JPH08329533A - 光ディスク用トラックピッチムラ測定装置 - Google Patents
光ディスク用トラックピッチムラ測定装置Info
- Publication number
- JPH08329533A JPH08329533A JP13441795A JP13441795A JPH08329533A JP H08329533 A JPH08329533 A JP H08329533A JP 13441795 A JP13441795 A JP 13441795A JP 13441795 A JP13441795 A JP 13441795A JP H08329533 A JPH08329533 A JP H08329533A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- track pitch
- light
- track
- spots
- optical disk
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 ＬＤ２と対物レンズ６との間に配設された回
折格子４により光ディスク７の隣接トラックＴa，Ｔbの
それぞれの中心位置に二つのスポットＳa，Ｓbをそれぞ
れ位置合わせして結像する。そして、上記トラックに対
して相対的に移動した上記二つのスポットＳa，Ｓbの反
射レーザ光から光ディスク７の半径方向のプッシュプル
信号を二つ検出し、該二つのプシュプル信号の位相を比
較してトラックピッチムラを測定する。 【効果】 トラック単位に例えば０．０１μｍ程度の高
い分解能でトラックピッチのムラを測定できる。
折格子４により光ディスク７の隣接トラックＴa，Ｔbの
それぞれの中心位置に二つのスポットＳa，Ｓbをそれぞ
れ位置合わせして結像する。そして、上記トラックに対
して相対的に移動した上記二つのスポットＳa，Ｓbの反
射レーザ光から光ディスク７の半径方向のプッシュプル
信号を二つ検出し、該二つのプシュプル信号の位相を比
較してトラックピッチムラを測定する。 【効果】 トラック単位に例えば０．０１μｍ程度の高
い分解能でトラックピッチのムラを測定できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光ディスクのトラック
ピッチのムラを測定する光ディスク用トラックピッチム
ラ測定装置に関する。
ピッチのムラを測定する光ディスク用トラックピッチム
ラ測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】情報の増大する現在、コンピュータの記
憶装置、コンパクトディスク、ビディオディスク等の音
楽、画像情報のパッケージメディアとして光ディスクは
広範囲に普及すると共に高密度化も進んでいる。
憶装置、コンパクトディスク、ビディオディスク等の音
楽、画像情報のパッケージメディアとして光ディスクは
広範囲に普及すると共に高密度化も進んでいる。
【０００３】コンパクトディスクに代表される一般的な
光ディスクは、トラックピッチが１．６μｍである。光
ディスクの高密度化を実現するためには、対物レンズの
開口数ＮＡを大きくしたり、レーザ光の波長を短くし
て、トラックピッチを０．８μｍ程度まで狭くすること
が考えられる。
光ディスクは、トラックピッチが１．６μｍである。光
ディスクの高密度化を実現するためには、対物レンズの
開口数ＮＡを大きくしたり、レーザ光の波長を短くし
て、トラックピッチを０．８μｍ程度まで狭くすること
が考えられる。
【０００４】トラックピッチを従来の光ディスクのそれ
よりも半分程に狭めるためには、トラックピッチの局所
的なムラを測る必要がある。図１２に、トラックピッチ
を測定するトラックピッチ測定装置５０を示す。このト
ラックピッチ測定装置５０は、ヘリウム−ネオンレーザ
に代表されるガスレーザ又は半導体レーザ等を用いて、
レーザ光を発生させるレーザ発生部５１からの該レーザ
光を光ディスク５２に照射し、その回折光をスクリーン
５３で観測して光ディスク５２のトラックＴのトラック
ピッチＴPを測定する。上記レーザ光のビーム径は、
０．３〜１ｍｍ程であり、該レーザ光を光ディスク５２
に照射し、その照射領域内での平均化処理により、トラ
ックピッチを測定していた。ここで、０次元回折光Ｌ0
と±１次元回折光Ｌ+，Ｌ-との間隔をｄ、光学ディスク
５２とスクリーン５３との間隔をＬとすると、トラック
ピッチＴPは、
よりも半分程に狭めるためには、トラックピッチの局所
的なムラを測る必要がある。図１２に、トラックピッチ
を測定するトラックピッチ測定装置５０を示す。このト
ラックピッチ測定装置５０は、ヘリウム−ネオンレーザ
に代表されるガスレーザ又は半導体レーザ等を用いて、
レーザ光を発生させるレーザ発生部５１からの該レーザ
光を光ディスク５２に照射し、その回折光をスクリーン
５３で観測して光ディスク５２のトラックＴのトラック
ピッチＴPを測定する。上記レーザ光のビーム径は、
０．３〜１ｍｍ程であり、該レーザ光を光ディスク５２
に照射し、その照射領域内での平均化処理により、トラ
ックピッチを測定していた。ここで、０次元回折光Ｌ0
と±１次元回折光Ｌ+，Ｌ-との間隔をｄ、光学ディスク
５２とスクリーン５３との間隔をＬとすると、トラック
ピッチＴPは、
【０００５】
【数１】
【０００６】と表せる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、トラックピ
ッチを０．８μｍにして高密度化を進めるためには、そ
の局所的なムラを１本１本のトラック単位で例えば０．
０１μｍ程度の精度で測る必要がある。
ッチを０．８μｍにして高密度化を進めるためには、そ
の局所的なムラを１本１本のトラック単位で例えば０．
０１μｍ程度の精度で測る必要がある。
【０００８】しかし、上述した従来のトラックピッチ測
定装置５０は、ビーム径が０．３〜１ｍｍもあるレーザ
光を光ディスク５２に照射し、その照射領域内での平均
化処理により、トラックピッチを測定していたので、ト
ラック単位で例えば０．０１μｍ程度の範囲でのトラッ
クピッチの測定は困難である。
定装置５０は、ビーム径が０．３〜１ｍｍもあるレーザ
光を光ディスク５２に照射し、その照射領域内での平均
化処理により、トラックピッチを測定していたので、ト
ラック単位で例えば０．０１μｍ程度の範囲でのトラッ
クピッチの測定は困難である。
【０００９】本発明は、上記実情に鑑みてなされたもの
であり、トラック単位に例えば０．０１μｍ程度の高い
分解能でトラックピッチのムラを測定できる光ディスク
用トラックピッチムラ測定装置の提供を目的とする。
であり、トラック単位に例えば０．０１μｍ程度の高い
分解能でトラックピッチのムラを測定できる光ディスク
用トラックピッチムラ測定装置の提供を目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明に係る光ディスク
用トラックピッチムラ測定装置は、上記課題を解決する
ために、光ディスクの隣接トラックのそれぞれの中心位
置に二つのスポットをそれぞれ位置合わせして結像し、
上記トラックに対して相対的に移動した上記二つのスポ
