JPH08329431A - 複合型磁気ヘッドの検査方法及び装置 - Google Patents
複合型磁気ヘッドの検査方法及び装置Info
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- JPH08329431A JPH08329431A JP7156670A JP15667095A JPH08329431A JP H08329431 A JPH08329431 A JP H08329431A JP 7156670 A JP7156670 A JP 7156670A JP 15667095 A JP15667095 A JP 15667095A JP H08329431 A JPH08329431 A JP H08329431A
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- G11B5/33—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
- G11B5/39—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects
- G11B5/3903—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects using magnetic thin film layers or their effects, the films being part of integrated structures
- G11B5/3967—Composite structural arrangements of transducers, e.g. inductive write and magnetoresistive read
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- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/49004—Electrical device making including measuring or testing of device or component part
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 バルクハウゼンノイズの捕捉確率をより高め
ることができる複合型磁気ヘッドの検査方法及び装置を
提供する。 【構成】 磁気ヘッドの検査方法として、ヘッドブロッ
ク上に配列されたギャップデプス加工後の複数の磁気ヘ
ッドに、これらヘッドの空気ベアリング面に垂直な外部
磁界を印加すると共に磁気誘導型素子に高周波電流を流
して漏洩磁界を磁気抵抗効果素子に印加し、外部磁界及
び漏洩磁界の変化に対する各磁気抵抗効果素子の抵抗変
化特性を測定するようにしている。
ることができる複合型磁気ヘッドの検査方法及び装置を
提供する。 【構成】 磁気ヘッドの検査方法として、ヘッドブロッ
ク上に配列されたギャップデプス加工後の複数の磁気ヘ
ッドに、これらヘッドの空気ベアリング面に垂直な外部
磁界を印加すると共に磁気誘導型素子に高周波電流を流
して漏洩磁界を磁気抵抗効果素子に印加し、外部磁界及
び漏洩磁界の変化に対する各磁気抵抗効果素子の抵抗変
化特性を測定するようにしている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスク等の
磁気媒体から再生を行う磁気抵抗効果（ＭＲ）読出し素
子と、磁気媒体へ記録を行う磁気誘導型書込み素子とを
備えた複合型磁気ヘッドの検査方法及び装置に関する。
磁気媒体から再生を行う磁気抵抗効果（ＭＲ）読出し素
子と、磁気媒体へ記録を行う磁気誘導型書込み素子とを
備えた複合型磁気ヘッドの検査方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、磁気ディスク等の磁気媒体用の薄
膜磁気ヘッドとして、磁気抵抗効果を利用したＭＲ素子
を用いた磁気ヘッドが実用化され始めている。
膜磁気ヘッドとして、磁気抵抗効果を利用したＭＲ素子
を用いた磁気ヘッドが実用化され始めている。
【０００３】ＭＲ素子は、パーマロイ等の強磁性体薄膜
の磁気抵抗効果を利用したものであるため、磁気媒体と
の相対速度に依存することなく大きな再生出力を得るこ
とができるが、バルクハウゼンノイズを発生する不良品
が生成されてしまう恐れがある。バルクハウゼンノイズ
は、主として磁壁が磁性体内の欠陥や夾雑物等にひっか
かりながら移動することに起因するものであり、このよ
うなノイズを生じるヘッドでは一部の領域で正常な再生
動作が期待できない。このため、磁気ヘッド製造時の検
査においては、バルクハウゼンノイズ等のノイズを発生
しない良品であることを確認する必要がある。
の磁気抵抗効果を利用したものであるため、磁気媒体と
の相対速度に依存することなく大きな再生出力を得るこ
とができるが、バルクハウゼンノイズを発生する不良品
が生成されてしまう恐れがある。バルクハウゼンノイズ
は、主として磁壁が磁性体内の欠陥や夾雑物等にひっか
かりながら移動することに起因するものであり、このよ
うなノイズを生じるヘッドでは一部の領域で正常な再生
動作が期待できない。このため、磁気ヘッド製造時の検
