JPH0837138A - 半導体製造ライン制御装置 - Google Patents

半導体製造ライン制御装置

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JPH0837138A
JPH0837138A JP7099334A JP9933495A JPH0837138A JP H0837138 A JPH0837138 A JP H0837138A JP 7099334 A JP7099334 A JP 7099334A JP 9933495 A JP9933495 A JP 9933495A JP H0837138 A JPH0837138 A JP H0837138A
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ショウピン・チャン
Gaku Kimu Kii
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Abstract

(57)【要約】 【目的】優れたフォールトトレラント機能を実現できる
半導体製造ライン制御装置を提供する。 【構成】通信端末５６に接続されたバックアップサーバ
１０２を備える。通信端末５６がメインフレーム１１，
バックアップサーバ１０２のいずれか一方が故障しても
半導体プロセス装置１６の連続運転を行うようにメイン
フレーム１１，バックアップサーバ１０２とを制御する
インタセプタモジュールとを備える。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体製造ライン制御装
置に関し、特にコンピュータを用いた半導体プロセス制
御用の製造システムである半導体製造ライン制御装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造ライン等の製造システムをコ
ンピュータを用いて制御することは良く知られている。
制御対象装置相互間の距離と同様に制御に必要な情報量
が大きい故に、これらのシステムの制御には一般的には
メインフレームコンピュータが用いられる。
【０００３】従来のこの種の半導体製造ライン制御装置
の一例をブロックで示す図６を参照すると、この従来の
半導体製造ライン制御装置は、メインフレーム１１と、
このメインフレーム１１と後述の製造ライン内各構成セ
グメントとを接続しデータの授受を行うゲートウェイ装
置である複数のゲート１２と、ゲート１２の各々とペア
を成しバックボーンバス１５に対する上記各セグメント
のデータのインタフエース用の複数のルータ１３と、各
ペアのゲート１２とルータ１３との間に配置されそれぞ
れ独立のプロセスライン部１８を構成する複数の通信端
末１４と、各通信端末１４に順番に接続された複数のプ
ロセス装置１６とを備える。
【０００４】ゲート１２としては、例えばユタ州プロボ
（Ｐｒｏｖｏ）のノベル社（ＮｏｖｅｌｌＣｏｒｐｏｒ
ａｔｉｏｎ）の３２７０型システム・ネットワーク・ア
ーキテクチャ（ＳＮＡ）ゲートウェイ等を用いる。
【０００５】さらに、別のゲート１２に接続され、この
半導体製造ラインの材料や製品をストックするストッカ
部２０を備える。このストッカ部２０は、複数のストッ
カ・パーソナルコンピュータ（ＰＣ）２４と、ストッカ
サ−バ２２とを備える。ＰＣ２４は、半導体ロットボッ
クスの格納架および格納架相互間の移送機能を備えるス
トッカ２６に接続する。
【０００６】他のゲート１２に接続され、この半導体製
造ラインの動作監視用の分析部３０を備える。この分析
部３０は、監視対象の各設備の状態と履歴とを蓄積・報
告する設備状態サーバ３４と、プロセス測定データを収
集・報告する動向測定分析（ＴＥＡ）サーバ３６とを備
える。
【０００７】もう一つのゲート１２に接続され、複数の
ワークステーション４２を含むワークステーション部４
０を備え、この半導体製造ラインの動作状況に関する画
像情報を提供する。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】この従来の半導体製造
ライン制御装置では、主制御装置であるメインフレーム
が故障すると、製造ラインの動作が全面的に停止してし
まうので、製造ラインの連続動作が提供できないという
問題点があった。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の半導体製造ライ
ン制御装置は、複数の半導体プロセス装置を含む半導体
製造装置と、前記半導体製造装置に接続された通信端末
と、前記通信端末に接続された第１の制御装置とを備
え、前記第１の制御装置により前記半導体製造装置の運
