JPH08328486A - 画像形成装置の製造方法 - Google Patents

画像形成装置の製造方法

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JPH08328486A
JPH08328486A JP7130506A JP13050695A JPH08328486A JP H08328486 A JPH08328486 A JP H08328486A JP 7130506 A JP7130506 A JP 7130506A JP 13050695 A JP13050695 A JP 13050695A JP H08328486 A JPH08328486 A JP H08328486A
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JP
Japan
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image forming
substrates
substrate
forming apparatus
auxiliary member
Prior art date
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Pending
Application number
JP7130506A
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English (en)
Inventor
Mitsutoshi Hasegawa
光利 長谷川
Tetsuya Kaneko
哲也 金子
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
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  • Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
  • Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 画像形成要素部を基板の端に形成することに
よって生じる不具合を防止して、歩留りのよい画像形成
装置の製造方法を提供する。 【構成】 複数の基板にそれぞれ画像を表示するための
画像形成要素部を設け、各基板を組み合せて画像形成装
置を形成する画像形成装置の製造方法において、予めそ
れぞれの基板毎に、各基板を組み合せたときの他の基板
との隣接面と接触し、かつ、接触する面の高さが基板の
厚さと等しい補助部材を用意しておき、補助部材を各基
板毎に、他の基板との隣接面に接触させて配置し、画像
形成要素部の端が基板と補助部材との境界に位置するよ
うに各基板上に画像形成要素部を形成し、各基板をそれ
ぞれ補助部材から外した後組み合せる製造方法とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は平面型画像形成装置、特
に製造が容易な小型パネルを組み合せた大型の画像形成
装置の製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】平面型画像形成装置には、プラズマディ
スプレイの名称で知られるガス放電パネル、液晶を用い
た液晶表示パネル、電子源に表面伝導型電子放出素子を
用いた画像形成装置などがある。
【0003】大型の表示パネルを一体的に製造するには
様々な問題が生じるため、従来の画像形成装置の製造方
法では、図4に示すように比較的製造が容易な小型のパ
ネルを複数枚組み合せて大型の画像形成装置を製造する
方法が提案されている。
【0004】図4は従来の画像形成装置の製造方法の手
順を示す工程図である。図4において、複数の小型のパ
ネルを組み合せて大型の画像形成装置を製造する場合、
まず各基板の中央付近に画像を形成するための素子およ
び電極配線等からなる画像形成要素部43を形成し(図
4(a))、次に各基板の配置位置に応じて、それぞれ
の基板を画像形成要素部43の端に沿って切断する(図
4(b))。最後に、切断した基板41a、41b、4
1c、41dを組み合せて接合し(図4(c))、一つ
の大きな平面型画像形成装置を形成していた(特公平2
−21093号公報参照)。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような従来の画像形成装置の製造方法では、画像形成要
