JPH08338596A - 二重封止型ターミナルヘッダ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 使用圧力が高圧化しても設計を容易に行うこ
とができる二重封止型ターミナルヘッダを提供する。 【構成】 フランジ２の孔にセラミックスリーブ３を貫
通させ、セラミックスリーブ３が貫通するフランジ２の
孔を封止部５で封止する。セラミックスリーブ３内には
コバールスリーブ１２を貫通させ、セラミックスリーブ
３の両端でセラミックスリーブ３とコバールスリーブ１
２とは封止部７，８で封止接続する。コバールスリーブ
１２内の両端には銅棒１４，１５をそれぞれ嵌合し、コ
バールスリーブ１２の両端でコバールスリーブ１２と銅
棒１４，１５とは封止部１６，１７で封止接続する。銅
棒１４，１５の相互間はコバールスリーブ１２内で可撓
型銅棒１８で接続する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ＬＮＧタンク等の貫通
部分で用いる二重封止型ターミナルヘッダに関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】ＬＮＧタンクにおいては、その内部にサ
ブマージド型のＬＮＧポンプが設置されている。このサ
ブマージド型のＬＮＧポンプの電動機等に給電するため
に、ＬＮＧタンクに対して電気絶縁された状態で、極低
温・高圧力のＬＮＧをシールする貫通ブッシングとして
セラミックスリーブを用いた二重封止型ターミナルヘッ
ダが一般に用いられている。

【０００３】図４は、従来のセラミックスリーブを用い
た二重封止型ターミナルヘッダ１の構造を示したもので
ある。該二重封止型ターミナルヘッダ１は、ステンレス
フランジ２の孔にセラミックスリーブ３が貫通され、該
セラミックスリーブ３が貫通するステンレスフランジ２
の孔の両端はリング状の封着金具４を用いてロウ付けす
る封止部５で封止され、該セラミックスリーブ３内には
銅棒６が貫通され、該セラミックスリーブ３の両端は封
止部７，８で銅棒６に封止接続された構造になってい
た。この場合、一方の封止部７は、銅棒６に一体に設け
られている銅フランジ９とセラミックスリーブ３とに跨
がって封着スリーブ１０が嵌合され、該封着スリーブ１
０の両端が銀ろう付けで銅フランジ９及びセラミックス
リーブ３に封止接続されて形成されている。他方の封止
部８は、セラミックスリーブ３と銅棒６に跨がってテー
パ状をしたベロー型封着スリーブ１１が嵌合され、該ベ
ロー型封着スリーブ１１の両端が銀ろう付けでセラミッ
クスリーブ３及び銅棒６に封止接続されて形成されてい
る。

【０００４】このような従来の二重封止型ターミナルヘ
ッダ１の圧力仕様は、最高仕様圧力が45Kgである。セラ
ミックスリーブ３の長さが約200mm とすると、セラミッ
クスリーブ３と銅棒６とは、ＬＮＧの温度と常温間の温
度変化で約0.5mm の熱膨張差を発生する。この熱膨張差
はベロー型の封止部８で吸収される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
二重封止型ターミナルヘッダ１では、ＬＮＧタンクの使
用圧力の高圧化に伴い、ステンレスフランジ２やその他
の各部の寸法が増加し、ベロー型の封止部８で吸収しな
ければならない熱膨張差が増大し、ベロー型封着スリー
ブ１１の設計が困難になる問題点があった。即ち、ベロ
ー型封着スリーブ１１の設計は繰り返し疲労設計である
ため、該ベロー型封着スリーブ１１の肉厚は最高仕様圧
力45kg型で0.25mmと薄く、使用圧力を高圧力化（65kg）
すると、該ベロー型封着スリーブ１１の肉厚は0.2mm 以
下と更に薄くしなければならず、このような肉厚では薄
すぎて機械的強度の点に問題が発生する。

【０００６】本発明の目的は、使用圧力が高圧化しても
設計を容易に行うことができる二重封止型ターミナルヘ
ッダを提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明に係る二重封止型
ターミナルヘッダは、フランジ２の孔にセラミックスリ
ーブ３が貫通され、前記セラミックスリーブ３が貫通す
る前記フランジ２の孔は封止部５で封止され、前記セラ
ミックスリーブ３内には金属スリーブ１２が貫通され、
前記セラミックスリーブ３の両端で該セラミックスリー
ブ３と前記金属スリーブ１２とは封止部７，８で封止接
続され、前記金属スリーブ１２内の両端には良導体棒１
４，１５がそれぞれ嵌合され、前記金属スリーブ１２の
両端で該金属スリーブ１２と前記良導体棒１４，１５と
は封止部１６，１７で封止接続され、前記良導体棒１
４，１５の相互間は前記金属スリーブ１２内で可撓型良
導体１８で接続され、前記金属スリーブ１２は前記セラ
ミックスリーブ３と前記良導体棒１４，１５との中間の
線膨脹係数を有していることを特徴とする。

