JPH08319172A - 被覆セラミック繊維、被覆セラミック繊維マットまたはフリースの製造方法、この種の繊維、マットおよびフリース、これらを含有するかまたはこれらよりなる複合体、フィルタ、担体および絶縁体 - Google Patents

被覆セラミック繊維、被覆セラミック繊維マットまたはフリースの製造方法、この種の繊維、マットおよびフリース、これらを含有するかまたはこれらよりなる複合体、フィルタ、担体および絶縁体

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JPH08319172A
JPH08319172A JP8116435A JP11643596A JPH08319172A JP H08319172 A JPH08319172 A JP H08319172A JP 8116435 A JP8116435 A JP 8116435A JP 11643596 A JP11643596 A JP 11643596A JP H08319172 A JPH08319172 A JP H08319172A
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ガイスベルガー ギルベルト
Lutz Roesch
レーシュ ルッツ
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Wacker Chemie AG
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来よりも経済的かつ品質を保持する被覆セ
ラミック繊維、被覆セラミック繊維マットまたはフリー
スの製造方法を提供する。 【解決手段】 生繊維を常法で製造し、少なくとも1種
の被覆前駆体で被覆し、引き続いて熱分解する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は被覆セラミック繊
維、被覆セラミック繊維マットまたはフリースの製造方
法およびその使用に関する。
【0002】
【従来の技術】セラミック繊維は主として複合材料の製
造のために使用される。被覆繊維を使用すれば、繊維に
よる強化作用(Pullout−Effekt)および
一部は耐酸化性が向上する。
【0003】被覆は繊維にCVD法(化学蒸着)を介し
て、セラミック化された繊維に約1100℃で所望の物
質を析出させることにより塗被される。(例えば、K.
S.Mazdiyasni著“Fiber reinf
orced ceramiccomposites:m
aterials,processing andte
chnology”,1990,p.431,448,
449参照)不都合にも被覆セラミック繊維の公知の製
造方法は2つのエネルギーを多く必要とする熱分解工程
によって高価である。その上1000℃を越えるCVD
法ではセラミック繊維自体に、例えば引張強さまたはE
モジュールのような機械的特性が劣化するに至るかも知
れない変化が生じる(例えばD.B.Fischbac
h及びP.M.Lemoine著 Composite
s Scienceand Technology 3
7(1990),55−61,参照)。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】従って本発明の課題
は、従来よりも経済的でかつ品質を保持する被覆セラミ
ック繊維、被覆セラミック繊維マットまたはフリースの
製造方法を提供することであった。
【0005】
【課題を解決するための手段】前記課題は、本発明によ
り、被覆セラミック繊維、被覆セラミック繊維マットま
たはフリースの製造方法において、生繊維を常法で製造
し、少なくとも1種のコーティング前駆体で被覆し、引
き続いて熱分解することにより解決される。
【0006】本発明の方法は被覆セラミック繊維の製造
を明らかに低価格にすることができる。というのは著し
いエネルギーを要する工程を2工程の代りに1工程だけ
必要であるにすぎないからである。その上本発明による
方法の場合はセラミック繊維の機械的特性に不利な変化
をもたらすことがない。
【0007】意外にも、熱分解の間両方の前駆体材料
(生繊維およびコーティング)の均一な収縮および熱分
解分離生成物のコーティング層を通しての自由な拡散が
保証されていれば、本発明により被覆された、平滑な表
面(REM写真)を有する、すなわち被覆に亀裂のない
繊維が得られることが判明した。
【0008】従ってまた本発明は、本発明よる方法によ
り製造された被覆セラミック繊維、被覆セラミック繊維
マットまたはフリースに関する。
【0009】本発明による、被覆セラミック繊維、マッ