査においては、バルクハウゼンノイズ等のノイズを発生
しない良品であることを確認する必要がある。
【０００４】従来のこの種のノイズ検出方法としては、
磁気ヘッドを単体として完成させた後、これを支持ばね
に取り付けて実際に磁気ディスク上を走らせ、その結
果、ＭＲ素子から得られる出力電圧波形を測定すること
によってバルクハウゼンノイズの発生の有無及び出力特
性を評価していた。
磁気ヘッドを単体として完成させた後、これを支持ばね
に取り付けて実際に磁気ディスク上を走らせ、その結
果、ＭＲ素子から得られる出力電圧波形を測定すること
によってバルクハウゼンノイズの発生の有無及び出力特
性を評価していた。
【０００５】また、特開平６−１５０２６４号には、ヘ
ッドブロック上に配列されたギャップデプス加工後の複
数のＭＲヘッドに、これらヘッドの空気ベアリング面に
垂直である交番外部磁界を印加し、この外部磁界の変化
に対する各ＭＲヘッドの電磁変換特性を得るようにし
た、本出願人によるＭＲヘッド検査方法が開示されてい
る。この方法によると、ＭＲヘッドの出力端子には、プ
ローブ電極が順次接触せしめられ、これによって各ＭＲ
ヘッドにセンス電流を供給すると共に外部磁界の変化に
対する磁気抵抗変化特性が次々に測定される。
ッドブロック上に配列されたギャップデプス加工後の複
数のＭＲヘッドに、これらヘッドの空気ベアリング面に
垂直である交番外部磁界を印加し、この外部磁界の変化
に対する各ＭＲヘッドの電磁変換特性を得るようにし
た、本出願人によるＭＲヘッド検査方法が開示されてい
る。この方法によると、ＭＲヘッドの出力端子には、プ
ローブ電極が順次接触せしめられ、これによって各ＭＲ
ヘッドにセンス電流を供給すると共に外部磁界の変化に
対する磁気抵抗変化特性が次々に測定される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、バルク
ハウゼンノイズの発生は確率的であり、従来技術では短
時間にバルクハウゼンノイズ発生の可能性を把握するこ
とが困難であった。
ハウゼンノイズの発生は確率的であり、従来技術では短
時間にバルクハウゼンノイズ発生の可能性を把握するこ
とが困難であった。
【０００７】従って本発明は、バルクハウゼンノイズの
捕捉確率をより高めることができる複合型磁気ヘッドの
検査方法及び装置を提供することを目的としている。
捕捉確率をより高めることができる複合型磁気ヘッドの
検査方法及び装置を提供することを目的としている。
【０００８】本発明の他の目的は磁気ヘッドを単体とし
て完成させる前に検査処理が行え、しかも検査時間を大
幅に低減させることができる複合型磁気ヘッドの検査方
法及び装置を提供することにある。
て完成させる前に検査処理が行え、しかも検査時間を大
幅に低減させることができる複合型磁気ヘッドの検査方
法及び装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、磁気抵
抗効果素子及び磁気誘導型素子を有する複合型磁気ヘッ
ドの検査方法であって、ヘッドブロック上に配列された
ギャップデプス加工後の複数の磁気ヘッドに、これらヘ
ッドの空気ベアリング面に垂直な外部磁界を印加すると
共に磁気誘導型素子に高周波電流を流して漏洩磁界を磁
気抵抗効果素子に印加し、外部磁界及び漏洩磁界の変化
に対する各磁気抵抗効果素子の抵抗変化特性を測定する
ようにした検査方法が提供される。
抗効果素子及び磁気誘導型素子を有する複合型磁気ヘッ
ドの検査方法であって、ヘッドブロック上に配列された
ギャップデプス加工後の複数の磁気ヘッドに、これらヘ
ッドの空気ベアリング面に垂直な外部磁界を印加すると
共に磁気誘導型素子に高周波電流を流して漏洩磁界を磁
気抵抗効果素子に印加し、外部磁界及び漏洩磁界の変化
に対する各磁気抵抗効果素子の抵抗変化特性を測定する
ようにした検査方法が提供される。
【００１０】さらに、本発明によれば、磁気抵抗効果素
子及び磁気誘導型素子を有する複合型磁気ヘッドの検査
装置であって、ヘッドブロック上に配列されたギャップ
デプス加工後の複数の磁気ヘッドの各出力端子及び入力
端子に電気的に接触可能なプローブ手段と、これらヘッ
ドの空気ベアリング面に垂直な外部磁界をヘッドブロッ
クに印加する手段と、プローブ手段を介して磁気誘導型
素子に高周波の書込み電流を印加する手段と、外部磁界
及び書込み電流印加中の各磁気抵抗効果素子の出力電圧
をプローブ手段を介して受け取り、外部磁界の変化及び
書込み電流による漏洩磁界の変化に対する各磁気抵抗効
果素子の抵抗変化特性を測定する手段とを備えた検査装
置が提供される。
子及び磁気誘導型素子を有する複合型磁気ヘッドの検査
装置であって、ヘッドブロック上に配列されたギャップ
デプス加工後の複数の磁気ヘッドの各出力端子及び入力
端子に電気的に接触可能なプローブ手段と、これらヘッ
ドの空気ベアリング面に垂直な外部磁界をヘッドブロッ
クに印加する手段と、プローブ手段を介して磁気誘導型
素子に高周波の書込み電流を印加する手段と、外部磁界
及び書込み電流印加中の各磁気抵抗効果素子の出力電圧
をプローブ手段を介して受け取り、外部磁界の変化及び
書込み電流による漏洩磁界の変化に対する各磁気抵抗効
果素子の抵抗変化特性を測定する手段とを備えた検査装
置が提供される。
【００１１】多数の複合型磁気ヘッドをウエハ上に形成
した後、このウエハをそれぞれが複数の複合型磁気ヘッ