【０００８】この場合、前記金属スリーブ１２はコバー
ルで形成し、前記良導体棒１４，１５及び前記可撓型良
導体１８は銅で形成することが好ましい。

【０００９】

【作用】このようにセラミックスリーブ３内に金属スリ
ーブ１２を貫通させ、セラミックスリーブ３の両端で該
セラミックスリーブ３と金属スリーブ１２とを封止部
７，８で封止接続し、金属スリーブ１２内の両端には良
導体棒１４，１５をそれぞれ嵌合し、金属スリーブ１２
の両端で該金属スリーブ１２と良導体棒１４，１５とは
封止部１６，１７で封止接続し、良導体棒１４，１５の
相互間は金属スリーブ１２内で可撓型良導体１８で接続
し、金属スリーブ１２をセラミックスリーブ３と良導体
棒１４，１５との中間の線膨脹係数を有する金属で形成
すると、セラミックスリーブ３と良導体棒１４，１５と
の間には両者の中間の線膨脹係数を有する金属スリーブ
１２が存在するので、これら３者の隣接相互間の各封止
部７，８，１６，１７に作用する線膨脹係数の違いによ
る力が小さくなり、使用圧力が高圧化しても設計を容易
に行うことができる。

【００１０】特に、３者の中で線膨脹係数の一番大きい
良導体棒１４，１５は、金属スリーブ１２内を貫通する
構造でなく、金属スリーブ１２内でその両側に存在し、
これら良導体棒１４，１５間は可撓型良導体１８で接続
されているので、線膨脹係数の一番大きい良導体棒１
４，１５の熱伸縮による封止部１６，１７への影響を回
避でき、使用圧力が高圧化しても設計を一層容易に行う
ことができる。

【００１１】この場合、金属スリーブ１２をコバールで
形成し、良導体棒１４，１５及び伸縮型良導体１８を銅
で形成すると、使用圧力の高い二重封止型ターミナルヘ
ッダを容易に形成することができる。

【００１２】

【実施例】図１は、本発明に係る二重封止型ターミナル
ヘッダの第１実施例を示したものである。なお、前述し
た図５と対応する部分には、同一符号を付けて示してい
る。

【００１３】本実施例の二重封止型ターミナルヘッダ１
におては、セラミックスリーブ３内には金属スリーブの
一種であるコバール（Ｎｉ−Ｃｏ−Ｆｅ合金）製のコバ
ールスリーブ１２が貫通され、セラミックスリーブ３の
両端で該セラミックスリーブ３とコバールスリーブ１２
とは封止部７，８で封止接続されている。この場合、一
方の封止部７は、コバールスリーブ１２に一体に設けら
れているコバールフランジ（金属フランジ）１３とセラ
ミックスリーブ３とに跨がって封着スリーブ１０が嵌合
され、該封着スリーブ１０の両端が銀ろう付けでコバー
ルフランジ１３及びセラミックスリーブ３に封止接続さ
れて形成されている。他方の封止部８は、セラミックス
リーブ３とコバールスリーブ１２とに跨がってテーパ状
をしたベロー型封着スリーブ１１が嵌合され、該ベロー
型封着スリーブ１１の両端が銀ろう付けでセラミックス
リーブ３及びコバールスリーブ１２に封止接続されて形
成されている。

【００１４】コバールスリーブ１２内の両端には良導体
棒である銅棒１４，１５がそれぞれ嵌合され、コバール
スリーブ１２の両端で該コバールスリーブ１２と銅棒１
４，１５とはろう付けによる封止部１６，１７で封止接
続されている。

【００１５】銅棒１４，１５の相互間はコバールスリー
ブ１２内で可撓型良導体としての可撓型銅棒１８で接続
されている。本実施例では、一本の銅棒の両端を銅棒１
４，１５として用い、中間の銅棒部分に長手方向に沿っ
たスリットを複数条入れるスリット加工を施して可撓型
銅棒１８としている。可撓型銅棒１８の部分は、スリッ
ト加工されているので、軸方向に力が加わったときに、
両端の銅棒１４，１５の部分に比べて容易に撓むように
なっている。