トまたはフリースは、セラミック繊維が、生繊維の熱分
解により得ることができる少なくとも1種の材料からな
り、かつ被覆が、その前駆体を生繊維に塗被しかつそれ
が熱分解後密な層を生成する少なくとも1種の材料から
なることを特徴とする。
【0010】有利にはセラミック繊維は炭化ケイ素、窒
化ケイ素、オキシ窒化ケイ素、オキシ炭化ケイ素および
/またはカルボ窒化ケイ素からなり、Si含有率35〜
70重量%、C含有率40重量%まで、N含有率40重
量%までおよびO含有率40重量%までを有し、その際
場合によりほかの元素例えばB、AlまたはTiを15
重量%まで含有していてもよい。
【0011】有利には被覆は炭素、窒化ホウ素、炭化ケ
イ素、酸化ケイ素、オキシ炭化ケイ素、カルボ窒化ケイ
素および/または窒化ケイ素からなる。
【0012】特に有利には被覆セラミック繊維の繊維材
はSi含有率有利には50〜55重量%、C含有率有利
には15〜25重量%、N含有率有利には10〜25重
量%、およびO含有率有利には15重量%より少ないカ
ルボ窒化ケイ素からなり、その際場合によりほかの元素
例えばBまたはAl 3重量%まで存在していてもよ
い、かつセラミック繊維の被覆はパイロ炭素からなる。
【0013】セラミック繊維は有利には直径5〜500
μm、特に有利には8〜25μmを有する。被覆は厚さ
有利には2μmまで、特に有利には0.02〜0.2μ
mを有する。
【0014】セラミック繊維の出発物質は、紡糸工程に
より生繊維に変化できる前駆体である。これに適するの
は例えばSi−有機ポリマー例としてポリシラン、ポリ
カルボシランまたはポリシラザンである。このようなポ
リマーの例は、例えば米国特許第5166287号明細
書、米国特許第5250646号明細書または米国特許
第5268496号明細書から公知である。
【0015】有利には分子量200〜500,000、
特に有利には分子量800〜20,000g/モルを有
するSi有機ポリマーおよび融点100〜200℃を有
するものを使用する。このようなポリマーは例えば米国
特許第5166287号明細書または米国特許第526
8496号明細書から公知である。
【0016】被覆の出発物質は、そのまままたは溶液で
生繊維に塗被できかつ熱分解後にセラミック繊維に密な
層を生成するコーティング前駆体である。コーティング
前駆体として適しているのは例えば有機ポリマー例とし
て、熱分解後にパイロ炭素層を生じるポリアクリルニト
リルまたはポリアクリル酸、またはホウ素窒素化合物、
例えば熱分解後にBN層を生じるポリボラジン、または
Si有機ポリマー例えば熱分解後にSiC層を生じるポ
リカーボシラン、または、熱分解後にSiO2層を生じ
るポリシロキサンまたは、熱分解後にSi34層を生じ
るポリシラザン、またはこれらコーティング前駆体の混
合物である。
【0017】すべての可能な生繊維/コーティング前駆
体の組合せが可能である、例えばポリアクリルニトリル
繊維のポリカルボシランでの被覆が可能である、こうし
て熱分解後にSiC被覆炭素繊維が結果として得られ
る。有利であるのは、米国特許第5166287号明細
書または米国特許第5268496号明細書に記載のポ
リマーから製造されたSi−有機生繊維をポリアクリル
ニトリルまたはポリアクリル酸で被覆した組合せであ
り、その結果パイロ炭素被覆炭化ケイ素繊維またはカル
ボ窒化ケイ素繊維が得られる。
【0018】さらに、生繊維に多数の被覆を塗被するこ
ともできる、例えばすでにポリアクリルニトリルで被覆
したポリシラザン繊維にポリカルボシランを被覆するこ
とができ、その結果熱分解後にSiC/C被覆カルボ窒
化ケイ素繊維が生じる。
【0019】生繊維の製造はそれぞれ現状技術から公知
の方法で行うことができる。例えば溶融したSi−有機
ポリマーを孔径100〜400μm、特に有利には孔径
300μmを有する多孔ノズルを通して圧力有利には5
〜100バール、特に有利には10〜50バールで押出
し噴出する生繊維をスプールで巻取ることで延伸する。
【0020】コーティング前駆体またはその溶液がこの
未架橋のかつ一般に有機溶剤に可溶の生繊維を溶解しな
ければ、コーティング前駆体またはその溶液を巻取る前
に塗被することができる。生繊維が溶解する場合は、こ
の生繊維をまず初めに架橋し不溶性にしなければならな
い。
【0021】架橋、すなわち、生繊維、ポリマー繊維フ
リースおよびマットの熱分解前の不溶融性化はケイ素有
機出発ポリマーおよび熱分解後の所望の元素組成に依存
する。酸素含有のセラミック繊維、フリースおよびマッ
トは、繊維を架橋するため酸素または湿分を使用して、
すなわち架橋を例えば空気に接触させた熱処理により行
うことにより製造される(H.Ichikawa,H.