転を制御することにより半導体装置を製造する半導体製
造ライン制御装置において、前記通信端末に接続された
第２の制御装置を備え、前記通信端末が、前記第１およ
び第２の制御装置のいずれか一方が故障しても前記半導
体製造ラインの連続運転を行うように前記第１および第
２の制御装置を制御する予備制御系制御手段とを備えて
構成されている。
【００１０】
【実施例】本発明の実施例を図３と共通の構成要素には
共通の参照文字／数字を付して同様にブロックで示す図
１を参照すると、この図に示す本実施例の半導体製造ラ
イン制御装置は、第１の制御装置として機能し従来と同
様のメインフレーム１１と、従来と共通のゲート１２と
ルータ１３とに加えてインタセプタ部を含む通信端末５
６とインターセプタ制御装置５９とを備えるプロセスラ
イン部５５と、従来と共通のゲート１２とルータ１３と
に加えてこれらゲート１２とルータ１３とに接続された
インタセプタ部を含むストッカＰＣ６４とインタセプタ
制御装置５９とを備えるストッカ部６０と、従来と共通
の分析部用のゲート１２とルータ１３と設備状態サーバ
３４と動向測定分析（ＴＥＡ）サーバ３６とに加えてゲ
ート１２をこれら各構成要素３４，３６に接続する第１
のメインフレームフロントエンド７１を備える分析部７
０と、従来と共通のワークステーション（Ｗ／Ｓ）部用
のゲート１２とルータ１３と複数のＷ／Ｓ４２に加えて
ゲート１２をこれら各Ｗ／Ｓ４２に接続する第２のメイ
ンフレームフロントエンド７１とレポートＰＣ８６とを
備えるＷ／Ｓ部８０と、他と同様なゲート１２とルータ
１３と後述するリカバリサーバ９２を含むリカバリ部９
０と、バックボーンバス１５の代りに異なるセグメント
同志を共通にリンクするバックボーンバス９１と、バッ
クボーンバス９１にそれぞれ接続され各々第２の制御装
置として機能するバックアップサーバ１０２と、リポー
トサーバ１０４と、およびネットワークモニタ１０６と
を備える。
【００１１】ゲート１２としては、従来と同様に例えば
ユタ州プロボ（Ｐｒｏｖｏ）のノベル社（Ｎｏｖｅｌｌ
Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ）の３２７０型システムネット
ワークアーキテクチャ（ＳＮＡ）ゲートウェイを用い
る。
【００１２】ルータ１３としては、例えばカリフォルニ
ア数サンタクララのシノブティクス社（ＳｙｎＯｐｔｉ
ｃｓ）の２８１３型ルータを用いる。
【００１３】従来の技術で説明したように、処理部５
５、ストッカ部６０、分析部７０、Ｗ／Ｓ部８０、およ
びリカバリ部９０の各々は、それぞれのペアを成すゲー
ト１２とルータ１３との間に接続される。これらゲート
１２，ルータ１３は、バックボーンバス９１と共に、情
報トラフィックを異なるセグメントに分割するセグメン
タとして機能する。
【００１４】各々のプロセスライン部５５の通信端末５
６のインタセプタ部とインタセプタ制御装置５９の組合
せ、および各ストッカＰＣ６４のインタセプタ部とイン
タセプタ制御装置６５の組合せはそれぞれのインタセプ
タモジュールとして機能する。
【００１５】通信端末５６のインタセプタモジュールの
構成をブロックで示す図２を参照すると、この通信端末
５６は、アプリケーション・ソフトウェア・モジュール
（以下アプリケーションモジュール）１２０と、インタ
セプタ・ソフトウェア・モジュール（以下インタセプタ
モジュール）１２２とを含む。アプリケーションモジュ
ール１２０は、通信端末５６に接続されたプロセス装置
１６に対する要求／応答による両方向制御を行う。イン
タセプタモジュール１２２は、通信端末５６に対するメ
インフレーム１１およびバックアップサーバ１０２との
相互間の要求／応答による両方向制御を行う。
【００１６】図２を参照してインタセプタモジュールの
動作について説明すると、システムの運転中、インタセ
プタモジュール１２２は、プロセス装置１６より要求Ｑ
を受信する。この要求Ｑはメインフレーム１１とバック
アップサーバ１０２の双方に送信される。メインフレー
ム１１とバックアップサーバ１０２の各々は、インタセ
プタモジュール１２２にそれぞれの応答Ａを与える。イ
ンタセプタモジュール１２２は、双方の応答Ａが受信さ
れるまで応答待ち行列に最初の受信応答Ａを保持する。
双方の応答Ａの受信後、インタセプタモジュール１２２
はプロセス装置１６に応答Ａを送信する。メインフレー
ム１１とバックアップサーバ１０２の双方の応答が相異
なる場合は故障している可能性を示しているので、イン
タセプタモジュール１２２はプロセス装置１６に送信す
べき応答Ａを決定し、これらの応答Ａは調査用として図