【００１６】このようにセラミックスリーブ３内にコバ
ールスリーブ１２を貫通させ、セラミックスリーブ３の
両端で該セラミックスリーブ３とコバールスリーブ１２
とを封止部７，８で封止接続し、コバールスリーブ１２
内の両端には銅棒１４，１５をそれぞれ嵌合し、コバー
ルスリーブ１２の両端で該コバールスリーブ１２と銅棒
１４，１５とは封止部１６，１７で封止接続し、銅棒１
４，１５の相互間はコバールスリーブ１２内で可撓型銅
棒１８で接続すると、セラミックスリーブ３と銅棒１
４，１５との間には両者の中間の線膨脹係数を有するコ
バールスリーブ１２が存在するので、これら３者の隣接
相互間の各封止部７，８，１６，１７に作用する線膨脹
係数の違いによる力が小さくなり、使用圧力が高圧化し
ても設計を容易に行うことができる。

【００１７】特に、３者の中で線膨脹係数の一番大きい
銅棒１４，１５は、コバールスリーブ１２内を貫通する
構造でなく、コバールスリーブ１２内でその両側に存在
し、これら銅棒１４，１５の相互間は可撓型銅棒１８で
接続されているので、この部分で熱膨張を吸収でき、線
膨脹係数の一番大きい銅棒１４，１５の熱伸縮による封
止部１６，１７への影響を回避でき、使用圧力が高圧化
しても設計を一層容易に行うことができる。

【００１８】これらの作用効果を、具体例をもとに説明
する。

【００１９】ステンレススチール，銅，コバール，アル
ミナセラミックの線膨脹係数を示すと、次の通りであ
る。 ステンレススチール：16.4×10^-6／Ｋ 銅 ：16.5×10^-6／Ｋ コバール ： 5.7×10^-6／Ｋ アルミナセラミック： 4.4×10^-6／Ｋ 外径がそれぞれ14mmの銅棒，コバール棒，コバールスリ
ーブ内に銅棒を貫通させると共に該銅棒の中間部にスリ
ット加工を施した複合導体棒に対して通電可能電流を測
定したところ、次のような結果が得られた。 銅棒 ：400 Ａ コバール棒： 80 Ａ 複合導体棒：200 Ａ 本実施例の場合、セラミックスリーブ３とコバールスリ
ーブ１２との熱膨脹差が200mm で約0.05mmと、セラミッ
クスリーブ３と銅棒６との組合わせの場合の約１割程度
にできるので、ベロー型封着スリーブ１１の肉厚増（0.
5mm の板厚使用可能）等の強化設計が可能である。

【００２０】また、導体としてコバールスリーブ１２を
使用することにより、熱膨張を抑制でき、通電電流を80
Ａ確保できるので、６KV仕様で700 KW程度と大型のＬＮ
Ｇポンプに使用可能である。

【００２１】また、コバールスリーブ１２内の両端に銅
棒１４，１５を嵌合して封止部１６，１７で封止接続
し、該コバールスリーブ１２内でこれら銅棒１４，１５
の相互間を可撓型銅棒１８で接続した熱膨張抑制型の複
合導体棒を使用することにより、通電電流を200 Ａ確保
できるので、３KV，６KV仕様で1000KW，2000KW程度と大
型の大型のＬＮＧポンプに使用可能である。

【００２２】図２は、上記の如き二重封止型ターミナル
ヘッダ１をＬＮＧタンク１９に使用した例を示したもの
である。

【００２３】該ＬＮＧタンク１９内には、ポンプ収容管
２０が該ＬＮＧタンク１９の上部壁を気密に貫通して底
部側に配置されている。該ポンプ収容管２０内の底部に
ＬＮＧポンプ２１が配置されている。該ＬＮＧポンプ２
１に低温ケーブル２２が接続されている。該ポンプ収容
管２０の上部にはフランジ２０ａが設けられ、該フラン
ジ２０ａに二重封止型ターミナルヘッダ１のステンレス
フランジ２が重ねられて気密に接続されている。この状
態で二重封止型ターミナルヘッダ１は、封止部７側の銅
棒６の先端がポンプ収容管２０内に挿入されている。該
ポンプ収容管２０内で、封止部７側の銅棒６の先端に低
温ケーブル２２がワンタッチコネクタ２３で接続されて
いる。