ットの反射光から上記光ディスクの半径方向のプッシュ
プル信号を二つ検出し、該二つのプシュプル信号の位相
を比較してトラックピッチムラを測定する。
用トラックピッチムラ測定装置は、上記課題を解決する
ために、光ディスクの隣接トラックのそれぞれの中心位
置に二つのスポットをそれぞれ位置合わせして結像し、
上記トラックに対して相対的に移動した上記二つのスポ
ットの反射光から上記光ディスクの半径方向のプッシュ
プル信号を二つ検出し、該二つのプシュプル信号の位相
を比較してトラックピッチムラを測定する。
【００１１】また、本発明に係る光ディスク用トラック
ピッチムラ測定装置は、上記課題を解決するために、光
ディスクの隣接トラックの一方に二つのスポットの内の
一方のスポットをオントラックさせて、他方のスポット
の上記隣接トラックの他方に対して得られるプッシュプ
ル信号に応じてトラックピッチムラを測定する。
ピッチムラ測定装置は、上記課題を解決するために、光
ディスクの隣接トラックの一方に二つのスポットの内の
一方のスポットをオントラックさせて、他方のスポット
の上記隣接トラックの他方に対して得られるプッシュプ
ル信号に応じてトラックピッチムラを測定する。
【００１２】
【作用】光ディスクの半径方向のプッシュプル信号は感
度が非常に高いため、それぞれのスポットのプッシュプ
ル信号の位相検波により例えば０．０１μｍ程度の高い
分解能で、トラック単位のトラックピッチを測定でき
る。
度が非常に高いため、それぞれのスポットのプッシュプ
ル信号の位相検波により例えば０．０１μｍ程度の高い
分解能で、トラック単位のトラックピッチを測定でき
る。
【００１３】
【実施例】以下、本発明に係る光ディスク用トラックピ
ッチムラ測定装置のいくつかの実施例について図面を参
照しながら説明する。先ず、第１実施例は、図１に示す
ように、光源となるレーザダイオード（ＬＤ）２からの
レーザ光を対物レンズ６で収束して光ディスク７のトラ
ックに照射し、該トラックからの反射光に応じてトラッ
クピッチのムラを測定する光ディスク用トラックピッチ
ムラ測定装置１であり、光ディスク７の隣接トラックＴ
a，Ｔbのそれぞれの中心位置に二つのスポットＳa，Ｓb
をそれぞれ位置合わせして結像し、上記トラックに対し
て相対的に移動した上記二つのスポットＳa，Ｓbの反射
レーザ光から光ディスク７の半径方向のプッシュプル信
号を二つ検出し、該二つのプシュプル信号の位相を比較
してトラックピッチムラを測定する。
ッチムラ測定装置のいくつかの実施例について図面を参
照しながら説明する。先ず、第１実施例は、図１に示す
ように、光源となるレーザダイオード（ＬＤ）２からの
レーザ光を対物レンズ６で収束して光ディスク７のトラ
ックに照射し、該トラックからの反射光に応じてトラッ
クピッチのムラを測定する光ディスク用トラックピッチ
ムラ測定装置１であり、光ディスク７の隣接トラックＴ
a，Ｔbのそれぞれの中心位置に二つのスポットＳa，Ｓb
をそれぞれ位置合わせして結像し、上記トラックに対し
て相対的に移動した上記二つのスポットＳa，Ｓbの反射
レーザ光から光ディスク７の半径方向のプッシュプル信
号を二つ検出し、該二つのプシュプル信号の位相を比較
してトラックピッチムラを測定する。
【００１４】この光ディスク用トラックピッチムラ測定
装置１のＬＤ２から出射された拡散レーザ光は、コリメ
ータレンズ３で平行光束とされ、回折格子４、ビームス
プリッタ５を介して対物レンズ６に入射する。ここで、
回折格子４は、ＬＤ２と対物レンズ６との間に配設さ
れ、上記二つのレーザ光を発生する。
装置１のＬＤ２から出射された拡散レーザ光は、コリメ
ータレンズ３で平行光束とされ、回折格子４、ビームス
プリッタ５を介して対物レンズ６に入射する。ここで、
回折格子４は、ＬＤ２と対物レンズ６との間に配設さ
れ、上記二つのレーザ光を発生する。
【００１５】対物レンズ６は、図２に示すように上記二
つのレーザ光を光ディスク７の信号記録面のトラックＴ
a，ＴbにスポットＳa，Ｓbを形成するように集光する。
ここで、スポットＳaとスポットＳbのトラック方向の間
隔はＭ1とされる。光ディスク７の信号記録面のトラッ
クＴa，Ｔbからの反射光は、対物レンズ６を通った後、
ビームスプリッタ５の反射面５aで反射され、集光レン
ズ８を介して光検出部９に照射される。
つのレーザ光を光ディスク７の信号記録面のトラックＴ
a，ＴbにスポットＳa，Ｓbを形成するように集光する。
ここで、スポットＳaとスポットＳbのトラック方向の間
隔はＭ1とされる。光ディスク７の信号記録面のトラッ
クＴa，Ｔbからの反射光は、対物レンズ６を通った後、
ビームスプリッタ５の反射面５aで反射され、集光レン
ズ８を介して光検出部９に照射される。
【００１６】光検出部９は、ビームスプリッタ５により
反射された二つのレーザ光を空間分離検出する。すなわ
ち、光検出部９は、集光レンズ８によって集光された上
記二つのレーザ光を光ディスク７に対して平行な方向に
配設された２分割光検出器９ a，９bで検出する。この光
検出部９の２分割光検出器９a，９bは、対物レンズ６と
集光レンズ８の横倍率だけ空間的に分離されている。２
分割光検出器９aの受光面は、光ディスク７に対して平
行な方向に分割された二つの光検出領域９a1，９a2とさ
れる。また、２分割光検出器９bの受光面は、光ディス
ク７に対して平行な方向に分割された二つの光検出領域
９b1，９b2とされる。
反射された二つのレーザ光を空間分離検出する。すなわ
ち、光検出部９は、集光レンズ８によって集光された上
記二つのレーザ光を光ディスク７に対して平行な方向に
配設された２分割光検出器９ a，９bで検出する。この光
検出部９の２分割光検出器９a，９bは、対物レンズ６と
集光レンズ８の横倍率だけ空間的に分離されている。２
分割光検出器９aの受光面は、光ディスク７に対して平
行な方向に分割された二つの光検出領域９a1，９a2とさ
れる。また、２分割光検出器９bの受光面は、光ディス
ク７に対して平行な方向に分割された二つの光検出領域
９b1，９b2とされる。
【００１７】光検出部９に照射される上記二つの反射レ
ーザ光のスポットパターンを図３に示す。２分割光検出
器９aには、図２に示したスポットＳaからの反射レーザ
光によるスポットＳ' aが形成される。ここで、スポット
Ｓ' aの内、光検出領域９a1はトラックの回折光の０次光
と−１次光の干渉部Ｉ-を、光検出領域９a2は０次光と
＋１次光の干渉部Ｉ+を受光している。また、０次光の
部分Ｉ0は、光検出領域９a1、光検出領域９a2にまたが
るように受光されている。
ーザ光のスポットパターンを図３に示す。２分割光検出
器９aには、図２に示したスポットＳaからの反射レーザ
光によるスポットＳ' aが形成される。ここで、スポット
Ｓ' aの内、光検出領域９a1はトラックの回折光の０次光
と−１次光の干渉部Ｉ-を、光検出領域９a2は０次光と
＋１次光の干渉部Ｉ+を受光している。また、０次光の
部分Ｉ0は、光検出領域９a1、光検出領域９a2にまたが
るように受光されている。
【００１８】２分割光検出器９bには、スポットＳbから
の反射レーザ光によるスポットＳ' bが形成される。スポ
