JPH08338908A - カラ−フィルタおよびその製造法 - Google Patents

カラ−フィルタおよびその製造法

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JPH08338908A
JPH08338908A JP17021195A JP17021195A JPH08338908A JP H08338908 A JPH08338908 A JP H08338908A JP 17021195 A JP17021195 A JP 17021195A JP 17021195 A JP17021195 A JP 17021195A JP H08338908 A JPH08338908 A JP H08338908A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 ウエットな現像処理に代わって、乾式で、か
つ簡便な方法で現像の操作を行うことにより、また感光
性材料の選択の幅を広くし、物性の優れた顔料を着色剤
として使用することができ、パタ−ンニング適性を有
し、エッジのシャ−プな高精度、高品質等に優れたカラ
−フィルタを提供することである。 【構成】 仮支持体の上に、まず、光硬化性接着剤層を
設け、更にこの上に着色感光性材料層面を設けてなる感
光性フィルムを、その着色感光性材料層面を対向させて
基板に仮接着し、次いでパタ−ン露光、剥離、転移、硬
化等の工程を繰り返すことによって、複数色からなる着
色パタ−ンを基板上に形成することを特徴とするカラ−
フィルタの製造法である。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、カラー液晶表示装置、
その他のカラ−表示装置等に使用されるカラーフィルタ
およびその製造法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】カラー液晶表示装置は、例えば、ガラス
等の透明基板上にブラックマトリックス、カラーフィル
タ、透明電極をこの順に形成したカラーフィルタ基板の
透明電極上に配向膜を形成した基板と、TFT等のスイ
ッチング素子と画素透明電極を配置した基板上に配向膜
を形成して成る基板を、それぞれの配向膜面を対向さ
せ、その間にスペーサーを介して貼り合わせたセル中に
液晶を封入したものを2枚の偏光板にて挟んだ構造から
なるものである。而して、上記のカラーフィルタは、透
明基板上に、赤、緑、青等の着色画像をモザイク状また
はスロット状ましくはストライプ状等に配置した構造で
あり、必要に応じてブラックマトリックスや、ブラック
マトリックス層やカラーフィルタ層を覆う透明保護層を
有し、この上層に、ITO等の透明導電層を形成した構
造となるものである。また、自動車の速度計や回転計等
においては、黄色、シアン色、マゼンタ色、黒色等の多
色画像が基板上に設けられた構造となるものである。従
来、このような基板上に多色画像を形成するには、種々
の方法が提案されている。例えば、カラー液晶表示装置
用のカラーフィルタの製造方法について述べると、支持
体としてはガラス基板等の透明基板を用い、(a)染色
法、(b)印刷法、(c)電着法、(d)特開昭60−
129707号公報等に記載されているように、着色し
た感光性樹脂の塗布、露光、現像の繰り返しによる着色
感材法、(e)特開昭61−99102号公報等に記載
されているように、着色したドライフィルム状感光性材
料を用い、感光性着色層を基板上にラミネート、露光、
現像を繰り返すドライフィルム法等が挙げられる。上記
の(d)の着色感材法について更に詳しく説明すると、
図1は、着色感材法の各工程における層構成を示す断面
図であり、同図に示すように、ガラス基板100の上に
着色感光性材料層101を形成し、次に、各矢印X、
Y、Zで示すように、遮光膜102を有するフォトマス
ク103を介して紫外線104で上記の着色感光性材料
層101をパタ−ン露光し、しかる後非露光部分の着色
感光性材料層101を溶解する現像液にてウエット現像
して、一色の着色パタ−ン105を形成し、而してこれ
を繰り返すことによって、例えば、赤色R、青色B、緑
色Gの複数色からなる着色パタ−ン106を形成して、
カラ−フィルタを製造することができるものである。上
記の(d)の着色感材法は、物性の優れた顔料を着色剤
として用いることができ、また精度、品質が満足でき、
製造工程も比較的簡便なことから、現在、主流となるに
至っているものである。上記の(d)の着色感材法の改
良法として、上記の(e)のドライフィルム法か提案さ
れており、この方法は、着色感光性樹脂液の塗布の代わ
りに、予め、フィルム上に塗布、乾燥しておいた着色感
光性材料層を基板上に転写する方式であり、材料の利用
効率、製造工程の速度、感光液排液処理の不要等の長所
か挙げられる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、基本的には、
上記の(d)の着色感材法、(e)のドライフィルム法
等は、いずれも着色感光性材料層の形成、露光、現像液
による現像を繰り返す方式であり、また、現像時の着色
残渣や、着色した現像排液の処理等の問題の他に、現像
液によるウエット処理自体が、薬液を多量に用いるこ
と、また細かくは現像、リンス、乾燥の3工程が少なく
とも必要であること、現像と一言でいうには複雑な処理
である等の問題点を有しているものである。また、これ
らの方法で用いられる感光性材料は、製造工程で現像用
薬剤として有機溶剤を多用することを避けるため、水溶
性もしくはアルカリ水溶液可溶性の材料が用いられる場
合か多いが、一方でき上がった着色パターンにはアルカ
リに対する強い耐性か要求され、材料設計上の矛盾点と
なる問題点もある。そこで本発明は、上記のようなウエ