【００２４】外部に出ている封止部８側の銅棒６の先端
は、ジョイントボックス２４内で通常のケーブル２５に
接続部２６で接続されている。接続部２６には、気密端
末処理が施されている。

【００２５】このようなＬＮＧタンク１９においては、
ＬＮＧポンプ２１にケーブル２５，接続部２６，二重封
止型ターミナルヘッダ１，低温ケーブル２２を経て給電
がなされ、ポンプ収容管２０の図示しない孔を通してＬ
ＮＧタンク１９内のＬＮＧがＬＮＧポンプ２１により汲
まれて図示しない送液管を経て外部に取り出される。

【００２６】図３は、本発明に係る二重封止型ターミナ
ルヘッダの第２実施例を示したものである。なお、前述
した図１と対応する部分には、同一符号を付けて示して
いる。

【００２７】本実施例の二重封止型ターミナルヘッダの
１つの目的は、セラミックスリーブの外部に出ている部
分に外力が加わり該セラミックスリーブに損傷が与えら
れても、大量の液漏れの発生を防止することにある。

【００２８】本実施例の二重封止型ターミナルヘッダの
他の１つの目的は、二重封止型ターミナルヘッダの外側
突出部分が低温となってその部分に結露氷結等が発生し
て電気絶縁性能が低下するのを防止することにある。

【００２９】本実施例の二重封止型ターミナルヘッダ１
は、図１に示すタイプの二重封止型ターミナルヘッダ１
に本発明を適用した例を示したものである。本実施例の
二重封止型ターミナルヘッダ１においては、セラミック
スリーブ３の外部に出ている部分で銅棒１５の露出端に
絶縁ケーブル２７の一端が接続部２８を介して接続さ
れ、該絶縁ケーブル２７の他端にはコネクタ２９が接続
されている。

【００３０】かかる状態で、セラミックスリーブ３と封
止部８の外周にテトラフロロエチレンテープやテトラフ
ロロエチレンチューブ等の絶縁補強処理層３０が設けら
れ、更にその外側に強化プラスチック製の補強絶縁筒体
３１が嵌合され、該補強絶縁筒体３１のフランジ部３１
ａがステンレスフランジ２にボルト３２で取付けられて
いる。該補強絶縁筒体３１の閉塞端部３１ｂから絶縁ケ
ーブル２７が外部に導出されている。補強絶縁筒体３１
内で絶縁補強処理層３０との間の隙間には、ポリウレタ
ン（例えば、クレスト・プロダクツ・コーポレイション
製の商品名クレスト７４５０Ａ＆Ｂやシリコンゴム等の
絶縁樹脂３３が充填されている。

【００３１】絶縁ケーブル２７は前述した図２に示すジ
ョイントボックス２４内で通常のケーブル２５に接続部
２６で接続されている。接続部２６には、前述したよう
に気密端末処理が施されている。

【００３２】このような構造にすると、該二重封止型タ
ーミナルヘッダ１の露出部分に重量物が落下した場合、
セラミックスリーブ３側は補強絶縁筒体２３と絶縁補強
処理層３０とで機械的に保護されるので、使用圧力が高
圧化されたＬＮＧタンク１９から大量の液漏れが発生す
るのを防止することができる。

【００３３】また、従来の二重封止型ターミナルヘッダ
にあっては、前述したように通常の使用時に、二重封止
型ターミナルヘッダ１の外側突出部分が低温となり、そ
の部分に結露氷結等が発生して電気絶縁性能が低下する
問題点があったが、本実施例では補強絶縁筒体３１内で
絶縁補強処理層３０との間の隙間にポリウレタンやシリ
コンゴム等の絶縁樹脂３３を充填したので、電気絶縁性
能を大幅に向上させることができる。

【００３４】以下、本明細書に開示した複数の発明のう
ち、幾つかの発明についてその構成要件を挙げると、次
の通りである。

【００３５】（１） ステンレスフランジ２の孔にセラ
ミックスリーブ３が貫通され、前記セラミックスリーブ
３が貫通する前記ステンレスフランジ２の孔は封止部５
で封止され、前記セラミックスリーブ３内にはコバール
スリーブ１２が貫通され、前記セラミックスリーブ３の
両端で該セラミックスリーブ３と前記コバールスリーブ
１２とは封止部７，８で封止接続され、前記コバールス
リーブ１２内の両端には銅棒１４，１５がそれぞれ嵌合
され、前記コバールスリーブ１２の両端で該コバールス
リーブ１２と前記銅棒１４，１５とは封止部１６，１７
で封止接続され、前記銅棒１４，１５の相互間は前記コ
バールスリーブ１２内で可撓型銅棒１８で接続され、前
記コバールスリーブ１２は前記セラミックスリーブ３と
前記銅棒１４，１５との中間の線膨脹係数を有している
ことを特徴とする二重封止型ターミナルヘッダ。