ットＳ' bの内、光検出領域９b1はトラックの回折光の０
次光と−１次光の干渉部Ｉ-を、光検出領域９b2は０次
光と＋１次光の干渉部Ｉ+を受光している。また、０次
光の部分Ｉ0は、光検出領域９b1、光検出領域９b2にま
たがるように受光されている。
の反射レーザ光によるスポットＳ' bが形成される。スポ
ットＳ' bの内、光検出領域９b1はトラックの回折光の０
次光と−１次光の干渉部Ｉ-を、光検出領域９b2は０次
光と＋１次光の干渉部Ｉ+を受光している。また、０次
光の部分Ｉ0は、光検出領域９b1、光検出領域９b2にま
たがるように受光されている。
【００１９】 ここで、光検出領域９a1の検出出力を
Ｄa1、光検出領域９a2の検出出力をＤa2、光検出領域９
b1の検出出力をＤb1、光検出領域９b2の検出出力Ｄb2と
すると、２つのスポットのプッシュプル信号Ｐa，Ｐ
bは、 Ｐa＝Ｄa1−Ｄa2 ・・・（２） Ｐb＝Ｄb1−Ｄb2 ・・・（３） と演算される。
Ｄa1、光検出領域９a2の検出出力をＤa2、光検出領域９
b1の検出出力をＤb1、光検出領域９b2の検出出力Ｄb2と
すると、２つのスポットのプッシュプル信号Ｐa，Ｐ
bは、 Ｐa＝Ｄa1−Ｄa2 ・・・（２） Ｐb＝Ｄb1−Ｄb2 ・・・（３） と演算される。
【００２０】この（２）、（３）式により得られた二つ
のプッシュプル信号Ｐa，Ｐbの半径方向の位相を比較す
るのが位相比較手段である後述する図６に示す位相差検
出回路１０である。先ず、光ディスク７上のスポットの
位置関係を図４に示し、スポットＳa，Ｓbが定速度でト
ラックを横切る場合を考慮する。時刻ｔ1のとき、トラ
ックピッチＴPがｑであるトラックＴa，Ｔbの中央にス
ポットＳa，Ｓbをそれぞれ配置する。光ディスク７に
は、周期的なトラックピッチのムラがあり、時刻ｔ2の
時、スポットＳa，ＳbはトラックピッチＴP＝ｑ＋Δｑ
のトラックＴn,Ｔn+1に来たとする。
のプッシュプル信号Ｐa，Ｐbの半径方向の位相を比較す
るのが位相比較手段である後述する図６に示す位相差検
出回路１０である。先ず、光ディスク７上のスポットの
位置関係を図４に示し、スポットＳa，Ｓbが定速度でト
ラックを横切る場合を考慮する。時刻ｔ1のとき、トラ
ックピッチＴPがｑであるトラックＴa，Ｔbの中央にス
ポットＳa，Ｓbをそれぞれ配置する。光ディスク７に
は、周期的なトラックピッチのムラがあり、時刻ｔ2の
時、スポットＳa，ＳbはトラックピッチＴP＝ｑ＋Δｑ
のトラックＴn,Ｔn+1に来たとする。
【００２１】このようなとき、スポットＳa，Ｓbのプッ
シュプル信号Ｐa（ｔ），Ｐb（ｔ）は、図５の（Ｂ），
図５の（Ａ）の様に示される。時刻ｔ1では、スポット
Ｓa，Ｓbのプッシュプル信号Ｐa（ｔ），Ｐb（ｔ）は位
相が一致している。しかし、時刻ｔ2のときスポットＳa
はトラックＴaの中央にあるためプッシュプル信号Ｐ
a（ｔ）は“０”であるが、スポットＳbはトラックＴb
のセンターからずれるので、プッシュプル信号Ｐ
b（ｔ）は“０”とならない。つまり、時刻ｔ2では、ス
ポットＳa，Ｓbのプッシュプル信号Ｐa（ｔ），Ｐ
b（ｔ）で位相差が生じてしまう。この位相差がトラッ
クピッチのムラとなる。
シュプル信号Ｐa（ｔ），Ｐb（ｔ）は、図５の（Ｂ），
図５の（Ａ）の様に示される。時刻ｔ1では、スポット
Ｓa，Ｓbのプッシュプル信号Ｐa（ｔ），Ｐb（ｔ）は位
相が一致している。しかし、時刻ｔ2のときスポットＳa
はトラックＴaの中央にあるためプッシュプル信号Ｐ
a（ｔ）は“０”であるが、スポットＳbはトラックＴb
のセンターからずれるので、プッシュプル信号Ｐ
b（ｔ）は“０”とならない。つまり、時刻ｔ2では、ス
ポットＳa，Ｓbのプッシュプル信号Ｐa（ｔ），Ｐ
b（ｔ）で位相差が生じてしまう。この位相差がトラッ
クピッチのムラとなる。
【００２２】スポットＳaのプッシュプル信号Ｐa（ｔ）
の立ち上がりゼロクロス時にスポットＳbのプッシュプ
ル信号Ｐb（ｔ）を同期検波すると、上記位相差が分か
る。また、スポットＳaのプッシュプル信号Ｐa（ｔ）の
立ち下がりゼロクロス時にスポットＳbのプッシュプル
信号Ｐb（ｔ）を同期検波しても、上記位相差が分か
る。さらに、立ち上がり、立ち下がり時を加算しても良
い。図５の（Ｃ）に同期検波された信号、つまり位相差
を示す。
の立ち上がりゼロクロス時にスポットＳbのプッシュプ
ル信号Ｐb（ｔ）を同期検波すると、上記位相差が分か
る。また、スポットＳaのプッシュプル信号Ｐa（ｔ）の
立ち下がりゼロクロス時にスポットＳbのプッシュプル
信号Ｐb（ｔ）を同期検波しても、上記位相差が分か
る。さらに、立ち上がり、立ち下がり時を加算しても良
い。図５の（Ｃ）に同期検波された信号、つまり位相差
を示す。
【００２３】このような原理で位相差を検出するのが、
図６に示す位相差検出回路１０である。この位相差検出
回路１０は、入力端子１３から供給されるスポットＳa
のプッシュプル信号Ｐa（ｔ）をコンパレータ１４でコ
ンパレートし、立ち上がり検出回路１５で検出した立ち
上がり信号をサンプリングクロックとして、スポットＳ
bのプッシュプル信号Ｐb（ｔ）をサンプルホールド回路
１２でサンプルホールドする。サンプルホールド回路１
２から出力端子１６を介して導出される信号が位相差信
号Ｄ（ｔ）となる。
図６に示す位相差検出回路１０である。この位相差検出
回路１０は、入力端子１３から供給されるスポットＳa
のプッシュプル信号Ｐa（ｔ）をコンパレータ１４でコ
ンパレートし、立ち上がり検出回路１５で検出した立ち
上がり信号をサンプリングクロックとして、スポットＳ
bのプッシュプル信号Ｐb（ｔ）をサンプルホールド回路
１２でサンプルホールドする。サンプルホールド回路１
２から出力端子１６を介して導出される信号が位相差信
号Ｄ（ｔ）となる。
【００２４】この位相差信号Ｄ（ｔ）をトラックピッチ
ムラに換算する式を以下に説明する。平均トラックピッ
チは、上述した図１２に示したような従来のトラックピ
ッチ測定装置５０で測定する。平均トラックピッチが
ｑ、スポットの移動速度がｖ，トラックピッチのムラの
周期がω／２πであるとき、スポットＳaのプッシュプ
ル信号Ｐa（ｔ）は近似的に、次の（４）式のように、
ムラに換算する式を以下に説明する。平均トラックピッ
チは、上述した図１２に示したような従来のトラックピ
ッチ測定装置５０で測定する。平均トラックピッチが
ｑ、スポットの移動速度がｖ，トラックピッチのムラの
周期がω／２πであるとき、スポットＳaのプッシュプ
ル信号Ｐa（ｔ）は近似的に、次の（４）式のように、
【００２５】
【数２】
【００２６】となる。また、スポットＳbのプッシュプ
ル信号Ｐb（ｔ）は近似的に、次の（５）式のように、
ル信号Ｐb（ｔ）は近似的に、次の（５）式のように、
【００２７】
【数３】
【００２８】となる。また、同期検波された位相差信号
Ｄ（ｔ）は近似的に、次の（６）式のように、
Ｄ（ｔ）は近似的に、次の（６）式のように、
【００２９】
【数４】
【００３０】となる。したがって、最大ピッチムラΔｑ
は、同期検波された信号の最大値をＤmaxとすると、次
の（７）式のように、