素部の端に沿って基板を切断する際に、アライメント精
度として高精度が要求されているにもかかわらず、基板
が欠けたり、割れたりするなどの不具合が生じ易く、歩
留りが低下して製造上の再現性が乏しいなどの問題があ
った。
【0006】また、画像形成要素部を基板の端にそのま
ま形成しようとすると、基板のエッジによってフォトマ
スクのワイヤーが切れたりフォトマスクを損傷すること
があり、歩留りの低下の要因となっていた。さらに、フ
ォトリソグラフィ技術で画像形成要素部を形成する場
合、基板の端付近でレジスト等が盛り上がってしまい表
面が均一な基板を製造することが困難であった。
【0007】本発明は上記したような従来の技術が有す
る問題点を解決するためになされたものであり、画像形
成要素部を基板の端に形成することによって生じる不具
合を防止して、歩留りのよい画像形成装置の製造方法を
提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明の画像形成装置の製造方法は、複数の基板にそれ
ぞれ画像を表示するための画像形成要素部を設け、前記
複数の基板を組み合せて画像形成装置を形成する画像形
成装置の製造方法において、予めそれぞれの基板毎に、
前記複数の基板を組み合せたときの他の基板との隣接面
と接触し、かつ、前記接触する面の高さが前記基板の厚
さと等しい補助部材を用意しておき、前記補助部材を前
記複数の基板毎に、前記他の基板との隣接面に接触させ
て配置し、前記画像形成要素部の端が前記基板と前記補
助部材との境界に位置するように、前記複数の基板上に
それぞれ前記画像形成要素部を形成し、前記複数の基板
をそれぞれ前記補助部材から外した後、組み合せること
を特徴とする。
【0009】
【作用】上記のように構成された本発明の画像形成装置
の製造方法は、予めそれぞれの基板毎に、各基板を組み
合せたときの他の基板との隣接面と接触し、かつ、接触
する面の高さが前記基板の厚さと等しい補助部材を用意
しておき、補助部材を各基板毎に、他の基板との隣接面
に接触させて配置し、画像形成要素部の端が基板と補助
部材との境界に位置するように各基板上にそれぞれ画像
形成要素部を形成し、各基板をそれぞれ補助部材から外
した後組み合せることで、補助部材によって画像形成要
素部の端部が保護され、基板の端部に直接画像形成要素
部を形成する場合などに発生していた不具合が防止され
る。また、基板の端部を切断する必要がなくなるため、
基板が欠けたり、割れたりすることがなくなる。
【0010】
【実施例】次に本発明の実施例について図面を参照して
説明する。
【0011】(第1実施例)本実施例では本発明をガス
放電型(プラズマ)の画像形成装置に適用した場合を例
にして説明する。
【0012】図1は本発明の画像形成装置の製造方法の
第1実施例の手順を示す工程図である。図1において、
本実施例の画像形成装置は4枚の基板1a、1b、1
c、1dが組み合わされて構成され、各基板には画像を
表示するための電極配線等からなる画像形成要素部3が
それぞれ設けられている。各基板をそれぞれ製造する際
には画像形成要素部3が形成される基板端での不具合を
防止するために補助部材2がそれぞれの基板で使用され
る(図1(a)、(b)では基板1aのみ表示)。補助
部材2は基板1a、1b、1c、1dと同一の材料によ
って作製され、基板1a、1b、1c、1dと同じ大き
さをもつ凹部4とL字形状の凸部5とが設けられてい
る。基板1a、1b、1c、1dは補助部材2の凸部5
に基板端が接触するようにして凹部4上に配置され、画
像形成要素部3は画像形成要素部3の端が基板1a、1
b、1c、1dと補助部材2との境界に位置するように
基板上に形成される。
【0013】このような構成において、まず、基板1a
と同じソーダガラス製の補助部材2の凹部4上に基板1
aを配置し、印刷技術等によって画像形成要素部3を形
成する。このとき、印刷のためのフォトマスクの有効エ
リアの中心部、画像形成要素部3の中心部、および補助
部材2の中心部がそれぞれほぼ同じ位置になるように配
置される。
【0014】次に、画像形成要素部3を形成後、基板1
aを補助部材2上から取り除く。このようにして得られ
た基板1a、および同様にして得られる基板1b、1
c、1dを図1(c)に示すように接合部材によって接
合することで大型のガス放電型(プラズマ)の画像形成
装置を組み立てる。
【0015】したがって、補助部材2を設けることで画