ドを含むように列単位で切断してバー状のヘッドブロッ
クを取り出す。このヘッドブロックにギャップデプスの
研磨加工を行って各磁気ヘッドが最終的な出力特性を得
るようにする。この状態でヘッドブロックに交番外部磁
界を印加する。この場合に磁気ヘッドに印加される外部
磁界は、磁気ヘッドが実際に磁気媒体上を走行している
ときに与えられる磁界と同じ方向に設定されしかも正弦
波状に変化せしめられている。さらに、磁気誘導型素子
に接続されている入力端子にプローブ電極を介して高周
波の書込み電流が印加され、これによって漏洩交番磁界
がＭＲ素子に印加される。ＭＲ素子に接続されている出
力端子には、プローブ電極を介してセンス電流が供給さ
れると共に外部磁界の変化及び漏洩磁界の変化に対する
ＭＲ素子の抵抗変化特性（電磁変換特性）が次々に測定
される。この出力特性（ＭＲループ特性）から、ＭＲ素
子におけるバルクハウゼンノイズの発生の有無を知るこ
とができる。さらに、ＭＲ素子の欠陥のみならず、磁気
誘導型素子の磁極における磁区構造の欠陥についてもこ
の出力特性から知ることができる。
した後、このウエハをそれぞれが複数の複合型磁気ヘッ
ドを含むように列単位で切断してバー状のヘッドブロッ
クを取り出す。このヘッドブロックにギャップデプスの
研磨加工を行って各磁気ヘッドが最終的な出力特性を得
るようにする。この状態でヘッドブロックに交番外部磁
界を印加する。この場合に磁気ヘッドに印加される外部
磁界は、磁気ヘッドが実際に磁気媒体上を走行している
ときに与えられる磁界と同じ方向に設定されしかも正弦
波状に変化せしめられている。さらに、磁気誘導型素子
に接続されている入力端子にプローブ電極を介して高周
波の書込み電流が印加され、これによって漏洩交番磁界
がＭＲ素子に印加される。ＭＲ素子に接続されている出
力端子には、プローブ電極を介してセンス電流が供給さ
れると共に外部磁界の変化及び漏洩磁界の変化に対する
ＭＲ素子の抵抗変化特性（電磁変換特性）が次々に測定
される。この出力特性（ＭＲループ特性）から、ＭＲ素
子におけるバルクハウゼンノイズの発生の有無を知るこ
とができる。さらに、ＭＲ素子の欠陥のみならず、磁気
誘導型素子の磁極における磁区構造の欠陥についてもこ
の出力特性から知ることができる。
【００１２】
【実施例】以下実施例により本発明を詳細に説明する。
【００１３】図１は、本発明の一実施例である複合型磁
気ヘッドの検査装置の回路構成を概略的に示すブロック
図である。
気ヘッドの検査装置の回路構成を概略的に示すブロック
図である。
【００１４】同図において、１０は書込み素子としての
磁気誘導型素子と読出し素子としてのＭＲ素子とを含む
複合型磁気ヘッドにおけるＭＲ素子に印加する外部磁界
を発生するためのヘルムホルツコイル（空心コイル）で
あり、本実施例ではその長軸が上下方向に平行となるよ
うに設置されている。このヘルムホルツコイル１０に
は、ヘルムホルツコイル電源１１が電気的に接続されて
おり、制御用コンピュータ１２から与えられる指示によ
ってその駆動が制御される。ヘルムホルツコイル１０内
には、Ｘ−Ｙ−Ｚ−θテーブル１３の載置台１３ａと、
その載置台１３ａ上に一時的に固定されたヘッドブロッ
ク１４とが設けられている。
磁気誘導型素子と読出し素子としてのＭＲ素子とを含む
複合型磁気ヘッドにおけるＭＲ素子に印加する外部磁界
を発生するためのヘルムホルツコイル（空心コイル）で
あり、本実施例ではその長軸が上下方向に平行となるよ
うに設置されている。このヘルムホルツコイル１０に
は、ヘルムホルツコイル電源１１が電気的に接続されて
おり、制御用コンピュータ１２から与えられる指示によ
ってその駆動が制御される。ヘルムホルツコイル１０内
には、Ｘ−Ｙ−Ｚ−θテーブル１３の載置台１３ａと、
その載置台１３ａ上に一時的に固定されたヘッドブロッ
ク１４とが設けられている。
【００１５】ヘッドブロック１４は、ウエハ上に多数の
複合型磁気ヘッドを薄膜技術によって形成した後、この
ウエハをそれぞれが複数の複合型磁気ヘッドを含むよう
に列単位で切断し、その空気ベアリング面（ＡＢＳ）１
４ａを研磨してギャップデプス加工を終えたものであ
る。従って、ヘッドブロック１４には、単体に切り離さ
れる前の状態の複数の複合型磁気ヘッドが存在してい
る。
複合型磁気ヘッドを薄膜技術によって形成した後、この
ウエハをそれぞれが複数の複合型磁気ヘッドを含むよう
に列単位で切断し、その空気ベアリング面（ＡＢＳ）１
４ａを研磨してギャップデプス加工を終えたものであ
る。従って、ヘッドブロック１４には、単体に切り離さ
れる前の状態の複数の複合型磁気ヘッドが存在してい
る。
【００１６】第１のプローブピン１５ａは、ヘッドブロ
ック１４における各ヘッドのＭＲ素子の出力端子（３１
ａ、図３参照）に電気的に接触可能に固定位置に静止し
て設けられており、このプローブピン１５ａと各出力端
子とは、Ｘ−Ｙ−Ｚ−θテーブル１３及びこれを制御す
るＸ−Ｙ−Ｚ−θコントローラ１６によって位置合わせ
される。第１のプローブピン１５ａと各出力端子との位
置合わせは、この部分を光学系１７を介して撮像するＣ
ＣＤ撮像器１８及びこの像を表示するＴＶモニタ１９に
よって監視可能である。
ック１４における各ヘッドのＭＲ素子の出力端子（３１
ａ、図３参照）に電気的に接触可能に固定位置に静止し
て設けられており、このプローブピン１５ａと各出力端