Teranishi,T.Ichikawa,J.of
Mat.Sci.Let.6(1987)420−4
22)。酸素不含の繊維、フリースおよびマットは、架
橋するために例えば電子ビームを使用して製造すること
ができる。それに相当する方法は例えばK.Okamu
ra,M.Sato,T.Seguchi,S.Kaw
anishi,Ceram.Eng.Sci.Pro
c.9(1988)909〜918,に記載されてい
る。それぞれのポリマータイプのために文献(例えば、
J.Lipowitz;Ceramic Bullet
in 70(1991)1888〜1894)には、同
様に使用することができるほかの方法が記載されてい
る。
【0022】コーティング前駆体またはその溶液を生繊
維の浸漬または噴霧によりまたは特に有利には、配置ポ
ンプが接続された生繊維が貫通する糸ガイドで塗被する
ことができる。コーティング前駆体の量は被覆すべき生
繊維量、生繊維直径、熱分解の際の生繊維およびコーテ
ィング前駆体の収縮率および熱分解された繊維での所望
の被覆厚さによる。
【0023】被覆される生繊維の熱分解は不連続的にま
たは連続的に最高温度600〜2000℃、有利には1
000〜1500℃、特に有利には1000〜1300
℃および滞留時間は有利には0.5〜1000分、特に
有利には1〜10分で不活性ガス下(例えばアルゴンま
たは1500℃下でまた窒素)で行う。
【0024】加熱および冷却速度は有利には5k/h以
上、特に有利には5〜1000k/分である。これらは
異っていてもよい。加熱および冷却期間中に停止時間も
可能である。
【0025】有利な方法ではSi−有機ポリマーからな
る架橋した生繊維をジメチルホルムアミド中ポリアクリ
ルニトリルの溶液(有利には0.1〜5%)に浸漬し、
引き続いて不活性ガス下最高1500℃までで熱分解す
る。熱分解は繊維片で不連続的にまた連続的に、浸漬工
程後に生繊維束を直接不活性化した管型炉を通過させる
ことにより、エンドレス繊維の製造のために行うことが
できる。
【0026】特に有利な方法ではSi−有機ポリマーか
らなる生繊維を紡糸工程後に巻取の前で、糸ガイドを通
過させ、該糸ガイド内で配量ポンプを介しポリアクリル
酸の水溶液(有利には0.01〜2重量%)の一定量
(有利には生繊維量に対して5〜30重量%)を塗被す
る。例えばポリシラザン生繊維の際は空気にさらす(大
気中の湿気で加水分解)ことによる、十分な架橋後に、
熱分解を不活性ガス下で最高1500℃までで行う。熱
分解は繊維片で不連続的にまたは、生繊維をスプールか
らくり出しかつ管型炉を通過させることにより連続的
に、エンドレス繊維の製造のために行うことができる。
【0027】セラミック繊維マットまたはフリースの製
造は、前駆体を生繊維に紡糸し、これをマットまたはフ
リースにし、固化して不溶融性にして引き続いて熱分解
することにより行う。
【0028】有利な方法では、フリースとしての堆積
を、生繊維の延伸を噴射ノズルにより行う紡糸工程の直
後に行う。スプールに巻取られた生繊維はさらに別の工
程でマットに、例えば平行層または交叉層で堆積しなけ
ればならない。
【0029】フリースまたはマットにおける個々の繊維
の結合を保証するためには、繊維を接触位置で互に固着
させなければならない。繊維フリースまたは繊維マット
のこの固定工程は常法で例えば熱溶着、溶剤を用いた溶
解または付加的結合剤によって達成できる。
【0030】フリースまたはマットを製造するための熱
溶着の際は有利には新しく紡糸したポリマー繊維を、そ
れが接触点で固着する限り加熱する。そのためには、繊
維の融解を回避するために、繊維をポリマーの軟化温度
よりも最高10°まで高い温度に加熱する。有利にはこ
の方法を有利には1〜200ミリバール、特に有利には
3〜10ミリバールのプレス圧下で行う。
【0031】フリースおよびマットの他の製造方法によ
れば、熱溶着を不完全架橋生繊維フリースまたはマット
で行う。その際生繊維を、それが加熱の際その繊維形態
を失なわず、しかも繊維表面がなお可塑性になる程度ま
で架橋されていなければならない、こうして該繊維は加
圧下で接触点で固着する。有利には引き続いて、すでに
上述のように、引き続いての熱分解のために充分な架橋
を達成するためさらに架橋を行う。
【0032】繊維の固着のための他の有利な方法は、新
しく紡糸したポリマー繊維をフリースまたはマットとし
て堆積した後溶剤を噴霧することである。こうして繊維