像形成要素部3の端が保護されるためフォトマスクのワ
イヤーの断線や損傷がなくなる。また、画像形成要素部
3の端に沿って基板1a、1b、1c、1dを切断する
必要がなくなるため、基板の割れ、欠けなどの破損が防
止され、大型の画像形成装置の製造が容易になって歩留
りが向上する。
【0016】なお、本実施例では、補助部材に基板と同
じソーダガラスを用いた例を示しているが、絶縁性を有
し、凸部5の高さが基板上面と一致したものであればソ
ーダガラスに限らずセラミックス、石英等も使用するこ
ともできる。
【0017】また、画像形成要素部を形成する方法とし
て印刷技術を用いた例を示したが、フォトリソグラフィ
法、真空薄膜形成技術、エッチング技術等であってもよ
い。 (第2実施例)本実施例では本発明を表面伝導型電子放
出素子を用いた大型平面型画像形成装置に適用した場合
を例にして説明する。
【0018】図2は本発明の画像形成装置の製造方法を
適用した基板の第2実施例の構成を示す図であり、同図
(a)は平面図、同図(b)は要部拡大図である。ま
た、図3は図2に示した基板を組み合せた画像形成装置
の構成を示す図であり、同図(a)は平面図、同図
(b)は側面図である。
【0019】図2(a)、(b)において、画像形成要
素部13が形成される基板11aは、第1実施例と同様
に画像形成要素部13が設けられる基板端での不具合を
防止するため補助部材12上に配置されて製造される。
【0020】基板11aの上面には複数の表面伝導型の
粒子電子放出部17が格子状に配置され、各粒子電子放
出部17はX方向配線14とY方向配線15とによっ
て、粒子電子放出部17にエネルギーを与える回路であ
る駆動処理回路16に接続されている。各粒子電子放出
部17はX方向配線14およびY方向配線15にそれぞ
れNi素子電極18を介して電気的に接続され、X方向
配線14とY方向配線15とは層間絶縁膜19によって
電気的に分離されている。
【0021】図3(a)、(b)において、裏面はり合
せ板20上には接着部材21を介して4枚の基板11
a、11b、11c、11dが画像形成要素接続部26
によって接合されている。基板11a、11b、11
c、11dと対向する位置には、粒子電子放出部17か
ら放出された電子に作用して画像を表示する発光体22
が形成されたフェースプレート23が枠部材24を介し
て配置されている。これら基板11a、11b、11
c、11d、枠部材24、およびフェースプレート23
はそれぞれ枠部材接続部25を介して気密接着(封着)
され、基板11a、11b、11c、11dと枠部材2
4とフェースプレート23とで気密容器が構成される。
【0022】このような構成において、まず、図2
(a)に示すように、絶縁性を有するNaガラスからな
る基板11aを、基板11aと同一の材料からなる補助
部材12上に配置した後、印刷技術等によってAg導体
からなるX方向配線14を約10μmの幅で順次形成す
る。次にガラスペーストからなる層間絶縁膜19を約3
0μmの厚さでX方向配線14上に形成し、さらにその
上にAg導体からなるY方向配線15を10μmの幅で
順次形成して格子状の配線を形成する。このとき、格子
状の配線領域の中心部、および補助部材12の中心部は
それぞれほぼ同じ位置になるように配置されている。
【0023】次に、Ni素子電極18(膜厚1000オ
ングストローム)をフォトリソグラフィ法と真空蒸着法
により電極間隔2μmのパターンで形成し、さらにX方
向配線14およびY方向配線15上に形成されたNi素
子電極18に跨るようにしてPdからなる粒子電子放出
部17を形成する。この格子状の配線、および粒子電子
放出部17によって画像形成要素部13が形成される。
【0024】最後に、画像形成要素部13の形成後、基
板11aを補助部材12から取り除く。このようにして
得られた基板11a、および同様にして得られる基板1
1b、11c、11dを裏面はり合わせ板20上に接着
部材21によって貼り合わせ、さらに枠部材24を介し
て発光体22が形成されたフェースプレート23を貼り
合わせて大型の画像形成装置を組み立てる。
【0025】したがって、第1実施例と同様に補助部材
12を使用して基板11a〜11dを製造することで、
画像形成要素部13の端に沿って基板を切断する必要が
なくなるため、基板の割れ、欠けなどの破損がなくな
り、大型の画像形成装置を容易に製造することができ
る。
【0026】なお、上記各実施例ではガス放電(プラズ
マ)型の平面画像形成装置および表面伝導型電子放出素