子とは、Ｘ−Ｙ−Ｚ−θテーブル１３及びこれを制御す
るＸ−Ｙ−Ｚ−θコントローラ１６によって位置合わせ
される。第１のプローブピン１５ａと各出力端子との位
置合わせは、この部分を光学系１７を介して撮像するＣ
ＣＤ撮像器１８及びこの像を表示するＴＶモニタ１９に
よって監視可能である。
【００１７】第２のプローブピン１５ｂは、各ヘッドの
磁気誘導型素子の入力端子（３１ｂ、図３参照）に電気
的に接触可能に固定位置に静止して設けられており、こ
のプローブピン１５ｂと各入力端子とも、Ｘ−Ｙ−Ｚ−
θテーブル１３及びこれを制御するＸ−Ｙ−Ｚ−θコン
トローラ１６によって位置合わせされる。この位置合わ
せの部分も光学系１７を介して撮像するＣＣＤ撮像器１
８及びこの像を表示するＴＶモニタ１９によって監視可
能である。実際には、第１のプローブピン１５ａと第２
のプローブピン１５ｂとは一体化されて固定されてお
り、Ｘ−Ｙ−Ｚ−θテーブル１３の位置合わせは１度に
行われる。
磁気誘導型素子の入力端子（３１ｂ、図３参照）に電気
的に接触可能に固定位置に静止して設けられており、こ
のプローブピン１５ｂと各入力端子とも、Ｘ−Ｙ−Ｚ−
θテーブル１３及びこれを制御するＸ−Ｙ−Ｚ−θコン
トローラ１６によって位置合わせされる。この位置合わ
せの部分も光学系１７を介して撮像するＣＣＤ撮像器１
８及びこの像を表示するＴＶモニタ１９によって監視可
能である。実際には、第１のプローブピン１５ａと第２
のプローブピン１５ｂとは一体化されて固定されてお
り、Ｘ−Ｙ−Ｚ−θテーブル１３の位置合わせは１度に
行われる。
【００１８】第２のプローブピン１５ｂには、例えばデ
ィスクドライブで使用されるヘッドアンプ等から構成さ
れる書込み電流源である書込み回路２２が接続されてい
る。これによりこの書込み回路２２からは、高周波の書
込み電流がこの第２のプローブピン１５ｂを介して磁気
ヘッドの磁気誘導型素子に供給される。この書込み電流
は、磁気ヘッドにおいて書込みに通常使用される周波数
帯（１ＭＨｚ〜８０ＭＨｚ）の矩形波である。
ィスクドライブで使用されるヘッドアンプ等から構成さ
れる書込み電流源である書込み回路２２が接続されてい
る。これによりこの書込み回路２２からは、高周波の書
込み電流がこの第２のプローブピン１５ｂを介して磁気
ヘッドの磁気誘導型素子に供給される。この書込み電流
は、磁気ヘッドにおいて書込みに通常使用される周波数
帯（１ＭＨｚ〜８０ＭＨｚ）の矩形波である。
【００１９】第１のプローブピン１５ａには、ＭＲ素子
にセンス電流を供給するための定電流電源２０が接続さ
れている。プローブピン１５ａには、さらに、ＭＲ素子
から得られる出力電圧を表示するためのオシロスコープ
２１とこの出力電圧を受け取って解析を行う制御用コン
ピュータ１２とが接続されている。
にセンス電流を供給するための定電流電源２０が接続さ
れている。プローブピン１５ａには、さらに、ＭＲ素子
から得られる出力電圧を表示するためのオシロスコープ
２１とこの出力電圧を受け取って解析を行う制御用コン
ピュータ１２とが接続されている。
【００２０】ヘルムホルツコイル電源１１、Ｘ−Ｙ−Ｚ
−θコントローラ１６、定電流電源２０、及び書込み回
路２２は、コンピュータ１２に接続されており、このコ
ンピュータからの指示によって所定の制御動作を行う。
−θコントローラ１６、定電流電源２０、及び書込み回
路２２は、コンピュータ１２に接続されており、このコ
ンピュータからの指示によって所定の制御動作を行う。
【００２１】なお、図１には示されていないが、載置台
１３ａ内又はその下面に電気ヒータを取り付けておき、
検査時にヘッドブロック１４を加熱するように構成して
もよい。このように磁気ヘッドの温度を例えばその稼働
時に近い温度（例えば１００℃）に強制的に上昇させる
ことによって、バルクハウゼンノイズの捕捉確率をより
一層高めることが可能となる。
１３ａ内又はその下面に電気ヒータを取り付けておき、
検査時にヘッドブロック１４を加熱するように構成して
もよい。このように磁気ヘッドの温度を例えばその稼働
時に近い温度（例えば１００℃）に強制的に上昇させる
ことによって、バルクハウゼンノイズの捕捉確率をより
一層高めることが可能となる。
【００２２】図２は、コンピュータ１２の制御プログラ
ムを表すフローチャートであり、以下同図を用いて本発
明による磁気ヘッドの検査方法について説明する。
ムを表すフローチャートであり、以下同図を用いて本発
明による磁気ヘッドの検査方法について説明する。
【００２３】まずステップＳ１において、Ｘ−Ｙ−Ｚ−
θテーブル１３の載置台１３ａ上に固定されているヘッ
ドブロック１４上の検査すべき磁気ヘッドのＭＲ素子の
出力端子と第１のプローブピン１５ａとの位置合わせ、
及びその磁気ヘッドの書込み素子の入力端子と第２のプ
ローブピン１５ｂとの位置合わせを行う。この位置合わ
せには、Ｘ−Ｙ−Ｚ−θコントローラ１６へ指示するこ
とによってＸ−Ｙ−Ｚ−θテーブル１３を移動させる周
知の位置合わせ技術を利用する。
θテーブル１３の載置台１３ａ上に固定されているヘッ
ドブロック１４上の検査すべき磁気ヘッドのＭＲ素子の
出力端子と第１のプローブピン１５ａとの位置合わせ、
及びその磁気ヘッドの書込み素子の入力端子と第２のプ
ローブピン１５ｂとの位置合わせを行う。この位置合わ
せには、Ｘ−Ｙ−Ｚ−θコントローラ１６へ指示するこ
とによってＸ−Ｙ−Ｚ−θテーブル１３を移動させる周