は、同期検波された信号の最大値をＤmaxとすると、次
の（７）式のように、
【００３１】
【数５】
【００３２】となる。以上のようにして、この第１実施
例の光ディスク用トラックピッチムラ測定装置１は、ト
ラックピッチをトラック単位に例えば０．０１μｍ程度
の高い分解能で測定できるので、トラックピッチムラを
検出できる。
例の光ディスク用トラックピッチムラ測定装置１は、ト
ラックピッチをトラック単位に例えば０．０１μｍ程度
の高い分解能で測定できるので、トラックピッチムラを
検出できる。
【００３３】なお、この第１実施例の光ディスク用トラ
ックピッチムラ測定装置１では、同期検波を行わないで
トラックピッチを測定することもできる。これは、オシ
ロスコープや、ペンレコーダ等に図７に示すようなリサ
ージュを描いて、その楕円率から位相比較を行うことに
より、トラックピッチを測定する方法である。スポット
Ｓaの半径方向のプッシュプル信号Ｐa（ｔ）をｘ軸、ス
ポットＳbのプッシュプル信号Ｐb（ｔ）をｙ軸になるよ
うにリサージュを描く。ここで、上記（４）式、（５）
式からも明らかなようにピッチムラ、つまりΔｑが
“０”のときは、位相差が生じないので、リサージュは
１本の線となる。そうでないときには、図７のように楕
円を描く。この楕円は、次の（８）式に示すように、
ックピッチムラ測定装置１では、同期検波を行わないで
トラックピッチを測定することもできる。これは、オシ
ロスコープや、ペンレコーダ等に図７に示すようなリサ
ージュを描いて、その楕円率から位相比較を行うことに
より、トラックピッチを測定する方法である。スポット
Ｓaの半径方向のプッシュプル信号Ｐa（ｔ）をｘ軸、ス
ポットＳbのプッシュプル信号Ｐb（ｔ）をｙ軸になるよ
うにリサージュを描く。ここで、上記（４）式、（５）
式からも明らかなようにピッチムラ、つまりΔｑが
“０”のときは、位相差が生じないので、リサージュは
１本の線となる。そうでないときには、図７のように楕
円を描く。この楕円は、次の（８）式に示すように、
【００３４】
【数６】
【００３５】と表せる。測定された長径をＬx、短径を
Ｌyとすると、次の（９）式が得られる。
Ｌyとすると、次の（９）式が得られる。
【００３６】
【数７】
【００３７】そして、ピッチムラΔｑは、
【００３８】
【数８】
【００３９】となる。つまり、同期検波を行わないでも
トラックピッチを測定し、トラックピッチムラを検出で
きる。次に、第２実施例も、図８に示すように、ＬＤ２
１からのレーザ光を対物レンズ２６で収束して光ディス
ク２７のトラックに照射し、該トラックからの反射光に
応じてトラックピッチのムラを測定する光ディスク用ト
ラックピッチムラ測定装置２０であり、光ディスク２７
の隣接トラックＴa，Ｔbのそれぞれの中心位置に二つの
スポットＳa，Ｓbをそれぞれ位置合わせして結像し、上
記トラックに対して相対的に移動した上記二つのスポッ
トＳa，Ｓbの反射レーザ光から光ディスク７の半径方向
のプッシュプル信号を二つ検出し、該二つのプシュプル
信号の位相を比較してトラックピッチムラを測定する。
トラックピッチを測定し、トラックピッチムラを検出で
きる。次に、第２実施例も、図８に示すように、ＬＤ２
１からのレーザ光を対物レンズ２６で収束して光ディス
ク２７のトラックに照射し、該トラックからの反射光に
応じてトラックピッチのムラを測定する光ディスク用ト
ラックピッチムラ測定装置２０であり、光ディスク２７
の隣接トラックＴa，Ｔbのそれぞれの中心位置に二つの
スポットＳa，Ｓbをそれぞれ位置合わせして結像し、上
記トラックに対して相対的に移動した上記二つのスポッ
トＳa，Ｓbの反射レーザ光から光ディスク７の半径方向
のプッシュプル信号を二つ検出し、該二つのプシュプル
信号の位相を比較してトラックピッチムラを測定する。
【００４０】この光ディスク用トラックピッチムラ測定
装置２０のＬＤ２１から出射された拡散レーザ光は、コ
リメータレンズ２２で平行光束とされ、１／２波長板２
３、ウォラストンプリズム２４、ビームスプリッタ２５
を介して対物レンズ２６に入射する。対物レンズ２６
は、図９に示すように上記二つのレーザ光を光ディスク
２７の信号記録面のトラックＴa，ＴbにスポットＳa，
Ｓbを形成するように集光する。ここで、スポットＳaと
スポットＳbとの間隔は、ウォラストンプリズム２４を
二つのレーザ光を形成するのに用いていることにより、
Ｍ2（Ｍ1＞Ｍ2）となる。
装置２０のＬＤ２１から出射された拡散レーザ光は、コ
リメータレンズ２２で平行光束とされ、１／２波長板２
３、ウォラストンプリズム２４、ビームスプリッタ２５
を介して対物レンズ２６に入射する。対物レンズ２６
は、図９に示すように上記二つのレーザ光を光ディスク
２７の信号記録面のトラックＴa，ＴbにスポットＳa，
Ｓbを形成するように集光する。ここで、スポットＳaと
スポットＳbとの間隔は、ウォラストンプリズム２４を
二つのレーザ光を形成するのに用いていることにより、
Ｍ2（Ｍ1＞Ｍ2）となる。
【００４１】光ディスク２７の信号記録面のトラックＴ
a，Ｔbからの反射光は、対物レンズ２６を通った後、ビ
ームスプリッタ２５の反射面２５ａで反射され、１／２
波長板２８を介して偏光ビームスプリッタ２９に入射す
る。偏光ビームスプリッタ２９は、レーザ光の一部を偏
光方向に応じて透過させ集光レンズ３０ａに入射させる
一方、他の一部を反射面２９ａ及び反射面２９ｂで反射
して集光レンズ３０ｂに入射させる。集光レンズ３０ａ
は、偏光ビームスプリッタ２９を透過したレーザ光を集
光して光検出部３１の２分割光検出器３１ａに照射す
る。また、集光レンズ３０ｂは、偏光ビームスプリッタ
２９で反射されたレーザ光を集光して光検出部３１の２
分割光検出器３１ａに照射する。
a，Ｔbからの反射光は、対物レンズ２６を通った後、ビ
ームスプリッタ２５の反射面２５ａで反射され、１／２
波長板２８を介して偏光ビームスプリッタ２９に入射す
る。偏光ビームスプリッタ２９は、レーザ光の一部を偏
光方向に応じて透過させ集光レンズ３０ａに入射させる
一方、他の一部を反射面２９ａ及び反射面２９ｂで反射
して集光レンズ３０ｂに入射させる。集光レンズ３０ａ
は、偏光ビームスプリッタ２９を透過したレーザ光を集
光して光検出部３１の２分割光検出器３１ａに照射す
る。また、集光レンズ３０ｂは、偏光ビームスプリッタ
２９で反射されたレーザ光を集光して光検出部３１の２
分割光検出器３１ａに照射する。
【００４２】ここで、ウォラストンプリズム２４は、Ｌ
Ｄ２１と対物レンズ２６との間に配設されている。すな
わち、上記二つのレーザ光は、ＬＤ２１と対物レンズ２
６との間に配設されたウォラストンプリズム２４により
発生される。ウォラストンプリズム２４は、１／２波長
板２３を通過した時点で位相差が９０度変えられたレー
ザ光、すなわち円偏光されたレーザ光を図中矢印方向に
電気ベクトルＥeoを持つ常光と、電気ベクトルＥoを持
つ異常光に分離する。
Ｄ２１と対物レンズ２６との間に配設されている。すな
わち、上記二つのレーザ光は、ＬＤ２１と対物レンズ２
６との間に配設されたウォラストンプリズム２４により
発生される。ウォラストンプリズム２４は、１／２波長
板２３を通過した時点で位相差が９０度変えられたレー
ザ光、すなわち円偏光されたレーザ光を図中矢印方向に
電気ベクトルＥeoを持つ常光と、電気ベクトルＥoを持
つ異常光に分離する。
【００４３】上記レーザ光の上記常光と異常光は、ビー
ムスプリッタ２５を透過した後、対物レンズ２６によ
り、光ディスク２７の信号記録面のトラックＴa，Ｔbに
スポットＳa，Ｓbを形成するように集光される。光ディ
スク２７の信号記録面からの反射光は、対物レンズ２６
を通った後、ビームスプリッタ２５の反射面２５ａで反
射されてから、１／２波長板２８を介して偏光ビームス
プリッタ２９に達する。１／２波長板２８は、上記反射
光に位相差９０゜を持たせる。このため、偏光ビームス
プリッタ２９は、上記反射レーザ光の常光を透過すると
共に、反射レーザ光の異常光を反射面２９a、２９bで反
射する。集光レンズ３０aは、偏光ビームスプリッタ２
９を透過した上記常光を集光して光検出部３１の２分割
光検出器３１aに照射する。また、集光レンズ３０bは、
偏光ビームスプリッタ２９で反射された上記異常光を集
光して光検出部３１の２分割光検出器３１aに照射す
る。
ムスプリッタ２５を透過した後、対物レンズ２６によ
り、光ディスク２７の信号記録面のトラックＴa，Ｔbに
スポットＳa，Ｓbを形成するように集光される。光ディ
スク２７の信号記録面からの反射光は、対物レンズ２６
を通った後、ビームスプリッタ２５の反射面２５ａで反
射されてから、１／２波長板２８を介して偏光ビームス
プリッタ２９に達する。１／２波長板２８は、上記反射
光に位相差９０゜を持たせる。このため、偏光ビームス
プリッタ２９は、上記反射レーザ光の常光を透過すると
共に、反射レーザ光の異常光を反射面２９a、２９bで反
射する。集光レンズ３０aは、偏光ビームスプリッタ２
９を透過した上記常光を集光して光検出部３１の２分割
光検出器３１aに照射する。また、集光レンズ３０bは、
偏光ビームスプリッタ２９で反射された上記異常光を集
光して光検出部３１の２分割光検出器３１aに照射す
る。
【００４４】光検出部３１は、２分割光検出器３１aで
上記常光を検出し、２分割光検出器３１bで上記異常光
を検出する。この２分割光検出器３１aの受光面は、光
ディスク７に対して平行な方向に分割された二つの光検
出領域３１a1，３１a2とされる。また、２分割光検出器
３１bの受光面は、光ディスク７に対して平行な方向に
分割された二つの光検出領域３１b1，３１b2とされる。
上記常光を検出し、２分割光検出器３１bで上記異常光
を検出する。この２分割光検出器３１aの受光面は、光
ディスク７に対して平行な方向に分割された二つの光検
出領域３１a1，３１a2とされる。また、２分割光検出器
３１bの受光面は、光ディスク７に対して平行な方向に
分割された二つの光検出領域３１b1，３１b2とされる。
【００４５】光検出部３１に照射される上記二つの反射
レーザ光のスポットパターンも図３に示すようになる。
すなわち、２分割光検出器３１aには、図９に示したス
ポットＳaからの反射レーザ光によるスポットＳ' aが形
成される。ここで、スポットＳ' aの内、光検出領域３１
a1はトラックの回折光の０次光と−１次光の干渉部Ｉ -
を、光検出領域３１a2は０次光と＋１次光の干渉部Ｉ+
を受光している。また、０次光の部分Ｉ0は、光検出領
域３１a1、光検出領域３１a2にまたがるように受光され
ている。
レーザ光のスポットパターンも図３に示すようになる。
すなわち、２分割光検出器３１aには、図９に示したス
ポットＳaからの反射レーザ光によるスポットＳ' aが形
成される。ここで、スポットＳ' aの内、光検出領域３１
a1はトラックの回折光の０次光と−１次光の干渉部Ｉ -
を、光検出領域３１a2は０次光と＋１次光の干渉部Ｉ+
を受光している。また、０次光の部分Ｉ0は、光検出領
域３１a1、光検出領域３１a2にまたがるように受光され
ている。
【００４６】２分割光検出器３１bには、スポットＳbか
らの反射レーザ光によるスポットＳ ' bが形成される。ス
ポットＳ' bの内、光検出領域３１b1はトラックの回折光
の０次光と−１次光の干渉部Ｉ-を、光検出領域３１b2
は０次光と＋１次光の干渉部Ｉ+を受光している。ま
た、０次光の部分Ｉ0は、光検出領域３１b1、光検出領
域３１b2にまたがるように受光されている。
らの反射レーザ光によるスポットＳ ' bが形成される。ス
ポットＳ' bの内、光検出領域３１b1はトラックの回折光
の０次光と−１次光の干渉部Ｉ-を、光検出領域３１b2
は０次光と＋１次光の干渉部Ｉ+を受光している。ま
た、０次光の部分Ｉ0は、光検出領域３１b1、光検出領
域３１b2にまたがるように受光されている。
【００４７】 ここで、光検出領域３１a1の検出出力をＤ
a1、光検出領域３１a2の検出出力をＤa2、光検出領域３
１b1の検出出力をＤb1、光検出領域３１b2の検出出力Ｄ
b2とすると、２つのスポットのプッシュプル信号Ｐa，
Ｐbは、上記演算手段により、上記（１）、（２）式と
同様に演算される。
a1、光検出領域３１a2の検出出力をＤa2、光検出領域３
１b1の検出出力をＤb1、光検出領域３１b2の検出出力Ｄ
b2とすると、２つのスポットのプッシュプル信号Ｐa，
Ｐbは、上記演算手段により、上記（１）、（２）式と
同様に演算される。
【００４８】この演算手段により得られた二つのプッシ
ュプル信号Ｐa，Ｐbを図６に示した位相差検出回路１０
に入力させて位相差信号Ｄ（ｔ）を求め、上述したよう
に該位相差信号Ｄ（ｔ）からトラックピッチを測定し、
トラックピッチムラを求めることができる。
ュプル信号Ｐa，Ｐbを図６に示した位相差検出回路１０
に入力させて位相差信号Ｄ（ｔ）を求め、上述したよう
に該位相差信号Ｄ（ｔ）からトラックピッチを測定し、
トラックピッチムラを求めることができる。
【００４９】以上のようにして、この第２実施例の光デ
ィスク用トラックピッチムラ測定装置２０は、トラック
ピッチをトラック単位に例えば０．０１μｍ程度の高い
分解能で測定できるので、トラックピッチムラを検出で
きる。なお、この第２実施例の光ディスク用トラックピ
ッチムラ測定装置２０でも、図７に示すようなリサージ
ュを使って、同期検波を行わないでトラックピッチを測
定することもできる。つまり、同期検波を行わないでも
トラックピッチを測定し、トラックピッチムラを検出で
きる。
ィスク用トラックピッチムラ測定装置２０は、トラック
ピッチをトラック単位に例えば０．０１μｍ程度の高い
分解能で測定できるので、トラックピッチムラを検出で
きる。なお、この第２実施例の光ディスク用トラックピ
ッチムラ測定装置２０でも、図７に示すようなリサージ
ュを使って、同期検波を行わないでトラックピッチを測
定することもできる。つまり、同期検波を行わないでも
トラックピッチを測定し、トラックピッチムラを検出で
きる。
【００５０】次に、第３実施例は、図１０に示すような
構成とされている。この第３実施例は、上記第２実施例
と同様にウォラストンプリズム２４によりレーザ光を図
中矢印方向に電気ベクトルＥeoを持つ常光と、電気ベク
トルＥoを持つ異常光に分離する。
構成とされている。この第３実施例は、上記第２実施例
と同様にウォラストンプリズム２４によりレーザ光を図
中矢印方向に電気ベクトルＥeoを持つ常光と、電気ベク
トルＥoを持つ異常光に分離する。
【００５１】この光ディスク用トラックピッチムラ測定
装置３２のＬＤ２１から出射された拡散レーザ光は、コ
リメータレンズ２２で平行光束とされ、１／２波長板２
３、ウォラストンプリズム２４、ビームスプリッタ２５
を介して対物レンズ２６に入射する。対物レンズ２６
は、図１１に示すように上記二つのレーザ光を光ディス
ク２７の信号記録面のトラックＴa，Ｔbにスポット
Ｓa，Ｓbを形成するように集光する。光ディスク２７の
信号記録面のトラックＴa，Ｔbからの反射光は、対物レ
ンズ２６を通った後、ビームスプリッタ２５の反射面２
５aで反射され、１／２波長板２８を介してウォラスト
ンプリズム３３に入射する。ウォラストンプリズム３３
は、１／２波長板２８で９０゜の位相差が与えられた上
記反射レーザ光を上下方向に異常光、常光として分離す
る。この異常光、常光は、集光レンズ３４により光検出
部３５に照射される。
装置３２のＬＤ２１から出射された拡散レーザ光は、コ
リメータレンズ２２で平行光束とされ、１／２波長板２
３、ウォラストンプリズム２４、ビームスプリッタ２５
を介して対物レンズ２６に入射する。対物レンズ２６
は、図１１に示すように上記二つのレーザ光を光ディス
ク２７の信号記録面のトラックＴa，Ｔbにスポット
Ｓa，Ｓbを形成するように集光する。光ディスク２７の
信号記録面のトラックＴa，Ｔbからの反射光は、対物レ
ンズ２６を通った後、ビームスプリッタ２５の反射面２
５aで反射され、１／２波長板２８を介してウォラスト
ンプリズム３３に入射する。ウォラストンプリズム３３
は、１／２波長板２８で９０゜の位相差が与えられた上
記反射レーザ光を上下方向に異常光、常光として分離す
る。この異常光、常光は、集光レンズ３４により光検出
部３５に照射される。
【００５２】光検出部３５は、上下方向に配設された二
つの２分割光検出器３５a、３５bにより構成されてい
る。２分割光検出器３５aは、上記常光を検出する。ま
た、２分割光検出器３５bは、上記異常光を検出する。
２分割光検出器３５aの受光面は、光ディスク２７に対
して平行な方向に分割された二つの光検出領域３５a1，
３５a2とされる。また、２分割光検出器３５bの受光面
は、光ディスク２に対して平行な方向に分割された二つ
の光検出領域３５b1，３５b2とされる。
つの２分割光検出器３５a、３５bにより構成されてい
る。２分割光検出器３５aは、上記常光を検出する。ま
た、２分割光検出器３５bは、上記異常光を検出する。
２分割光検出器３５aの受光面は、光ディスク２７に対
して平行な方向に分割された二つの光検出領域３５a1，
３５a2とされる。また、２分割光検出器３５bの受光面
は、光ディスク２に対して平行な方向に分割された二つ
の光検出領域３５b1，３５b2とされる。
【００５３】光検出部３５に照射される上記二つの反射
レーザ光のスポットパターンは、図１１に示すようにな
る。すなわち、２分割光検出器３５aには、図９に示し
たスポットＳaからの反射レーザ光によるスポットＳ' a
が形成される。ここで、スポットＳ' aの内、光検出領域
３５a1はトラックの回折光の０次光と−１次光の干渉部
Ｉ-を、光検出領域３５a2は０次光と＋１次光の干渉部
Ｉ+を受光している。また、０次光の部分Ｉ0は、光検出
領域３５a1、光検出領域３５a2にまたがるように受光さ
れている。
レーザ光のスポットパターンは、図１１に示すようにな
る。すなわち、２分割光検出器３５aには、図９に示し
たスポットＳaからの反射レーザ光によるスポットＳ' a
が形成される。ここで、スポットＳ' aの内、光検出領域
３５a1はトラックの回折光の０次光と−１次光の干渉部
Ｉ-を、光検出領域３５a2は０次光と＋１次光の干渉部
Ｉ+を受光している。また、０次光の部分Ｉ0は、光検出
領域３５a1、光検出領域３５a2にまたがるように受光さ
れている。
【００５４】２分割光検出器３５bには、スポットＳbか
らの反射レーザ光によるスポットＳ ' bが形成される。ス
ポットＳ' bの内、光検出領域３５b1はトラックの回折光
の０次光と−１次光の干渉部Ｉ-を、光検出領域３５b2
は０次光と＋１次光の干渉部Ｉ+を受光している。ま
た、０次光の部分Ｉ0は、光検出領域３５b1、光検出領
域３５b2にまたがるように受光されている。
らの反射レーザ光によるスポットＳ ' bが形成される。ス
ポットＳ' bの内、光検出領域３５b1はトラックの回折光
の０次光と−１次光の干渉部Ｉ-を、光検出領域３５b2
は０次光と＋１次光の干渉部Ｉ+を受光している。ま
た、０次光の部分Ｉ0は、光検出領域３５b1、光検出領
域３５b2にまたがるように受光されている。
【００５５】ここで、光検出領域３５a1の検出出力をＤ
a1、光検出領域３５a2の検出出力をＤa2、光検出領域３
５b1の検出出力をＤb1、光検出領域３５b2の検出出力Ｄ
b2とすると、２つのスポットのプッシュプル信号Ｐa，
Ｐbは、上記演算手段により、上記（１）、（２）式と
同様に演算される。
a1、光検出領域３５a2の検出出力をＤa2、光検出領域３
５b1の検出出力をＤb1、光検出領域３５b2の検出出力Ｄ
b2とすると、２つのスポットのプッシュプル信号Ｐa，
Ｐbは、上記演算手段により、上記（１）、（２）式と
同様に演算される。
【００５６】この演算手段により得られた二つのプッシ
ュプル信号Ｐa，Ｐbを図６に示した位相差検出回路１０
に入力させて位相差信号Ｄ（ｔ）を求め、上述したよう
に該位相差信号Ｄ（ｔ）からトラックピッチを測定し、
トラックピッチムラを求めることができる。
ュプル信号Ｐa，Ｐbを図６に示した位相差検出回路１０
に入力させて位相差信号Ｄ（ｔ）を求め、上述したよう
に該位相差信号Ｄ（ｔ）からトラックピッチを測定し、
トラックピッチムラを求めることができる。
【００５７】以上のようにして、この第３実施例の光デ
ィスク用トラックピッチムラ測定装置３２は、トラック
ピッチをトラック単位に例えば０．０１μｍ程度の高い
分解能で測定できるので、トラックピッチムラを検出で
きる。なお、この第３実施例の光ディスク用トラックピ
ッチムラ測定装置３２でも、図７に示すようなリサージ
ュを使って、同期検波を行わないでトラックピッチを測
定することもできる。つまり、同期検波を行わないでも
トラックピッチを測定し、トラックピッチムラを検出で
きる。
ィスク用トラックピッチムラ測定装置３２は、トラック
ピッチをトラック単位に例えば０．０１μｍ程度の高い
分解能で測定できるので、トラックピッチムラを検出で
きる。なお、この第３実施例の光ディスク用トラックピ
ッチムラ測定装置３２でも、図７に示すようなリサージ
ュを使って、同期検波を行わないでトラックピッチを測
定することもできる。つまり、同期検波を行わないでも
トラックピッチを測定し、トラックピッチムラを検出で
きる。
【００５８】また、上記第１〜第３実施例においては、
フォーカスサーボ用に、非点収差光学部品又はナイフエ
ッジ光学部品、作動同心円光学部品を用いてもよい。さ
らに、本発明に係る光ディスク用トラックピッチムラ測
定装置は、回折格子を用いてレーザ光を二つに分離し、
光ディスクの隣接トラックの一方に二つのスポットの内
の一方のスポットをオントラックさせ、他方のスポット
の上記隣接トラックの他方に対して得られるプッシュプ
ル信号に応じてトラックピッチムラを測定してもよい。
フォーカスサーボ用に、非点収差光学部品又はナイフエ
ッジ光学部品、作動同心円光学部品を用いてもよい。さ
らに、本発明に係る光ディスク用トラックピッチムラ測
定装置は、回折格子を用いてレーザ光を二つに分離し、
光ディスクの隣接トラックの一方に二つのスポットの内
の一方のスポットをオントラックさせ、他方のスポット
の上記隣接トラックの他方に対して得られるプッシュプ
ル信号に応じてトラックピッチムラを測定してもよい。
【００５９】またさらに、本発明に係る光ディスク用ト
ラックピッチムラ測定装置は、ウォラストンプリズムを
用いてレーザ光を常光と異常光の二つに分離し、光ディ
スクの隣接トラックの一方に二つのスポットの内の一方
のスポットをオントラックさせ、他方のスポットの上記
隣接トラックの他方に対して得られるプッシュプル信号
に応じてトラックピッチムラを測定してもよい。
ラックピッチムラ測定装置は、ウォラストンプリズムを
用いてレーザ光を常光と異常光の二つに分離し、光ディ
スクの隣接トラックの一方に二つのスポットの内の一方
のスポットをオントラックさせ、他方のスポットの上記
隣接トラックの他方に対して得られるプッシュプル信号
に応じてトラックピッチムラを測定してもよい。
【００６０】
【発明の効果】本発明に係る光ディスク用トラックピッ
チムラ測定装置は、光ディスクの隣接トラックのそれぞ
れの中心位置に二つのスポットをそれぞれ位置合わせし
て結像し、上記トラックに対して相対的に移動した上記
二つのスポットの反射光から上記光ディスクの半径方向
のプッシュプル信号を二つ検出し、該二つのプシュプル
信号の位相を比較してトラックピッチムラを測定するの
で、トラック単位に例えば０．０１μｍ程度の高い分解
能でトラックピッチのムラを測定できる。
チムラ測定装置は、光ディスクの隣接トラックのそれぞ
れの中心位置に二つのスポットをそれぞれ位置合わせし
て結像し、上記トラックに対して相対的に移動した上記
二つのスポットの反射光から上記光ディスクの半径方向
のプッシュプル信号を二つ検出し、該二つのプシュプル
信号の位相を比較してトラックピッチムラを測定するの
で、トラック単位に例えば０．０１μｍ程度の高い分解
能でトラックピッチのムラを測定できる。
【００６１】また、本発明に係る光ディスク用トラック
ピッチムラ測定装置は、光ディスクの隣接トラックの一
方に二つのスポットの内の一方のスポットをオントラッ
ク制御し、他方のスポットの上記隣接トラックの他方に
対して得られるプッシュプル信号に応じてトラックピッ
チムラを測定するので、トラック単位に例えば０．０１
μｍ程度の高い分解能でトラックピッチのムラを測定で
きる。
ピッチムラ測定装置は、光ディスクの隣接トラックの一
方に二つのスポットの内の一方のスポットをオントラッ
ク制御し、他方のスポットの上記隣接トラックの他方に
対して得られるプッシュプル信号に応じてトラックピッ
チムラを測定するので、トラック単位に例えば０．０１
μｍ程度の高い分解能でトラックピッチのムラを測定で
きる。
【図１】本発明に係る光ディスク用トラックピッチムラ
測定装置の第１実施例の概略構成図である。
測定装置の第１実施例の概略構成図である。
【図２】上記第１実施例の光ディスク用トラックピッチ
ムラ測定装置により照射された二つのレーザ光の光ディ
スク上での照射状態図である。
ムラ測定装置により照射された二つのレーザ光の光ディ
スク上での照射状態図である。
【図３】上記第１実施例の光ディスク用トラックピッチ
ムラ測定装置における光ディスクからの反射レーザ光の
光検出部上での照射状態図である。
ムラ測定装置における光ディスクからの反射レーザ光の
光検出部上での照射状態図である。
【図４】上記第１実施例の光ディスク用トラックピッチ
ムラ測定装置により照射された二つのレーザ光の光ディ
スク上でのスポットの位置を示す照射状態図である。
ムラ測定装置により照射された二つのレーザ光の光ディ
スク上でのスポットの位置を示す照射状態図である。
【図５】上記第１実施例の光ディスク用トラックピッチ
ムラ測定装置によるプッシュプル信号を用いた位相差検
出の原理図である。
ムラ測定装置によるプッシュプル信号を用いた位相差検
出の原理図である。
【図６】上記第１実施例の光ディスク用トラックピッチ
ムラ測定装置で用いられる位相差検出回路のブロック図
である。
ムラ測定装置で用いられる位相差検出回路のブロック図
である。
【図７】上記第１実施例の光ディスク用トラックピッチ
ムラ測定装置において同期検波を行わないでトラックピ
ッチを測定する方法を説明するためのプッシュプル信号
のリサージュ図である。
ムラ測定装置において同期検波を行わないでトラックピ
ッチを測定する方法を説明するためのプッシュプル信号
のリサージュ図である。
【図８】本発明に係る光ディスク用トラックピッチムラ
測定装置の第２実施例の概略構成図である。
測定装置の第２実施例の概略構成図である。
【図９】上記第２実施例の光ディスク用トラックピッチ
ムラ測定装置により照射された二つのレーザ光の光ディ
スク上での照射状態図である。
ムラ測定装置により照射された二つのレーザ光の光ディ
スク上での照射状態図である。
【図１０】本発明に係る光ディスク用トラックピッチム
ラ測定装置の第３実施例の概略構成図である。
ラ測定装置の第３実施例の概略構成図である。
【図１１】上記第３実施例の光ディスク用トラックピッ
チムラ測定装置における光ディスクからの反射レーザ光
の光検出部上での照射状態図である。
チムラ測定装置における光ディスクからの反射レーザ光
の光検出部上での照射状態図である。
【図１２】従来のトラックピッチ測定装置の概略構成図
である。
である。
１ 光ディスク用トラックピッチムラ測定装置 ２ レーザダイオード ３ コリメータレンズ ４ 回折格子 ５ ビームスプリッタ ６ 対物レンズ ７ 光ディスク ８ 集光レンズ ９ 光検出部
Claims (8)
- 【請求項１】 光源からの光を対物レンズで収束して光
ディスクのトラックに照射し、該トラックからの反射光
に応じてトラックピッチのムラを測定する光ディスク用
トラックピッチムラ測定装置であって、 上記光ディスクの隣接トラックのそれぞれの中心位置に
二つのスポットをそれぞれ位置合わせして結像し、上記
トラックに対して相対的に移動した上記二つのスポット
の反射光から上記光ディスクの半径方向のプッシュプル
信号を二つ検出し、該二つのプシュプル信号の位相を比
較してトラックピッチムラを測定することを特徴とする
光ディスク用トラックピッチムラ測定装置。 - 【請求項２】 上記対物レンズと上記光源との間に回折
格子を設けて上記二つのスポットを形成し、この二つの
スポットに応じた上記二つのプッシュプル信号を受光素
子上で空間分離検出することを特徴とする請求項１記載
の光ディスク用トラックピッチムラ測定装置。 - 【請求項３】 上記対物レンズと上記光源との間にウォ
ラストンプリズムを設けて上記二つのスポットを形成
し、この二つのスポットの反射光を偏光分離素子で偏光
分離してから上記二つのプッシュプル信号を受光素子上
で空間分離検出することを特徴とする請求項１記載の光
ディスク用トラックピッチムラ測定装置。 - 【請求項４】 上記二つのスポットの内の一方のスポッ
トの上記半径方向のプッシュプル信号のゼロクロス点で
他方のプッシュプル信号を同期検波して位相比較を行う
ことを特徴とする請求項１記載の光ディスク用トラック
ピッチムラ測定装置。 - 【請求項５】 上記二つのスポットの内の一方のスポッ
トの上記光ディスクの半径方向のプッシュプル信号をｘ
軸、他方のスポットの上記半径方向のプッシュプル信号
をｙ軸として得られた楕円の楕円率から位相比較を行う
ことを特徴とする請求項１記載の光ディスク用トラック
ピッチムラ測定装置。 - 【請求項６】 光源からの光を対物レンズで収束して光
ディスクのトラックに照射し、該トラックからの反射光
に応じてトラックピッチのムラを測定する光ディスク用
トラックピッチムラ測定装置であって、 上記光ディスクの隣接トラックの一方に二つのスポット
の内の一方のスポットをオントラックさせて、他方のス
ポットの上記隣接トラックの他方に対して得られるプッ
シュプル信号に応じてトラックピッチムラを測定するこ
とを特徴とする光ディスク用トラックピッチムラ測定装
置。 - 【請求項７】 上記対物レンズと上記光源との間に回折
格子を設けて上記二つのスポットを形成することを特徴
とする請求項６記載の光ディスク用トラックピッチムラ
測定装置。 - 【請求項８】 上記対物レンズと上記光源との間にウォ
ラストンプリズムを設けて上記二つのスポットを形成す
ることを特徴とする請求項６記載の光ディスク用トラッ
クピッチムラ測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13441795A JPH08329533A (ja) | 1995-05-31 | 1995-05-31 | 光ディスク用トラックピッチムラ測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13441795A JPH08329533A (ja) | 1995-05-31 | 1995-05-31 | 光ディスク用トラックピッチムラ測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08329533A true JPH08329533A (ja) | 1996-12-13 |
Family
ID=15127906
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13441795A Withdrawn JPH08329533A (ja) | 1995-05-31 | 1995-05-31 | 光ディスク用トラックピッチムラ測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08329533A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7200095B2 (en) | 2002-09-13 | 2007-04-03 | Pioneer Corporation | Method and apparatus for measuring a minute pitch |
| CN103673899A (zh) * | 2013-12-12 | 2014-03-26 | 哈尔滨工业大学 | 一种可测竖直位移的两轴光栅位移测量系统 |
| CN112964209A (zh) * | 2021-04-21 | 2021-06-15 | 哈尔滨理工大学 | 一种基于接触式测量的离轴检测法 |
-
1995
- 1995-05-31 JP JP13441795A patent/JPH08329533A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7200095B2 (en) | 2002-09-13 | 2007-04-03 | Pioneer Corporation | Method and apparatus for measuring a minute pitch |
| CN103673899A (zh) * | 2013-12-12 | 2014-03-26 | 哈尔滨工业大学 | 一种可测竖直位移的两轴光栅位移测量系统 |
| CN112964209A (zh) * | 2021-04-21 | 2021-06-15 | 哈尔滨理工大学 | 一种基于接触式测量的离轴检测法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3549301B2 (ja) | 光ヘッドのトラッキング誤差検出装置 | |
| US4800547A (en) | Optical record carrier scanning apparatus with scanning beam focus error detection | |
| JPH0370859B2 (ja) | ||
| JPH08329533A (ja) | 光ディスク用トラックピッチムラ測定装置 | |
| JPS6343820B2 (ja) | ||
| JPH04353633A (ja) | 光ディスク装置のエラー信号生成装置 | |
| JP2761180B2 (ja) | 微小変位測定装置及び光ピックアップ装置 | |
| JPH02183453A (ja) | 光情報記録再生装置 | |
| JPH05101417A (ja) | 焦点検出装置 | |
| JPH01303632A (ja) | 光デイスク装置 | |
| JP2614504B2 (ja) | トラッキングエラー検出方法 | |
| JP2561253B2 (ja) | トラツク誤差検出装置 | |
| JP2946998B2 (ja) | 光ヘッド装置 | |
| JPH0556568B2 (ja) | ||
| JPS61227233A (ja) | 光学的読取装置 | |
| JPH06274929A (ja) | 光学ヘッド装置 | |
| JPH0829123A (ja) | 変位測定装置および光ピックアップ | |
| JPH03137841A (ja) | 光ピックアップ装置 | |
| JPS59231738A (ja) | 光ピツクアツプ | |
| JPH02192040A (ja) | 光ピックアップ装置 | |
| JPH04205922A (ja) | 光学情報記録再生装置 | |
| JPH08329545A (ja) | 光ピックアップ装置 | |
| JPH04222933A (ja) | 焦点検出装置 | |
| JPH07192306A (ja) | 光ピックアップ | |
| JPH0341624A (ja) | フォーカスずれ検出方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20020806 |