ットな現像処理に代わって、乾式で、なおかつ簡便な方
法で現像の操作を行うことにより、感光性材料の選択の
幅を広くし、また上記の(d)の着色感材法の利点であ
る、物性の優れた顔料を着色剤として用いることがで
き、また精度、品質等を満足できる点をそのままにし
て、より簡便な製造法を提供するものである。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明者は、上記のよう
な問題点を解決すべく鋭意研究した結果、先に、紫外線
透過性のフィルム状の仮支持体上に少なくとも所定の色
に着色された感光性材料が塗布されて、着色感光性材料
層を有する感光性フィルムを、所定のカラーフィル夕を
形成する為の基板の表面に着色感光性材料層面が該基板
に面する様に、100℃以下、望ましくは50℃以下、
更に望ましくは室温下にて仮接着し、着色感光性材料層
を仮支持体を介してパターン露光し、しかる後、仮支持
体を該基板より剥離すると同時に感光し、硬化した部分
の着色感光性材料層も仮支持体と共に剥離し、他方、未
感光部分の着色感光性材料層を基板上に転移させ、該基
板上に転移した着色感光性材料層を硬化させて着色パタ
ーンを形成することからなる工程を、複数回繰り返し
て、複数色からなる着色パターンを基板上に形成するこ
とによって、ウエットな現像処理に代えて乾式で、かつ
簡便な現像操作により、感光性材料の選択の幅を広く
し、また物性の優れた顔料を着色剤として用いることが
でき、品質等を満足できるカラ−フィルタおよびその製
造法を見出したものである。
【0005】本発明者は、上記のカラ−フィルタおよび
その製造法について、更に鋭意研究した結果、上記の発
明のように、紫外線透過性のフィルム状の仮支持体上に
所定の色に着色された感光性材料を塗布、乾燥して、着
色感光性材料層を形成した感光性フィルムに代えて、仮
支持体上に、まず、光硬化性接着剤層を設け、この上に
所定の色に着色された感光性材料を塗布、乾燥して着色
感光性材料層を形成して感光性フィルムを製造し、該感
光性フィルムを使用して上記の発明と同様に行って、複
数色からなる着色パターンを基板上に形成したところ、
各色を構成する着色感光性材料層のエッジを極めてシャ
−プに形成して確実にパタ−ニングすることができ、こ
れによって、極めて解像性に富む精度の高い着色パタ−
ンを形成し得ることを見出して本発明を完成したもので
ある。
【0006】すなわち、本発明は、仮支持体上に少なく
とも光硬化性接着剤層と該光硬化性接着剤層の上に所定
の色に着色された感光性材料を塗布、乾燥して着色感光
性材料層とを有する感光性フィルムを形成し、次に基板
の表面に上記の感光性フィルムをその着色感光性材料層
面を対向させて仮接着し、しかる後該感光性フィルムの
仮支持体を介して該感光性フィルムの光硬化性接着剤層
と着色感光性材料層をパターン露光し、次いで感光性フ
ィルムを露光した部分の光硬化性接着剤層と着色感光性
材料層と共に該基板より剥離することにより、上記の感
光性フィルムの少なくとも未露光部分の着色感光性材料
層を該基板に転移し、次に該基板上に転移した着色感光
性材料層を硬化させて着色パターンを形成することから
なる工程を繰り返して、複数色からなる着色パターンを
基板上に形成することを特徴とするカラーフィルタの製
造法である。
【0007】また、本発明は、基板の上に、仮支持体上
に少なくとも光硬化性接着剤層とこの上に設けた所定の
色に着色された感光性材料による着色感光性材料層とを
有する感光性フィルムの少なくとも該着色感光性材料層
が転移、硬化した複数色からなる着色パターンを設けた
ことを特徴とするカラーフィルタである。
【0008】
【作用】本発明は、仮支持体上に、まず、光硬化性接着
剤層を設け、この上に所定の色に着色された感光性材料
を塗布、乾燥して着色感光性材料層を形成して感光性フ
ィルムを製造し、該感光性フィルムを使用して、これを
基板の表面にその着色感光性材料層面を対向させて仮接
着し、しかる後パターン露光、転移、剥離、硬化等の工
程を繰り返して複数色からなる着色パターンを基板上に
形成することができるものであり、湿式による現像工程
が不要となり、工程が簡略化され、乾式の状態で操作す
ることにより、カラ−フィルタを製造するものであり、
しかも光硬化性接着剤層を採用していることから、パタ
−ン露光により、光硬化性接着剤層と共に着色感光性材
料層が露光され、その剥離に際し、露光部分と非露光部
分との境界で明確に剥離され、また露光によって光硬化
性接着剤層と共に着色感光性材料層が硬化し、その両者
が、更には仮支持体等とも強固に固着して硬化した部分
の着色感光性材料層を確実に剥離することができ、この
結果、各色を構成する着色感光性材料層のエッジを極め
てシャ−プに形成して確実にパタ−ニングすることがで
き、極めて解像性に富む精度の高い着色パタ−ンを形成
することができるものである。
【0009】
【本発明の詳細な説明】上記の本発明について以下に更
に詳しく説明する。まず、本発明にかかるカラ−フィル
タの製造法について説明する。図2ないし図4は、本発
明にかかるカラ−フィルタの製造法の各工程における層
構成を示す断面図である。図2に示すように、まず、仮
支持体1の上に光硬化性接着剤層2を形成し、次に該光
硬化性接着剤層2の上に所定の色に着色されている感光
性材料を塗布、乾燥して着色感光性材料層3を形成して
感光性フィルム4を製造する。他方、基板5を用意して
その表面を洗浄後、該基板5の上に、上記で製造した感
光性フィルム4をその着色感光性材料層3の面が対向す
るように重ね合わせ二本のロ−ル6、6間を通してその
両者を仮接着する。次に、矢印Aで示すように、上記で
基板5と感光性フィルム4とを仮接着した後、遮光膜7
を有するフォトマスク8を介して紫外線9で、上記の感