知の位置合わせ技術を利用する。
【００２４】次いでステップＳ２において、ヘッドブロ
ック１４への交番外部磁界の強さ及び周波数を設定しそ
の印加を開始する。周知のごとく、ヘルムホルツコイル
１０は、印加される電流に比例した強さの磁界をその長
軸方向に発生するから、これはその駆動電流の大きさ及
び周波数をヘルムホルツコイル電源１１に指示すればよ
い。駆動電流は、正弦波状に変化する交流であり、その
周波数は商用周波数以上であればよくマイクロ波帯であ
ってもよい。
ック１４への交番外部磁界の強さ及び周波数を設定しそ
の印加を開始する。周知のごとく、ヘルムホルツコイル
１０は、印加される電流に比例した強さの磁界をその長
軸方向に発生するから、これはその駆動電流の大きさ及
び周波数をヘルムホルツコイル電源１１に指示すればよ
い。駆動電流は、正弦波状に変化する交流であり、その
周波数は商用周波数以上であればよくマイクロ波帯であ
ってもよい。
【００２５】図３は、ヘッドブロック１４に印加される
交番外部磁界をも説明している。この外部磁界の方向
は、磁気ヘッドが実際に磁気媒体上を走行しているとき
に与えられる磁界と同じ方向、即ちヘッドブロック１４
のＡＢＳ１４ａに対して垂直方向である。また、外部磁
界の波形は、同図の３０に示すごとく正負に正弦波状に
変化する交流波形である。外部磁界の強さは、磁気媒体
からＭＲヘッドに実際に印加される磁界（数十Ｏｅ）程
度であることが好ましいが、１〜５００Ｏｅの磁界を印
加することも可能である。なお、図３において、３１ａ
はＭＲ素子の出力端子であり、３１ｂは書込み素子の入
力端子であり、検査すべき磁気ヘッドにおけるＭＲ素子
の出力端子３１ａに第１のプローブピン１５ａがその書
込み素子に第２のプローブピン１５ｂがそれぞれ接触し
ている状態を表している。
交番外部磁界をも説明している。この外部磁界の方向
は、磁気ヘッドが実際に磁気媒体上を走行しているとき
に与えられる磁界と同じ方向、即ちヘッドブロック１４
のＡＢＳ１４ａに対して垂直方向である。また、外部磁
界の波形は、同図の３０に示すごとく正負に正弦波状に
変化する交流波形である。外部磁界の強さは、磁気媒体
からＭＲヘッドに実際に印加される磁界（数十Ｏｅ）程
度であることが好ましいが、１〜５００Ｏｅの磁界を印
加することも可能である。なお、図３において、３１ａ
はＭＲ素子の出力端子であり、３１ｂは書込み素子の入
力端子であり、検査すべき磁気ヘッドにおけるＭＲ素子
の出力端子３１ａに第１のプローブピン１５ａがその書
込み素子に第２のプローブピン１５ｂがそれぞれ接触し
ている状態を表している。
【００２６】次いでステップＳ３において、定電流電源
２０に指示を行って検査すべきヘッドのＭＲ素子にセン
ス電流を印加すると共に書込み回路２２に指示を行って
そのヘッドの書込み素子にあらかじめ設定した周波数及
び振幅の矩形波状の書込み電流を印加する。書込み電流
の周波数は、通常書込みに使用される周波数帯（１ＭＨ
ｚ〜８０ＭＨｚ）とする。センス電流の大きさは、あら
かじめ定めた固定値であってもよいし、適宜変化させて
もよい。
２０に指示を行って検査すべきヘッドのＭＲ素子にセン
ス電流を印加すると共に書込み回路２２に指示を行って
そのヘッドの書込み素子にあらかじめ設定した周波数及
び振幅の矩形波状の書込み電流を印加する。書込み電流
の周波数は、通常書込みに使用される周波数帯（１ＭＨ
ｚ〜８０ＭＨｚ）とする。センス電流の大きさは、あら
かじめ定めた固定値であってもよいし、適宜変化させて
もよい。
【００２７】次のステップＳ４では、上述のごとく交番
変化する外部磁界と書込み素子からの高周波数の漏洩交
番磁界とセンス電流とを印加した状態でのＭＲ素子の出
力端子からの電圧をＡ／Ｄ変換し、データとして取り込
む。
変化する外部磁界と書込み素子からの高周波数の漏洩交
番磁界とセンス電流とを印加した状態でのＭＲ素子の出
力端子からの電圧をＡ／Ｄ変換し、データとして取り込
む。
【００２８】次いでステップＳ５において、入力データ
の解析を行う。入力データとしては、交流の磁界を少な
くとも１周期分印加したときの出力電圧変化を表すもの
を用意する。コンピュータ１２は、この入力データから
ＭＲループの波形の連続性及び波形の傾きを計算してそ
のＭＲ素子のバルクハウゼンノイズの度合及び出力の大
きさを求める。
の解析を行う。入力データとしては、交流の磁界を少な
くとも１周期分印加したときの出力電圧変化を表すもの
を用意する。コンピュータ１２は、この入力データから
ＭＲループの波形の連続性及び波形の傾きを計算してそ
のＭＲ素子のバルクハウゼンノイズの度合及び出力の大
きさを求める。
【００２９】ステップＳ６に示すように、上述のデータ
の取り込み（ステップＳ４）及び解析（ステップＳ５）
の処理を必要に応じてｎ回（ｎは整数）実行する。ま
た、ステップＳ７に示すように、上述のセンス電流及び
書込み電流の印加（ステップＳ３）、データの取り込み
（ステップＳ４）及び解析（ステップＳ５）の処理を必
要に応じてｍ回（ｍは整数）実行する。
の取り込み（ステップＳ４）及び解析（ステップＳ５）
の処理を必要に応じてｎ回（ｎは整数）実行する。ま
た、ステップＳ７に示すように、上述のセンス電流及び
書込み電流の印加（ステップＳ３）、データの取り込み
（ステップＳ４）及び解析（ステップＳ５）の処理を必
要に応じてｍ回（ｍは整数）実行する。
