JPH0843251A - 色分解プリズム光路長測定装置及び色分解プリズム接着装置 - Google Patents
色分解プリズム光路長測定装置及び色分解プリズム接着装置Info
- Publication number
- JPH0843251A JPH0843251A JP18127994A JP18127994A JPH0843251A JP H0843251 A JPH0843251 A JP H0843251A JP 18127994 A JP18127994 A JP 18127994A JP 18127994 A JP18127994 A JP 18127994A JP H0843251 A JPH0843251 A JP H0843251A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- color separation
- separation prism
- optical path
- prism
- color
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 色分解プリズムの光路長を高精度に短時間で
測定することができる優れた光路長測定装置および本測
定装置を利用した色分解プリズム接着装置を提供するこ
とを目的とする。 【構成】 色分解プリズムの光路長測定装置は、色分解
プリズムの光路長測定装置は、ライン型照明装置１と、
光軸に対して前後に傾けたスリット２と、前記ライン型
照明装置から発生し前記スリットを通過した光を色分解
プリズム５の出射端に集光させるレンズユニット４と、
前記レンズユニットの全面に配置したハーフミラー３
と、色分解プリズムの出射端からの反射光を前記ハーフ
ミラーを介してとらえるカラーカメラユニット７と、前
記カラーカメラユニットの画像信号を演算処理する画像
演算処理部８とを備えている。
測定することができる優れた光路長測定装置および本測
定装置を利用した色分解プリズム接着装置を提供するこ
とを目的とする。 【構成】 色分解プリズムの光路長測定装置は、色分解
プリズムの光路長測定装置は、ライン型照明装置１と、
光軸に対して前後に傾けたスリット２と、前記ライン型
照明装置から発生し前記スリットを通過した光を色分解
プリズム５の出射端に集光させるレンズユニット４と、
前記レンズユニットの全面に配置したハーフミラー３
と、色分解プリズムの出射端からの反射光を前記ハーフ
ミラーを介してとらえるカラーカメラユニット７と、前
記カラーカメラユニットの画像信号を演算処理する画像
演算処理部８とを備えている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、３板式カメラシステム
に使用する色分解プリズムの光路長測定装置及び色分解
プリズム接着装置に関するものである。
に使用する色分解プリズムの光路長測定装置及び色分解
プリズム接着装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、業務用カメラはＣＣＤを３個使用
する３板式カメラシステムが多くなっており、その性能
は３個のＣＣＤをいかに精度よく位置決めし固定するか
にかかってきている。また、固定する過程でずれること
があり、ずれの少ない構造としてプリズムとＣＣＤとを
密着させて接着剤で硬化するものが開発されている。そ
の際プリズムの各色の光路長がばらばらであると、各色
のピントの位置がずれてカメラとしての性能がでないこ
とになる。そのため、色分解プリズムの各色の光路長が
精度よくできているかを評価する必要があり、高精度な
光路長測定装置が望まれている。またその測定結果に基
づいて、高精度な色分解プリズムを作成する装置が望ま
れている。
する３板式カメラシステムが多くなっており、その性能
は３個のＣＣＤをいかに精度よく位置決めし固定するか
にかかってきている。また、固定する過程でずれること
があり、ずれの少ない構造としてプリズムとＣＣＤとを
密着させて接着剤で硬化するものが開発されている。そ
の際プリズムの各色の光路長がばらばらであると、各色
のピントの位置がずれてカメラとしての性能がでないこ
とになる。そのため、色分解プリズムの各色の光路長が
精度よくできているかを評価する必要があり、高精度な
光路長測定装置が望まれている。またその測定結果に基
づいて、高精度な色分解プリズムを作成する装置が望ま
れている。
【０００３】以下に従来の色分解プリズムの光路長測定
方法について説明する。図４は従来の光路長測定装置の
構成を示すものである。図４において、４１は標準被写
体としてのチャートであり、４２はこのチャートの像を
結像させるレンズである。４３は被測定対象となる色分