光性フィルム4の仮支持体1を通して該感光性フィルム
4の光硬化性接着剤層2と着色感光性材料層3をパタ−
ン露光する。次に、上記でパタ−ン露光後、矢印Bで示
すように、仮接着状態にある基板5と感光性フィルム4
とを加熱ロ−ル10、10間を通して加熱加圧して、そ
の両者を密着させる。しかる後、矢印Cで示すように、
上記で基板5と感光性フィルム4とを密接着させた後、
感光性フィルム4を感光した部分の光硬化性接着剤層1
1と着色感光性材料層12と共に基板5より剥離し、他
方、上記の感光性フィルム4の未露光の部分の着色感光
性材料層13を基板5の上に転移する。すなわち、露光
した部分の光硬化性接着剤層11と着色感光性材料層1
2は、基板5に接着されることなく仮支持体1と共に剥
離される。次いで、矢印Dで示すように、上記で基板5
の上に転移した未露光部分の着色感光性材料層13を加
熱、あるいは露光等によって該着色感光性材料層13を
構成している樹脂等のビヒクルを硬化させて、基板5の
上に第1色目の着色パタ−ン14を形成する。
【0010】次に、本発明においては、図3に示すよう
に、仮支持体1の上に、上記と同様に光硬化性接着剤層
2を形成し、次いで上記で使用した感光性フィルム4と
は別の色に着色されている感光性材料を塗布、乾燥して
着色感光性材料層3′を形成して感光性フィルム4′を
製造する。而して、上記で第1色目の着色パタ−ン14
を形成した基板5の上に、上記で製造した感光性フィル
ム4′をその着色感光性材料層3′の面が対向するよう
に重ね合わせ二本のロ−ル6、6間を通してその両者を
仮接着する。次に、矢印Eで示すように、上記で基板5
と感光性フィルム4′とを仮接着した後、遮光膜7を有
するフォトマスク8を介して紫外線9で、上記の感光性
フィルム4′の仮支持体1を通して該感光性フィルム
4′の光硬化性接着剤層2と着色感光性材料層3′をパ
タ−ン露光する。この露光に際しては、基板5の上に形
成してある着色パタ−ン14に隣接する位置に相当する
部分の着色感光性材料層3′が露光されず感光されない
ように露光する。次に、上記でパタ−ン露光後、矢印F
で示すように、仮接着状態にある基板5と感光性フィル
ム4′とを加熱ロ−ル10、10間を通して加熱加圧し
て、その両者を密着させる。しかる後、矢印Gで示すよ
うに、上記で基板5と感光性フィルム4′とを密接着さ
せた後、感光性フィルム4′を露光で感光した部分の光
硬化性接着剤層11′と着色感光性材料層12′と共に
基板5より剥離し、他方、上記の感光性フィルム4′の
未露光の部分の着色感光性材料層13′を基板5の上に
転移する。すなわち、露光した部分の着色感光性材料層
12′は、基板5に接着されることなく仮支持体1と共
に剥離される。次いで、矢印Hで示すように、上記で基
板5の上に転移した着色感光性材料層13′を加熱、あ
るいは露光等によって該着色感光性材料層13′を構成
している樹脂等のビヒクルを硬化させて、基板5の上に
第1色目の着色パタ−ン14に隣接する位置に第2色目
の着色パタ−ン14′を形成する。
【0011】次に、本発明においては、図4に示すよう
に、仮支持体1の上に、更に上記と同様に光硬化性接着
剤層2を形成し、次いで上記で使用した感光性フィルム
4および4′とは別の色に着色されている感光性材料を
塗布、乾燥して着色感光性材料層3″を形成して感光性
フィルム4″を製造する。而して、上記で第1色目と第
2色目の着色パタ−ン14、14′を形成した基板5の
上に、上記で製造した感光性フィルム4″をその着色感
光性材料層3″の面が対向するように重ね合わせ二本の
ロ−ル6、6間を通してその両者を仮接着する。次に、
矢印Iで示すように、上記で基板5と感光性フィルム
4″とを仮接着した後、遮光膜7を有するフォトマスク
8を介して紫外線9で、上記の感光性フィルム4″の仮
支持体1を通して該感光性フィルム4″の光硬化性接着
剤層2と着色感光性材料層3″をパタ−ン露光する。こ
の露光に際しては、基板5の上に既に形成してある着色
パタ−ン14、14′に隣接する位置に相当する部分の
着色感光性材料層3″が露光されず感光されないように
露光する。次に、上記でパタ−ン露光後、矢印Jで示す
ように、仮接着状態にある基板5と感光性フィルム4″
とを加熱ロ−ル10、10間を通して加熱加圧して、そ
の両者を密着させる。しかる後、矢印Kで示すように、
上記で基板5と感光性フィルム4″とを密接着させた
後、感光性フィルム4″を感光した部分の光硬化性接着
剤層11″と着色感光性材料層12″と共に基板5より
剥離し、他方、上記の感光性フィルム4″の未露光の部
分の着色感光性材料層13″を基板5の上に転移する。
すなわち、露光した部分の着色感光性材料層12″は、
基板5に接着されることなく仮支持体1と共に剥離され
る。次いで、矢印Lで示すように、上記で基板5の上に
転移した着色感光性材料層13″を加熱、露光等によっ
て該着色感光性材料層13″を構成している樹脂等のビ
ヒクルを硬化させて、基板5の上に第1色目と第2色目
の着色パタ−ン14、14′に隣接する位置に第3色目
の着色パタ−ン14″を形成する。而して、本発明にお
いては、上記のように着色パタ−ンを形成する工程を繰
り返すことによって、複数色からなる着色パタ−ンを基
板上に形成してカラ−フィルタを製造することができる
ものである。
【0012】図5は、本発明にかかるカラ−フィルタの
層構成を示す断面図である。本発明にかかるカラ−フィ
ルタは、図5に示すように、上記で形成した着色パタ−
ン14、14′、14″のそれぞれを赤色、青色、緑色
とすれば、基板5の上に赤色の着色パタ−ンR、青色の
着色パタ−ンB、緑色の着色パタ−ンGの三色が隣接し
た平滑状の着色パタ−ン15を設けた構成からなるもの
である。
【0013】次に、上記の本発明において使用する材料
