JPH08358Y2 - 一体型カーボンホルダ - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、カーボン棒を取りつけ
て真空蒸着する一体型カーボンホルダに関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】走査型電子顕微鏡などを用いて試料を観
察しようとすると、この試料が電子によってチャージ
し、解像度が低下して微細構造が見えなくなったりして
しまうため、通常、カーボンを当該試料の表面に薄く蒸
着し、導電性を持たせている。試料にカーボン蒸着する
装置として真空蒸着装置が用いられている。真空蒸着装
置の真空容器（例えばガラスのベルジャといわれる釣鐘
型の透明で真空中における蒸着具合が見えるようにした
部分）２１内に図２に示すように、２本の支柱２２を立
て、これにカーボンホルダ２３、２４の穴を挿入して固
定する。そして、カーボン棒２５を水平方向に対向させ
て配置し、一方を水平方向に移動可能としてスプリング
で２つのカーボン棒２５の先端部分（一方が平面、片方
が鉛筆の先端のように細くとがらした状態）を相互に押
し合う状態にセットし、これら支柱２２を介してカーボ
ン棒２５の接触部分に電流を流し、その接触部分に電流
を集中して加熱し、カーボンを昇華する。そして、近傍
に配置した試料２６の表面にカーボン蒸着するようにし
ていた。この際、２つのカーボン棒２５がうまく接触し
てカーボン蒸着できるようにするため、以下のような手
順でカーボン棒２５のセッティングを行っていた。

【０００３】（１） 支柱２２に取りつけた１つのカー
ボンホルダ２３内の水平方向の穴の中に、先端が平坦、
あるいは斜めカットしたカーボン棒２５を固定する。 （２） もう１つの支柱２２に取りつけた他のカーボル
ダ２４内の水平方向の穴の中に、先端が鉛筆の先のよう
に尖ったカーボン棒２５を挿入し、この先端が（１）で
固定したカーボン棒２５の平坦な部分のほぼ中心に位置
するように、当該カーボンホルダ２４を上下に移動およ
び左右に回転させて位置合わせを行って固定する。この
固定した状態で更に当該カーボンホルダ２４に備えたス
プリング２７でカーボン棒２５を相手側の平坦なカーボ
ン棒２５に向かって繰り出す方向に適度な強さで押しつ
けるように調整する。

【０００４】これら繁雑で面倒な操作を、オペレータが
真空蒸着装置の上部に配置した支柱２２に装着したカー
ボンホルダ２３、２４についてカーボン蒸着の毎に行う
ようにしていた。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】上述したように、従来
は、真空蒸着装置を用いて試料にカーボン蒸着する毎
に、真空蒸着装置の真空容器（ガラス製のベルジャ）２
１を取り除き、２本の支柱２２に別々に取りつけてある
カーボンホルダ２３、２４を個別に操作して両者のカー
ボン棒２５の先端同士がうまくほぼ中心の位置でかつ適
度な圧力で接触するようにセッティングを行う必要があ
り、操作が極めて面倒であると共に、安定してセッティ
ングし難いという問題があった。また、真空蒸着装置の
真空容器２１を取り除いた後、その都度、カーボン棒２
５の交換、セッティング操作を行う必要があり、迅速に
カーボン蒸着し難いという問題もあった。更に、真空蒸
着装置の２本の支柱２２上に取りつけた２つのカーボン
ホルダ２３、２４を操作してカーボン棒２５を交換、セ
ッティング操作を行っていたため、これら２本の支柱２
２の部分がオペレータによって容易に操作できるよう
に、従来は真空容器（ガラス製のベルジャ）２１を上方
向に取り除くように設計する必要があり、前面のみから
上記操作を行う構造などに、真空蒸着装置を構成し難い
という問題もあった。

【０００６】本考案は、２つのカーボンホルダを一体型
にしてこれらに予めカーボン棒をセッティングし、これ
を真空蒸着装置に取りつけてカーボン蒸着し、カーボン
棒を簡単、迅速、かつ確実に装着可能にすることを目的
としている。

【０００７】

【課題を解決するための手段】図１を参照して課題を解
決するための手段を説明する。図１において、カーボン
ホルダ２は、カーボン棒１を固定すると共に、真空蒸着
装置に配置した支柱に挿入可能な穴４を持つものであ
る。カーボンホルダ３は、カーボン棒１を固定して軸方
向にスプリングで押し出し可能にすると共に、真空蒸着
装置に配置した支柱に挿入可能な穴４を持つものであ
る。