【００３０】次いで、ステップＳ８において、バルクハ
ウゼンノイズ発生の有無による良品、不良品の判定を行
う。
ウゼンノイズ発生の有無による良品、不良品の判定を行
う。
【００３１】図４は、書込み素子から漏洩交番磁界が印
加された状態における外部磁界（Ｈ）の変化に対するヘ
ッド出力電圧（Ｖ）特性、即ちＭＲループ特性を表す図
である。
加された状態における外部磁界（Ｈ）の変化に対するヘ
ッド出力電圧（Ｖ）特性、即ちＭＲループ特性を表す図
である。
【００３２】同図（Ａ）に示すごとく、バルクハウゼン
ノイズ発生のない良品の場合は、正弦波状にゆっくり変
化する外部磁界上に高周波の漏洩交番磁界が乗った状態
に対応して出力特性が連続的に滑らかに変化する。しか
しながら、同図（Ｂ）に示すごとく、バルクハウゼンノ
イズが発生している場合は、不連続点が生じてしまう。
ステップＳ８では、ステップＳ５で解析した不連続点の
有無等からバルクハウゼンノイズ発生の有無を知って評
価を行う。
ノイズ発生のない良品の場合は、正弦波状にゆっくり変
化する外部磁界上に高周波の漏洩交番磁界が乗った状態
に対応して出力特性が連続的に滑らかに変化する。しか
しながら、同図（Ｂ）に示すごとく、バルクハウゼンノ
イズが発生している場合は、不連続点が生じてしまう。
ステップＳ８では、ステップＳ５で解析した不連続点の
有無等からバルクハウゼンノイズ発生の有無を知って評
価を行う。
【００３３】このように本実施例によれば、ヘッドブロ
ック１４というピース状態でＭＲループ特性を観測可能
であるため、従来のごとく磁気ヘッド単体に完成させ浮
上させて特性評価する必要がなく、工程数を大幅に短縮
可能である。また、ＭＲループから出力の大きさやバル
クハウゼンノイズの定量化がコンピュータで瞬時に測
定、評価できるため、今まで定量化が困難であり判断の
難しかったノイズの定量化が可能となった。しかも、ヘ
ッドブロック１４のＡＢＳ１４ａに対して垂直方向に外
部交番磁界をＭＲ素子部分に印加した状態で、書込み素
子に外部交番磁界よりはるかに高い実際の書込み周波数
に相当する周波数を有する矩形波電流を与えることによ
りその書込み素子から高周波の漏洩交番磁界をＭＲ素子
部分に付加的に印加しているため、高い確率でバルクハ
ウゼンノイズを捕捉でき、その評価、選別が非常に短時
間に行える。
ック１４というピース状態でＭＲループ特性を観測可能
であるため、従来のごとく磁気ヘッド単体に完成させ浮
上させて特性評価する必要がなく、工程数を大幅に短縮
可能である。また、ＭＲループから出力の大きさやバル
クハウゼンノイズの定量化がコンピュータで瞬時に測
定、評価できるため、今まで定量化が困難であり判断の
難しかったノイズの定量化が可能となった。しかも、ヘ
ッドブロック１４のＡＢＳ１４ａに対して垂直方向に外
部交番磁界をＭＲ素子部分に印加した状態で、書込み素
子に外部交番磁界よりはるかに高い実際の書込み周波数
に相当する周波数を有する矩形波電流を与えることによ
りその書込み素子から高周波の漏洩交番磁界をＭＲ素子
部分に付加的に印加しているため、高い確率でバルクハ
ウゼンノイズを捕捉でき、その評価、選別が非常に短時
間に行える。
【００３４】即ち、高周波でかつ矩形波状の漏洩交番磁
界がＭＲ素子部分印加されるので、バルクハウゼンノイ
ズが発生し易くなり、バルクハウゼンノイズの捕捉確率
が高くなる。しかもその周波数が実際に書込み周波数と
して使用されるものであるから、実際に即した検査を行
うことができる。さらに、漏洩交番磁界がＭＲ素子部分
のみならず、磁気誘導型書込み素子の特にＭＲ素子近傍
の磁極部分をも通ってＭＲ素子に印加されるので、その
部分の磁区構造の異常をも検査することができる。
界がＭＲ素子部分印加されるので、バルクハウゼンノイ
ズが発生し易くなり、バルクハウゼンノイズの捕捉確率
が高くなる。しかもその周波数が実際に書込み周波数と
して使用されるものであるから、実際に即した検査を行
うことができる。さらに、漏洩交番磁界がＭＲ素子部分
のみならず、磁気誘導型書込み素子の特にＭＲ素子近傍
の磁極部分をも通ってＭＲ素子に印加されるので、その
部分の磁区構造の異常をも検査することができる。
【００３５】以上述べた実施例は全て本発明を例示的に
示すものであって限定的に示すものではなく、本発明は
他の種々の変形態様及び変更態様で実施することができ
る。従って本発明の範囲は特許請求の範囲及びその均等
範囲によってのみ規定されるものである。
示すものであって限定的に示すものではなく、本発明は
他の種々の変形態様及び変更態様で実施することができ
る。従って本発明の範囲は特許請求の範囲及びその均等
範囲によってのみ規定されるものである。
【００３６】
【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明によれ
ば、複合型磁気ヘッドの検査方法として、ヘッドブロッ
ク上に配列されたギャップデプス加工後の複数の磁気ヘ
ッドに、これらヘッドの空気ベアリング面に垂直な外部
磁界を印加すると共に磁気誘導型素子に高周波電流を流
して漏洩磁界を磁気抵抗効果素子に印加し、外部磁界及
び漏洩磁界の変化に対する各磁気抵抗効果素子の抵抗変
化特性を測定するようにしており、またその検査装置と
して、ヘッドブロック上に配列されたギャップデプス加
工後の複数の磁気ヘッドの各出力端子及び入力端子に電