について詳細に説明する。本発明で使用する着色した感
光性材料のための仮支持体としては、フレキシブルであ
り、紫外線に対しある程度以上の透過性を有し、加圧、
加熱化で著しい変形、収縮、伸び等を生じないことか必
要である。このような仮支持体の例としては、例えば、
ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエーテルサ
ルフオンフィルム、ポリフェニレンスルフィドフィルム
およびそれらのアニール品や2軸延伸品があげられ、そ
のなかで2軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム
か優れている。仮支持体の厚さとしては2〜100μm
が好ましく、また、基板の表面の凹凸への追従性を考慮
すると30μm以下か好ましい。
【0014】次に、本発明においては、上記の仮支持体
の上に、光硬化性接着剤を直接もしくは、紫外線透過性
を有する熱可塑性樹脂層を介して設ける。上記の熱可塑
性樹脂層は、凹凸のある基板に対し下地の凹凸の吸収層
として設けるものである。この場合、熱可塑性樹脂層と
しては、仮支持体と十分な接着性を有していることが必
要である。このような熱可塑性樹脂層は、高分子材料溶
液を仮支持体に塗布することによって形成できる。適当
なポリマーとしては、軟化点が80℃以下であることか
好ましく、塩化ビニル/酢酸ビニル共重合体やエチレン
/アクリル酸エステル共重合体、スチレン/(メタ)ア
クリル酸エステル共重合体、ポリ(メタ)アクリル酸エ
ステルやそれらのケン化物が挙げられ、また、これらに
可塑剤、界面活性剤や離型剤等を加えることも可能であ
る。好ましい可塑剤の例としては、ポリプロピレングリ
コール、ポリエチレングリコール、ジオクチルフタレー
ト、ジブチルフタレート等を挙げることができる。離型
剤としては、シリコーン化合物やフッ素化アルキル基含
有化合物か知られており、これらはいずれも有利に使用
でき、また、アニオン、カチオン、またはノニオン系界
面活性剤も使用できる。熱可塑性樹脂層の厚さとして
は、5μm以上が下地の凹凸追従のために必要で、また
100μmを越える厚さでは、層の厚さ精度制御上の問
題を有し、10ないし30μmが好ましい。
【0015】次に、上記の本発明において、光硬化性接
着剤層としては、公知の光架橋型樹脂、光重合型樹脂、
光二量化樹脂等を挙げることができ、具体的には、ジア
ゾ系感光剤やアジド系感光剤あるいはキノンジアジド系
感光剤とフェノ−ルノボラック樹脂のごときバインダ−
樹脂をブレンドした組成物、アクリル系紫外線硬化樹脂
とミヒラ−ケトンのごとき光開始剤をブレンドした組成
物、フェニレンジアクリレ−ト基及び/又はケイ皮酸基
を含有する重合体とケトクマリンのごとき光増感剤をブ
レンドした組成物、その他、ポリエステル系樹脂、ポリ
アミド系樹脂、その他の樹脂等をビビクルとする光硬化
型組成物等を溶剤その他必要に応じて助剤を混合してな
る光硬化性接着剤を使用して形成することができる。例
えば、ゼラチン(株式会社ニッピ製、S−778)10
部と重クロム酸カリ1部からなるフォトポリマ−水溶液
(5%固形分)、あるいはポリビニルアルコ−ル(平均
重合度、1700〜2400、ケン化度、98.5%±
0.5%)10部と硬化剤としてのP−ジアゾジフェニ
ルアミンとホルムアルデヒドとの縮合物のスルホン酸
0.6部からなる光硬化性接着剤水溶液(5%固形分)
等を使用することができる。その他、市販の光硬化性接
着剤として、例えば、商品名、ソニ−ボンド、UV10
03(ソニ−ケミカル株式会社製)や商品名、SUVジ
リ−ズ(サンユレジン株式会社製)等を使用することが
できる。本発明において、光硬化性接着剤層の形成法と
しては、通常のコ−ティング法、例えば、ロ−ルコ−
ト、ナイフコ−ト、ディップコ−ト、グラビアコ−ト、
その他の方法で行うことができる。その層の厚さとして
は、例えば、0.1μmないし100μm位、更に、膜
厚の均一性、光硬化性接着剤の溶媒乾燥時間等を考慮す
ると、好ましくは、0.5μmないし10μm位が望ま
しい。而して、本発明において、上記の光硬化性接着剤
層は、露光後、感光性フィルムと基板とを剥離する際
に、露光により光硬化した部分の光硬化性接着剤層は、
同様に露光により光硬化した部分の着色感光性材料層と
共に基板から剥離するが、未露光部分の光硬化性接着剤
層は、同様に未露光部分の着色感光性材料層と共に基板
側に転移するか、あるいは感光性フィルムと共に剥離さ
れるか否かは定かではなく、光硬化性接着剤層の部分
は、その層で層分離を起こし、その一部は、基板側に転
移し、他の部分は、感光性フィルムと共に剥離されるも
のであると推定する。
【0016】次に、本発明において、上記の光硬化性接
着剤層の上に、顔料等の着色剤にて着色した感光性材料
を設けるものである。而して、本発明において、着色感
光性材料層に用いる感光性樹脂は、少なくとも150℃
以下の温度にて軟化もしくは粘着性になることか好まし
く、熱可塑性であることが望ましい。また、光反応によ
り、少なくとも100℃以下の温度にて軟化もしくは粘
着性を発現しないものである必要がある。例えば、単官
能、多官能の(メタ)アクリル酸エステルモノマーと
(メタ)アクリル酸エステルや(メタ)アクリル酸との
共重合物に光重合開始剤等を組み合わせる組成物に代表
される公知の光重合性組成物を用いた層の大半はこの性
質を有するが、公知材料の一部は、熱可塑性バインダー
の添加、相溶性の可塑剤の添加により更に改質すること
が出来る。
【0017】前記の単官能、多官能(メタ)アクリル酸
エステルモノマーとしては、(メタ)アクリル酸メチ
ル、(メタ)アクリル酸エチル、(メタ)アクリル酸ブ
チル、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ト
リメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、トリメ
チロールプロパントリ(メタ)アクリレート、テロラメ
チロールメタントリ(メタ)アクリレート、テロメチロ
ールメタンテロラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリ
スリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリ
スリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ペンタエリス
リトールテトラ(メタ)アクリレート、トリメチロール
プロパントリグリシジルエーテルトリアクリレート、ビ
スフェノールAジグリシジルエーテルジ(メタ)アクリ
レート、β−ヒドロキシルエチル(メタ)アクリル酸の
アルキルエスル、トリメチルヘキサメチレンジイソシア
ネートと2価アルコールと2価アルコルの(メタ)アク
リル酸モノエステルとを反応させて得られるウレタンジ
アクリレート化合物などである。(メタ)アクリル酸エ
ステルや(メタ)アクリル酸との共重合物の例として
は、(メタ)アクリル酸アルキルエステルの共重合体や
(メタ)アクリル酸アルキルエステルと(メタ)アクリ
ル酸との共重合体の他に、(メタ)アクリル酸アルキル
エステルと(メタ)アクリル酸とこれらと共重合しうる
ビニルモノマーとの共重合体が挙げられる。(メタ)ア
クリル酸アルキルエステルとしては、(メタ)アクリル
酸メチル、(メタ)アクリル酸エチル、(メタ)アクリ
ル酸ブチル、(メタ)アクリル酸−2−エチルヘキシル
等か挙げられる。また(メタ)アクリル酸アルキルエス
テルと(メタ)アクリル酸と共重合し得るビニルモノマ
ーとしては、(メタ)アクリル酸ベンジル、(メタ)ア
クリル酸テロラヒドロフルフリル、(メタ)アクリル酸
ジメチルエチル、(メタ)アクリル酸ジエチル、(メ
タ)アクリル酸グリシジル、2.2.2−トリプルオロ
エチル(メタ)アクリレート、2.2.3.3−テトラ
フルオロプロピル(メタ)アクリレート、アクリルアミ
ド、ジアセトンアクリルアミド、スチレン、ビニルトル
エン等か挙げられる。さらにコポリエステル、例えばテ
レフタル酸、イソフタル酸、セバシン酸等のポリエステ
ル、ブタジエンとアクリロニトリルとの共重合体、セル
ロースアセテート、セルロースアセテートブチレート、
メチルセルロース、エチルセルロース等も用いることが
できる。
【0018】前記重合開始剤としては、例えばベンゾフ
ェノン、ミヒラーケトン、N.N′−テトラメチルー
4.4′−ジアミノペンゾフェノン、4−メトキシ−
4′−ジメチルアミノペンゾフェノン、4.4′−ジエ
チルアミノベンゾフェノン、2−エチルアントラキノ
ン、フェナントレンキノン等の芳香族ケトン、、ベンゾ
インメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベン
ゾインフェニルエーテル等のペンゾインエル類、メチル
ベンゾイン、エチルベンゾイン等のベンゾイン、2−
(O−クロロフェニル)−4.5−ジフェニルイミダゾ
ール2量体、2−(O−クロロフェニル)−4.5−ジ
(m−メトキシフェニル)イミダゾール2量体、2−
(O−フルオロフェニル)−4.5−ジフェニルイミダ
ゾール2量体、2−(O−メトキシフエニル)−4.5
−ジフェニルイミダゾール2量体等の2.4.5−トリ
アリールイミダゾール2量体の他、2−ベンジル−2−
ジメチルアミノ−1−(4−モルフオリノフェニル)−
ブタノンや、2−トリクロロメチル−5−スチリル−
1.3−4−オキサジアゾール、2−トリクロロメチル
−5−(P− シアノスチリル)−1.3.4−オキサ
ジアゾール、2−トリクロロメチル−5−(P−メトキ
シスチリル)−1.3.4−オキサジアゾール等のハロ
メチルオキサジアゾール系化合物、2.4−ビス(トリ
クロロメチル)−6−P−メトキシスチリル−S−トリ
アジン、2.4−ビス(トリクロロメチル)−6−(1
−P−ジメチルアミノフェニル−1.3−ブタジエニ
ル)−S−トリアジン、2−トリクロロメチル−4−ア
ミノ−6−P−メトキシスチリル−S−トリアジン、2
−(ナフト−1−イル)−4.6−ピストリクロロメチ
ル−S−トリアジン、2−(4−エトキシ−ナフト−1
−イル)−4.6−ビス−トリクロロメチル−S−トリ
アジン、2−(4−ブトキシ−ナフト−1−イル)−
4.6−ビス−トリクロロメチル−S−トリアジン等の
ハロメチル−S−トリアジン系化合物が挙げられる。
【0019】感光性樹脂には、更に、顔料や染料を着色
剤として添加する。顔料を用いる場合は、その粒子径は
0.4μm以下とすることが望ましい。好ましい染料お
よび顔料の例としては、以下か挙げられる。ビクトリア
・ピュアブルーBO(C.I.42595)、オーラミ
ン(C.I.41000)、ファット・ブラックHB
(C.I.26150)、モノライト・エロ−GT
(C.I.ピグメント・エロー12)、パーマネント・
エローGR(C.I.ピグメント・エロー17)、パー
マネント・エローHR(C.I.ピグメント・エロー8
3)、パーマネント・カーミンFBB(C.I.ピグメ
ント・レッド146)、ホスターパームレッドESB
(C.I.ピグメント・バイオレット19)、パーマネ
ント・ルビーFBH(C.I.ピグメント・レッド1
1)、ファステル・ピンクBスブラ(C.I.ピグメン
ト・レッド81)、モナストラル・ファスト・ブルー
(C.I.ピグメント・ブルー15)、モノライト・フ
ァースト・ブラックB(C.I.ピグメント・ブラック
1)及びカーボン等をあげることができる。さらに、カ
ラーフィルタを形成するのに適当な顔料としては、C.
I.ピグメント・レッド97、C.I.ピグメント・レ
ッド122、C.I.ピグメント・レッド149、C.
I.ピグメント・レッド168、C.I.ピグメント・
レッド177、C.I.ピグメント・レッド180、
C.I.ピグメント・レッド192、C.I.ピグメン
ト・レッド215、C.I.ピグメント・グリーン7、
C.I.ピグメント・グリーン36、C.I.ピグメン
ト・ブルー15:1、C.I.ピグメント・ブルー1
5:4、C.I.ピグメント・ブルー15:6、C.
I.ピグメント・ブルー22、C.I.ピグメント・ブ
ルー60、C.I.ピグメント・ブルー64等を挙げる
ことが出来る。また特開平5−119213号公報に記
載の反応性染料をバインダーポリマーを反応させた系や
特開平6−107663号公報に記載の含フッ素フクロ
シアニン化合物は、消偏等の光学特性の優れた系として
挙げられる。
【0020】本発明においては、上記のような感光性樹
脂と着色剤と必要に応じて界面活性剤を添加して、更に
はその他の添加剤を任意に添加して感光性組成物を調製
し、而して、該組成物を仮支持体の上に、例えば、ロ−
ルコ−ト、グラビアコ−ト、エアナイフコ−ト、ディッ
プコ−ト、その他のコ−ティング法でコ−ティングし
て、着色感光性材料層を厚さ0.5ないし3.0μm程
度に形成する。
【0021】また、本発明においては、基板と感光性フ
ィルムとを仮接着する際に、基板の表面、あるいは感光
性フィルムの表面に、予め、粘着剤をコ−ティングして
粘着剤層を形成しておくこともできる。かかる粘着剤と
しては、公知の樹脂をビヒクルとする粘着剤組成物を使
用することができる。而して、本発明においては、粘着
剤層としては、強い接着性を有しない弱粘着剤を基板
側、あるいは着色感光性材料層の上面に予め塗布するこ
とが好ましく、仮接着用の弱粘着剤を塗布すると、仮接
着が容易に行えるという利点がある。このような仮接着
は着色感光性材料層が光硬化後、容易に基板より剥離で
きる程度の接着力である必要があり、このために、弱粘
着性であることが好ましく、室温もしくは50℃以下の
温度条件下にて着色感光性材料層の接着性が不足である
場合に用いられる。また、弱粘着剤層は基板側表面に形
成しても良い。ここで使用できる弱粘着剤としては、カ
ルナバワックスやカルナバワックスとアクリル酸エステ
ル系粘着剤の混合物が適当である。弱粘着層の厚みは、
0.1ないし1.0μm程度が好ましい。また弱粘着剤
は、着色感光性材料層と加熱時相溶性を有していること
か望ましい。
【0022】また、着色感光性材料層もしくは着色感光
性材料層の上の弱粘着層の上には、貯蔵の際の汚染や損
傷から保護するための薄い被覆シートを設けることが好
ましい。被覆シートは、仮支持体と同じかあるいは類似
の材料にても良いが、着色感光性材料層もしくは弱粘着
層より容易に剥離されなくてはならない。被覆シート材
料としては、ポリエチレンもしくはポリプロピレンフィ
ルムが適当であり、厚さは5ないし100μmであるの
か好ましく、10ないし30μmが特に好ましい。
【0023】次に、本発明において、基板としては、例
えば、ソ−ダライムガラス基板、無アルカリガラス基
板、ホウケイ酸ガラス基板、石英ガラス基板、シリコン
基板等を使用することができる。
【0024】また、本発明において、露光する方法とし
ては、例えば、一般的には、超高圧水銀ランプを光源と
し、レンズ系で平行光源とした投影露光装置を使用する
ことができるが、これに限らず、紫外線を含む光源を用
いることができ、プロキシミティ露光やコンタクト露光
も適用することができる。また、その露光条件として
は、感光性材料、含まれる着色剤材料等にもよるが、
約、100mJ/cm2 ないし1000mJ/cm2
光照射条件で行うことができる。具体的には、パタ−ン
形状が乱れない範囲でオ−バ−露光が望ましく、パタ−
ンが残るための最低露光量である50mJ/cm2 ない
し200mJ/cm2 の2ないし3倍程度の光照射を行
うことが好ましい。これによって、カラ−フィルタ層に
十分な強度を付与することができ、更に基板への密着性
を高めることができるものである。
【0025】また、上記の本発明において、仮接着状態
にある基板と感光性フィルムとを加熱ロ−ル間を通して
加熱加圧する条件としては、使用する材料等によって異
なるが、約、100℃ないし300℃位の加熱で0.3
Kg/cm2 ないし5Kg/cm2 位の加圧でその両者
を密着させることができる。
【0026】
【実施例】次に、本発明について具体例を挙げて更に詳
しく説明する。 実施例1 厚さ50μmの2軸延伸ポリエチレンテレフタレートフ
ィルム仮支持体上に、光硬化性接着剤、商品名、SUV
−200(サンユレジン株式会社製)を塗布、乾燥し、
乾燥膜厚が0.1ないし2μmの光硬化性接着剤層を形
成した。次に上記の光硬化性接着剤層の上に、下記処方
の着色感光性材料を塗布、乾燥し、乾燥膜厚か2μmの
着色感光性材料層を得た。 (着色感光性材料) ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体(モル比73/27) 60重量部 ペンタエリスリトールテトラアクリレート 43重量部 2.4−ビス(トリクロロメチル)−6−P−メトキシスチリル −S−トリアジン 2.5重量部 イルカジンレッドBPT 20重量部 メチルセロソルブアセテート 560重量部 メチルエチルケトン 280重量部 さらに、上記着色感光性材料層の上にポリプロピレン
(12μm厚)の被覆シートを圧着して、赤色感光性フ
ィルムを得た。この感光性フィルムを用いて、以下の方
法にて、ガラス基板上に赤色カラーフィルタパターンを
得た。赤色感光性フィルムの被覆シートを剥離し、透明
ガラス基板上にラミネータを用いて、室温下、加圧
(0.8Kg/cm2 )しながら仮接着し、続いて所定
のフォトマスクを用いて露光し、次にラミネータを用い
て加熱下(150℃)加圧(0.8Kg/cm2 )しな
がら感光性フィルムをガラス基板に密着させ、室温まで
放冷した後、仮支持体を引き剥がすと同時に、露光され
た部分の赤色感光性材料層を光硬化性接着剤層と共に基
板より剥離した。他方、未露光の部分の赤色感光性材料
層を基板に転移した。この後、赤着色パターンを200
℃にて1時間加熱し、熱硬化させて、赤色カラーフィル
タパターンを形成した。
【0027】厚さ5μmの2軸延伸ポリエチレンテレフ
タレートフィルム仮支持体上に、光硬化性接着剤、商品
名、SUV−200(サンユレジン株式会社製)を塗
布、乾燥し、乾燥膜厚が0.1ないし2μmの光硬化性
接着剤層を形成した。次に上記の光硬化性接着剤層の上
に、下記処方の着色感光性材料を塗布、乾燥し、乾燥膜
厚が2μmの着色感光性材料層を得た。 (着色感光性材料) ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体(モル比73/27) 60重量部 ペンタエリスリトールテトラアクリレート 43重量部 2.4−ビス(トリクロロメチル)−6−P−メトキシスチリル −S−トリアジン 2.5重量部 銅フタロシアニン(緑) 20重量部 メチルセロゾルブアセテート 560重量部 メチルエチルケトン 280重量部 さらに、上記着色感光性材料層の上にカルナバワックス
エマルジョンを水/IPA=1/1の溶液にて希釈して
塗布、乾燥し、カルナバワックスによる膜厚0.3μm
の弱粘着層を形成した。さらに、上記弱粘着層の上にポ
リプロピレン(12μm厚)の被覆シートを圧着して、
緑色感光性フィルムを得た。この感光性フィルムを用い
て、以下の方法にて、上記にて形成したカラーフィルタ
に隣接して緑色カラーフィルタパターンを得た。緑色感
光性フィルムの被覆シートを剥離し、上記で赤色カラ−
フィルタパタ−ンを作成した基板上にラミネータを用い
て、室温下、加圧(0.8Kg/cm2)しながら仮接
着し、続いて所定のフォトマスク位置合わせして露光
し、次にラミネータを用いて加熱下(150℃)加圧
(0.8Kg/cm2 )しながら感光性フィルムをガラ
ス基板に密着させ、室温まで放冷した後、仮支持体を引
き剥がすと同時に、露光された部分の緑色感光性材料層
と光硬化性接着剤層を共に基板より剥離し、他方、未露
光の部分の緑色感光性材料層を基板上に転移した。この
後、緑着色パターンを200℃にて1時間加熱し、熱硬
化させて、緑色カラーフィルタパターンを形成した。
【0028】厚さ50μmの2軸延伸ポリエチレンテレ
フタレートフィルム仮支持体上に、下記処方の熱可塑性
樹脂液を塗布乾燥し、膜厚20μmの熱可塑性樹脂層を
得た。 (熱可塑性樹脂液) ポリエチレングリコール 15重量部 蒸留水 85重量部 フッ素系界面活性剤(旭硝子株式会社製、商品名サーフロン S−131) 0.1重量部 次に上記の熱可塑性樹脂層の上に、光硬化性接着剤、商
品名、SUV−200(サンユレジン株式会社製)を塗
布、乾燥し、乾燥膜厚が0.1ないし2μmの光硬化性
接着剤層を形成した。次いで上記の光硬化性接着剤層の
上に、下記処方の着色感光性材料を塗布、乾燥し、乾燥
膜厚か2μmの着色感光性材料層を得た。 (着色感光性材料) ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体(モル比73/27) 60重量部 ペンタエリスリトールテトラアクリレート 43重量部 2.4−ビス(トリクロロメチル)−6−P−メトキシスチリル −S−トリアジン 2.5重量部 フタロシアニンブルー(青) 20重量部 メチルセロゾルブアセテート 560重量部 メチルエチルケトン 280重量部 さらに、上記着色感光性材料層の上にカルナバワックス
エマルジョンを水/IPA=1/1の溶液にて希釈して
塗布、乾燥し、カルナバワックスによる弱粘着層を形成
した。さらに、上記弱粘着層の上にポリプロピレン(1
2μm厚)の被覆シートを圧着して、青色感光性フィル
ムを得た。この感光性フィルムを用いて、以下の方法に
て、上記にて形成したカラーフィルタに隣接して青色カ
ラーフィルタパターンを得た。青色感光性フィルムの被
覆シートを剥離し、上記で着色パタ−ンを作成した基板
上にラミネータを用いて、室温下、加圧(0.8Kg/
cm2 )しながら仮接着し、続いて所定のフォトマスク
を位置合わせして露光し、次にラミネータを用いて加熱
下(150℃)加圧(0.8Kg/cm2 )しながら感
光性フィルムをガラス基板に密着させ、室温まで放冷し
た後、仮支持体を引き剥がすと同時に、露光された部分
の青色感光性材料層と光硬化性接着剤層を共に基板より
剥離し、他方、未露光の部分の青色感光性材料層を基板
上に転移した。この後、青着色パターンを200℃にて
1時間加熱し、熱硬化させて、青色カラーフィルタパタ
ーンを形成した。以上のように作製した赤、緑、青の3
色を有するカラーフィルタは、画素の欠落やムラもな
く、また、良好な精度を有していた。
【0029】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明
は、紫外線透過性のフィルム状の仮支持体上に、まず、
光硬化性接着剤層を設け、更にこの上に所定の色に着色
された感光性材料を塗布して着色感光性材料層を有する
感光性フィルムを形成し、これを所定のカラーフィルタ
を形成する為の基板の表面に着色感光性材料層面が対向
するよに、室温下もしくは100℃以下にて仮接着し、
次いで光硬化性接着剤層と着色感光性材料層を仮支持体
を介してパターン露光し、仮支持体を該基板より剥離す
ると同時に感光した部分の着色感光性材料層と光硬化性
接着剤層を仮支持体と共に基板より剥離し、他方、未露
光の部分の着色感光性材料層を基板上に転移させ、該基
板上に転移した着色感光性材料層を硬化させて着色パタ
ーンを形成することからなる工程を繰り返して、複数色
からなる着色パターンを基板上に形成することによっ
て、カラ−フィルタを製造するものである。従って、本
発明では、ウエットな現像処理に代わって、乾式で、な
おかつ簡便な方法で現像の操作を行うことにより、感光
性材料の選択の幅を広くし、また物性の優れた顔料を着
色剤として用いることができ、また精度、品質等を満足
できる、より簡便な製造法にかかるものである。更に本
発明では、光硬化性接着剤層を採用していことから、パ
タ−ン露光により、光硬化性接着剤層と共に着色感光性
材料層が露光され、その剥離に際し、露光部分と非露光
部分との境界で明確に剥離され、また露光によって光硬
化性接着剤層と共に着色感光性材料層が硬化し、その両
者が強固に固着して硬化した部分の着色感光性材料層を
確実に剥離することができ、この結果、各色を構成する
着色感光性材料層のエッジを極めてシャ−プに形成して
確実にパタ−ニングすることができ、極めて解像性に富
む精度の高い着色パタ−ンを形成することができるもの
である。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来の(d)の着色感材法の各工程における層
構成を示す断面図である。
【図2】本発明にかかるカラ−フィルタの製造法の各工
程における層構成を示す断面図である。
【図3】本発明にかかるカラ−フィルタの製造法の各工
程における層構成を示す断面図である。
【図4】本発明にかかるカラ−フィルタの製造法の各工
程における層構成を示す断面図である。
【図5】本発明にかかるカラ−フィルタの層構成を示す
断面図である。
【符号の説明】
1 仮支持体 2 光硬化性接着剤層 3 着色感光性材料層 4 感光性フィルム 5 基板 14 着色パタ−ン 14′ 着色パタ−ン 14″ 着色パタ−ン 15 複数色からなる着色パタ−ン

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板の上に、仮支持体上に少なくとも光
    硬化性接着剤層とこの上に設けた所定の色に着色された
    感光性材料による着色感光性材料層とを有する感光性フ
    ィルムの少なくとも該着色感光性材料層が転移、硬化し
    た複数色からなる着色パターンを設けたことを特徴とす
    るカラーフィルタ。
  2. 【請求項2】 基板と着色パタ−ンとの間に粘着剤層を
    設けたことを特徴とする上記の請求項1に記載するカラ
    ーフィルタ。
  3. 【請求項3】 仮支持体上に少なくとも光硬化性接着剤
    層と該光硬化性接着剤層の上に所定の色に着色された感
    光性材料を塗布、乾燥して着色感光性材料層とを有する
    感光性フィルムを形成し、次に基板の表面に上記の感光
    性フィルムをその着色感光性材料層面を対向させて仮接
    着し、しかる後該感光性フィルムの仮支持体を介して該
    感光性フィルムの光硬化性接着剤層と着色感光性材料層
    をパターン露光し、次いで感光性フィルムを感光した部
    分の光硬化性接着剤層と着色感光性材料層と共に該基板
    より剥離することにより、上記の感光性フィルムの少な
    くとも未露光部分の着色感光性材料層を該基板に転移
    し、次に該基板上に転移した着色感光性材料層を硬化さ
    せて着色パターンを形成することからなる工程を繰り返
    して、複数色からなる着色パターンを基板上に形成する
    ことを特徴とするカラーフィルタの製造法。
  4. 【請求項4】 基板上に、予め、粘着剤を塗布、乾燥し
    てなることを特徴とする上記の請求項3に記載するカラ
    ーフィルタの製造法。
  5. 【請求項5】 感光性フィルムの着色感光性材料層の上
    に、予め、粘着剤を塗布、乾燥してなることを特徴とす
    る上記の請求項3または4に記載するカラーフィルタの
    製造法。
  6. 【請求項6】 パターン露光を行った後、基板と感光性
    フィルムとを加熱加圧することを特徴とする上記の請求
    項3、4、または5に記載するカラーフィルタの製造
    法。
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