表面は溶接し、溶剤の蒸発の際接触点は互に固着する。
このために適する溶剤は有利には沸点ないしは沸とう範
囲0.1MPaで120℃までを有する溶剤または溶剤
混合物である。このような溶剤の例としてはアルコー
ル、例えばメタノール、エタノール、n−プロパノー
ル、イソ−プロパノール;エーテル、例えばジオキサ
ン、テトラヒドロフラン、ジエチルエーテル、ジエチレ
ングリコールジメチルエーテル;塩素化炭化水素、例え
ばジクロロエタン、トリクロロメタン、テトラクロロメ
タン、1,2−ジクロロエタン、トリクロロエチレン;
炭化水素、例えばペンタン,n−ヘキサン、ヘキサン異
性体混合物、ヘプタン、オクタン、ウオッシュベンジ
ン、石油エーテル、ベンゼン、トルエン、キシレン;ケ
トン、例えばアセトン、メチルエチルケトン、メチル−
イソブチルケトン;硫化炭素およびニトロベンゼン、ま
たはこれら溶剤の混合物である。
【0033】またこの方法においても熱分解の前に繊維
の充分な架橋を必要とする。このことは、すでに上述に
従って達成することができる。
【0034】記載したすべての固着方法では互に固着す
る接触点の数、およびその強度は一般に公知の方法を用
いて制御できる。互に固着する接触点が多ければ、結果
として生じるSi−セラミックフリースないしはSi−
セラミックマットはそれだけ堅牢であるが柔軟性は少な
い。
【0035】本発明による、被覆セラミック繊維マット
またはフリースは、未架橋または架橋の生繊維からなる
既製のマットまたはフリースにコーティング前駆体また
はその溶液を噴霧するか、または紡糸工程の際コーティ
ング前駆体またはその溶液を生繊維成層および固着する
前に塗被するかのいずれかで製造することができる。
【0036】被覆した生繊維マットまたはフリースを温
度600℃〜2000℃、有利には1000℃〜150
0℃、特に有利には1100℃〜1300℃および滞留
時間0.5〜1000分、特に有利には1〜10分で不
活性ガス下で熱分解する。その際フリースおよびマット
の明らかな収縮が生じる。適切な不活性ガスは例えばア
ルゴンまたは窒素である。
【0037】できるだけ薄いフリースまたはマットを得
るためには、有利には被覆生繊維フリースまたはマット
に熱分解中に荷重する。
【0038】本発明による被覆セラミック繊維、セラミ
ック繊維フリースまたはセラミック繊維マットは特にセ
ラミック、ガラスセラミック、金属、ガラスおよび合成
樹脂の強化のための結合体に使用される。さらにこのセ
ラミック繊維は織物、フリースまたはマットの形でフィ
ルタとして、例えば排ガス技術で、担体として(例えば
触媒のための)または絶縁材としての用途がある。
【0039】
【実施例】次に実施例により本発明を詳細に説明する。
【0040】例1 米国特許第5268496号明細書の例2に基づき10
5℃で溶融するポリシラザン600gを1軸スクリュウ
押出機を用いて流量180g/hで50孔ノズルを介し
生繊維太さ20μmに紡糸しスプールに巻取った(17
5m/分)。架橋するため該スプールを2日間空気にさ
らした。引き続いて生繊維束をスプールからくり出し、
ジメチルホルムアミド中のポリアクリルニトリル(Ho
echst社の粉末、93309 Kelheim,C
hargen−No.90112−4)の2.5%溶液
を通して引き出し、20cmの長さの繊維片の形で炉室
中で(30分間、1300℃、滞留時間30分)アルゴ
ン下で熱分解した。炭素被覆カルボ窒化ケイ素繊維は次
の元素組成を持っていた;Si 54重量%、C18重
量%、N 16重量%およびO 9重量%。フィラメン
ト直径は15μm、引張強さ1.5GPaおよびEモジ
ュール180GPa。REM写真は亀裂のない繊維表面
を示した。
【0041】例2 ドイツ特許第3809614号明細書の例9により製造
したポリシラザン600gを1軸スクリュウ押出機を用
いて流量180g/hで50孔ノズルを介し生繊維太さ
20μmに紡糸し、かつスプールに巻取る前に配量ポン
プが接続された糸ガイドを用いてポリアクリル酸(Al
drich−Chemie社、89555 Stein
heim,Best.−Nr.19,205−8の25
%の水溶液として入手)の0.25%水溶液30ml/
hを塗被した。空気に1週間さらした後に該生繊維は溶
融不能であり、その後でくり出した生繊維を1300℃
の最大温度でアルゴン下で(滞留時間2分)管型炉を通
して引き出した。その結果Si含有率54重量%、C含