子(SCE型)を用いた画像形成装置を例にして説明し
たが、本発明はガス放電型の平面画像形成装置あるいは
表面伝導型電子放出素子を用いた画像形成装置だけでな
く、液晶表示パネル、蛍光表示管を用いた画像形成装置
の製造方法にも有効である。
【0027】また、4枚の基板を組み合せた場合を例に
して説明しているが、2枚以上の基板を組み合せて画像
表示装置を製造する何れの場合においても本発明の製造
方法は適用することが可能である。
【0028】
【発明の効果】本発明は以上説明したような方法を採用
しているので、以下に記載する効果を奏する。
【0029】予めそれぞれの基板毎に、各基板を組み合
せたときの他の基板との隣接面と接触し、かつ、接触す
る面の高さが前記基板の厚さと等しい補助部材を用意し
ておき、補助部材を各基板毎に、他の基板との隣接面に
接触させて配置し、画像形成要素部の端が基板と補助部
材との境界に位置するように各基板上にそれぞれ画像形
成要素部を形成し、各基板をそれぞれ補助部材から外し
た後組み合せることで、補助部材によって画像形成要素
部の端部が保護されフォトマスクのワイヤーの断線や損
傷がなくなる。また、画像形成要素部の端部に沿って基
板を切断する必要がなくなるため、基板が割れたり、欠
けたりすることがなくなり製造が容易になって歩留りが
向上する。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は本発明の画像形成装置の製造方法の第1
実施例の手順を示す工程図である。
【図2】本発明の画像形成装置の製造方法を適用した基
板の第2実施例の構成を示す図であり、同図(a)は平
面図、同図(b)は要部拡大図である。
【図3】図2に示した基板を組み合せた画像形成装置の
構成を示す図であり、同図(a)は平面図、同図(b)
は側面図である。
【図4】従来の画像形成装置の製造方法の手順を示す工
程図である。
【符号の説明】
1a〜1d、11a〜11d 基板 2、12 補助部材 3、13 画像形成要素部 4 凹部 5 凸部 14 X方向配線 15 Y方向配線 16 駆動処理回路 17 粒子電子放出部 18 Ni素子電極 19 層間絶縁膜 20 裏面はり合せ板 21 接着部材 22 発光体 23 フェースプレート 24 枠部材 25 枠部材接続部 26 画像形成要素接続部

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数の基板にそれぞれ画像を表示するた
    めの画像形成要素部を設け、前記複数の基板を組み合せ
    て画像形成装置を形成する画像形成装置の製造方法にお
    いて、 予めそれぞれの基板毎に、前記複数の基板を組み合せた
    ときの他の基板との隣接面と接触し、かつ、前記接触す
    る面の高さが前記基板の厚さと等しい補助部材を用意し
    ておき、 前記補助部材を前記複数の基板毎に、前記他の基板との
    隣接面に接触させて配置し、 前記画像形成要素部の端が前記基板と前記補助部材との
    境界に位置するように、前記複数の基板上にそれぞれ前
    記画像形成要素部を形成し、 前記複数の基板をそれぞれ前記補助部材から外した後、
    組み合せることを特徴とする画像形成装置の製造方法。
JP7130506A 1995-05-29 1995-05-29 画像形成装置の製造方法 Pending JPH08328486A (ja)

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JP7130506A JPH08328486A (ja) 1995-05-29 1995-05-29 画像形成装置の製造方法

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100325857B1 (ko) * 1999-06-30 2002-03-07 김순택 에너지 복구 효율이 향상된 플라즈마 표시 패널 및 그 구동방법
US7273403B2 (en) * 2001-12-27 2007-09-25 Kabushiki Kaisha Toshiba Method of manufacturing flat display panels of different sizes from a common base substrate

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