JPH08334699A - 情報表示機能付き顕微鏡装置 - Google Patents

情報表示機能付き顕微鏡装置

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JPH08334699A
JPH08334699A JP7142192A JP14219295A JPH08334699A JP H08334699 A JPH08334699 A JP H08334699A JP 7142192 A JP7142192 A JP 7142192A JP 14219295 A JP14219295 A JP 14219295A JP H08334699 A JPH08334699 A JP H08334699A
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JP
Japan
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image
information display
liquid crystal
sample
light control
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Pending
Application number
JP7142192A
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English (en)
Inventor
Takeshi Matsumoto
豪 松本
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Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
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Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 明暗比の大きな標本像においても表示情報が
良好に視認できる情報表示機能付き顕微鏡を提供するこ
とにある。 【構成】 少なくとも、対物レンズ及び接眼レンズから
なる観察光学系と、情報を出力する情報出力手段を有す
る情報処理光学系で、かつ観察光学系の結像位置と情報
処理光学系の情報出力手段の結像位置とが一致する顕微
鏡であって、前記結像位置上の情報表示部分に調光素子
を設けたことを特徴とする情報表示機能付き顕微鏡。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、画像処理装置を備えた
顕微鏡に関し、特に、顕微鏡が備える光学系による標本
像と、画像処理によって得られる標本等の画像情報の像
とを、同一平面上に結合させ、同時に、同一視野で観察
することが可能な顕微鏡装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の顕微鏡装置においては、例えば、
ステージに載置した観察対象である標本の像を、対物レ
ンズを含む光学系によって、所定の結像位置に結像さ
せ、観察者は、前記結像位置に結像された標本像を接眼
レンズによって観察するものであった。また、観察者の
便宜に供するため、現在観察している標本を区別するた
めの標本番号や、観察中の標本の座標を、標本像に重ね
合わせて表示する情報表示機能付き顕微鏡装置が提案さ
れていた。
【0003】図5に、従来の情報表示機能付き顕微鏡の
構成図を示す。516は、観察対象である観察標本を載
置するためのステージであり、51は、ステージ516
に載置された、観察対象である観察標本である。52
は、その中に対物レンズを備える筐体であり、53は、
ビームスプリッタ、54は、結像レンズ、55は接眼レ
ンズである。処理回路514は、入力手段515から与
えられる信号に基づいて、各種の処理を行う手段であ
り、例えばコンピュータ等が用いられる。入力手段51
5は、処理回路514に所定の信号を与える手段であ
り、例えば、マウス、キーボード等が用いられる。さら
に、58は、投影レンズ、59は、表示手段の一例たる
液晶表示素子、512は、液晶用駆動回路であり、51
0はバックライト、513はバックライト用の駆動回路
である。
【0004】以上の構成において、ステージ516に載
置された、観察標本51の像は、対物レンズ、ビームス
プリッタ53、結像レンズ54によって、観察標本51
の像が結像する位置である結像位置56に結像される。
結像位置56に結像された観察標本51の像は、接眼レ
ンズ55を介して観察される。今、観察標本51の一例
として、集積回路製造用Crマスクを想定する。このと
きに、結像位置56に結像された観察標本51の像の一
例を図3に示す。31は、ステージ516に載置された
観察標本51である集積回路製造用Crマスクの像であ
る。すなわち、観察者は、対物レンズ、ビームスプリッ
タ53、結像レンズ54からなる光学系による標本像を
観察することができる。
【0005】一方、処理回路514により、標本番号等
の画像情報が液晶用駆動回路512に送られ、それら画
像情報が液晶表示素子59に表示される。液晶表示素子
59に表示された画像情報は、投影レンズ58、ビーム
スプリッタ53、結像レンズ54により結像位置56に
結像される。ここで、標本像と液晶画像による像は結像
位置56の同一平面上に結像されるので、接眼レンズ5
5により同時に観察することが可能である。
【0006】このように、観察者の便宜に供するため、