解プリズムである。４４ａは前記色分解プリズムのＲｃ
ｈ方向に配置した顕微鏡で移動ステージ４５ａの上に設
置されている。同様に４４ｂ、４４ｃはそれぞれＧｃ
ｈ、Ｂｃｈ方向に配置された顕微鏡で移動ステージ４５
ｂ、４５ｃの上に設置されている。
方法について説明する。図４は従来の光路長測定装置の
構成を示すものである。図４において、４１は標準被写
体としてのチャートであり、４２はこのチャートの像を
結像させるレンズである。４３は被測定対象となる色分
解プリズムである。４４ａは前記色分解プリズムのＲｃ
ｈ方向に配置した顕微鏡で移動ステージ４５ａの上に設
置されている。同様に４４ｂ、４４ｃはそれぞれＧｃ
ｈ、Ｂｃｈ方向に配置された顕微鏡で移動ステージ４５
ｂ、４５ｃの上に設置されている。
【０００４】以上のように構成された光路長測定装置に
ついて、以下その動作について説明する。まず、チャー
トの像はレンズによって色分解プリズムに入り、Ｒ、
Ｇ、Ｂの色に分解され結像する。結像する位置は、顕微
鏡を見ながら移動ステージを動かしピントを合わせるこ
とで測定することができる。
ついて、以下その動作について説明する。まず、チャー
トの像はレンズによって色分解プリズムに入り、Ｒ、
Ｇ、Ｂの色に分解され結像する。結像する位置は、顕微
鏡を見ながら移動ステージを動かしピントを合わせるこ
とで測定することができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記の従
来の光路長測定方法では、それぞれピントを合わせる必
要があり時間がかかるとともに、ピント合わせは必ず焦
点深度がネックとなり、その精度が直接光路長測定精度
にきいてくることになり、高精度な測定が困難だった。
来の光路長測定方法では、それぞれピントを合わせる必
要があり時間がかかるとともに、ピント合わせは必ず焦
点深度がネックとなり、その精度が直接光路長測定精度
にきいてくることになり、高精度な測定が困難だった。
【０００６】本発明は上記従来の問題を解決するもの
で、色分解プリズムの光路長を高精度に短時間で測定す
ることができる優れた光路長測定装置および本測定装置
を利用した色分解プリズム接着装置を提供することを目
的とする。
で、色分解プリズムの光路長を高精度に短時間で測定す
ることができる優れた光路長測定装置および本測定装置
を利用した色分解プリズム接着装置を提供することを目
的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、色分解プリズムの光路長測定装置は、ライ
ン型照明装置と、光軸に対して前後に傾けたスリット
と、前記ライン型照明装置から発生し前記スリットを通
過した光を色分解プリズムの出射端に集光させるレンズ
ユニットと、前記レンズユニットの全面に配置したハー
フミラーと、色分解プリズムの出射端からの反射光を前
記ハーフミラーを介してとらえるカラーカメラユニット
と、前記カラーカメラユニットの画像信号を演算処理す
る画像演算処理部とを備えている。
するために、色分解プリズムの光路長測定装置は、ライ
ン型照明装置と、光軸に対して前後に傾けたスリット
と、前記ライン型照明装置から発生し前記スリットを通
過した光を色分解プリズムの出射端に集光させるレンズ
ユニットと、前記レンズユニットの全面に配置したハー
フミラーと、色分解プリズムの出射端からの反射光を前
記ハーフミラーを介してとらえるカラーカメラユニット
と、前記カラーカメラユニットの画像信号を演算処理す
る画像演算処理部とを備えている。
【０００８】また、色分解プリズム接着装置には上記の
他に、プリズムの出射端に接着剤を介してガラス板を配
置し、前記ガラス板を保持するホルダーと、前記ホルダ
ーを前記プリズムの光軸方向に移動させる移動ステージ
と、紫外線光源と、前記紫外線光源から出た紫外線光を
前記ガラス板に導くためのライトガイドとを備えてい
る。
他に、プリズムの出射端に接着剤を介してガラス板を配
置し、前記ガラス板を保持するホルダーと、前記ホルダ
ーを前記プリズムの光軸方向に移動させる移動ステージ
と、紫外線光源と、前記紫外線光源から出た紫外線光を
前記ガラス板に導くためのライトガイドとを備えてい
る。
【０００９】
【作用】この構成によって、スリットから出た光がレン
ズユニットにより集光され色分解プリズムの各チャンネ
ル（Ｒｃｈ、Ｇｃｈ、Ｂｃｈ）の出射端で反射し再びレ
ンズユニットをとおりハーフミラーによってカラーカメ
ラに導かれる。したがってスリットの像はカラーカメラ
上に投影されることになるが、この時スリットが前後に
傾いていることによりカラーカメラ上ではピントが合う
位置が色分解プリズムの光路長により上下に変化するこ
とになる。そこで、ピントの位置を画像演算処理部で各