【００３６】（２） 前記セラミックスリーブ３の両端
の封止部７，８の少なくとも一方は、ベロータイプ封着
金具１１を用いた封止部で構成されていることを特徴と
する請求項１に記載の二重封止型ターミナルヘッダ。

【００３７】（３） ステンレスフランジ２の孔にセラ
ミックスリーブ３が貫通され、前記セラミックスリーブ
３が貫通する前記ステンレスフランジ２の孔は封止部５
で封止され、前記セラミックスリーブ３内にはコバール
スリーブ１２が貫通され、前記セラミックスリーブ３の
両端で該セラミックスリーブ３と前記コバールスリーブ
１２とは封止部７，８で封止接続され、前記コバールス
リーブ１２内の両端には銅棒１４，１５がそれぞれ嵌合
され、前記コバールスリーブ１２の両端で該コバールス
リーブ１２と前記銅棒１４，１５とは封止部１６，１７
で封止接続され、前記銅棒１４，１５の相互間は前記コ
バールスリーブ１２内で可撓型銅棒１８で接続され、前
記コバールスリーブ１２は前記セラミックスリーブ３と
前記銅棒１４，１５との中間の線膨脹係数を有し、前記
セラミックスリーブ３と封止部８の外周に絶縁補強処理
層３０が設けられ、該絶縁補強処理層３０の外側に補強
絶縁筒体３１が嵌合され、該補強絶縁筒体３１のフラン
ジ部３１ａがステンレスフランジ２に取付けられ、前記
銅棒１５に接続されている絶縁ケーブル２７が前記補強
絶縁筒体３１の閉塞端部３１ｂから外部に導出されてい
ることを特徴とする二重封止型ターミナルヘッダ。

【００３８】（４） ステンレスフランジ２の孔にセラ
ミックスリーブ３が貫通され、前記セラミックスリーブ
３が貫通する前記ステンレスフランジ２の孔は封止部５
で封止され、前記セラミックスリーブ３内にはコバール
スリーブ１２が貫通され、前記セラミックスリーブ３の
両端で該セラミックスリーブ３と前記コバールスリーブ
１２とは封止部７，８で封止接続され、前記コバールス
リーブ１２内の両端には銅棒１４，１５がそれぞれ嵌合
され、前記コバールスリーブ１２の両端で該コバールス
リーブ１２と前記銅棒１４，１５とは封止部１６，１７
で封止接続され、前記銅棒１４，１５の相互間は前記コ
バールスリーブ１２内で可撓型銅棒１８で接続され、前
記コバールスリーブ１２は前記セラミックスリーブ３と
前記銅棒１４，１５との中間の線膨脹係数を有し、前記
セラミックスリーブ３と封止部８の外周に絶縁補強処理
層３０が設けられ、該絶縁補強処理層３０の外側に補強
絶縁筒体３１が嵌合され、該補強絶縁筒体３１のフラン
ジ部３１ａがステンレスフランジ２に取付けられ、前記
銅棒１５に接続されている絶縁ケーブル２７が前記補強
絶縁筒体３１の閉塞端部３１ｂから外部に導出され、前
記補強絶縁筒体３１内で前記絶縁補強処理層３０との間
の隙間には絶縁樹脂３３が充填されていることを特徴と
する二重封止型ターミナルヘッダ。

【００３９】

【発明の効果】本発明に係る二重封止型ターミナルヘッ
ダにおいては、セラミックスリーブ３内に金属スリーブ
１２を貫通させ、セラミックスリーブ３の両端で該セラ
ミックスリーブ３と金属スリーブ１２とを封止部７，８
で封止接続し、金属スリーブ１２内の両端には良導体棒
１４，１５をそれぞれ嵌合し、金属スリーブ１２の両端
で該金属スリーブ１２と良導体棒１４，１５とは封止部
１６，１７で封止接続し、良導体棒１４，１５の相互間
は金属スリーブ１２内で可撓型良導体１８で接続し、金
属スリーブ１２をセラミックスリーブ３と良導体棒１
４，１５との中間の線膨脹係数を有する金属で形成して
いるので、セラミックスリーブ３と良導体棒１４，１５
との間には両者の中間の線膨脹係数を有する金属スリー
ブ１２が存在し、このためこれら３者の隣接相互間の各
封止部７，８，１６，１７に作用する線膨脹係数の違い
による力が小さくなり、使用圧力が高圧化しても設計を
容易に行うことができる。