標本像と液晶画像による像を重ね合わせて表示する顕微
鏡装置が提案されていた。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の情報表
示機能付き顕微鏡では、標本像の明暗比が大きく、情報
表示部分が標本像の明るい部分と暗い部分の両方にかか
る場合には、情報表示部分の明るさを標本像の明るい部
分に合わせれば、暗い部分の上にある情報表示部分が明
るくなりすぎ、情報表示部分の明るさを標本像の暗い部
分に合わせれば、明るい部分の上の情報表示部分が暗く
て見にくくなるという問題点があった。
【0008】また、標本像を観察するためには標本像の
明るさに合わせて所定の標本像の背景の明るさが必要で
あり、また情報表示部分の明るさは背景の明るさより明
るくしなければならない。その場合、情報表示部分が眩
しくなりすぎ、さらに視野内が明るくなりすぎので、視
認性が悪くなる。そこで、本発明の目的は、前記問題点
に鑑み、明暗比の大きな標本像においても表示情報が良
好に視認できる情報表示機能付き顕微鏡を提供すること
にある。
【0009】
【課題を解決する為の手段】本発明は第一に「少なくと
も、対物レンズ及び接眼レンズからなる観察光学系と、
情報を出力する情報出力手段を有する情報処理光学系
で、かつ観察光学系の結像位置と情報処理光学系の情報
出力手段の結像位置とが一致する顕微鏡であって、前記
結像位置上の情報表示部分に調光素子を設けたことを特
徴とする情報表示機能付き顕微鏡(請求項1)」を提供
する。
【0010】また、本発明は第二に「前記調光素子が分
割駆動可能であることを特徴とする請求項1記載の情報
表示機能付き顕微鏡(請求項2)」を提供する。
【0011】
【作用】本発明による情報表示機能付き顕微鏡は、標本
像と液晶画像による像とが同一平面上に結像され、液晶
画像による像を表示する情報表示部分に調光素子を設け
たものである。対物レンズ及び接眼レンズからなる観察
光学系と、情報を出力する情報出力手段を有する情報処
理光学系とは、一部兼用(例えば、結像レンズを用い
る)されても良い。
【0012】標本像を観察するためには標本像の明るさ
に合わせて所定の標本像の背景の明るさが必要である。
また、情報表示部分の明るさは標本像の背景の明るさよ
り明るくしなければならない。その場合、情報表示部分
が眩しくなりすぎ、さらに視野内が明るくなりすぎの
で、視認性が悪くなる。そこで、本発明は情報表示部分
に設けた調光素子の透過率を下げ、情報表示部分の背景
及び液晶画像による像の透過光量を下げることにより、
標本像を観察するために必要な所定の標本像の背景の明
るさを保ちつつ、視野内がまぶしくなるのを防ぎ、標本
像及び情報表示部分の双方の良好な視認性を確保した。
【0013】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。図1に、本発明にかかる情報表示機能付き顕微鏡
の一実施例の構成図を示す。16は、観察対象である観
察標本を載置するためのステージであり、例えば、金属
やプラスチックの部材を所定の形状に加工して製造され
る。
【0014】1は、ステージ16に載置された、観察対
象である観察標本である。観察標本としては、例えば、
集積回路用Crマスク等が考えられるが、特に、観察対
象に制約はない。ステージ16に載置できる物であれ
ば、いかなる物でもよい。2は、その中に対物レンズを
備える筐体であり、3は、ビームスプリッタ、4は、結
像レンズ、5は接眼レンズである。これらの光学部材
は、通常市販されている光学素子にて実現できる。7は
調光素子、11は調光素子駆動回路であり、15は入力
手段である。
【0015】調光素子7は、調光素子駆動回路11から
与えられる信号に基づいて、透過率を変化させる、例え
ば、EC(エレクトロクロミック)素子、液晶素子等が
用いられる。調光素子駆動回路11に信号を与える手段
として、観察者が、接眼レンズを通して観察される視野
内の状態に合わせてマニュアルで制御する(入力手段1
5により)方法や、図示されていないが、観察される視
野内の状態をカメラなどでモニターし、自動的に制御す
る方法が用いられる。
【0016】さらに、8は、投影レンズ、9は、表示手
段の一例たる液晶表示素子、12は、液晶用駆動回路、
10は液晶表示素子用バックライト、13は液晶表示バ
ックライト用駆動回路である。また、14は処理回路で
あり、調光素子駆動回路11、液晶表示素子駆動回路1
2、液晶表示素子用バックライト駆動回路13に信号を
与える手段であり、例えば、コンピュータ等が用いられ
る。
【0017】入力手段15は、処理回路14に所定の信
号を与える手段であり、例えば、マウス、キーボード等
により実現される。なお、液晶表示素子9は、表示手段
の一例であり、EL、CRT等の他の表示素子を用いて
もよいことは言うまでもない。さて、以上の構成におい
て、本発明の動作について説明する。
【0018】ステージ16に載置された、観察標本1の
像は、対物レンズ、ビームスプリッタ3、結像レンズ4
によって、観察標本1の像が結像する位置である結像位
置6に結像される。結像位置6に結像された、観察標本
1の像は、接眼レンズ5を介して観察される。
【0019】今、観察標本1の一例として、集積回路用
Crマスクを想定する。このときに、結像位置6に結像
された、観察標本1の像の一例を図6に示す。61は、
ステージ16に載置された観察標本1である集積回路用
Crマスクの像である。すなわち、観察者は、対物レン
ズ、ビームスプリッタ3、結像レンズ4からなる光学系
による標本像を観察することができる。
【0020】処理回路14は入力手段15によって入力
された標本番号等の画像情報を液晶表示素子9に表示す
べく、液晶用駆動回路12を制御する信号を与える。制
御信号が与えられた液晶用駆動回路12は、前記画像情
報を、液晶表示素子9に表示すべく、液晶表示素子9が
備える配線に、電圧を印加して、液晶画像を生成する。
生成された液晶画像は、投影レンズ8、ビームスプリッ
タ3、結像レンズ4からなる光学系によって、結像位置
6に結像される。この液晶画像による像の一例を、図4
に示す。図4の41は標本番号表示部である。
【0021】さて、図6に示す、対物レンズ、ビームス
プリッタ3、結像レンズ4による観察標本1の像と、図
4に示す、液晶画像による像は、同一結像面上6で、結
像されるように各構成要素が配置されている。なお、観
察標本1の像と、図4に示す液晶画像による像とを、結
像面上で一致するように重ねあわせるには、例えば、図
示していない、以下の手段で実現できる。
【0022】つまり、図1に示す、投射レンズ8を含む
ズーム機構を有する光学系を設け、該光学系自体を、2
次元方向に移動可能な微動機構を設けておけば良い。ズ
ーム機構は、通常のカメラ等で使用されている手段を採
用し、像が所定の倍率となるように、投射レンズ8を含
む光学系を操作可能な構成にしておけば、像は、所定の
倍率となる。そして、ステッピングモータ等の駆動手段
によって、前記光学系を2次元平面上で移動可能な微動
機構を設けた構成とする。したがって、駆動手段を駆動
することにより、像の位置は移動するため、観察標本1
の像と、図4に示す、液晶画像による像とを重ね合わす
ことができる。
【0023】従って、接眼レンズ5を介して観察者が観
察する像は、図2に示すように、図6の標本像と図4の
液晶画像による像を重ね合わせた像になる。なお、図2
において、23は、調光素子である。このとき、情報表
示部分の背景が明るい場合には、液晶表示素子用バック
ライト10の光量を上げ、液晶画像による像を背景より
明るくして表示しなければならないが、情報表示部分に
設けた調光素子7により情報表示部分の背景透過率を下
げ、情報表示部分の背景より明るくして液晶画像による
像を表示することにより、視野内が明るくなりすぎるこ
とによる標本像の視認性の悪化を防ぎ、情報表示部分の
視認性を良好にすることができる。
【0024】図7に情報表示部分に分割駆動可能な調光
素子を設けた場合の接眼レンズを通して観察できる像の
一例を示す。調光素子74〜76はそれぞれ別個に透過
率が調整でき、情報表示部分71〜73の明るさを独立
に調整可能である。図7には3分割の例を示したが、分
割数を多くすればより細かな調整が可能である。
【0025】分割駆動の制御方法は前記調光素子駆動回
路11から与えられる信号に基づいて行われる。情報表
示部分に分割駆動可能な調光素子を設けた場合は、標本
像の明暗比が大きく、情報表示部分が標本像の明るい部
分と暗い部分の両方にかかる場合に有効である。
【0026】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
標本像を観察するために必要な所定の標本像の背景の明
るさを保ちつつ、情報表示部分に設けた調光素子により
情報表示部分の背景のみの明るさを調節することができ
るので、調光素子によって調節された情報表示部分の背
景より明るくして液晶画像による像を表示することによ
り、視野内が眩しくなることなく、標本像を良好に観察
しつつ、かつ情報表示部分の視認性をも良好にすること
ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明にかかる情報表示機能付き顕微鏡装置の
実施例を示す構成図である。
【図2】本発明にかかる情報表示機能付き顕微鏡装置の
結像位置に結像された接眼レンズを通して観察される標
本像と液晶画像による像を表示する情報表示部分の概略
図である。
【図3】本発明にかかる情報表示機能付き顕微鏡装置の
結像位置に結像された接眼レンズを通して観察される標
本像の概略図である。
【図4】本発明にかかる情報表示機能付き顕微鏡装置の
結像位置に結像された接眼レンズを通して観察される液
晶画像による像を表示する情報表示部分の概略図であ
る。
【図5】従来の情報表示機能付き顕微鏡装置の構成図で
ある。
【図6】従来の情報表示機能付き顕微鏡装置の結像位置
に結像された接眼レンズを通して観察される標本像の概
略図である。
【図7】情報表示部分に分割駆動可能な調光素子を設け
た場合の接眼レンズを通して観察される標本像と液晶画
像による像を表示する情報表示部分の概略図である。
【符号の説明】
1…観察標本、2…対物レンズ、3…ビームスプリッ
タ、4…結像レンズ、5…接眼レンズ、6…結像位置、
7…調光素子、8…投影レンズ、9…液晶表示素子、1
0…液晶表示素子用バックライト、11…調光素子駆動
回路、12…液晶表示素子駆動回路、13…液晶表示素
子用バックライト駆動回路、14…処理回路、15…入
力手段、16…ステージ、21…標本像、22…標本番
号表示部、23…調光素子、31…標本像、41…液晶
画像による像、51…観察標本、52…対物レンズ、5
3…ビームスプリッタ、54…結像レンズ、55…接眼
レンズ、56…結像位置、58…投影レンズ、59…液
晶表示素子、510…液晶表示素子用バックライト、5
12…液晶表示素子駆動回路、513…液晶表示素子用
バックライト駆動回路、514…処理回路、515…入
力手段、516…ステージ、61…標本像、71…情報
表示部分、72…情報表示部分、73…情報表示部分、
74…調光素子、75…調光素子、76…調光素子、7
7…標本像