有率17重量%、N含有率10重量%およびO含有率1
7重量%を有するC被覆カルボ窒化ケイ素連続繊維を得
た。フィラメント直径は15μmであった。REM写真
では、亀裂のない平滑な繊維表面が確認された。
【0042】例3 例1に相当して製造したポリシラザン生繊維を空気で2
日間架橋させジメチルホルムアミド中ポリアクリルニト
リルの2.5%溶液に浸漬した後15cmの長さの断片
に切断し、格子状(300g/m2)でセラミックシャ
ーレ中に堆積した。該堆積物を炉室中で1200℃まで
(加熱速度300k/h)で荷重(4ミリバール、石英
板をのせることにより行う)をかけて5h窒素気流中で
熱分解させた。多量のポリアクリルニトリルにより繊維
は接触点で互に固着した。フリースの表面収縮は約25
%であった。こうして厚さ1mmで310g/m2の面
積重量を有するフリースが結果として得られた。
【0043】例4 生繊維被覆の効果をテストするため、例2により製造し
たC被覆および非被覆(例2に相当ポリアクリル酸な
し)カルボ窒化ケイ素繊維の複合体を製造し、かつその
破断特性を評価した。
【0044】SiCマトリックス前駆体を、炭化ケイ素
粉末NF 0−860(Elektroschmelz
werk Kempten社,ミュンヘンから市販)2
50gとトルエン中50%のポリシラン溶液500g、
ステアリン酸アンモニウム2.5gおよびトリオレイン
1.25gを圧延機で1時間完全に混合して、製造し
た。
【0045】NF 0−860は、アチソン(Ache
son)法により製造された、約1mmの平均粒子大き
さを有するセラミック質のα−炭化ケイ素粉末である。
使用したポリシランはWacker−Chemie社製
のSLM432070ポリシラン溶液から次のようにし
て製造した。
【0046】ポリシラン溶液SLM432070 50
0mlをフェニル−メチル−ポリシロキサン250gと
混合した。メチル対メトキシ対フェニルのモル比は使用
したフェニル−メチル−ポリシロキサンでは100:
0.5:3.5であった。軟化範囲は140℃、分子数
平均Mnは900、平均分子量Mwは1350であった。
このポリシロキサンの製造は例えばZ.anorg.a
llg.Chemie618[1992]148〜15
2またはCA118(93)10 2768)に記載さ
れている。この混合物にホウ酸10g、トルエン250
mlおよび25℃で粘度80mm2/sを有するビニル
基含有のオルガノシロキサン50gを混合した。このポ
リシロキサンの組成は[ViMe2SiO10.23[Vi
MeSiO2/20.27[ViSiO3/20.50であり、こ
の場合式中Meはメチル基およびViはビニル基を表わ
す。このポリシロキサンの製造は例えばドイツ特許出願
公開第4143203号明細書(Wacker Che
mie GmbH)に記載されている。
【0047】反応バッチを窒素雰囲気下8時間環流させ
ながら煮沸した。冷却した溶液を同様に不活性ガス保護
下アスベスト不含のフィルター膜(Seitz社から名
称“Supra 2600”で市販)を介して濾過し、
回転蒸発器で100℃および1hPaで蒸発乾固させ
た。こうして得たオルガノポリシロキサン−ビニルシロ
キサン−コポリマーは軟化範囲125℃、数平均分子量
n1500および重量平均分子量Mw6610であっ
た。トルエン中の50%溶液は185cpmで約15m
2/sの粘度を示した。1200℃におけるセラミッ
ク収率は53%であった。
【0048】C被覆ならびにまた非被覆カルボ窒化ケイ
素繊維を、このスリップを通して引き出し、真空下で付
着した空気を排除し乾燥した。真空で265℃に加熱す
ることによりポリシランを架橋し溶融不能かつ不溶性の
高ポリマーにした。こうして得た生製品を、有機ケイ素
前駆体を酸素含有炭化ケイ素に変えるために、窒素下で
熱分解した。このためまず初めに150°/hの加熱速
度で350℃に加熱し、そこで架橋過程を完全に行っ
た。さらに亀裂形成を避けるために、温度を30°/h
で緩かに800℃に上昇させた。最終熱分解工程で組織
を強固にするために150°/hで1200℃に加熱
し、2時間この温度に放置し、150°/hで室温に冷
却した。
【0049】こうして生成した複合体を破断し、破断個
処を光学的および電子光学的に評価した。非被覆繊維と
の比較で炭素被覆カルボ窒化ケイ素繊維は明白に際立っ
た強化効果を示した。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ルッツ レーシュ ドイツ連邦共和国 ブルクハウゼン フォ ン−ベイアー−シュトラーセ 16 (54)【発明の名称】 被覆セラミック繊維、被覆セラミック繊維マットまたはフリースの製造方法、この種の繊維、マ ットおよびフリース、これらを含有するかまたはこれらよりなる複合体、フィルタ、担体および 絶縁体

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被覆セラミック繊維、被覆セラミック繊
    維マットまたはフリースの製造方法において、生繊維を
    常法で製造し、少なくとも1種のコーティング前駆体で
    被覆し、引き続いて熱分解することを特徴とする、被覆
    セラミック繊維、被覆セラミック繊維マットまたはフリ
    ースの製造方法。
  2. 【請求項2】 Si有機ポリマーを常法で紡糸工程によ
    って生繊維に変え、こうして得られた生繊維に、熱分解
    の後に密な被覆をセラミック繊維に生成する少なくとも
    1種のコーティング前駆体をそのままでまたは溶液で塗
    被する請求項1記載の方法。
  3. 【請求項3】 コーティング前駆体として、熱分解後に
    パイロ炭素層を生じる有機ポリマー、熱分解後にBN層
    を生じるホウ素窒素化合物、熱分解後にSiC層を生じ
    るSi有機ポリマー、熱分解後にSiO2層を生じるポ
    リシロキサンおよび熱分解後にSi34層を生じるポリ
    シラザンのグループから選ばれる少なくとも1種の物質
    を使用する請求項1または2記載の方法。
  4. 【請求項4】 被覆した繊維、マットまたはフリースの
    熱分解を600℃〜2000℃の温度および0.5〜1
    000分の滞留時間で不活性ガス下で行う請求項1から
    3までのいずれか1項記載の方法。
  5. 【請求項5】 不活性ガスとしてアルゴンまたは窒素を
    使用する請求項4記載の方法。
  6. 【請求項6】 セラミック繊維が、生繊維の熱分解によ
    り得ることができる物質の少なくとも1種からなりかつ
    被覆が、その前駆体を生繊維に塗被しかつ熱分解後に密
    な層を生成する物質の少なくとも1種からなることを特
    徴とする被覆セラミック繊維、セラミック繊維マットま
    たはセラミック繊維フリース。
  7. 【請求項7】 セラミック繊維が炭化ケイ素、窒化ケイ
    素、オキシ窒化ケイ素、オキシ炭化ケイ素および/また
    はカルボ窒化ケイ素からなりかつSi含有率35〜70
    重量%、C含有率40重量%まで、N含有率40重量%
    までおよびO含有率40重量%までを有し、かつ場合に
    より、B、AlまたはTiのような別の元素15重量%
    まで含有できる請求項6記載の被覆セラミック繊維、セ
    ラミック繊維マット、またはセラミック繊維フリース。
  8. 【請求項8】 被膜が炭素、窒化ホウ素、炭化ケイ素、
    酸化ケイ素、オキシ炭化ケイ素、カルボ窒化ケイ素およ
    び/または窒化ケイ素からなる請求項6または7記載の
    被覆セラミック繊維、セラミック繊維マットまたはセラ
    ミック繊維フリース。
  9. 【請求項9】 セラミック繊維が直径5〜500μmを
    有し、被膜が厚さ2μmまでである請求項6から8まで
    のいずれか1項記載の被覆セラミック繊維、セラミック
    繊維マットまたはセラミック繊維フリース。
  10. 【請求項10】 請求項6から9までのいずれか1項記
    載の被覆セラミック繊維、セラミック繊維マットまたは
    セラミック繊維フリースよりなるセラミック、ガラスセ
    ラミック、金属、ガラスおよび合成樹脂を強化するため
    の複合体、フィルタ、担体および絶縁体。
JP8116435A 1995-05-18 1996-05-10 被覆セラミック繊維、被覆セラミック繊維マットまたはフリースの製造方法、この種の繊維、マットおよびフリース、これらを含有するかまたはこれらよりなる複合体、フィルタ、担体および絶縁体 Pending JPH08319172A (ja)

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DE19518325.8 1995-05-18

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