気的に接触可能なプローブ手段と、これらヘッドの空気
ベアリング面に垂直な外部磁界をヘッドブロックに印加
する手段と、プローブ手段を介して磁気誘導型素子に高
周波の書込み電流を印加する手段と、外部磁界及び書込
み電流印加中の各磁気抵抗効果素子の出力電圧をプロー
ブ手段を介して受け取り、外部磁界の変化及び書込み電
流による漏洩磁界の変化に対する各磁気抵抗効果素子の
抵抗変化特性を測定する手段とを備えている。従って、
磁気ヘッドを単体として完成させる前に検査及び測定処
理が行えるから工程数の大幅な短縮化につながり、しか
も評価、選別時間を大幅に低減させることができること
はもちろんのこと、高い確率でバルクハウゼンノイズの
捕捉を行えるので検査時間をより一層の短縮化を図るこ
とができると共にその信頼性をさらに向上させることが
できる。さらにまた、ＭＲ素子の欠陥のみならず、磁気
誘導型素子の磁極における磁区構造の欠陥をも検出する
ことができる。
ば、複合型磁気ヘッドの検査方法として、ヘッドブロッ
ク上に配列されたギャップデプス加工後の複数の磁気ヘ
ッドに、これらヘッドの空気ベアリング面に垂直な外部
磁界を印加すると共に磁気誘導型素子に高周波電流を流
して漏洩磁界を磁気抵抗効果素子に印加し、外部磁界及
び漏洩磁界の変化に対する各磁気抵抗効果素子の抵抗変
化特性を測定するようにしており、またその検査装置と
して、ヘッドブロック上に配列されたギャップデプス加
工後の複数の磁気ヘッドの各出力端子及び入力端子に電
気的に接触可能なプローブ手段と、これらヘッドの空気
ベアリング面に垂直な外部磁界をヘッドブロックに印加
する手段と、プローブ手段を介して磁気誘導型素子に高
周波の書込み電流を印加する手段と、外部磁界及び書込
み電流印加中の各磁気抵抗効果素子の出力電圧をプロー
ブ手段を介して受け取り、外部磁界の変化及び書込み電
流による漏洩磁界の変化に対する各磁気抵抗効果素子の
抵抗変化特性を測定する手段とを備えている。従って、
磁気ヘッドを単体として完成させる前に検査及び測定処
理が行えるから工程数の大幅な短縮化につながり、しか
も評価、選別時間を大幅に低減させることができること
はもちろんのこと、高い確率でバルクハウゼンノイズの
捕捉を行えるので検査時間をより一層の短縮化を図るこ
とができると共にその信頼性をさらに向上させることが
できる。さらにまた、ＭＲ素子の欠陥のみならず、磁気
誘導型素子の磁極における磁区構造の欠陥をも検出する
ことができる。
【図１】本発明の一実施例である複合型磁気ヘッドの検
出装置の回路構成を概略的に示すブロック図である。
出装置の回路構成を概略的に示すブロック図である。
【図２】図１の実施例におけるコンピュータの制御プロ
グラムを表すフローチャートである。
グラムを表すフローチャートである。
【図３】図１の実施例において、プローブピンと磁気ヘ
ッドの電極との関係を示すと共にヘッドブロックに印加
される交番外部磁界を説明する図である。
ッドの電極との関係を示すと共にヘッドブロックに印加
される交番外部磁界を説明する図である。
【図４】外部磁界（Ｈ）の変化に対するヘッド出力電圧
（Ｖ）特性を表す図である。
（Ｖ）特性を表す図である。
１０ ヘルムホルツコイル １１ ヘルムホルツコイル電源 １２ 制御用コンピュータ １３ Ｘ−Ｙ−Ｚ−θテーブル １３ａ 載置台 １４ ヘッドブロック １４ａ 空気ベアリング面 １５ａ 第１のプローブピン １５ｂ 第２のプローブピン １６ Ｘ−Ｙ−Ｚ−θコントローラ １７ 光学系 １８ ＣＣＤ撮像器 １９ ＴＶモニタ ２０ 定電流電源 ２１ オシロスコープ ２２ 書込み回路 ３１ａ 出力端子 ３１ｂ 入力端子
Claims (2)
- 【請求項１】 磁気抵抗効果素子及び磁気誘導型素子を
有する複合型磁気ヘッドの検査方法であって、ヘッドブ
ロック上に配列されたギャップデプス加工後の複数の磁
気ヘッドに、該ヘッドの空気ベアリング面に垂直な外部
磁界を印加すると共に前記磁気誘導型素子に高周波電流
を流して漏洩磁界を前記磁気抵抗効果素子に印加し、該
外部磁界及び漏洩磁界の変化に対する該各磁気抵抗効果
素子の抵抗変化特性を測定するようにしたことを特徴と
する検査方法。 - 【請求項２】 磁気抵抗効果素子及び磁気誘導型素子を
有する複合型磁気ヘッドの検査装置であって、ヘッドブ
ロック上に配列されたギャップデプス加工後の複数の磁
気ヘッドの各出力端子及び入力端子に電気的に接触可能
なプローブ手段と、該ヘッドの空気ベアリング面に垂直
な外部磁界を該ヘッドブロックに印加する手段と、前記
プローブ手段を介して前記磁気誘導型素子に高周波の書
込み電流を印加する手段と、前記外部磁界及び書込み電
流印加中の前記各磁気抵抗効果素子の出力電圧を前記プ
ローブ手段を介して受け取り、前記外部磁界の変化及び
前記書込み電流による漏洩磁界の変化に対する該各磁気
抵抗効果素子の抵抗変化特性を測定する手段とを備えた
ことを特徴とする検査装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7156670A JP2674571B2 (ja) | 1995-06-01 | 1995-06-01 | 複合型磁気ヘッドの検査方法及び装置 |
| SG1996009903A SG40871A1 (en) | 1995-06-01 | 1996-05-28 | Method and apparatus for testing integrated magnetic head assembly |