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 少なくとも、対物レンズ及び接眼レンズ
    からなる観察光学系と、情報を出力する情報出力手段を
    有する情報処理光学系で、かつ観察光学系の結像位置と
    情報処理光学系の情報出力手段の結像位置とが一致する
    顕微鏡であって、前記結像位置上の情報表示部分に調光
    素子を設けたことを特徴とする情報表示機能付き顕微
    鏡。
  2. 【請求項2】 前記調光素子が分割駆動可能であること
    を特徴とする請求項1記載の情報表示機能付き顕微鏡。
JP7142192A 1995-06-08 1995-06-08 情報表示機能付き顕微鏡装置 Pending JPH08334699A (ja)

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JP7142192A JPH08334699A (ja) 1995-06-08 1995-06-08 情報表示機能付き顕微鏡装置

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JP7142192A JPH08334699A (ja) 1995-06-08 1995-06-08 情報表示機能付き顕微鏡装置

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JP (1) JPH08334699A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2525163A (en) * 2014-03-05 2015-10-21 Qioptiq Ltd An optical assembly
JP2021034468A (ja) * 2019-08-21 2021-03-01 株式会社ディスコ 加工装置

Cited By (3)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2525163A (en) * 2014-03-05 2015-10-21 Qioptiq Ltd An optical assembly
GB2525163B (en) * 2014-03-05 2018-06-06 Qioptiq Ltd An optical assembly
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