色毎に計算することにより、色分解プリズムの光路長を
高精度に短時間で測定することができる。
ズユニットにより集光され色分解プリズムの各チャンネ
ル（Ｒｃｈ、Ｇｃｈ、Ｂｃｈ）の出射端で反射し再びレ
ンズユニットをとおりハーフミラーによってカラーカメ
ラに導かれる。したがってスリットの像はカラーカメラ
上に投影されることになるが、この時スリットが前後に
傾いていることによりカラーカメラ上ではピントが合う
位置が色分解プリズムの光路長により上下に変化するこ
とになる。そこで、ピントの位置を画像演算処理部で各
色毎に計算することにより、色分解プリズムの光路長を
高精度に短時間で測定することができる。
【００１０】また、プリズムの出射端に接着剤を介して
ガラス板を配置すると、ガラス板までの光路長が精度良
く測定でき、その測定値をもとにガラス板を保持するホ
ルダーを移動ステージにて調整し、紫外線光源から出た
紫外線光をライトガイドを用いてガラス面に照射するこ
とにより、３色の光路長が高精度に調整された色分解プ
リズムを接着することができる。
ガラス板を配置すると、ガラス板までの光路長が精度良
く測定でき、その測定値をもとにガラス板を保持するホ
ルダーを移動ステージにて調整し、紫外線光源から出た
紫外線光をライトガイドを用いてガラス面に照射するこ
とにより、３色の光路長が高精度に調整された色分解プ
リズムを接着することができる。
【００１１】
【実施例】以下本発明の一実施例について、図面を参照
しながら説明する。
しながら説明する。
【００１２】図１は本発明の実施例における色分解プリ
ズム光路測定・接着装置の構成図である。図１におい
て、１はライン型照明装置、２は光軸に対して前後に傾
けたスリット、３は光軸にたいして４５°に傾けたハー
フミラー、４はレンズユニット、５は被測定対象の色分
解プリズム、６はガラス板で前記レンズユニット４の焦
点位置に色分解プリズムの出射端（５ｒ，５ｇ，５ｂ）
またはガラス板後面がくるように配置されている。７は
カラーカメラでその撮像面とハーフミラーの距離がハー
フミラーとスリットの距離に等しくなるように配置され
ている。８は前記カラーカメラからの画像信号をうける
画像演算処理部である。９は前記ガラス板６をホールド
するガラスホルダー、１０は前記ガラス板６およびガラ
スホルダー９を画像演算処理部８の結果をもとに移動さ
せる移動ステージ、１１は色分解プリズム５とガラス板
６とを接着するためのＵＶ光（紫外線光）を照射する紫
外線光源、１２は紫外線光をガラス板後面に導くライト
ガイドである。
ズム光路測定・接着装置の構成図である。図１におい
て、１はライン型照明装置、２は光軸に対して前後に傾
けたスリット、３は光軸にたいして４５°に傾けたハー
フミラー、４はレンズユニット、５は被測定対象の色分
解プリズム、６はガラス板で前記レンズユニット４の焦
点位置に色分解プリズムの出射端（５ｒ，５ｇ，５ｂ）
またはガラス板後面がくるように配置されている。７は
カラーカメラでその撮像面とハーフミラーの距離がハー
フミラーとスリットの距離に等しくなるように配置され
ている。８は前記カラーカメラからの画像信号をうける
画像演算処理部である。９は前記ガラス板６をホールド
するガラスホルダー、１０は前記ガラス板６およびガラ
スホルダー９を画像演算処理部８の結果をもとに移動さ
せる移動ステージ、１１は色分解プリズム５とガラス板
６とを接着するためのＵＶ光（紫外線光）を照射する紫
外線光源、１２は紫外線光をガラス板後面に導くライト
ガイドである。
【００１３】以上のように構成された色分解プリズムの
光路長測定装置について、図１および図２を用いてその
動作を説明する。まず、図１１においてライン型照明装
置１から出た光のなかでスリット２を出た光はレンズユ
ニット４をとおり色分解プリズム５の出射端またはガラ
ス板６の後面に集光する。各チャンネルの出射端５ｒ、
５ｇ、５ｂまたはガラス板６から反射した光は再びレン
ズユニット４を通りハーフミラー３で反射しカラーカメ
ラ７の撮像面に集光する。以下に、色分解プリズム光路
長測定装置の測定原理を説明する。ここで、図２（ａ）
は本実施例における色分解プリズム光路長測定装置の測
定原理説明のためのカラーカメラでとらえたスリットの
像の模式図、（ｂ）は輝度分布の立体的な模式図、
（ｃ）はピントがずれたときの輝度分布の模式図、
（ｄ）は検波出力を得るための正弦関数の模式図、
（ｅ）は検波出力波形の模式図を表す。撮像面上では図
２（ａ）に示すように、スリット２が傾いていることに
より、中心付近のみではピントが合うが、その前後では
ピントがぼけた像になっている。図２（ｂ）はこの輝度
分布を立体的に表したもので、ピントがあっている位置
は輝度レベルも高くなっていることをしめしている。例
