、第2管25は弁29を介して、以下で説明する3個の別々のガス供給 源に接続する。 外側容器15は円筒形の、垂直に配向した側壁31と、一体式の円形底部壁3 3とを含む。側壁31は内側容器の側壁17と同心であり、内部側壁の外径より も大きい内径を有し、両側壁の間に狭い環状空間35を画定する。フランジ37 は外側容器の側壁31の上端部から外方に突出する。側出口管39は外側容器の 側壁を、フランジ37の直下で通って伸び、L形浸漬管41は側出口管中を通っ て伸びる。この浸漬管の短い端部は側出口管の外端部からやや突出し、この浸漬 管の長い端部は側壁31に直接隣接して、下方に伸び底部壁33に殆ど達する。 側出口管39の外端部は、浸漬管を取り囲んで、シールされる。短い管42は側 出口管39を弁43を介して凝縮器45に接続させ、次にエタノール溜め(rese rvoir)47に連結させる。浸漬管41の外端部は側出口管の外端部から外方に 突出して、他の弁49を通してポンプ51に連結し、次に同じエタノール溜 めに接続する。外側容器15は炉加熱器53内に入れる。 使用時には、外側容器15に、ゲル中の間隙流体と同じである液体エタノール を所定レベルまで満たす。底部壁33上に存在する高設(elevated)プラットフ ォーム57に湿ったゲルモノリス55を載せる。好ましくは石英等から製造され た小カバー59をゲルの上面に載せて、その上面からの間隙流体の蒸発を制限す る。 次に、内側容器13を外側容器15内に、それぞれのフランジ21と37が接 触するように、注意深く降下させる。例えばフランジにクランプ61を取り付け ることによって、内側容器と外側容器とを一緒に固定する。乾燥室アセンブリを このように組み立てると、内側容器の側壁17は外側容器の底部壁33のすぐ近 くに達するが、接触はしない。 乾燥プロセスの開始時に、入口管25をガス供給源に連結する弁29は閉ざさ れ、出口管39をポンプ51に連結する弁49は閉ざされる。出口管を凝縮器4 5に連結する弁43は開かれる。プログラム可能な温度制御装置を有する炉加熱 器53は起動され、室アセンブリ11内に入れたエタノール溶剤54の温度はそ の沸点すなわち約78℃に上昇する。エタノールの上昇する蒸気圧が液体エタノ ールを側壁17と31の間の狭い環状空間35に押し入れ、出口管39と管42 とを通して外方へ、弁43、凝縮器45及びエタノール溜め47まで押し出す。 これは内側容器の側壁17内の空間が液体エタノールを含まなくなり、僅かな残 留液体エタノールがプラットフォーム57より下方と狭い環状空間35内とに存 在するようになるまで続く。この時点において、湿ったゲル55はエタノール蒸 気に完全に暴露される。 この状態に達すると、凝縮器弁43が閉ざされ、ポンプ弁49が開かれ、ポン プ51が残留液体エタノールを乾燥室アセンブリ11からエタノール溜め47へ 汲み出す。液体エタノールが室から完全に汲み出された後に、弁49が閉ざされ 、弁43か開かれる。このときに、室は圧力計27が表示するように低い正圧下 にある。 前述したように、入口管25は乾燥室アセンブリを、その後の乾燥プロセス工 程に用いられる、幾つかのガスの供給源と連結させる。これらのガス供給源には 、空気供給源63と関連する弁65、窒素供給源67と関連する弁69、及びエ タ ノールバブラー(ethanol bubbler)71と関連する弁73がある。エタノール バブラー自体は窒素供給源に連結するので、これはエタノール蒸気で飽和された 窒素を供給する。マントル加熱器75がエタノールバブラーの温度を制御する。 湿ったゲル55は3種類の代替方法のいずれかを用いて乾燥させることができ る。第1方法では、加熱器53が乾燥室アセンブリ11を初期温度78℃(エタ ノールの沸点である)から所定速度で制御可能に加熱する。これが実施されると 、ゲルの外観は透明〜不透明〜透明に変わり、最終的に残留間隙流体の不存在を 実証する。ゲルはこの時点において乾燥したと見なされる。この後に、弁29と 69が開かれて、純粋な窒素を室に供給し、温度が所定速度で120℃に上昇す る。