【００４０】特に、３者の中で線膨脹係数の一番大きい
良導体棒１４，１５は、金属スリーブ１２内を貫通する
構造でなく、金属スリーブ１２内でその両側に存在し、
これら良導体棒１４，１５の相互間は可撓型良導体１８
で接続されているので、この部分で熱膨張が吸収され
る。このため線膨脹係数の一番大きい良導体棒１４，１
５の熱伸縮による封止部１６，１７への影響を回避で
き、使用圧力が高圧化しても設計を一層容易に行うこと
ができる。

【００４１】この場合、金属スリーブ１２をコバールで
形成し、良導体棒１４，１５及び可撓型良導体１８を銅
で形成することにより、使用圧力の高い二重封止型ター
ミナルヘッダを容易に形成することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る二重封止型ターミナルヘッダの第
１実施例の縦断面図である。

【図２】二重封止型ターミナルヘッダの使用状態の一例
を示す縦断面図である。

【図３】本発明に係る二重封止型ターミナルヘッダの第
２実施例の縦断面図である。

【図４】従来の二重封止型ターミナルヘッダの縦断面図
である。

【符号の説明】

１ 二重封止型ターミナルヘッダ ２ ステンレスフランジ ３ セラミックスリーブ ４ 封着金具 ５ 封止部 ６ 銅棒 ７，８ 封止部 ９ 銅フランジ １０ 封着スリーブ １１ ベロー型封着スリーブ １２ 金属スリーブ（コバールスリーブ） １３ 金属フランジ（コバールフランジ） １４，１５ 良導体棒（銅棒） １６，１７ 封止部 １８ 可撓型良導体（可撓型銅棒） １９ ＬＮＧタンク ２０ ポンプ収容管 ２０ａ フランジ ２１ ＬＮＧポンプ ２２ 低温ケーブル ２３ ワンタッチコネクタ ２４ ジョイントボックス ２５ ケーブル ２６ 接続部 ２７ 絶縁ケーブル ２８ 接続部 ２９ コネクタ ３０ 絶縁補強処理層 ３１ 補強絶縁筒体 ３１ａ フランジ部 ３２ ボルト ３３ 絶縁樹脂

フロントページの続き (72)発明者 高木 義之 神奈川県横浜市磯子区汐見台３−３−3305 磯子アパート548 (72)発明者 小倉 太郎 東京都江東区東陽２−３−１−416 (72)発明者 川中 十三夫 東京都千代田区丸の内２丁目６番１号 古 河電気工業株式会社内

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 フランジ（２）の孔にセラミックスリー
   ブ（３）が貫通され、前記セラミックスリーブ（３）が
   貫通する前記フランジ（２）の孔は封止部（５）で封止
   され、前記セラミックスリーブ（３）内には金属スリー
   ブ（１２）が貫通され、前記セラミックスリーブ（３）
   の両端で該セラミックスリーブ（３）と前記金属スリー
   ブ（１２）とは封止部（７，８）で封止接続され、前記
   金属スリーブ（１２）内の両端には良導体棒（１４，１
   ５）がそれぞれ嵌合され、前記金属スリーブ（１２）の
   両端で該金属スリーブ（１２）と前記良導体棒（１４，
   １５）とは封止部（１６，１７）で封止接続され、前記
   良導体棒（１４，１５）の相互間は前記金属スリーブ
   （１２）内で可撓型良導体（１８）で接続され、前記金
   属スリーブ（１２）は前記セラミックスリーブ（３）と
   前記良導体棒（１４，１５）との中間の線膨脹係数を有
   していることを特徴とする二重封止型ターミナルヘッ
   ダ。
2. 【請求項２】 前記金属スリーブ（１２）はコバールで
   形成され、前記良導体棒（１４，１５）及び前記可撓型
   良導体（１８）は銅で形成されていることを特徴とする
   請求項１に記載の二重封止型ターミナルヘッダ。