えば色分解プリズム５の出射端またはガラス板６の後面
の位置が基準位置からずれている場合は、図２（ｃ）に
示すように、輝度分布が中心付近が最大にならずどちら
かにずれることになる。このずれ量を精度よく測定すれ
ば高精度な光路長測定装置ができることになる。そこで
図２（ｃ）の輝度分布に対して例えば図２（ｄ）のよう
な正弦関数を掛けることにより、図２（ｅ）のような一
種の検波出力波形を得ることができる。この値が即ち測
定している光路長の基準値からのずれであり、またこの
値を０にするように移動ステージ１０を動かし、その状
態でガラス板６と色分解プリズム５を接着することによ
り、基準値にあった光路長をもつ色分解プリズムをつく
ることができる。
光路長測定装置について、図１および図２を用いてその
動作を説明する。まず、図１１においてライン型照明装
置１から出た光のなかでスリット２を出た光はレンズユ
ニット４をとおり色分解プリズム５の出射端またはガラ
ス板６の後面に集光する。各チャンネルの出射端５ｒ、
５ｇ、５ｂまたはガラス板６から反射した光は再びレン
ズユニット４を通りハーフミラー３で反射しカラーカメ
ラ７の撮像面に集光する。以下に、色分解プリズム光路
長測定装置の測定原理を説明する。ここで、図２（ａ）
は本実施例における色分解プリズム光路長測定装置の測
定原理説明のためのカラーカメラでとらえたスリットの
像の模式図、（ｂ）は輝度分布の立体的な模式図、
（ｃ）はピントがずれたときの輝度分布の模式図、
（ｄ）は検波出力を得るための正弦関数の模式図、
（ｅ）は検波出力波形の模式図を表す。撮像面上では図
２（ａ）に示すように、スリット２が傾いていることに
より、中心付近のみではピントが合うが、その前後では
ピントがぼけた像になっている。図２（ｂ）はこの輝度
分布を立体的に表したもので、ピントがあっている位置
は輝度レベルも高くなっていることをしめしている。例
えば色分解プリズム５の出射端またはガラス板６の後面
の位置が基準位置からずれている場合は、図２（ｃ）に
示すように、輝度分布が中心付近が最大にならずどちら
かにずれることになる。このずれ量を精度よく測定すれ
ば高精度な光路長測定装置ができることになる。そこで
図２（ｃ）の輝度分布に対して例えば図２（ｄ）のよう
な正弦関数を掛けることにより、図２（ｅ）のような一
種の検波出力波形を得ることができる。この値が即ち測
定している光路長の基準値からのずれであり、またこの
値を０にするように移動ステージ１０を動かし、その状
態でガラス板６と色分解プリズム５を接着することによ
り、基準値にあった光路長をもつ色分解プリズムをつく
ることができる。
【００１４】図３は本実施例によるガラス板移動量と検
波出力の特性図である。±４σのばらつきは±０．９μ
ｍと高精度な測定ができていることを示している。
波出力の特性図である。±４σのばらつきは±０．９μ
ｍと高精度な測定ができていることを示している。
【００１５】これらのことから明らかなように、本実施
例による色分解プリズム光路長測定・接着装置は、高精
度な測定を高速におこなえるの点で優れた効果が得られ
る。
例による色分解プリズム光路長測定・接着装置は、高精
度な測定を高速におこなえるの点で優れた効果が得られ
る。
【００１６】以上のように本実施例によれば、ライン型
照明装置１と、光軸に対して前後に傾けたスリット２
と、前記ライン型照明装置１から発生し前記スリット２
を通過した光を色分解プリズム５の出射端に集光させる
レンズユニット４と、前記レンズユニット４の全面に配
置したハーフミラー３と、色分解プリズム５の出射端か
らの反射光を前記ハーフミラー３を介してとらえるカラ
ーカメラユニット７と、前記カラーカメラユニット７の
画像信号を演算処理する画像演算処理部８とを設けるこ
とにより、色分解プリズム５を高精度に高速に測定する
ことができる。
照明装置１と、光軸に対して前後に傾けたスリット２
と、前記ライン型照明装置１から発生し前記スリット２
を通過した光を色分解プリズム５の出射端に集光させる
レンズユニット４と、前記レンズユニット４の全面に配
置したハーフミラー３と、色分解プリズム５の出射端か
らの反射光を前記ハーフミラー３を介してとらえるカラ
ーカメラユニット７と、前記カラーカメラユニット７の
画像信号を演算処理する画像演算処理部８とを設けるこ
とにより、色分解プリズム５を高精度に高速に測定する
ことができる。
【００１７】また、色分解プリズム５の出射端に接着剤
を介してガラス板６を配置し、前記ガラス板６を保持す
るホルダー９と、前記ホルダー９を前記色分解プリズム
５の光軸方向に移動させる移動ステージ１０と、紫外線
光源１１と、前記紫外線光源１１から出た紫外線光を前
記ガラス板６に導くためのライトガイド１２と、上記の