生ずる排気ガスは凝縮器45を通ってエタノール溜め47に達し、次に水浴 77に達する。120℃に達した後に、窒素弁69が再び閉ざされ、弁65が開 かれ、空気を室に供給し、この間に温度はさらに400℃に上昇する。この工程 において化学的に結合した有機基が焼却される。次に、室を室温に冷却し、乾燥 したモノリシックゲルを取り出す。 湿ったゲル55を乾燥させる第2代替方法は、エタノール蒸気で飽和された窒 素を、比較的低温において、供給しながら、乾燥室アセンブリの温度を制御可能 に上昇させることを含む。この方法では、マントル加熱器75がエタノールバブ ラー71を約75℃(エタノールの沸点よりもやや低い)の温度に加熱する。弁 29と73が開かれ、それによって窒素が所定速度でバブラーを通って連続的に 泡立ち、乾燥室アセンブリ11中に供給される。生ずる排気ガスは凝縮器45を 通ってエタノール溜め47に達し、次に水浴77に達する。エタノール飽和窒素 の温度が一定に75℃に留まる間に、加熱器53は室を制御可能に加熱し、室の 温度を所定速度で所定温度まで上昇させる。この温度に達すると、透明〜不透明 〜透明に変化した後に、ゲルは乾燥する。したがって、連続的に増強する乾燥力 が与えられる。 ゲル55が乾燥した後に、弁73を閉じ、弁69を開くことによって、バブラ ー71は側管に通される。これによって、純粋な窒素が乾燥室アセンブリに流入 する。次に、加熱器53が乾燥室の温度を所定速度で120℃に上昇させる。こ れによって、残留する水はゲルから確実に完全に除去されたことになる。 120℃に達した後に、弁69を閉じることによって、窒素ガス流は遮断され る。次に、弁65を開くことによって、空気が室に導入され、加熱器が室の温度 を所定速度で約400℃に上昇させる。これによって、残留する化学的に結合し た有機基が焼却される。室を最終的に室温に冷却し、乾燥したモノリシックゲル を取り出す。 湿ったゲル55を乾燥させる第3代替方法は、バブラー71内のエタノールの 温度を制御可能に低下させながら、窒素ガスをバブラー71に通して乾燥室に供 給することにより、乾燥室の温度をエタノール溶剤の沸点に又はこの沸点近くに 維持することを含む。この方法では、マントル加熱器75が最初に、バブラー7 1の温度をエタノールの沸点よりもやや低い温度まで、即ち約75℃まで加熱す る。しかし、前述した代替方法とは対照的に、窒素が通されるエタノールバブラ ーの温度を所定速度で室温に低下させながら、乾燥室の温度を約78℃に維持す る。したがって、ゲル体の周囲を流れる窒素ガス中のエタノールの分圧を連続的 に低下させることによって、ゲルの乾燥が達成される。エタノールバブラーが室 温に達した後に、バブラーを通る窒素流を所定速度で一定に維持しながら、乾燥 室温度を所定速度で上昇させ、このときにゲルが乾燥する。操作順序の残りの工 程は上記第1及び第2乾燥方法と同じである。 本発明の方法は、下記の具体的実施例を参照することによって、さらにより良 く理解されるであろう。実施例1〜3 TEOS 124.05g、エタノール 42.85g、脱イオン水 42. 85g、HCl 1.17g及びHF酸 0.71gを混合することによってゾ ルを製造した。このゾルを250cc容積の円筒形型に注入した。エージングし 、エタノール中で溶剤交換した後に、幾つかのこれらの湿ったゲルを上記乾燥室 アセンブリ11中に連続的に装入した。この湿ったゲルは典型的に直径4.0c m、長さ23cmであった。次に、室を78℃に加熱し、側出口管39と管42 とを介して室から液体溶剤の大部分を追い出すために充分な蒸気圧を生じさせ、 この後に残留液体溶剤を浸漬管41によって汲み出した。 実施例1では、液体エタノールの汲み出しが終了した後の乾燥室中に幾つかの 湿ったゲルを入れ、室の温度を78℃から90℃に4℃/24時間の速度で上昇 させた。バブラー71の温度を75℃に維持し、窒素100cm3/分(標準状 態下)をバブラーに通して連続的にバブルさせた。90℃に達したときに、サン プルのゲルは乾燥し、モノリシックであった。次に、室の温度を90℃から12 0℃に純粋な窒素流下において3℃/時間の速度で上昇させた。120℃におい て、窒素を遮断し、空気を室中に導入した。次に、有機燃焼(organic burning )のために、温度を120℃から400℃に3℃/時間の速度で上昇させた。最 後に、室を室温に冷却させ、モノリシック乾燥ゲルを取り出した。 実施例2では、液体エタノールの汲み出しが終了した後の乾燥室中に幾つかの 湿ったゲルを入れ、バブラー71の温度を75℃から室温に、10℃/24時間 の速度で低下させながら、室11の温度を78℃で一定に維持した。バブラーを 通る窒素流は100cm3/分(標準状態下)でに一定に維持した。バブラー内 で室温に達した後に、乾燥室の温度を78℃から90℃に4℃/24時間の速度 で上昇させた。残りの工程は実施例1と同じであった。このプロセスの終了時に 、全てのゲルはモノリシックであり、乾燥した。 実施例1と2において、温度が78℃から85℃に上昇したときに、湿ったゲ ルは25〜30%の収縮を受けた。このゲルは透明に留まり、溶剤の蒸発がゲル 表面において行われた。収縮は85℃において停止し、温度がさらに上昇すると 、ゲルは不透明になった。ゲル体の中央から始まり、表面方向に移動した(move dout)不透明度はゲル体の内部から溶剤が蒸発したことを示した。温度が90℃ に上昇したときに、このゲルはもう一度透明になることが観察され、これはゲル が完全に乾燥したことを示した。乾燥操作を通して室11を約2.0インチ水柱 の正圧下で操作した。 実施例3では、液体エタノールの汲み出しが終了した後の乾燥室中に幾つかの 湿ったゲルを入れ、室の温度を70℃から90℃に4℃/24時間の速度で上昇 させたが、この場合には、バブラー71を通して室11中への不活性ガス流は用 いなかった。弁29は閉じたままであった。乾燥プロセスを通して室を約2.0 インチ水柱の正圧下で操作した。90℃に達したときに、全てのゲルはモノリシ ックてあり、乾燥した。このゲルの収縮挙動は実施例1と2のゲルと同じであっ た。温度上昇につれて、ゲルは透明〜不透明〜透明の同様な変化を受けたが、実 施例1と2とは対照的に、この実施例の不透明度は表面から開始し、中心に向か って内方に進行した。 実施例1、2及び3の乾燥ゲルモノリスは典型的に直径2.2cm、長さ13 .0cmであった。いずれの乾燥ゲルにも亀裂は認められなかった。 実施例4 TEOS 496.22g、エタノール 324.93g、脱イオン水 17 1.4g、HF酸 2.86g及びHCl酸 4.69gを混合することによっ てゾルを製造した。このゾルを1000cc容積の円筒形型に注入した。エージ ングし、エタノール中で溶剤交換した後に、この湿ったゲル(直径6.3cm、 長さ33.0cm)を乾燥室アセンブリ11中に装入した。 このゲルを実施例1のプロセスに従って、但し78℃から90℃への温度上昇 速度を2℃/24時間に減じて、乾燥させた。乾燥したゲルモノリスは直径3. 6cm、長さ19.4cmであり、亀裂を含まなかった。実施例5 実施例4と同様にゲルを製造し、エージングし、溶剤交換した後に、実施例2 に述べたプロセスに従って、但し78℃から90℃への温度上昇速度を2℃/2 4時間に減じて、乾燥させた。乾燥したゲルモノリスは直径3.6cm、長さ1 9.4cmであり、亀裂を含まなかった。実施例6 実施例4と同様にゲルを製造し、エージングし、溶剤交換した後に、実施例3 に述べたプロセスに従って、但し78℃から90℃への温度上昇速度を2℃/2 4時間に減じて、乾燥させた。乾燥したゲルモノリスは直径3.6cm、長さ1 9.4cmであり、亀裂を含まなかった。実施例7 TEOS 992.44g、エタノール 649.86g、脱イオン水 34 2.8g、HF酸 5.72g及びHCl酸 9.39gを混合することによっ てゾルを製造した。このゾルを2000cc容積の円筒形型に注入した。エージ ングし、エタノール中で溶剤交換した後に、この湿ったゲル(直径約8.2cm 、 長さ41.5cm)を乾燥室アセンブリ11中に装入した。このゲルを実施例1 に述べたプロセスに従って、但し78℃から90℃への温度上昇速度を2℃/2 4時間に減じて、乾燥させた。乾燥したゲルモノリスは直径4.7cm、長さ2 4.4cmであり、亀裂を含まなかった。実施例8 実施例7と同様にゲルを製造し、エージングし、溶剤交換した後に、実施例2 に述べたプロセスに従って、但し78℃から90℃への温度上昇速度を2℃/2 4時間に減じて、乾燥させた。乾燥したゲルモノリスは直径4.7cm、長さ2 4.4cmであり、亀裂を含まなかった。実施例9 実施例7と同様にゲルを製造し、エージングし、溶剤交換した後に、実施例3 に述べたプロセスに従って、但し78℃から90℃への温度上昇速度を2℃/2 4時間に減じて、乾燥させた。乾燥したゲルモノリスは直径4.7cm、長さ2 4.4cmであり、亀裂を含まなかった。実施例10 TEOS 1488.7g、エタノール 974.788g、脱イオン水 5 14.2g、HF酸 8.58g及びHCl酸 14.08gを混合することに よってゾルを製造した。このゾルを3000cc容積の円筒形型に注入した。エ ージングし、エタノール中で溶剤交換した後に、この湿ったゲルは直径約10. 0cm、長さ38.3cmであった。このゲルを実施例1に述べたプロセスに従 って、但し78℃から90℃への温度上昇速度を78℃〜84℃の範囲では2℃ /24時間に制限し、84℃〜90℃の範囲では1℃/24時間に制限して乾燥 させた。得られたモノリシック乾燥ゲルは直径約5.8cm、長さ22.2cm であり、亀裂を含まなかった。実施例11 実施例10と同様にゲルを製造し、実施例2のプロセスに従って、但し78℃ から90℃への温度上昇速度を78℃〜84℃の範囲では2℃/24時間に制限 し、84℃〜90℃の範囲では1℃/24時間に制限して乾燥させた。得られた モノリシック乾燥ゲルは直径約5.8cm、長さ22.2cmであり、亀裂を含 まなかった。実施例12 実施例10と同様にゲルを製造し、実施例3のプロセスに従って、但し78℃ から90℃への温度上昇速度を78℃〜84℃の範囲では2℃/24時間に制限 し、84℃〜90℃の範囲では1℃/24時間に制限して乾燥させた。得られた モノリシック乾燥ゲルは直径約5.8cm、長さ22.2cmであり、亀裂を含 まなかった。実施例13〜16 それぞれ実施例1、4、7及び10におけるように製造した250cc、10 00cc、2000cc及び3000ccの湿ったゲルを大きい円筒形容器内に 入れた。この容器の口をプラスチックの薄いホイルで気密に(tightly)閉じた 。先行技術の方法によると、このプラスチックホイルに幾つかのピンホールを開 け、この容器をオーブン内に入れた。オーブンの温度を室温から90℃に2℃/ 24時間の速度で上昇させた。全てのゲルは亀裂を生じ、これらのサイズのモノ リシック乾燥ゲルを製造することは不可能であった。 本発明が、亀裂形成の危険性のない、大型ゲルモノリスを乾燥させる改良方法 と装置を提供することを理解すべきである。ゲルモノリスを溶剤蒸気環境中で単 離させ、ゲル間隙中に存在するものと同じ溶剤によって部分蒸気圧(partial va pour pressure)が形成されることによって、乾燥が達成される。溶剤の部分蒸 気圧を制御可能に操作すると、それに応じて、乾燥プロセスの駆動力が増強する 。 本発明を好ましい装置と方法のみに関して詳述したが、本発明から逸脱せずに 種々な変更がなされうることを当業者は理解するであろう。したがって、本発明 は以下の請求の範囲によってのみ限定される。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 レイショウドフリ,サッティアブラタ アメリカ合衆国 91301 カリフォルニア 州アゴウラ,ペサロ ストリート 502 (72)発明者 サルカル,アルナブ アメリカ合衆国 91307 カリフォルニア 州ウエスト ヒルズ,ダリィン ドライブ 6715

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1. 湿った多孔質ゲルモノリスの乾燥方法において、 出口を有する乾燥室中に置いた溶剤中にゲルモノリスを浸漬させる工程と、 該乾燥室の温度を実質的に該溶剤の沸点まで上昇させて、該乾燥室のあらゆる 空間中に溶剤蒸気を生成する工程と、 該湿ったゲルモノリスが該乾燥室内で該溶剤蒸気の所定正圧下に留まるように 該乾燥室から該液体溶剤を除去する工程と、 該乾燥室を少なくとも実質的に該溶剤の沸騰温度に維持し、該ゲルモノリスの 該孔内に存在する該溶剤を蒸発させる工程(但し、蒸発した溶剤は該出口ポート から該乾燥室を出る。)と を含む前記方法。 2.乾燥室がさらに入口を含み、かつ乾燥工程が、入口を通して該乾燥室中に 、制御された溶剤分圧を有する不活性ガスを導入する工程を含む請求項1記載の 方法。 3.導入工程が、導入する不活性ガスを、大気圧における溶剤の沸騰温度に実 質的に対応する溶剤分圧に維持する工程を含み、 乾燥工程が、該乾燥室の温度を、該溶剤沸騰温度に実質的に等しい温度から、 ゲルモノリスが実質的に乾燥するまで、制御可能に上昇させる工程を含む請求項 2記載の方法。 4.制御可能な温度上昇工程が少なくとも0.1℃/24時間の速度で温度を 制御可能に上昇させる工程を含む請求項3記載の方法。 5.乾燥工程が 乾燥室を該溶剤沸騰温度に実質的に等しい温度に維持する工程と、 該溶剤の温度を該溶剤の沸騰温度に実質的に等しい温度から低下させることに よって、該乾燥室中に導入する不活性ガス中の該溶剤の分圧を制御可能に低下さ せる工程と を含む請求項2記載の方法。 6.制御可能な低下工程が少なくとも0.1℃/24時間の速度で温度を制御 可能に低下させる工程を含む請求項3記載の方法。 7.乾燥工程が乾燥不活性ガスを、選択された温度を有する溶剤浴に通して、 該溶剤の所定分圧を有する該不活性ガスを生成する工程をさらに含む請求項2記 載の方法。 8.導入工程が不活性ガスを少なくとも1cm3/分(標準状態下)の流量で 導入する工程を含む請求項2記載の方法。 9.浸漬工程に用いる溶剤がエタノールであり、該導入工程に用いる不活性ガ スが窒素であり、乾燥工程が乾燥室を少なくとも約75℃の温度に維持する請求 項2記載の方法。 10.乾燥室がさらに入口を含み、 該乾燥室の温度を制御速度で上昇させながら、不活性ガスを該乾燥室に該入口 から出口まで通して導く工程をさらに含む請求項1記載の方法。 11.乾燥室の温度を制御速度で100℃を越える所定温度まで上昇させなが ら、不活性ガスを該乾燥室に入口から出口まで通して導くことによって、乾燥ゲ ルモノリス中の残留水分を除去する工程と、 該乾燥室の温度を制御速度で実質的な高温に上昇させながら、空気を該乾燥室 に該入口から該出口まで通して導くことによって、該乾燥ゲルモノリス中に残留 する化学的に結合した有機基を焼却する工程と をさらに含む請求項10記載の方法。 12.除去工程では、温度を少なくとも約0.1℃/時間の速度で約120℃ に上昇させ、 焼却工程では、温度を少なくとも0.1℃/時間の速度で約400℃に上昇さ せる請求項11記載の方法。 13.乾燥工程を、乾燥室を通るガス流の不存在下で行う請求項1記載の方法 。 14.ゲル外観が透明〜不透明〜透明に変化したときに乾燥工程を終了させる 請求項1記載の方法。 15.その孔内に液体溶剤を含む、湿った多孔質ゲルモノリスの乾燥方法にお いて、 入口と出口とを有する室中に該湿ったゲルモノリスを装入する工程と、 該室を該溶剤の沸点に又はこの沸点近くまで加熱して、該室の自由空間が実質 的に溶剤蒸気のみによって満たされるようにする工程と、 所定溶剤分圧を有し、所定温度を有する不活性ガスを該室に該入口から該出口 まで通す工程と、 該室の温度と、該不活性ガス中の該溶剤蒸気の分圧とを調節して、該湿ったゲ ルの孔から該液体溶剤を乾燥させるための駆動力を制御可能に増強する工程とを 含む前記方法。 16.調節工程が、不活性ガスの溶剤分圧を実質的に一定に維持しながら室の 温度を制御可能に上昇させる工程を含む請求項15記載の方法。 17.調節工程が、室の温度を実質的に一定に維持しながら、不活性ガスの溶 剤分圧を制御可能に低下させる工程を含む請求項15記載の方法。 18.装入工程がゲルモノリスを液体溶剤中に沈める工程を含み、 しかも加熱工程が室から液体溶剤の実質的に全てを除去する工程を含む請求項 15記載の方法。 19.湿った多孔質ゲルモノリスを乾燥させるための乾燥室アセンブリにおい て、 閉じた側壁と底部壁とを有する外側容器と、 閉じた側壁と頂部壁とを有する内側容器(但し、該外側容器はその側壁の半径 方向内側において内側容器側壁と、両側壁の間に薄い環状空間を保つように配置 され、外側容器の底部壁と、内側容器の側壁及び頂部壁との間に乾燥室を画定す る。)と、 内側容器の頂部壁を通って伸びる入口と、 外側容器の側壁を通って伸ひる出口と、 該乾燥室から該出口を通して液体を追い出すための手段と を含む前記アセンブリ。 20.液体を追い出すための手段が、 出口から薄い環状空間を通って下方へ底部壁に隣接する位置まで伸びる管と、 該出口に連結したポンプと、 乾燥室から追い出された溶剤蒸気を凝縮させるための、該出口に連結した凝縮 器と を含む請求項19記載の乾燥室アセンブリ。
JP50256194A 1992-06-26 1993-06-23 湿った多孔質ゲルモノリスの迅速乾燥方法及び装置 Expired - Fee Related JP3514457B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US07/904,858 US5243769A (en) 1992-06-26 1992-06-26 Process for rapidly drying a wet, porous gel monolith
US07/904,858 1992-06-26
PCT/US1993/006019 WO1994000396A1 (en) 1992-06-26 1993-06-23 Process and apparatus for rapidly drying a wet, porous gel monolith

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH08500810A true JPH08500810A (ja) 1996-01-30
JP3514457B2 JP3514457B2 (ja) 2004-03-31

Family

ID=25419897

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP50256194A Expired - Fee Related JP3514457B2 (ja) 1992-06-26 1993-06-23 湿った多孔質ゲルモノリスの迅速乾燥方法及び装置

Country Status (7)

Country Link
US (2) US5243769A (ja)
EP (1) EP0647211B1 (ja)
JP (1) JP3514457B2 (ja)
AU (1) AU668203B2 (ja)
CA (1) CA2136222C (ja)
DE (1) DE69300976T2 (ja)
WO (1) WO1994000396A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016522146A (ja) * 2013-05-07 2016-07-28 弘大科技(北京)有限公司Hong Da Technology (Bei Jing) Co.Ltd. 減圧乾燥によるエアロゲルの製造方法及び装置

Families Citing this family (38)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH077012B2 (ja) * 1987-08-18 1995-01-30 富士通株式会社 加速度センサ
US5575079A (en) * 1993-10-29 1996-11-19 Tokyo Electron Limited Substrate drying apparatus and substrate drying method
US5562752A (en) * 1994-03-31 1996-10-08 Lucent Technologies Inc. Process of manufacturing vitreous silica product including hydrothermally treating a colloidal sol-gel
US5473826A (en) * 1994-08-19 1995-12-12 Yazaki Corporation Process for drying sol-gel derived porous bodies at elevated subcritical temperatures and pressures
KR960010901A (ko) * 1994-09-30 1996-04-20 김광호 고체 유기화합물 전용 버블러 장치
CA2161160C (en) * 1994-12-29 2000-01-04 Edwin Arthur Chandross Fabrication including sol-gel float processing
US5680713A (en) * 1996-03-05 1997-10-28 Hoechst Aktiengesellschaft Process for the subcritical drying of aerogels
US5875564A (en) * 1997-08-19 1999-03-02 Yazaki Corporation Method and apparatus for drying wet porous bodies under subcritical temperatures and pressures
US6248168B1 (en) * 1997-12-15 2001-06-19 Tokyo Electron Limited Spin coating apparatus including aging unit and solvent replacement unit
US6158244A (en) * 1998-03-16 2000-12-12 The Regents Of The University Of California Method of producing optical quality glass having a selected refractive index
US6620368B1 (en) 2000-07-13 2003-09-16 Simax Technologies, Inc. Sol-gel process for production of oxide-based glass and ceramic articles
US6635119B1 (en) 2000-10-12 2003-10-21 General Electric Company Method of cleaning pressurized containers containing liquified petroleum gas
US6758913B1 (en) 2000-10-12 2004-07-06 General Electric Company Method of cleaning pressurized containers containing anhydrous ammonia
US6539961B1 (en) 2000-10-12 2003-04-01 General Electric Company System for cleaning pressurized containers such as mobile railcars
US6926776B1 (en) 2000-10-12 2005-08-09 General Electric Company Method for cleaning pressurized containers containing chlorine gas or sulfur dioxide gas
US6532684B1 (en) * 2000-10-12 2003-03-18 General Electric Company System for cleaning pressurized containers
US6793740B1 (en) 2000-10-12 2004-09-21 General Electric Company Method for cleaning pressurized containers containing moisture sensitive chemicals
US6443166B1 (en) 2000-10-12 2002-09-03 General Electric Company Method of cleaning a pressurized container
EP1346182B1 (en) * 2000-12-20 2007-07-18 Yazaki Corporation Apparatus and related method for rapid cure of sol-gel coatings
US6508014B2 (en) * 2001-02-16 2003-01-21 International Business Machines Corporation Method of drying substrates
US7125912B2 (en) * 2001-10-09 2006-10-24 Simax Technologies, Inc. Doped sol-gel materials and method of manufacture utilizing reduced mixing temperatures
US7026362B2 (en) * 2001-10-09 2006-04-11 Simax Technologies, Inc. Sol-gel process utilizing reduced mixing temperatures
US7001568B2 (en) * 2002-02-01 2006-02-21 Simax Technologies, Inc. Method of removing liquid from pores of a sol-gel monolith
US20040194511A1 (en) * 2002-02-01 2004-10-07 Chih-Hsing Cheng Sol-gel-derived halogen-doped glass
US7000885B2 (en) * 2002-02-01 2006-02-21 Simax Technologies, Inc. Apparatus and method for forming a sol-gel monolith utilizing multiple casting
US20030147606A1 (en) * 2002-02-01 2003-08-07 Shiho Wang Sol-gel-based optical preforms and methods of manufacture
US6928220B2 (en) * 2002-02-01 2005-08-09 Simax Technologies, Inc. Sol-gel-derived optical fiber preform and method of manufacture
WO2003102001A1 (en) * 2002-05-31 2003-12-11 Mcmaster University Polyol-modified silanes as precursors for silica
CA2496736C (en) * 2002-08-23 2012-11-13 Mcmaster University Methods and compounds for controlling the morphology and shrinkage of silica derived from polyol-modified silanes
ITNO20030001A1 (it) * 2003-01-15 2004-07-16 Novara Technology Srl Processo sol-gel per la produzione di articoli vetrosi.
PT103257B (pt) 2005-04-05 2007-05-31 Inst Superior Tecnico Método de produção subcrítica de xerogéis e aerogéis monolíticos híbridos de sílica e látex modificado com grupos alcoxissilano
ITMI20052333A1 (it) * 2005-12-06 2007-06-07 Degussa Novara Technology S P A Procedimento sol-gel per la realizzazione di stampi per processi fotocatalitici
US8454918B2 (en) * 2008-06-10 2013-06-04 Nanotune Technologies Corp. Nanoporous materials and related methods
JP4712879B2 (ja) * 2009-02-19 2011-06-29 公立大学法人首都大学東京 含水湿潤ゲルの乾燥方法及び含水湿潤ゲルの乾燥装置
CN101871573A (zh) * 2010-06-03 2010-10-27 濮阳市普天化工有限公司 液氯汽化装置
WO2017079274A1 (en) 2015-11-02 2017-05-11 Metashield Llc Nanosilica based compositions, structures and apparatus incorporating same and related methods
FR3086938B1 (fr) * 2018-10-05 2021-05-21 Commissariat Energie Atomique Procede de preparation de materiau sol-gel silicate nanoporeux monolithique
CN114034163A (zh) * 2021-11-11 2022-02-11 中国建筑材料科学研究总院有限公司 陶瓷坯干燥方法及干燥装置

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1185544B (de) * 1963-05-10 1965-01-14 Leybold Hockvakuum Anlagen G M Mit gasfoermigem Kuehlmittel betriebene Gefriertrocknungskammer
US4849378A (en) * 1985-02-25 1989-07-18 University Of Florida Ultraporous gel monoliths having predetermined pore sizes and their production
US4776867A (en) * 1986-08-15 1988-10-11 Gte Laboratories Incorporated Process for molding optical components of silicate glass to a near net shape optical precision
US4786618A (en) * 1987-05-29 1988-11-22 Corning Glass Works Sol-gel method for making ultra-low expansion glass
JPH01119530A (ja) * 1987-11-02 1989-05-11 Seiko Epson Corp ガラスの製造方法
JPH0672742B2 (ja) * 1989-05-12 1994-09-14 共和真空技術株式会社 凍結真空乾燥装置および凍結真空乾燥方法
US5076980A (en) * 1990-08-01 1991-12-31 Geltech, Inc. Method of making sol-gel monoliths
JPH06317225A (ja) * 1993-04-30 1994-11-15 Isuzu Motors Ltd ディーゼルエンジン

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016522146A (ja) * 2013-05-07 2016-07-28 弘大科技(北京)有限公司Hong Da Technology (Bei Jing) Co.Ltd. 減圧乾燥によるエアロゲルの製造方法及び装置

Also Published As

Publication number Publication date
US5343633A (en) 1994-09-06
EP0647211B1 (en) 1995-12-06
CA2136222A1 (en) 1994-01-06
WO1994000396A1 (en) 1994-01-06
US5243769A (en) 1993-09-14
EP0647211A1 (en) 1995-04-12
DE69300976D1 (de) 1996-01-18
DE69300976T2 (de) 1996-08-01
AU668203B2 (en) 1996-04-26
AU4648393A (en) 1994-01-24
JP3514457B2 (ja) 2004-03-31
CA2136222C (en) 2004-01-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH08500810A (ja) 湿った多孔質ゲルモノリスの迅速乾燥方法及び装置
US5076980A (en) Method of making sol-gel monoliths
CA2197792C (en) Subcritical process for drying sol-gel derived porous bodies
US4432956A (en) Preparation of monolithic silica aerogels, the aerogels thus obtained and their use for the preparation of silica glass articles and of heat-insulating materials
AU647338B2 (en) Sol-gel process for glass and ceramic articles
US5951779A (en) Treatment method of semiconductor wafers and the like and treatment system for the same
US6099792A (en) Sol-gel process using porous mold
JPS5858292B2 (ja) シリカガラスの製造方法
AU764586B2 (en) Sol-gel process using porous mold
US6695926B1 (en) Treatment method of semiconductor wafers and the like and treatment system for the same
US5966832A (en) Apparatus for drying wet porous bodies under subcritical temperatures and pressures
US5565014A (en) Process of manufacturing a vitreous silica product including hydrothermally drying a collordal sol-gel
JPS6232135B2 (ja)
JPH10226524A (ja) ゲルの処理方法および処理装置
KR100326113B1 (ko) 압출에 의해 첨가제가 도핑된 실리카 글래스를 제조하는방법
JP2000178031A (ja) バルク体の製造方法
JPH0222133A (ja) 石英ガラスの製造方法
JPH07330344A (ja) ガラスの製造方法および装置
JPH10231128A (ja) ガラスの製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20040113

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090123

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090123

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090123

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090123

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090123

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100123

Year of fee payment: 6

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees