JPH0849525A - 排ガス浄化処理装置 - Google Patents
排ガス浄化処理装置Info
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- JPH0849525A JPH0849525A JP6185899A JP18589994A JPH0849525A JP H0849525 A JPH0849525 A JP H0849525A JP 6185899 A JP6185899 A JP 6185899A JP 18589994 A JP18589994 A JP 18589994A JP H0849525 A JPH0849525 A JP H0849525A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】放電極及び接地極の全面においてプラズマ放電
を行うことができ、誘電体が剥離（はくり）するのを防
止することができるようにする。 【構成】放電極ユニット５６と、該放電極ユニット５６
と対向させて配設された接地極ユニット５８と、前記放
電極ユニット５６と接地極ユニット５８との間に配設さ
れ、放電ギャップを形成するスペーサと、前記放電極ユ
ニット５６と接地極ユニット５８とを接続する電源とを
有する。そして、前記放電極ユニット５６と接地極ユニ
ット５８は、いずれも、一対の板状の誘導体２５、２６
と、該誘導体２５、２６の互いに対向する面のいずれか
一方に形成された導電層とを備える。電極の厚さを均一
にすることができるので、放電ギャップが均一になると
ともに、放電ギャップの電気抵抗にばらつきがなくな
る。
を行うことができ、誘電体が剥離（はくり）するのを防
止することができるようにする。 【構成】放電極ユニット５６と、該放電極ユニット５６
と対向させて配設された接地極ユニット５８と、前記放
電極ユニット５６と接地極ユニット５８との間に配設さ
れ、放電ギャップを形成するスペーサと、前記放電極ユ
ニット５６と接地極ユニット５８とを接続する電源とを
有する。そして、前記放電極ユニット５６と接地極ユニ
ット５８は、いずれも、一対の板状の誘導体２５、２６
と、該誘導体２５、２６の互いに対向する面のいずれか
一方に形成された導電層とを備える。電極の厚さを均一
にすることができるので、放電ギャップが均一になると
ともに、放電ギャップの電気抵抗にばらつきがなくな
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、排ガス浄化処理装置に
関するものである。
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、内燃機関の排ガス中からＮＯ
X （窒素酸化物）を除去するために排ガス脱硝法による
排ガス浄化処理装置が提供されている。該排ガス脱硝法
による排ガス浄化処理装置においては、排ガス中のＮＯ
X が触媒によって分解して無害な窒素及び酸素にするよ
うになっている。
X （窒素酸化物）を除去するために排ガス脱硝法による
排ガス浄化処理装置が提供されている。該排ガス脱硝法
による排ガス浄化処理装置においては、排ガス中のＮＯ
X が触媒によって分解して無害な窒素及び酸素にするよ
うになっている。
【０００３】ところが、内燃機関は間欠的にかつ短時間
で駆動されるだけでなく、車両の加速、減速等に伴い、
排ガスの量及び組成が大きく変動する。したがって、内
燃機関の負荷が最も大きくなるときの排ガスの量に合わ
せて排ガス浄化処理装置を設計すると、排ガス浄化処理
装置が大型化してしまう。そこで、プラズマ放電を利用
した排ガス浄化処理装置が提供されている。この場合、
放電極と接地極とを有する放電管に高電圧を印加して放
電管内に放電場を形成し、該放電場に排ガスを供給し、
排ガス中のＮＯX 、炭化水素等を分解して無害な窒素及
び酸素にするようにしている。
で駆動されるだけでなく、車両の加速、減速等に伴い、
排ガスの量及び組成が大きく変動する。したがって、内
燃機関の負荷が最も大きくなるときの排ガスの量に合わ
せて排ガス浄化処理装置を設計すると、排ガス浄化処理
装置が大型化してしまう。そこで、プラズマ放電を利用
した排ガス浄化処理装置が提供されている。この場合、
放電極と接地極とを有する放電管に高電圧を印加して放
電管内に放電場を形成し、該放電場に排ガスを供給し、
排ガス中のＮＯX 、炭化水素等を分解して無害な窒素及
び酸素にするようにしている。
【０００４】ところで、プラズマ放電によってＮＯx 、
炭化水素等を分解するに当たり、排気ガス中に含有され
る水によって放電極及び接地極の絶縁性が低下してしま
う。そこで、一対の誘電体間に金属板を挟んで封止する
ことによって絶縁性を向上させるようにしている。図２
は従来の排ガス浄化処理装置の断面図である。
炭化水素等を分解するに当たり、排気ガス中に含有され
る水によって放電極及び接地極の絶縁性が低下してしま
う。そこで、一対の誘電体間に金属板を挟んで封止する
ことによって絶縁性を向上させるようにしている。図２
は従来の排ガス浄化処理装置の断面図である。
【０００５】図において、１２は排ガス浄化処理装置と
してのプラズマ処理装置である。該プラズマ処理装置１
２において、放電極２３と接地極２４とは互いに間隔を
置いて対向させて配設され、交流電源３０に接続され
る。そして、該交流電源３０によって放電極２３と接地
極２４との間に放電場が形成され、プラズマが発生させ
られるとともに、前記放電場に排ガスが供給される。
してのプラズマ処理装置である。該プラズマ処理装置１
２において、放電極２３と接地極２４とは互いに間隔を
置いて対向させて配設され、交流電源３０に接続され
る。そして、該交流電源３０によって放電極２３と接地
極２４との間に放電場が形成され、プラズマが発生させ
られるとともに、前記放電場に排ガスが供給される。
【０００６】前記放電極２３は平板状の形状を有し、両
面に配設された平板状の誘電体２５、２６によって挟ま
れる。そして、前記放電極２３と誘電体２５、２６との
間を密封するために、放電極２３と誘電体２５、２６と
の間、並びに放電極２３及び誘電体２５、２６の周縁に
接着材３１が配設され、放電極２３が封止される。な
お、該放電極２３としては網状のものを使用することが
できる。
面に配設された平板状の誘電体２５、２６によって挟ま
れる。そして、前記放電極２３と誘電体２５、２６との
間を密封するために、放電極２３と誘電体２５、２６と
の間、並びに放電極２３及び誘電体２５、２６の周縁に
接着材３１が配設され、放電極２３が封止される。な
お、該放電極２３としては網状のものを使用することが
できる。
【０００７】また、接地極２４も平板状の形状を有し、
同様に両面に配設された平板状の誘電体２５、２６によ
って挟まれる。そして、前記接地極２４と誘電体２５、
２６との間を密封するために、接地極２４と誘電体２
５、２６との間、並びに接地極２４及び誘電体２５、２
６の周縁に接着材３１が配設され、接地極２４が封止さ
れる。なお、該接地極２４としては網状のものを使用す
ることができる。
同様に両面に配設された平板状の誘電体２５、２６によ
って挟まれる。そして、前記接地極２４と誘電体２５、
２６との間を密封するために、接地極２４と誘電体２
５、２６との間、並びに接地極２４及び誘電体２５、２
６の周縁に接着材３１が配設され、接地極２４が封止さ
れる。なお、該接地極２４としては網状のものを使用す
ることができる。
【０００８】ところで、前記放電極２３、接地極２４等
の電極は金属によって形成され、一方、前記誘電体２
５、２６はセラミックスによって形成される。また、前
記接着材３１は、セラミックス、ガラス等によって形成
される。
の電極は金属によって形成され、一方、前記誘電体２
５、２６はセラミックスによって形成される。また、前
記接着材３１は、セラミックス、ガラス等によって形成
される。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来の排ガス浄化処理装置においては、放電極２３及び接
地極２４を金属板によって形成したものの場合、放電極
２３及び接地極２４の位置決め精度が低下し、放電極２
３と接地極２４との平行度が低くなってしまう。図３は
従来の排ガス浄化処理装置における放電状態を示す図で
ある。
来の排ガス浄化処理装置においては、放電極２３及び接
地極２４を金属板によって形成したものの場合、放電極
２３及び接地極２４の位置決め精度が低下し、放電極２
３と接地極２４との平行度が低くなってしまう。図３は
従来の排ガス浄化処理装置における放電状態を示す図で
ある。
【００１０】図において、２３は放電極、２４は接地
極、２５、２６は誘電体、３１は接着材である。この場
合、放電極２３の位置決め精度が低く、放電極２３と接
地極２４との平行度が低くなっている。その結果、放電
極２３と接地極２４との間に形成される放電ギャップの
電気抵抗にばらつきが生じ、例えば、点Ａにプラズマ放
電が集中してしまうので、排ガスの処理を十分に行うこ
とができない。
極、２５、２６は誘電体、３１は接着材である。この場
合、放電極２３の位置決め精度が低く、放電極２３と接
地極２４との平行度が低くなっている。その結果、放電
極２３と接地極２４との間に形成される放電ギャップの
電気抵抗にばらつきが生じ、例えば、点Ａにプラズマ放
電が集中してしまうので、排ガスの処理を十分に行うこ
とができない。
【００１１】また、点Ａにプラズマ放電が集中すると、
誘電体２５、２６における点Ａの周辺において局部的に
熱が発生し、誘電体２５、２６が剥離（はくり）しやす
くなってしまう。その結果、放電極２３と誘電体２５、
２６との間及び接地極２４と誘電体２５、２６との間に
水が侵入し、絶縁性を低下させてしまう。
誘電体２５、２６における点Ａの周辺において局部的に
熱が発生し、誘電体２５、２６が剥離（はくり）しやす
くなってしまう。その結果、放電極２３と誘電体２５、
２６との間及び接地極２４と誘電体２５、２６との間に
水が侵入し、絶縁性を低下させてしまう。
【００１２】また、前記放電ギャップの電気抵抗にばら
つきがあると、放電極２３及び接地極２４の全面におい
てプラズマ放電が行われず、局部に集中してしまう。一
方、放電極２３及び接地極２４を金網によって形成した
ものの場合も、プラズマ放電が局部に集中してしまう。
図４は従来の他の排ガス浄化処理装置における放電状態
を示す図である。
つきがあると、放電極２３及び接地極２４の全面におい
てプラズマ放電が行われず、局部に集中してしまう。一
方、放電極２３及び接地極２４を金網によって形成した
ものの場合も、プラズマ放電が局部に集中してしまう。
図４は従来の他の排ガス浄化処理装置における放電状態
を示す図である。
【００１３】図において、２３は放電極、２４は接地
極、２５、２６は誘電体、３１は接着材である。この場
合、放電極２３及び接地極２４が金網によって形成され
ているので、電界の強度を大きくすることができるとと
もに、放電極２３及び接地極２４の全体においてプラズ
マ放電を行うことができるが、金網の交差部分Ｂに、プ
ラズマ放電が集中してしまう。したがって、排ガスの処
理を十分に行うことができない。
極、２５、２６は誘電体、３１は接着材である。この場
合、放電極２３及び接地極２４が金網によって形成され
ているので、電界の強度を大きくすることができるとと
もに、放電極２３及び接地極２４の全体においてプラズ
マ放電を行うことができるが、金網の交差部分Ｂに、プ
ラズマ放電が集中してしまう。したがって、排ガスの処
理を十分に行うことができない。
【００１４】また、放電極２３及び接地極２４は金網に
よって形成されているので、三次元構造を有し、厚さ方
向における熱膨張が大きい。したがって、金網と接着材
３１との熱膨張差によって接着材３１にひびが入り、誘
電体２５、２６が剥離しやすくなってしまう。さらに、
ひびを介して排ガス中の水分が侵入し、絶縁性を低下さ
せてしまう。
よって形成されているので、三次元構造を有し、厚さ方
向における熱膨張が大きい。したがって、金網と接着材
３１との熱膨張差によって接着材３１にひびが入り、誘
電体２５、２６が剥離しやすくなってしまう。さらに、
ひびを介して排ガス中の水分が侵入し、絶縁性を低下さ
せてしまう。
【００１５】本発明は、前記従来の排ガス浄化処理装置
の問題点を解決して、放電極及び接地極の全面において
プラズマ放電を行うことができ、誘電体が剥離するのを
防止することができる排ガス浄化処理装置を提供するこ
とを目的とする。
の問題点を解決して、放電極及び接地極の全面において
プラズマ放電を行うことができ、誘電体が剥離するのを
防止することができる排ガス浄化処理装置を提供するこ
とを目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】そのために、本発明の排
ガス浄化処理装置においては、放電極ユニットと、該放
電極ユニットと対向させて配設された接地極ユニット
と、前記放電極ユニットと接地極ユニットとの間に配設
され、放電ギャップを形成するスペーサと、前記放電極
ユニットと接地極ユニットとを接続する電源とを有す
る。
ガス浄化処理装置においては、放電極ユニットと、該放
電極ユニットと対向させて配設された接地極ユニット
と、前記放電極ユニットと接地極ユニットとの間に配設
され、放電ギャップを形成するスペーサと、前記放電極
ユニットと接地極ユニットとを接続する電源とを有す
る。
【００１７】そして、前記放電極ユニット及び接地極ユ
ニットは、いずれも、一対の板状の誘電体と、該一対の
板状の誘電体における互いに対向する面のいずれか一方
に形成された導電層とを備える。本発明の他の排ガス浄
化処理装置においては、前記導電層はスパッタリングに
よって形成される。
ニットは、いずれも、一対の板状の誘電体と、該一対の
板状の誘電体における互いに対向する面のいずれか一方
に形成された導電層とを備える。本発明の他の排ガス浄
化処理装置においては、前記導電層はスパッタリングに
よって形成される。
【００１８】本発明の更に他の排ガス浄化処理装置にお
いては、前記導電層は導電性材料を印刷することによっ
て形成される。
いては、前記導電層は導電性材料を印刷することによっ
て形成される。
【００１９】
【作用及び発明の効果】本発明によれば、前記のよう
に、排ガス浄化処理装置においては、放電極ユニット
と、該放電極ユニットと対向させて配設された接地極ユ
ニットと、前記放電極ユニットと接地極ユニットとの間
に配設され、放電ギャップを形成するスペーサと、前記
放電極ユニットと接地極ユニットとを接続する電源とを
有する。
に、排ガス浄化処理装置においては、放電極ユニット
と、該放電極ユニットと対向させて配設された接地極ユ
ニットと、前記放電極ユニットと接地極ユニットとの間
に配設され、放電ギャップを形成するスペーサと、前記
放電極ユニットと接地極ユニットとを接続する電源とを
有する。
【００２０】そして、前記放電極ユニット及び接地極ユ
ニットは、いずれも、一対の板状の誘電体と、該一対の
板状の誘電体における互いに対向する面のいずれか一方
に形成された導電層とを備える。この場合、電極を薄く
することができるので、排ガス浄化処理装置を小型化す
ることができる。また、電極の厚さを均一にすることが
できるので、放電ギャップが均一になるとともに、放電
ギャップの電気抵抗にばらつきがなくなり、電極の全面
においてプラズマ放電が行われるようになる。その結
果、排ガスの処理量を増加することができる。さらに、
電極の位置決め精度を高くすることができる。
ニットは、いずれも、一対の板状の誘電体と、該一対の
板状の誘電体における互いに対向する面のいずれか一方
に形成された導電層とを備える。この場合、電極を薄く
することができるので、排ガス浄化処理装置を小型化す
ることができる。また、電極の厚さを均一にすることが
できるので、放電ギャップが均一になるとともに、放電
ギャップの電気抵抗にばらつきがなくなり、電極の全面
においてプラズマ放電が行われるようになる。その結
果、排ガスの処理量を増加することができる。さらに、
電極の位置決め精度を高くすることができる。
【００２１】本発明の他の排ガス浄化処理装置において
は、前記導電層はスパッタリングによって形成される。
この場合、電極を薄くすることができるので、排ガス浄
化処理装置を小型化することができる。また、電極の厚
さを均一にすることができるので、放電ギャップが均一
になるとともに、放電ギャップの電気抵抗にばらつきが
なくなり、電極の全面においてプラズマ放電が行われる
ようになる。その結果、排ガスの処理量を増加すること
ができる。さらに、電極の位置決め精度を高くすること
ができる。
は、前記導電層はスパッタリングによって形成される。
この場合、電極を薄くすることができるので、排ガス浄
化処理装置を小型化することができる。また、電極の厚
さを均一にすることができるので、放電ギャップが均一
になるとともに、放電ギャップの電気抵抗にばらつきが
なくなり、電極の全面においてプラズマ放電が行われる
ようになる。その結果、排ガスの処理量を増加すること
ができる。さらに、電極の位置決め精度を高くすること
ができる。
【００２２】また、電極を二次元構造にすることができ
るので、厚さ方向における熱膨張を小さくすることがで
きる。したがって、熱膨張差によって電極の周囲の接着
材が破壊されるのを防止することができる。本発明の更
に他の排ガス浄化処理装置においては、前記導電層は導
電性材料を印刷することによって形成される。
るので、厚さ方向における熱膨張を小さくすることがで
きる。したがって、熱膨張差によって電極の周囲の接着
材が破壊されるのを防止することができる。本発明の更
に他の排ガス浄化処理装置においては、前記導電層は導
電性材料を印刷することによって形成される。
【００２３】この場合、電極を薄くすることができるの
で、排ガス浄化処理装置を小型化することができる。ま
た、電極の厚さを均一にすることができるので、放電ギ
ャップが均一になるとともに、放電ギャップの電気抵抗
にばらつきがなくなり、電極の全面においてプラズマ放
電が行われるようになる。その結果、排ガスの処理量を
増加することができる。さらに、電極の位置決め精度を
高くすることができる。
で、排ガス浄化処理装置を小型化することができる。ま
た、電極の厚さを均一にすることができるので、放電ギ
ャップが均一になるとともに、放電ギャップの電気抵抗
にばらつきがなくなり、電極の全面においてプラズマ放
電が行われるようになる。その結果、排ガスの処理量を
増加することができる。さらに、電極の位置決め精度を
高くすることができる。
【００２４】また、電極を二次元構造にすることができ
るので、厚さ方向における熱膨張を小さくすることがで
きる。したがって、熱膨張差によって電極の周囲の接着
材が破壊されるのを防止することができる。
るので、厚さ方向における熱膨張を小さくすることがで
きる。したがって、熱膨張差によって電極の周囲の接着
材が破壊されるのを防止することができる。
【００２５】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
ながら詳細に説明する。図１は本発明の実施例における
排ガス浄化処理装置の断面図である。図において、５２
は排ガス浄化処理装置としてのプラズマ処理装置であ
る。該プラズマ処理装置５２において、放電極３６と接
地極３７とは互いに間隔を置いて対向させて配設され、
交流電源３０に接続される。そして、該交流電源３０に
よって放電極３６と接地極３７との間に放電場が形成さ
れ、プラズマが発生させられるとともに、前記放電場に
排ガスが供給される。
ながら詳細に説明する。図１は本発明の実施例における
排ガス浄化処理装置の断面図である。図において、５２
は排ガス浄化処理装置としてのプラズマ処理装置であ
る。該プラズマ処理装置５２において、放電極３６と接
地極３７とは互いに間隔を置いて対向させて配設され、
交流電源３０に接続される。そして、該交流電源３０に
よって放電極３６と接地極３７との間に放電場が形成さ
れ、プラズマが発生させられるとともに、前記放電場に
排ガスが供給される。
【００２６】図示しないエンジンにおいて発生させられ
た排ガスはプラズマ処理装置５２に供給されると、プラ
ズマ放電によって発生させられたプラズマ電子と接触
し、化学反応を起こす。そして、排ガス中の、例えば、
ＮＯX の主成分であるＮＯ2 （二酸化窒素）及びＮＯ
（一酸化窒素）は、次の化学反応式 ２ＮＯX →２ＮＯ＋Ｏ2 ２ＮＯ＋Ｎ2 →Ｎ2 ＋２Ｏ2 で示すように分解されて、Ｎ2 （窒素）及びＯ2 （酸
素）になる。
た排ガスはプラズマ処理装置５２に供給されると、プラ
ズマ放電によって発生させられたプラズマ電子と接触
し、化学反応を起こす。そして、排ガス中の、例えば、
ＮＯX の主成分であるＮＯ2 （二酸化窒素）及びＮＯ
（一酸化窒素）は、次の化学反応式 ２ＮＯX →２ＮＯ＋Ｏ2 ２ＮＯ＋Ｎ2 →Ｎ2 ＋２Ｏ2 で示すように分解されて、Ｎ2 （窒素）及びＯ2 （酸
素）になる。
【００２７】なお、プラズマは外部電界によって加速さ
れた高エネルギ電子が分子と衝突することによって、励
起分子、励起原子、遊離基、イオン、中性粒子等が混在
させられた電離気体である。該電離気体内においては、
正の電荷密度と負の電荷密度とが互いに等しくなろうと
する傾向があるので、プラズマ内においては正の電荷と
負の電荷とが打ち消しあって、全体として電気的中性が
保たれる。
れた高エネルギ電子が分子と衝突することによって、励
起分子、励起原子、遊離基、イオン、中性粒子等が混在
させられた電離気体である。該電離気体内においては、
正の電荷密度と負の電荷密度とが互いに等しくなろうと
する傾向があるので、プラズマ内においては正の電荷と
負の電荷とが打ち消しあって、全体として電気的中性が
保たれる。
【００２８】そして、前記プラズマ処理装置５２を通過
した炭化水素、ＣＯ（一酸化炭素）等、及び前記プラズ
マ処理装置５２において除去されることなく通過したＮ
ＯXは図示しない三元触媒装置に供給され、該三元触媒
装置において、炭化水素、ＣＯ等が酸素によって酸化
（酸化触媒作用）されて無害なＣＯ2 （二酸化炭素）に
なる。また、ＮＯX が排ガス中の炭化水素、ＣＯ、Ｈ2
（水素）等によって分解されてＮ2 及びＯ2 になる（還
元触媒作用）。
した炭化水素、ＣＯ（一酸化炭素）等、及び前記プラズ
マ処理装置５２において除去されることなく通過したＮ
ＯXは図示しない三元触媒装置に供給され、該三元触媒
装置において、炭化水素、ＣＯ等が酸素によって酸化
（酸化触媒作用）されて無害なＣＯ2 （二酸化炭素）に
なる。また、ＮＯX が排ガス中の炭化水素、ＣＯ、Ｈ2
（水素）等によって分解されてＮ2 及びＯ2 になる（還
元触媒作用）。
【００２９】ところで、前記放電極３６は、互いに対向
させて配設された一対の平板状の誘電体２５、２６の一
方の表面に被覆されて導電層として形成される。本実施
例において放電極３６は、接地極３７側に配設された誘
電体２６の誘電体２５と対向する面側に形成される。そ
して、前記放電極３６と誘電体２５との間を密封するた
めに、放電極３６と誘電体２５との間に、また、放電極
３６及び誘電体２５、２６の周縁に接着材３１が配設さ
れ、放電極３６が封止される。このようにして、放電極
３６、誘電体２５、２６及び接着材３１から成る放電極
ユニット５６が形成される。
させて配設された一対の平板状の誘電体２５、２６の一
方の表面に被覆されて導電層として形成される。本実施
例において放電極３６は、接地極３７側に配設された誘
電体２６の誘電体２５と対向する面側に形成される。そ
して、前記放電極３６と誘電体２５との間を密封するた
めに、放電極３６と誘電体２５との間に、また、放電極
３６及び誘電体２５、２６の周縁に接着材３１が配設さ
れ、放電極３６が封止される。このようにして、放電極
３６、誘電体２５、２６及び接着材３１から成る放電極
ユニット５６が形成される。
【００３０】また、接地極３７も、同様に互いに対向さ
せて配設された一対の平板状の誘電体２５、２６の一方
の表面に被覆されて導電層として形成される。本実施例
において接地極３７は、放電極３６側に配設された誘電
体２５の誘電体２６と対向する面側に形成される。そし
て、前記接地極３７と誘電体２６との間を密封するため
に、放電極３６と誘電体２６との間に、また、接地極３
７及び誘電体２５、２６の周縁に接着材３１が配設さ
れ、接地極３７が封止される。このようにして、接地極
３７、誘電体２５、２６及び接着材３１から成る接地極
ユニット５８が形成される。
せて配設された一対の平板状の誘電体２５、２６の一方
の表面に被覆されて導電層として形成される。本実施例
において接地極３７は、放電極３６側に配設された誘電
体２５の誘電体２６と対向する面側に形成される。そし
て、前記接地極３７と誘電体２６との間を密封するため
に、放電極３６と誘電体２６との間に、また、接地極３
７及び誘電体２５、２６の周縁に接着材３１が配設さ
れ、接地極３７が封止される。このようにして、接地極
３７、誘電体２５、２６及び接着材３１から成る接地極
ユニット５８が形成される。
【００３１】ところで、前記放電極３６及び接地極３７
は、導電性塗料を誘電体２５、２６の表面に塗布するこ
とによって形成される。また、導電性塗料を塗布するほ
か、印刷技術を利用して印刷したり、溶射、スパッタリ
ング、無電解メッキ等の技術を利用することもできる。
そして、前記接着材３１としては、高温下において劣化
することがないようにガラスペーストが使用される。
は、導電性塗料を誘電体２５、２６の表面に塗布するこ
とによって形成される。また、導電性塗料を塗布するほ
か、印刷技術を利用して印刷したり、溶射、スパッタリ
ング、無電解メッキ等の技術を利用することもできる。
そして、前記接着材３１としては、高温下において劣化
することがないようにガラスペーストが使用される。
【００３２】このように、放電極３６及び接地極３７は
被覆によって導電層として形成されるので、厚さが５０
〔μｍ〕程度になる。したがって、プラズマ処理装置５
２を小型化することができる。さらに、放電極３６及び
接地極３７の位置決め精度を高くすることができる。ま
た、放電極３６及び接地極３７の厚さを均一にすること
ができるので、放電極３６と接地極３７との間の放電ギ
ャップが均一になるとともに放電ギャップの電気抵抗に
ばらつきがなくなり、放電極３６及び接地極３７の全面
においてプラズマ放電が行われるようになる。その結
果、排ガスの処理量を増加することができる。
被覆によって導電層として形成されるので、厚さが５０
〔μｍ〕程度になる。したがって、プラズマ処理装置５
２を小型化することができる。さらに、放電極３６及び
接地極３７の位置決め精度を高くすることができる。ま
た、放電極３６及び接地極３７の厚さを均一にすること
ができるので、放電極３６と接地極３７との間の放電ギ
ャップが均一になるとともに放電ギャップの電気抵抗に
ばらつきがなくなり、放電極３６及び接地極３７の全面
においてプラズマ放電が行われるようになる。その結
果、排ガスの処理量を増加することができる。
【００３３】そして、金網を使用するものと比べて、放
電極３６及び接地極３７を二次元構造にすることができ
るので、厚さ方向における熱膨張を小さくすることがで
きる。したがって、熱膨張差によって接着材３１が破壊
されるのを防止することができる。図５は本発明の実施
例における積層体構造を示す図である。
電極３６及び接地極３７を二次元構造にすることができ
るので、厚さ方向における熱膨張を小さくすることがで
きる。したがって、熱膨張差によって接着材３１が破壊
されるのを防止することができる。図５は本発明の実施
例における積層体構造を示す図である。
【００３４】図において、２５、２６は誘電体、３０は
交流電源、３６は放電極、５２はプラズマ処理装置、５
６は放電極ユニット、５８は接地極ユニットである。こ
の場合、プラズマ処理装置５２は４個の放電極ユニット
５６及び３個の接地極ユニット５８から成り、放電極ユ
ニット５６と接地極ユニット５８とが交互に配設され
る。そして、放電極ユニット５６と接地極ユニット５８
との間には、放電場を形成するために誘電体から成る一
対のスペーサ５３、５４が配設される。このようにして
形成された積層体構造は、その後焼成され、前記交流電
源３０に各放電極３６及び接地極３７（図１）が接続さ
れる。
交流電源、３６は放電極、５２はプラズマ処理装置、５
６は放電極ユニット、５８は接地極ユニットである。こ
の場合、プラズマ処理装置５２は４個の放電極ユニット
５６及び３個の接地極ユニット５８から成り、放電極ユ
ニット５６と接地極ユニット５８とが交互に配設され
る。そして、放電極ユニット５６と接地極ユニット５８
との間には、放電場を形成するために誘電体から成る一
対のスペーサ５３、５４が配設される。このようにして
形成された積層体構造は、その後焼成され、前記交流電
源３０に各放電極３６及び接地極３７（図１）が接続さ
れる。
【図１】本発明の実施例における排ガス浄化処理装置の
断面図である。
断面図である。
【図２】従来の排ガス浄化処理装置の断面図である。
【図３】従来の排ガス浄化処理装置における放電状態を
示す図である。
示す図である。
【図４】従来の他の排ガス浄化処理装置における放電状
態を示す図である。
態を示す図である。
【図５】本発明の実施例における積層体構造を示す図で
ある。
ある。
２５、２６ 誘電体 ３０ 交流電源 ３１ 接着材 ３６ 放電極 ３７ 接地極 ５３、５４ スペーサ ５６ 放電極ユニット ５８ 接地極ユニット
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｂ０１Ｄ 53/74 Ｂ０１Ｊ 19/08 ＺＡＢ Ｅ 9342−4Ｄ (72)発明者 伊藤 義久 東京都千代田区外神田２丁目19番12号 株 式会社エクォス・リサーチ内 (72)発明者 宮崎 秀人 愛知県安城市藤井町高根10番地 アイシ ン・エィ・ダブリュ株式会社内
Claims (3)
- 【請求項１】 放電極ユニットと、該放電極ユニットと
対向させて配設された接地極ユニットと、前記放電極ユ
ニットと接地極ユニットとの間に配設され、放電ギャッ
プを形成するスペーサと、前記放電極ユニットと接地極
ユニットとを接続する電源とを有するとともに、前記放
電極ユニット及び接地極ユニットは、いずれも、一対の
板状の誘電体と、該一対の板状の誘電体における互いに
対向する面のいずれか一方に形成された導電層とを備え
ることを特徴とする排ガス浄化処理装置。 - 【請求項２】 前記導電層はスパッタリングによって形
成される請求項１に記載の排ガス浄化処理装置。 - 【請求項３】 前記導電層は導電性材料を印刷すること
によって形成される請求項１に記載の排ガス浄化処理装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6185899A JPH0849525A (ja) | 1994-08-08 | 1994-08-08 | 排ガス浄化処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6185899A JPH0849525A (ja) | 1994-08-08 | 1994-08-08 | 排ガス浄化処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0849525A true JPH0849525A (ja) | 1996-02-20 |
Family
ID=16178834
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6185899A Pending JPH0849525A (ja) | 1994-08-08 | 1994-08-08 | 排ガス浄化処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0849525A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030046623A (ko) * | 2001-12-06 | 2003-06-18 | 현대자동차주식회사 | 차량의 유해 배기 가스 처리장치 |
| KR20030075472A (ko) * | 2002-03-19 | 2003-09-26 | 현대자동차주식회사 | 플라즈마 반응기 및 그 제조방법과 플라즈마 반응기가채용된 차량의 배기가스 저감장치 |
| KR100411544B1 (ko) * | 2001-05-03 | 2003-12-18 | 사단법인 고등기술연구원 연구조합 | 누설전류 차단이 가능한 구조로 된 전극지지판을 채용한배기가스 정화장치 |
| WO2004114728A1 (ja) * | 2003-06-20 | 2004-12-29 | Ngk Insulators, Ltd. | プラズマ発生電極及びプラズマ発生装置、並びに排気ガス浄化装置 |
| WO2005027593A1 (ja) * | 2003-09-12 | 2005-03-24 | Ngk Insulators, Ltd. | プラズマ発生電極及びプラズマ反応器 |
| JP2005093423A (ja) * | 2003-08-08 | 2005-04-07 | Ngk Insulators Ltd | プラズマ発生電極及びプラズマ反応器 |
| KR100605752B1 (ko) * | 2003-07-23 | 2006-07-31 | 안희성 | 플라즈마 발생 장치 |
| WO2009057555A1 (ja) * | 2007-10-29 | 2009-05-07 | Kyocera Corporation | プラズマ発生体、プラズマ発生装置、オゾン発生装置、排ガス処理装置 |
-
1994
- 1994-08-08 JP JP6185899A patent/JPH0849525A/ja active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100411544B1 (ko) * | 2001-05-03 | 2003-12-18 | 사단법인 고등기술연구원 연구조합 | 누설전류 차단이 가능한 구조로 된 전극지지판을 채용한배기가스 정화장치 |
| KR20030046623A (ko) * | 2001-12-06 | 2003-06-18 | 현대자동차주식회사 | 차량의 유해 배기 가스 처리장치 |
| KR20030075472A (ko) * | 2002-03-19 | 2003-09-26 | 현대자동차주식회사 | 플라즈마 반응기 및 그 제조방법과 플라즈마 반응기가채용된 차량의 배기가스 저감장치 |
| WO2004114728A1 (ja) * | 2003-06-20 | 2004-12-29 | Ngk Insulators, Ltd. | プラズマ発生電極及びプラズマ発生装置、並びに排気ガス浄化装置 |
| JPWO2004114728A1 (ja) * | 2003-06-20 | 2006-08-03 | 日本碍子株式会社 | プラズマ発生電極及びプラズマ発生装置、並びに排気ガス浄化装置 |
| US7635824B2 (en) | 2003-06-20 | 2009-12-22 | Ngk Insulators, Ltd. | Plasma generating electrode, plasma generation device, and exhaust gas purifying device |
| JP4746986B2 (ja) * | 2003-06-20 | 2011-08-10 | 日本碍子株式会社 | プラズマ発生電極及びプラズマ発生装置、並びに排気ガス浄化装置 |
| KR100605752B1 (ko) * | 2003-07-23 | 2006-07-31 | 안희성 | 플라즈마 발생 장치 |
| JP2005093423A (ja) * | 2003-08-08 | 2005-04-07 | Ngk Insulators Ltd | プラズマ発生電極及びプラズマ反応器 |
| WO2005027593A1 (ja) * | 2003-09-12 | 2005-03-24 | Ngk Insulators, Ltd. | プラズマ発生電極及びプラズマ反応器 |
| US7589296B2 (en) | 2003-09-12 | 2009-09-15 | Ngk Insulators, Ltd. | Plasma generating electrode and plasma reactor |
| WO2009057555A1 (ja) * | 2007-10-29 | 2009-05-07 | Kyocera Corporation | プラズマ発生体、プラズマ発生装置、オゾン発生装置、排ガス処理装置 |
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