１のネットワークモニタ１０６に記録される。
【００１７】本実施例の半導体製造ライン制御装置の予
備システムの構成をブロックで示す図３を参照すると、
この予備システムはインタセプタモジュール１２２と第
１および第２の制御装置であるメインフレーム１１およ
びバックアップサーバ１０２の各々のアプリケーション
モジュール１１Ａ，１０２Ａとを組合せて構成される。
この予備システムはメインフレーム１１あるいはバック
アップサーバ１０２の機能の如何に拘わらずアプリケー
ションが動作し続ける環境を提供することにより、フォ
ルトトレラント（耐障害性）製造システムを可能として
いる。さらに、単一の構成要素の故障によって予備シス
テムの動作が停止しないように、例えば、リカバリサー
バ９２やメインフレームフロントエンド７１のようなハ
ードウェアおよびソフトウェア冗長性を含む。
【００１８】上記予備システムは、以下の特徴を有す
る。
【００１９】上記予備システムは、アプリケーションを
バックアップサーバ１０２とメインフレーム１１との両
方をアプリケーションサーバとして並行して走らせるこ
とができる。インタセプタモジュール１２２は、プロセ
ス装置１６から要求を受け、その要求を複製し、両方の
アプリケーションサーバに送り、両方のアプリケーショ
ンサーバからの応答を比較する。この実施例では、メイ
ンフレーム１１とバックアップサーバ１０２がアプリケ
ーションサーバであるが、さらに別のバックアップサー
バのようなアプリケーションサーバも予備システムの一
部として備えることも可能である。
【００２０】また、上記予備システムはメインフレーム
１１にバックアップファイルを格納すると同時にバック
アップサーバ１０２にも同一バックアップファイルを格
納する。バックアップサーバ１０２は、メインフレーム
１１に対してなされた変更がバックアップ動作に影響す
る恐れがあるため全ての上記変更の通知を要求する。そ
れに応じて、上記変更がメインフレーム・ソフトウェア
に対してなされるときは、上記ソフトウェア対応の変更
対象フアイルをバックアップサーバ１０２にダウンロー
ドすることによりバックアップサーバ１０２のファイル
を更新する。
【００２１】また、上記予備システムはリカバリサーバ
９２を備え、アプリケーションサーバの１つが実行不能
の間、入力メッセージを時系列順に保持し、実行不能ア
プリケーションサーバの復帰後、保持した入力メッセー
ジを再転送する機能を有する。リカバリサーバは追加す
ることも可能である。２つ以上のリカバリサーバを備え
る場合は、リカバリサーバ９２は時系列順序化を要求す
るオブジェクトを担当し、他のリカバリサーバには上記
要求のないオブジェクトを担当させる。
【００２２】メインフレーム１１およびバックアップサ
ーバ１０２の各々は、バックアップファイルおよびシス
テム環境ファイルを格納する関連データベースを有す
る。運用開始時には、バックアップ・アプリケーション
ファイルをメインフレーム１１からバックアップサーバ
１０２へダウンロードし、システム環境ファイルをファ
イル保守プログラムを用いて手作業で入力する。
【００２３】バックアップ・アプリケーションファイル
は下記の複数の制御ファイルを含む。すなわち、バック
アップ・アプリケーション制御ファイルは、アプリケー
ション仕様に基づくバックアップ・アプリケーションフ
ァイル定義と、プロセスライン部のグループが共有する
外部インタセプタを定義するインタセプタグループ定義
と、特定のインタセプタフロントエンドに割当てる装置
のグループを定義するメインフレーム・フロントエンド
グループ定義と、要求をどのアプリケーションＰＣに送
るかおよびどの履歴サーバに第１アプリケーションサー
バの応答を送るかに関する情報を提供するサーバグルー
プ定義と、ダウンロードデータ型と関連アプリケーショ
ンサーバを定義するダウンロード型定義と、サーバの特
性を定義するサーバ特性定義と、トランザクション（処
理）メッセージ内の復帰フラグキー位置を定義するリカ
バリキーポジション定義と、メッセージ比較用のフィー
ルド位置および長さを定義する応答比較定義と、時間切
れ（タイムアウト）を定義するフロー制御構成定義と、
２つのノードの相互通信時の再試行とウィンドウサイズ
とを定義する再試行／ウインドウサイズ定義と、システ
ム環境を定義するシステムパラメータ定義と、ファイル
の比較のためファイルグループおよび各グループの等価
ファイルを定義するメインフレーム・バックアップファ
イル等価定義と、ファイル比較用フィールドを定義する
ファイル比較定義とを含む。
【００２４】予備システムはバックアップアプリケーシ
ョンおよびシステムファイルを維持する。すなわち、予
備システムは指定したファイルに関するレコードを表示
し、サポート担当者が予備システムの動作を制御するた
めファイル値を変更できるようにする。また、予備シス
テムは、アプリケーションがデータを参照する前にこの
データの矛盾を検出し、生じうるエラーを予知する。
【００２５】さらに予備システムは、モニタ記録機能と
モニタ出力機能とを含むネットワーク監視機能を備え
る。モニタ記録機能は、どのネットワークノードからも
ログ（記録）メッセージを受信し、かかるメッセージを
ログファイルへ記録する。モニタ出力機能は、上記ログ
メッセージを選択的に表示・印刷する。
【００２６】動作中の予備システムのモジュール間デー
タフローを示すブロック図である図４，図５を参照して
予備システムの動作について説明すると、動作時の予備
システムは、インタセプタモジュール１２２と、メイン
フレーム・フロントエンドモジュール７１と、リカバリ
サーバモジュール９２と、ネットワーク監視モジュール
１０６と、ファイル・メインフレームモジュール１３１
と、およびファイル比較モジュール１３２とから構成さ
れる。
【００２７】インタセプタ機能は、インタセプタモジュ
ール１２２がプロセス装置１６から要求メッセージ（以
下要求）を受信したときに動作開始する。インタセプタ
モジュール１２２は、要求からトランザクション名すな
わち処理名を抽出し、その処理名を用いてメッセージ中
の復帰フラグキー位置を読取る。インタセプタモジュー
ル１２２は、処理名を機器グループコードと対応付け、
サーバグループ定義からアプリケーションサーバ名と履
歴サーバ名を、サーバ特性定義から指定リカバリサーバ
をそれぞれ求める。
【００２８】インタセプタモジュール１２２は、メモリ
に格納されたアプリケーションサーバの各々のサーバス
テータスフラグをチェックする。サーバステータスフラ
グを用いることにより、インタセプタモジュール１２２
の故障等による動作停止（以下ダウン）したサーバへの
メッセージ送信を防ぐ。次に、インタセプタモジュール
１２２は、メッセージから復帰フラグキーを抽出し、サ
ーバステータスフラグがアクティブ状態を示すバックア
ップアプリケーションサーバ１０２の全てに対して、リ
カバリフラグ要求を送信する。
【００２９】同時にインタセプタモジュール１２２は、
この要求をリカバリ待ち行列へ退避する。このとき要求
に対して上記待ち行列のメモリ空間が不足していれば、
上記待ち行列から最も古い要求を削除して、新しい要求
の退避用空間を作る。次に、インタセプタモジュール１
２２は、すてべのアクティブなバックアップサーバから
のリカバリフラグを持つ。所定のタイムアウトまでに全
てのサーバからリカバリフラグを受信しない場合には、
インタセプタモジュール１２２はリカバリフラグを送信
しなかったサーバがインアクティブであることを示すサ
ーバステータスフラグを設定する。複数のリカバリフラ
グが受信された場合は、インタセプタモジュール１２２
はこの処理の続行のため、最新の更新されたフラグを使
用する。任意の要求に対して、リカバリフラグが特定ア
プリケーションサーバに対するこの要求のリカバリモー
ド中であることを示す場合、リカバリモード応答メッセ
ージを受信する。
【００３０】次に、インタセプタモジュール１２２は、
アクティブなアプリケーションサーバ（例えばメインフ
レーム１１およびバックアップサーバ１０２など）へ要
求を送信する。また、インタセプタモジュール１２２
は、サーバ特性定義から要求に対する応答メッセージ
（以下応答）のタイムアウト期間を決定し、各サーバに
対して設定する。
【００３１】メインフレーム１１およびバックアップサ
ーバ１０２の各々は、要求を処理し、それぞれインタセ
プタモジュール１２２へ応答を送信する。バックアップ
サーバ１０２がメッセージの要求機能をサポートしない
場合は、バックアップサーバ１０２は、この旨を示す未
対応エラーメッセージをインタセプタモジュール１２２
へ送信する。あるサーバの応答の受信前に上記タイムア
ウト期間が終了すると、インタセプタモジュール１２２
はサーバステータスフラグを設定してこのサーバがダウ
ンしていることを示す。いずれかのサーバのダウンのと
きは、このダウンサーバが復帰した時にこのサーバに送
信するメッセージをリカバリサーバ９２に送信する。
【００３２】正常処理中には、すなわち両サーバ１１，
１０２がダウンしていない状態では、インタセプタモジ
ュール１２２は第１（主）サーバ１１からの応答を、要
求を発生したプロセス装置１６へ送信するとともに、レ
ポートサーバ１０４へも送信する。また、インタセプタ
モジュール１２２は、両方のアプリケーションサーバ１
１，１０２から応答を受信し、応答比較定義を調べ、定
義されたフィールドについてこれら両方の応答を比較す
る。応答メッセージがバックアップサーバ１０２によっ
てサポートされていなければ、応答比較定義には上記対
応フィールドが何も定義されず、インタセプタモジュー
ル１２２はバックアップサーバ１０２からの応答を無視
する。何らかの比較矛盾が検出されれば、インタセプタ
モジュール１２２は応答矛盾メッセージをネットワーク
モニタ１０６へ送信する。応答矛盾の検出の有無に関わ
らず、インタセプタモジュール１２２は、メッセージ待
ち行列から要求および対応の応答を削除する。
【００３３】アプリケーションサーバ１１，１０２のい
ずれかがダウンすると、インタセプタモジュール１２２
は、処理名を用いリカバリキーポジション定義を読取り
要求対応のバックデートフィールドポジションを求め、
この要求の受信時点の日時情報をバックデートフィルド
に格納する。この日時情報は、バックデートのためにア
プリケーションサーバによって後に用いられる。次に、
インタセプタモジュール１２２は、ダウンサーバ名と上
記要求とを含む再フォーマット要求を生成して全てのダ
ウンサーバ対応のリカバリサーバ９２へ上記再フォーマ
ット要求を送信する。次に、インタセプタモジュール１
２２は、第１サーバ１１の応答をプロセス装置１６に送
信する。第１サーバ１１からの応答が認識できないか、
またはエラーメッセージであれば、インタセプタモジュ
ール１２２はネットワークモニタ１０６へこの応答を送
信し、記録する。
【００３４】ダウンサーバが復帰すると、リカバリサー
バ９２は処理再開のためダウン中にに待ち行列に格納し
た再フオーマット要求を読出し上記ダウンサーバに送信
始める。こうして、それまでダウンしていたアプリケー
ションサーバをアップデートする。インタセプタモジュ
ール１２２は、リカバリサーバ９２経由でアプリケーシ
ョンサーバの応答を受信する。復帰したアプリケーショ
ンサーバに上記再フオーマット要求を全て送信した後、
インタセプタモジュール１２２は、サーバの起動状態を
示すサーバステータスフラグをリセットする。インタセ
プタモジュール１２２は、上記応答を以前に受信した他
の応答（前応答）と比較し、応答矛盾を検出するとネッ
トワークモニタ１０６に応答矛盾メッセージを送信す
る。また、上記前応答がメモリ容量の制約により既に存
在しない場合は、上記応答をネットワークモニタ１０６
へ送信する。
【００３５】このリカバリモードの間、インタセプタモ
ジュール１２２は別のプロセス装置１６から要求を受信
可能である。その場合、この要求がリカバリを含まなけ
れば、すなわち、対応リカバリフラグがこの要求により
参照されるオブジェクトがリカバリモードでないことを
示していれば、この要求を正常として処理する。上記要
求がリカバリを含んでいれば、アプリケーションサーバ
の１つがダウンしているものとして処理する。この場
合、上記要求が以前の要求（前要求）の処理済を要求し
ていれば、上記新要求は上記前要求の処理が済むまで、
復帰中のサーバによりて処理されない。このようにして
インタセプタモジュール１２２およびリカバリサーバ９
２は要求の時間的順序を維持する。
【００３６】メインフレームフロントエンド（モジュー
ル）７１はメインフレーム１１によって起動され、シス
テムのスタートアップの間にダウンロードデータ型およ
びサーバ特性定義を読取り、メインフレーム１１のメモ
リへこれらの定義を退避する。メインフレームフロント
エンド処理は、ダウンロードおよびアップロードの両処
理を含む。
【００３７】ダウンロード処理では、メインフレームフ
ロントエンド７１は起動時にメインフレーム１１にポー
リングメッセージを送信し、ポーリング周期の終了前に
何もメッセージを受信できなければ、再度ボーリングメ
ッセージを送信する。メインフレームフロントエンド７
１はメインフレーム１１からダウンロードデータを受信
し、メモリにダウンロードデータを退避する。次に、メ
インフレームフロントエンド７１は、処理名およびメッ
セージ型からダウンロードメッセージ型を求め、この処
理名，メッセージ型を用い、ダウンロードデータ型定義
からネットワークアプリケーションサーバ名を探索す
る。次に、サーバステータスフラグを調べ各バックアッ
プサーバ１０２がアクティブか否かを判定する。次に、
上記ダウンロードデータをアクティブなバックアップサ
ーバ１０２へ転送する。また、各サーバ１０２のサーバ
特性定義からタイムアウト期間を決定し、各サーバにタ
イムアウトタイマを設定する。
【００３８】サーバステータスフラグがサーバのいずれ
かのダウンを示せば、メインフレームフロントエンド７