| GB9611128A GB2301677B (en) | 1995-06-01 | 1996-05-29 | Magnetic head testing |
| US08/656,846 US5721488A (en) | 1995-01-06 | 1996-05-30 | Method and apparatus for testing integrated magnetic head assembly |
| HK98104313A HK1005298A1 (en) | 1995-06-01 | 1998-05-19 | Magnetic head testing |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7156670A JP2674571B2 (ja) | 1995-06-01 | 1995-06-01 | 複合型磁気ヘッドの検査方法及び装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08329431A true JPH08329431A (ja) | 1996-12-13 |
| JP2674571B2 JP2674571B2 (ja) | 1997-11-12 |
Family
ID=15632746
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7156670A Expired - Fee Related JP2674571B2 (ja) | 1995-01-06 | 1995-06-01 | 複合型磁気ヘッドの検査方法及び装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5721488A (ja) |
| JP (1) | JP2674571B2 (ja) |
| GB (1) | GB2301677B (ja) |
| HK (1) | HK1005298A1 (ja) |
| SG (1) | SG40871A1 (ja) |
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| KR20000055835A (ko) * | 1999-02-10 | 2000-09-15 | 윤종용 | 자기 디스크 드라이브용 자기저항 헤드 검사방법 |
| JP2008269762A (ja) * | 2007-03-22 | 2008-11-06 | Hitachi High-Technologies Corp | 磁気ヘッドスライダ検査装置および磁気ヘッドスライダ検査方法 |
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| JP3817935B2 (ja) | 1998-10-02 | 2006-09-06 | Ｔｄｋ株式会社 | 複合型磁気ヘッドの検査方法及び装置 |
| JP3603636B2 (ja) * | 1999-01-28 | 2004-12-22 | Ｔｄｋ株式会社 | 複合型磁気ヘッドの検査方法及び装置 |
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- 1995-06-01 JP JP7156670A patent/JP2674571B2/ja not_active Expired - Fee Related
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- 1996-05-28 SG SG1996009903A patent/SG40871A1/en unknown
- 1996-05-29 GB GB9611128A patent/GB2301677B/en not_active Expired - Fee Related
- 1996-05-30 US US08/656,846 patent/US5721488A/en not_active Expired - Lifetime
-
1998
- 1998-05-19 HK HK98104313A patent/HK1005298A1/xx not_active IP Right Cessation
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| GB9611128D0 (en) | 1996-07-31 |
| JP2674571B2 (ja) | 1997-11-12 |
| GB2301677A (en) | 1996-12-11 |
| SG40871A1 (en) | 1997-06-14 |
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| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
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| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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