【０００８】固定用板６は、カーボンホルダ２とカーボ
ンホルダ３とを固定するものである。

【０００９】

【作用】本考案は、図１に示すように、固定用板６に電
気的に絶縁してカーボンホルダ２およびカーボンホルダ
３を固定し、真空蒸着装置外でカーボン棒１のセッティ
ングを行い得るようにしている。そして、カーボン棒１
を予めセッティングしたこの一体型カーボンホルダを真
空蒸着装置に設けた２つの支柱に挿入し、これら支柱か
ら電流をカーボン棒１に流して加熱し、カーボン蒸着す
るようにしている。

【００１０】従って、２つのカーボンホルダ２、３を一
体型にしてこれらにカーボン棒１を予めセッティング
し、真空蒸着装置に容易、迅速、かつ確実にカーボン棒
１の取りつけを行うことが可能となる。これにより、カ
ーボン棒１の取りつけ調整の作業時間を大幅に短縮し、
オペレータの個人差がなくなり、カーボン蒸着を安定か
つ容易に行うことができる。

【００１１】

【実施例】次に、図１を用いて本考案の実施例の構成お
よび動作を順次詳細に説明する。図１において、カーボ
ン棒１は、通電加熱して試料にカーボン蒸着するための
棒である。このカーボン棒１は、図示のように、先端を
平坦に（あるいは斜めにカット）したり、先端を細く削
ったりする。そして、図示ように平坦な先端と、細い先
端とを相互に押圧してこの間に電流を流して通電加熱
し、カーボンを昇華させて、近傍に配置した試料上にカ
ーボン蒸着する。

【００１２】カーボンホルダ２は、先端の平坦なカーボ
ン棒１を図示のように固定したり、真空蒸着装置に配置
した支柱に挿入して取りつけて電流を供給するための穴
４を設けたりなどしたものである。カーボンホルダ３
は、先端を細く削ったカーボン棒１をスプリングによっ
て左方向に繰り出すように力を与えて平坦なカーボン棒
１に接触させるものである。

【００１３】穴４は、真空蒸着装置の支柱（例えば図２
の支柱２２）に挿入して取りつけると共に、電流の供給
を受けるための穴である。固定用板６は、カーボンホル
ダ２とカーボンホルダ３とを電気的に絶縁した状態で固
定するためのものである。ここでは、固定用板６と、カ
ーボンホルダ２との間に絶縁板、更に固定用板６とカー
ボンホルダ３との間に絶縁板を挿入してこれらを強固に
固定し、カーボンホルダ２に取りつけて固定した先端の
平坦なカーボン棒と、カーボンホルダ３に軸方向に移動
可能でスプリングによって押し出すように取りつけた先
端を細く削ったカーボン棒１の軸とがほぼ中心に相互に
接触するようにしている。この本実施例の構成により、
真空蒸着装置に取りつけることなく、図示状態のまま
で、カーボン棒１をカーボンホルダ２およびカーボンホ
ルダ３に図示のようにセッティングすることが可能とな
る。

【００１４】絶縁板７は、カーボンホルダ２と固定用板
６、カーボンホルダ３と固定用板６との間を電気的に絶
縁する熱に強い材料であって、例えばテフロン板や、磁
器板などである。固定ネジ８は、固定用板６にカーボン
ホルダ２、カーボンホルダ３を取りつけて固定するネジ
である。

【００１５】以下図１の構成でカーボン棒１をセッティ
ングする動作を説明する。 （１） まず、前準備として、カーボンホルダ２、固定
用板６、絶縁板７、カーボンホルダ３を図示のカーボン
棒１がない状態に組み立てる。この組み立ては、例えば
従来の図２の真空蒸着装置の支柱２２にカーボンホルダ
２、３の穴４をそれぞれ挿入した状態で絶縁板７で絶縁
し、固定ネジ８を用いて固定用板６に固定する。この
際、カーボン棒１の先端同士の中心が丁度、接触するよ
うに位置合わせを行っておく。そして、固定した本実施
例にかかわる一体型カーボンホルダを真空蒸着装置の支
柱から抜きとり、作業台上に置く。

【００１６】（２） 作業台上に置いた図１のカーボン
棒１がない状態の一体型カーボンホルダのカーボンホル
ダ２に対し、先端が平坦なカーボン棒１を、円筒状で右
端につばの部分を持つスリーブに挿入して固定ネジ５で
固定する。これにより、右から左に向けてカーボン棒１
が押されたときに、当該スリーブのつばの部分がカーボ
ンホルダ２の穴に当たって固定されるようになる。

【００１７】（３） 同様に、カーボンホルダ３に対
し、先端を細く削ったカーボン棒１を、円筒状で左端に
つばの部分を持つスリーブに挿入して固定ネジ５で固定
する。これにより、スプリングの力によって、カーボン
棒１が左の方向に押し出され、先端の細い部分と、他の
カーボン棒１の平坦な部分とが適度な接触圧で接触する
ようになる。。

【００１８】以上の（２）、（３）という簡単な操作を
作業のし易い作業台上などで行うことにより、カーボン
棒１のセッティングを終了する。 （４） 次に、カーボン棒１のセッティングの終了した
図１に示すような一体型カーボンホルダを構成するカー
ボンホルダ２、３の２つの穴を、例えば図２の真空蒸着
装置の２つの支柱２２に挿入する。そして、真空排気
し、これら２つの支柱２２の間に電流を流してカーボン
蒸着する。

【００１９】従って、（１）で予めカーボンホルダ２、
３を固定用板６に固定して一体型カーボンホルダとして
おき、（２）、（３）で作業のし易い作業台上で予めカ
ーボン棒１をセッティングしておくことにより、真空蒸
着装置にこの一体型カーボンホルダの２つの穴を２本の
支柱に単に挿入するのみで、セッティングを完了する。
そして、真空排気した後、支柱を介して電流をカーボン
棒１の間に流してカーボン蒸着することができる。

【００２０】

【考案の効果】以上説明したように、本考案によれば、
２つのカーボンホルダ２、３を固定用板６で一体型にし
てこれらにカーボン棒１を予めセッティングする構成を
採用しているため、この一体型カーボンホルダを真空蒸
着装置の支柱に挿入するという極めて簡単な操作によっ
て取りつけ、真空排気してカーボン蒸着することができ
る。これにより、カーボン棒１を真空蒸着装置に取りつ
ける作業が極めて短時間で済み、しかも作業者の熟練に
よる個人差がなくなり、カーボン蒸着を安定かつ容易に
行うことが可能となる。更に、カーボン棒１を予めセッ
ティグした一体型カーボンホルダの２つの２穴を真空蒸
着装置の２本の支柱に挿入するのみで装着できるため、
従来のように真空蒸着装置の上方向に真空容器を持ち上
げてカーボン棒１の交換作業を行い易くする必要がな
く、真空容器の構造上の制約がなくなり、例えば円筒上
の真空容器を横に配置し、その蓋の部分を前面に開き、
前面から当該一体型カーボンホルダを、水平方向に配置
した２本の支柱に挿入するという簡単な操作で装着する
ことが可能となり、真空蒸着装置の構造を簡単にするこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の１実施例構成図である。

【図２】従来技術の説明図である。

【符号の説明】

１：カーボン棒 ２、３：カーボンホルダ ４：穴（電極用） ５：カーボン固定ネジ ６：固定用板 ７：絶縁板 ８：固定ネジ

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】カーボン棒を取りつけて真空蒸着するカー
   ボンホルダにおいて、 カーボン棒（１）を固定すると共に、真空蒸着装置に配
   置した支柱に挿入可能な穴（４）を持つカーボンホルダ
   （２）と、 カーボン棒（１）を固定して軸方向にスプリングで押し
   出し可能にすると共に、真空蒸着装置に配置した支柱に
   挿入可能な穴（４）を持つカーボンホルダ（３）と、 上記カーボンホルダ（２）と上記カーボンホルダ（３）
   とを電気的に絶縁した状態で固定すると共に、当該カー
   ボンホルダ（２）に固定したカーボン棒（１）と当該カ
   ーボンホルダ（３）のスプリングで軸方向に押し出され
   るカーボン棒（１）との位置を位置合わせおよび当該カ
   ーボンホルダ（２）の上記穴（４）を上記真空蒸着装置
   に配置した上記支柱と当該カーボンホルダ（３）の上記
   穴（４）を上記真空蒸着装置に配置した上記支柱とに丁
   度挿入できる位置に位置合わせする位置合わせ機構を装
   備した固定用板（６）とを備えたことを特徴とする一体
   型カーボンホルダ。