１は、ダウンロードデータを再フォーマットしてダウン
サーバ名とダウンロードデータを含めて再フォーマット
したデータすなわちリカバリデータをダウンサーバ専用
のリカバリサーバ９２へ転送する。また、リカバリサー
バ９２がダウンした場合にはダウンロードデータをメモ
リに退避し、リカバリサーバ起動メッセージを受信した
ときにデータを再転送する。
【００３９】メインフレームフロントエンド７１は、ア
クティブなバックアップサーバ１０２から肯定応答メッ
セージ（サーバ応答）を受信する。このとき上記サーバ
応答の受信前にタイムアウト期間が終了すれば、サーバ
のダウン状態を示すサーバステータスフラグを設定す
る。さらに、メインフレームフロントエンド７１は、動
作状態のバックアップサーバ１０２から上記肯定応答が
受信され、またダウンロードデータが非動作状態バック
アップサーバの各々のリカバリデータとしてリカバリサ
ーバ９２へ転送後、上記ダウンロードデータを削除す
る。
【００４０】メインフレームフロントエンド７１は、動
作状態のバックアップサーバから最初の肯定応答の受信
時に、バックアップデータメッセージをメインフレーム
１１へ送信する。メインフレーム１１がタイムアウト状
態を検出しメインフレームフロントエンド７１が前のダ
ウンロードデータに肯定応答しなかったならば、メイン
フレームフロントエンド７１は同一ダウンロードデータ
を再受信する可能性がある。メインフレームフロントエ
ンド７１は、新しいダウンロードデータを受信するとこ
れを処理しメモリの中のダウンロードデータと置換え
る。メインフレームフロントエンド７１は、バックアッ
プサーバが関与したメッセージの処理後、各バックアッ
プサーバ１０２からサーバ立上げメッセージの受信時に
サーバステータスフラグを更新する。全てのバックアッ
プサーバ１０２およびリカバリサーバ９２が機能不良の
場合、メインフレームフロントエンド７１はメインフレ
ーム１１へ全機能ダウンを通知するメッセージを送信す
る。
【００４１】アップロード処理においては、メインフレ
ームフロントエンド７１は、アップロードメッセージを
リカバリサーバ９２から受信し、メインフレーム１１へ
のアクセス期間すなわちメインフレームセションが使用
可能な時に、メインフレーム１１へアップロードメッセ
ージを送信する。メインフレームセションが使用不可能
であれば、上記メッセージをセションの使用可能時に転
送する転送待ち行列に退避する。メインフレーム１１か
らの応答受信後、メインフレームフロントエンド７１は
アップロードメッセージの送信元のノードに上記応答を
転送し、このノードからメインフレーム１１へのアップ
ロードを開始する。
【００４２】リカバリサーバ９２が起動し活性化する
と、アクティブリカバリサーバステータス信号を、イン
タセプタおよびメインフレームフロントエンドグループ
定義中に定義された全てのインタセプタモジュール１２
２およびメインフレームフロントエンド７１に同報通信
する。アクティブリカバリサーバステータス信号を受信
すると、インタセプタモジュール１２２は要求待ち行列
に格納された全保留メッセージをリカバリサーバ９２に
送信し、メインフレームフロントエンド７１は全保留メ
ッセージをリカバリサーバ９２へ送信する。リカバリサ
ーバ９２はインタセプタモジュール１２２からメッセー
ジを受信し、メッセージ識別子をリカバリ待ち行列再構
築のために使用する。リカバリサーバ９２は、リカバリ
処理が含まれている場合にインタセプタモジュール１２
２およびメインフレームフロントエンド７１からメッセ
ージを受信する。
【００４３】リカバリサーバ９２は、受信メッセージが
機能不良サーバを含む最初のメッセージであれば、サー
バ特性定義を調べ上記サーバの所属を求めてメモリの中
にその定義を格納し、この受信メッセージをリカバリ待
ち行列へ退避する。次に、リカバリサーバ９２は、上記
メッセージから処理名を抽出し、それを用いてリカバリ
キーポジション定義の中に定義されたこのメッセージ全
体（エンティティ）の復帰位置を示すエンティティキー
ポジションの位置決めを行い、サーバダウンステータス
を示すリカバリフラグ付きエンティティキーを関連のバ
ックアップサーバ１０２へ送信する。
【００４４】リカバリサーバ９２は、サーバをポーリン
グして、前のダウンサーバの機能回復時刻を検出する。
ダウンサーバが再び機能回復したと判定すると、リカバ
リサーバ９２は、リカバリ待ち行列内の全ての上記エン
ティティ対応のリカバリフラグを上記機能回復サーバへ
送信する。次に、各リカバリフラグは、各々のエンティ
ティがリカバリモードであることを示す。次に、リカバ
リサーバ９２はリカバリ待ち行列より要求もしくはダウ
ンロードデータを読取り、このデータをアプリケーショ
ンサーバへ送信する。メインフレーム１１が宛先であれ
ば、リカバリサーバ９２はメインフレームフロントエン
ド定義を読取り、同一アプリケーショングループに定義
されたメインフレームフロントエンド７１を介して上記
要求を送信する。最初のメインフレームフロントエンド
がダウンしている場合は、タイムアウト状態によって検
出され、リカバリサーバ９２は使用可能なメインフレー
ムフロントエンド７１を介して、上記要求送信を試み
る。
【００４５】リカバリサーバ９２は、アプリケーション
サーバから応答もしくはダウンロードデータ肯定応答を
受信すると、リカバリ待ち行列に格納されたエンティテ
ィの最終メッセージへの応答の受信後、上記エンティテ
ィのリカバリ終了メッセージを関連バックアップアプリ
ケーションサーバへ送信する。
【００４６】リカバリサーバ９２は、アプリケーション
サーバからの応答を、要求元のインタセプタモジュール
１２２へ転送する。ダウンロードデータ肯定応答はメイ
ンフレームフロントエンド７１へ転送されない。次に、
リカバリサーバ９２は、リカバリ待ち行列から要求・応
答を削除し、もしくはサーバ肯定応答の受信後ダウンロ
ードデータを削除する。
【００４７】ネットワークモニタモジュールは、ネット
ワークモニタ１０６がインタセプタモジュール１２２か
らの応答矛盾メッセージ，ファイル比較モジュール１３
２からのファイル矛盾メッセージまたはネットワーク上
のノードからのシステムメッセージを受信したとき起動
する。ネットワークモニタ１０６は、これらの受信メッ
セージをメッセージログ１０７に書き込む。また、ネッ
トワークモニタ１０６は、モニタ制御パラメータを用い
て動作環境をセットアップし、このモニタ制御パラメー
タにしたがって、出力装置へメッセージログを表示もし
くは印刷する。
【００４８】ファイルメンテナンスモジュール１３１は
操作命令を受信したときに起動する。ファイルメンテナ
ンスモジュール１３１は、予め定義されたファイル構造
にしたがって画面形式を準備する。各ファイル構造は、
ファイル名，ファイル長，ファイル型およびファイルの
デフォルト（省略）値を定義する。ファイルメンテナン
スモジュールはアプリケーション管理者からのデータを
更新し、データを確認し、バックアップファイルもしく
はシステム定義ファイルを更新する。
【００４９】ファイル比較モジュール１３２は、ファイ
ル等価定義を読取り表示装置にファイルグループ名を表
示することにより起動する。ファイル比較モジュール１
３２は、ベースファイルとして比較対象の最初のファイ
ルグループの最初のファイルを割当てる。ファイル比較
モジュール１３２は、ベースファイルに関するファイル
比較定義を読取り、ファイル比較定義に定義されたアク
セスタイプに基ずき直接上記ベースファイルにアクセス
するか、あるいはメインフレーム１１に要求を送信し対
応のファイルデータ応答を待つ。このようにして、ベー
スファイルから最初のレコードを入手する。
【００５０】ファイル比較モジュール１３２は、ファイ
ル比較定義よりキーポジションと長さを求め、レコード
キーを抽出してこのキーを退避する。次に、上記キーを
用いて、ファイルグループに定義された他のサーバから
等価レコードを入手する。ファイル比較モジュール１３
２は、要求を受けたアプリケーションサーバの全てから
ファイルデータを受信し、ファイル比較定義にしたがっ
てレコードのフィールドを比較する。矛盾を検出すると
ネットワークモニタ１０６へ矛盾メッセージを送信し、
表示装置にその矛盾メッセージを表示する。
【００５１】次に、ファイル比較モジュール１３２は画
面データを更新し、上記ベースファイルから次のレコー
ドを得て、次のキーポジションを入手する。上記ベース
ファイルの最後に達すると、ファイル比較モジュール１
３２は、比較対象の次のファイルグループを決定し、こ
のファイルグループの最初のファイルをベースファイル
として割当てる。このファイルグループの最後に達する
と、ファイル比較モジュールは最初のファイルグループ
を繰返し、最後に比較したファイルの次のファイルをベ
ースファイルとして割り当てる。
【００５２】以上の実施例では単一のバックアップサー
バを用いて説明しているが、半導体製造ライン制御装置
においてさらに追加バックアップサーバを含めることが
できる。
【００５３】また、上記実施例では、メインフレームを
第１の制御装置として説明したが、バックアップサーバ
を主制御装置として指定し、第１の制御装置として用い
てもよく、すなわちメインフレームに取って代わっても
良い。
【００５４】
【発明の効果】以上説明したように本発明の半導体製造
ライン制御装置は、第２の制御装置をさらに備え、通信
端末が第１および第２の制御装置を制御する予備制御系
制御手段を備えるので、第１および第２の制御装置のい
ずれか一方が故障しても半導体製造ラインの連続運転を
行うよう優れたフォールトトレラント機能を実現できる
という効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の半導体製造ライン制御装置の一実施例
を示すブロック図である。
【図２】図１の半導体製造ライン制御装置の通信端末の
インタセプタモジュールの構成を示すブロック図であ
る。
【図３】図１の半導体製造ライン制御装置の予備システ
ムを示すブロック図である。
【図４】図１の半導体製造ライン制御装置の予備システ
ムのデータフローを示すブロック図である。
【図５】図１の半導体製造ライン制御装置の予備システ
ムのデータフローを示すブロック図である。
【図６】従来の半導体製造ライン制御装置の一例を示す
ブロック図である。
【符号の説明】
１１ メインフレーム １１Ａ メインフレームアプリケーションモジュール １２ ゲート １３ ルータ １４，５６ 通信端末 １５，９１ バックボーンバス １６ 半導体プロセス装置 １８，５５ プロセスライン部 ２０，６０ ストッカ部 ２２ ストッカサーバ ２４，６４ ストッカＰＣ ２６ ストッカ ３０，７０ 分析部 ３４ 設備状態サーバ ３６ ＴＥＡサーバ ４０，８０ ワークステーション部 ４２ ワークステーション（Ｗ／Ｓ） ５９ インタセプタ制御装置 ６５ ストッカインタセプタ制御装置 ７１ メインフレームフロントエンド ８６ レポートＰＣ ９０ リカバリ部 ９２ リカバリサーバ １０２ バックアップサーバアプリケーションモジュ
ール １０２Ａ バックアップサーバ １０４ レポートサーバ １０６ ネットワークモニタ １２０ アプリケーションモジュール １２２ インタセプタモジュール
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ブライアン・イー・マーチャント アメリカ合衆国カリフォルニア州マウンテ ンビュー・エリ スストリート475 エ ヌ・イー・シー・エレクトロニク ス・イ ンコーポレーテッド内 (72)発明者 ショウピン・チャン アメリカ合衆国カリフォルニア州マウンテ ンビュー・エリ スストリート475 エ ヌ・イー・シー・エレクトロニク ス・イ ンコーポレーテッド内 (72)発明者 キー・ガク・キム アメリカ合衆国カリフォルニア州マウンテ ンビュー・エリ スストリート475 エ ヌ・イー・シー・エレクトロニク ス・イ ンコーポレーテッド内

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 複数の半導体プロセス装置を含む半導体
    製造装置と、 前記半導体製造装置に接続された通信端末と、前記通信
    端末に接続された第１の制御装置とを備え、前記第１の
    制御装置により前記半導体製造装置の運転を制御するこ
    とにより半導体装置を製造する半導体製造ライン制御装
    置において、 前記通信端末に接続された第２の制御装置を備え、 前記通信端末が、前記第１および第２の制御装置のいず
    れか一方が故障しても前記半導体製造ラインの連続運転
    を行うように前記第１および第２の制御装置を制御する
    予備制御系制御手段とを備えることを特徴とする半導体
    製造ライン制御装置。
  2. 【請求項２】 前記予備制御系制御手段が、前記半導体
    製造装置から所定の情報を受信しこの情報を前記第１お
    よび第２の制御装置に提供するインタセプタモジュール
    を備えることを特徴とする請求項１記載の半導体半導体
    製造ライン制御装置。
  3. 【請求項３】 前記第１および第２の制御装置のいずれ
    か一方の動作が停止した時に、前記予備系制御手段によ
    って活性化されるリカバリ制御装置を含むことを特徴と
    する請求項１記載の半導体製造ライン制御装置。
  4. 【請求項４】 前記インタセプタモジュールが前記第
    １，第２の制御装置の一方からの第１の応答を前記第
    １，第２の制御装置の他方からの第２の応答の受信まで
    保持しこれら第１，第２の応答を比較して前記第１，第
    ２の制御装置のいずれか一方の故障を検出する応答比較
    手段を備えることを特徴とする請求項２記載の半導体半
    導体製造ライン制御装置。
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