色分解プリズム光路長測定装置とを組み合わせることに
より光路長を高精度に合わせた色分解プリズムを高速に
製作することができる。
を介してガラス板６を配置し、前記ガラス板６を保持す
るホルダー９と、前記ホルダー９を前記色分解プリズム
５の光軸方向に移動させる移動ステージ１０と、紫外線
光源１１と、前記紫外線光源１１から出た紫外線光を前
記ガラス板６に導くためのライトガイド１２と、上記の
色分解プリズム光路長測定装置とを組み合わせることに
より光路長を高精度に合わせた色分解プリズムを高速に
製作することができる。
【００１８】
【発明の効果】以上のように本発明は、ライン型照明装
置と、光軸に対して前後に傾けたスリットと、レンズユ
ニットと、ハーフミラーと、カラーカメラユニットと、
画像演算処理部とを設けることにより色分解プリズムを
高精度に高速に測定することができる優れた色分解プリ
ズム光路長測定装置を実現できるものである。
置と、光軸に対して前後に傾けたスリットと、レンズユ
ニットと、ハーフミラーと、カラーカメラユニットと、
画像演算処理部とを設けることにより色分解プリズムを
高精度に高速に測定することができる優れた色分解プリ
ズム光路長測定装置を実現できるものである。
【００１９】また、プリズムの出射端に接着剤を介して
ガラス板を配置し、ガラス板を保持するホルダーと、移
動ステージと、紫外線光源と、ライトガイドと、上記の
色分解プリズム光路長測定装置とを組み合わせることに
より光路長を高精度に合わせた色分解プリズムを高速に
製作することができる優れた色分解プリズム接着装置を
実現できるものである。
ガラス板を配置し、ガラス板を保持するホルダーと、移
動ステージと、紫外線光源と、ライトガイドと、上記の
色分解プリズム光路長測定装置とを組み合わせることに
より光路長を高精度に合わせた色分解プリズムを高速に
製作することができる優れた色分解プリズム接着装置を
実現できるものである。
【図１】本発明の一実施例における色分解プリズム光路
長測定及び色分解プリズム接着装置の構成図
長測定及び色分解プリズム接着装置の構成図
【図２】本実施例における色分解プリズム光路長測定装
置の測定原理説明図
置の測定原理説明図
【図３】同実施例における色分解プリズム光路長測定装
置による検波出力の特性図
置による検波出力の特性図
【図４】従来例の色分解プリズム光路長測定装置の構成
図
図
１ ライン型照明装置 ２ スリット ３ ハーフミラー ４ レンズユニット ５ 色分解プリズム ６ ガラス板 ７ カラーカメラ ８ 画像演算処理部 ９ ガラスホルダ １０ 移動ステージ １１ ＵＶ（紫外線）光源 １２ ライトガイド
Claims (2)
- 【請求項１】 ライン型照明装置と、光軸に対して前後
に傾けたスリットと、前記ライン型照明装置から発生し
前記スリットを通過した光を色分解プリズムの出射端に
集光させるレンズユニットと、前記レンズユニットの全
面に配置したハーフミラーと、色分解プリズムの出射端
からの反射光を前記ハーフミラーを介してとらえるカラ
ーカメラユニットと、前記カラーカメラユニットの画像
信号を演算処理する画像演算処理部とを備えた色分解プ
リズム光路長測定装置。 - 【請求項２】 プリズムの出射端に接着剤を介してガラ
ス板を配置し、前記ガラス板を保持するホルダーと、前
記ホルダーを前記プリズムの光軸方向に移動させる移動
ステージと、紫外線光源と、前記紫外線光源から出た紫
外線光を前記ガラス板に導くためのライトガイドと、請
求項１記載の色分解プリズム光路長測定装置とを備えた
色分解プリズム接着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06181279A JP3119081B2 (ja) | 1994-08-02 | 1994-08-02 | 色分解プリズム光路長測定装置及び色分解プリズム接着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06181279A JP3119081B2 (ja) | 1994-08-02 | 1994-08-02 | 色分解プリズム光路長測定装置及び色分解プリズム接着装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0843251A true JPH0843251A (ja) | 1996-02-16 |
| JP3119081B2 JP3119081B2 (ja) | 2000-12-18 |
Family
ID=16097920
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06181279A Expired - Fee Related JP3119081B2 (ja) | 1994-08-02 | 1994-08-02 | 色分解プリズム光路長測定装置及び色分解プリズム接着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3119081B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007133374A (ja) * | 2005-11-09 | 2007-05-31 | Samsung Electronics Co Ltd | 光学デバイスの製造装置及び製造方法 |
| JP2008026238A (ja) * | 2006-07-24 | 2008-02-07 | Youngtek Electronics Corp | 光学的物体距離シミュレーション装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101855131B1 (ko) * | 2017-01-20 | 2018-05-08 | 김창기 | 헤어 로드 |
-
1994
- 1994-08-02 JP JP06181279A patent/JP3119081B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007133374A (ja) * | 2005-11-09 | 2007-05-31 | Samsung Electronics Co Ltd | 光学デバイスの製造装置及び製造方法 |
| JP2008026238A (ja) * | 2006-07-24 | 2008-02-07 | Youngtek Electronics Corp | 光学的物体距離シミュレーション装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3119081B2 (ja) | 2000-12-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4958920A (en) | Process and apparatus for the automatic focusing of microscopes | |
| JPH11211439A (ja) | 表面形状計測装置 | |
| JP2001504592A (ja) | 距離測定方法および距離測定装置 | |
| JP3119081B2 (ja) | 色分解プリズム光路長測定装置及び色分解プリズム接着装置 | |
| US4733062A (en) | Focus detecting device | |
| JPH0694515A (ja) | 光発散特性測定装置 | |
| JPS5926708A (ja) | ズ−ムレンズの合焦方法 | |
| JP2828145B2 (ja) | 光切断顕微鏡装置及びその光学手段の位置合わせ方法 | |
| JP3554084B2 (ja) | 時間分解イメージング装置 | |
| JPH11167060A (ja) | 合焦検出装置及び方法 | |
| JPH04115109A (ja) | 表面粗さ計測装置 | |
| JP3593084B2 (ja) | レーザ計測方法及びレーザ計測装置 | |
| JPH06147845A (ja) | テーパ孔のエッジ検出装置及びその深さ測定装置 | |
| JPS58171025A (ja) | 撮影装置 | |
| JPS6353509A (ja) | 顕微鏡の自動焦点調節用測距装置 | |
| JPH03168712A (ja) | オートフォーカス装置 | |
| JP4136088B2 (ja) | 一眼レフカメラの受光素子位置調整装置およびその調整方法 | |
| JPH03154854A (ja) | 細線の微細欠陥検出装置 | |
| JPH05346532A (ja) | 顕微鏡における自動焦点合わせ装置及び暗視野顕微鏡 | |
| JPH0359410A (ja) | パターン検出装置 | |
| JPS5950430A (ja) | カメラの焦点調節装置 | |
| KR200263530Y1 (ko) | 2파장 순간영상 동시측정시스템 | |
| JPH11264928A (ja) | 合焦装置 | |
| SU1219999A1 (ru) | Устройство дл контрол положени линзы Френел в зеркальном фотоаппарате | |
| JPS63138310A (ja) | 焦点検出装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |