JPH0831630B2 - セラミックシートへの電極形成方法 - Google Patents
セラミックシートへの電極形成方法Info
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- JPH0831630B2 JPH0831630B2 JP1107737A JP10773789A JPH0831630B2 JP H0831630 B2 JPH0831630 B2 JP H0831630B2 JP 1107737 A JP1107737 A JP 1107737A JP 10773789 A JP10773789 A JP 10773789A JP H0831630 B2 JPH0831630 B2 JP H0831630B2
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- Japan
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- green sheet
- electrode layer
- ceramic
- forming
- sheet
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Links
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Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、例えば圧電形音響変換素子、圧電バイモル
フ・アクチュエータ、圧電フィルタ、圧電共振子等に用
いられる、両主面に電極層が設けられたセラミックシー
トの製造方法、特にセラミックシートへの電極形成方法
に関する。
フ・アクチュエータ、圧電フィルタ、圧電共振子等に用
いられる、両主面に電極層が設けられたセラミックシー
トの製造方法、特にセラミックシートへの電極形成方法
に関する。
（従来の技術） 従来、圧電フィルタ等において、セラミックシートの
両主面に設ける電極はAg若しくはNi等を塗布等の方法に
より形成させていた。
両主面に設ける電極はAg若しくはNi等を塗布等の方法に
より形成させていた。
例えば前記従来の塗布による製造方法では、先ず、ド
クターブレード法等の薄膜形成方法を用いて支持フィル
ム上にセラミックグリーンシートを形成し、乾燥後にグ
リーンシートを支持フィルムから剥離し、その両面にス
クリーン印刷により電極層を形成し焼成していた。
クターブレード法等の薄膜形成方法を用いて支持フィル
ム上にセラミックグリーンシートを形成し、乾燥後にグ
リーンシートを支持フィルムから剥離し、その両面にス
クリーン印刷により電極層を形成し焼成していた。
（発明が解決しようとする課題） 上述の方法を例えば100μｍ以下の薄いセラミックグ
リーンシートに適用すると、スクリーン印刷時、電極ペ
ースト中に含有される溶剤がグリーンシートに含浸し、
グリーンシートを膨潤させるため、特に両面に電極ペー
ストを塗布する場合、その塗布、乾燥後グリーンシート
にうねりやそり、ふくれが生じる。このグリーンシート
のうねりやそりやふくれは電極ペースト中の溶剤を適切
に選択することにより少なくすることができるが、平坦
なグリーンシートは得にくい。そしてこのグリーンシー
トの変形は焼成後も残り、電極が両主面に形成されたセ
ラミックシートの平坦なものが得られないという課題が
あった。
リーンシートに適用すると、スクリーン印刷時、電極ペ
ースト中に含有される溶剤がグリーンシートに含浸し、
グリーンシートを膨潤させるため、特に両面に電極ペー
ストを塗布する場合、その塗布、乾燥後グリーンシート
にうねりやそり、ふくれが生じる。このグリーンシート
のうねりやそりやふくれは電極ペースト中の溶剤を適切
に選択することにより少なくすることができるが、平坦
なグリーンシートは得にくい。そしてこのグリーンシー
トの変形は焼成後も残り、電極が両主面に形成されたセ
ラミックシートの平坦なものが得られないという課題が
あった。
本発明は、従来の上記の課題を解決することをその目
的とするものである。
的とするものである。
（課題を解決するための手段） 本発明は、上記の目的を達成するために、セラミック
グリーンシートの両主面に電極層を設けた後焼成して成
るセラミックシートへの電極形成方法において、セラミ
ックグリーンシート形成用支持フィルムの一面側に電極
層を形成する工程と、該電極層が形成された前記支持フ
ィルム上にセラミックグリーンシートを形成する工程
と、前記支持フィルム上に形成されたセラミックグリー
ンシート上に再び電極層を形成する工程と、該セラミッ
クグリーンシート及び両電極層の乾燥後に電極層が形成
されたセラミックグリーンシートを前記支持フィルムか
ら剥離する工程から成ることを特徴とする。
グリーンシートの両主面に電極層を設けた後焼成して成
るセラミックシートへの電極形成方法において、セラミ
ックグリーンシート形成用支持フィルムの一面側に電極
層を形成する工程と、該電極層が形成された前記支持フ
ィルム上にセラミックグリーンシートを形成する工程
と、前記支持フィルム上に形成されたセラミックグリー
ンシート上に再び電極層を形成する工程と、該セラミッ
クグリーンシート及び両電極層の乾燥後に電極層が形成
されたセラミックグリーンシートを前記支持フィルムか
ら剥離する工程から成ることを特徴とする。
（作用） 支持フィルム上に電極層、グリーンシート及び電極層
が順次形成され、これらは乾燥するまで支持フィルムに
支持されるので、電極層が形成されたグリーンシートに
そり、うねり、ふくれ等が生じない。
が順次形成され、これらは乾燥するまで支持フィルムに
支持されるので、電極層が形成されたグリーンシートに
そり、うねり、ふくれ等が生じない。
したがって、焼成後、平坦なセラミックシートが得ら
れる。
れる。
（実施例） 以下本発明の実施例を図面につき説明する。
第１図及び第２図は、圧電振動子に用いられるセラミ
ックシートの１例を示す。
ックシートの１例を示す。
同図において、円形のセラミックシート１の両主面に
は、それより小径の電極層21、22が形成されている。
は、それより小径の電極層21、22が形成されている。
この電極層21、22が両主面に形成されたセラミックシ
ート１の製造方法について説明すると、先ず最初に、第
３図に示すように、ポリエチレン等の帯状フィルム３の
１面側に、第１図及び第２図に示す円形の電極層21の複
数個をスクリーン印刷する。その乾燥後、第４図に示す
ように、電極層21の形成後の帯状支持フィルム３上にド
クターブレード方式を用いてセラミックグリーンシート
４を所定の厚さに形成し、乾燥させる。電極材料として
は、電極層21がセラミックグリーンシート材料であるセ
ラミック粉末、有機バインダ、可塑剤及び溶剤等から成
る泥しょうに含まれる溶剤等により浸されたり、溶解し
ない材質が選択される。例えば熱若しくは紫外線等によ
り硬化するバインダを使用することが望ましい。
ート１の製造方法について説明すると、先ず最初に、第
３図に示すように、ポリエチレン等の帯状フィルム３の
１面側に、第１図及び第２図に示す円形の電極層21の複
数個をスクリーン印刷する。その乾燥後、第４図に示す
ように、電極層21の形成後の帯状支持フィルム３上にド
クターブレード方式を用いてセラミックグリーンシート
４を所定の厚さに形成し、乾燥させる。電極材料として
は、電極層21がセラミックグリーンシート材料であるセ
ラミック粉末、有機バインダ、可塑剤及び溶剤等から成
る泥しょうに含まれる溶剤等により浸されたり、溶解し
ない材質が選択される。例えば熱若しくは紫外線等によ
り硬化するバインダを使用することが望ましい。
最後に、再び複数の円形の電極層22を第５図に示すよ
うにセラミックグリーンシート４上の電極層21と重なる
位置にスクリーン印刷して形成し乾燥する。そして両主
面に複数の電極層21、22が形成されたグリーンシート４
を帯状支持フィルム３から剥離し、両主面にそれぞれ電
極層21及び22を有する円形のセラミックグリーンシート
４に分離する。
うにセラミックグリーンシート４上の電極層21と重なる
位置にスクリーン印刷して形成し乾燥する。そして両主
面に複数の電極層21、22が形成されたグリーンシート４
を帯状支持フィルム３から剥離し、両主面にそれぞれ電
極層21及び22を有する円形のセラミックグリーンシート
４に分離する。
（発明の効果） 本発明は、上述のような構成であるから、セラミック
グリーンシートの両主面に電極層を形成してもグリーン
シートにうねりやそり等ができず、また製造工程も従来
の方法に比べて簡略化され、しかも自動化が容易になる
等の効果を有する。
グリーンシートの両主面に電極層を形成してもグリーン
シートにうねりやそり等ができず、また製造工程も従来
の方法に比べて簡略化され、しかも自動化が容易になる
等の効果を有する。
第１図は圧電振動子に用いられるセラミックシートの斜
視図、第２図はその側面図、第３図、第４図及び第５図
は本発明方法の実施の各工程を示す断面図である。 １……セラミックシート、21、22……電極層 ３……帯状支持フィルム、４……セラミックグリーンシ
ート
視図、第２図はその側面図、第３図、第４図及び第５図
は本発明方法の実施の各工程を示す断面図である。 １……セラミックシート、21、22……電極層 ３……帯状支持フィルム、４……セラミックグリーンシ
ート
Claims (1)
- 【請求項１】セラミックグリーンシートの両主面に電極
層を設けた後焼成して成るセラミックシートへの電極形
成方法において、セラミックグリーンシート形成用支持
フィルムの一面側に電極層を形成する工程と、該電極層
が形成された前記支持フィルム上にセラミックグリーン
シートを形成する工程と、前記支持フィルム上に形成さ
れたセラミックグリーンシート上に再び電極層を形成す
る工程と、該セラミックグリーンシート及び両電極層の
乾燥後に電極層が形成されたセラミックグリーンシート
を前記支持フィルムから剥離する工程から成ることを特
徴とするセラミックシートへの電極形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1107737A JPH0831630B2 (ja) | 1989-04-28 | 1989-04-28 | セラミックシートへの電極形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1107737A JPH0831630B2 (ja) | 1989-04-28 | 1989-04-28 | セラミックシートへの電極形成方法 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7389797A Division JP2873949B2 (ja) | 1997-03-26 | 1997-03-26 | セラミックシート及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02288276A JPH02288276A (ja) | 1990-11-28 |
| JPH0831630B2 true JPH0831630B2 (ja) | 1996-03-27 |
Family
ID=14466677
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1107737A Expired - Lifetime JPH0831630B2 (ja) | 1989-04-28 | 1989-04-28 | セラミックシートへの電極形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0831630B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020044246A (ko) * | 2000-12-05 | 2002-06-15 | 이형도 | 적층형 세라믹 패키지 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5678114A (en) * | 1979-11-29 | 1981-06-26 | Fujitsu Ltd | Method of manufacturing laminated ceramic chip condenser |
-
1989
- 1989-04-28 JP JP1107737A patent/JPH0831630B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5678114A (en) * | 1979-11-29 | 1981-06-26 | Fujitsu Ltd | Method of manufacturing laminated ceramic chip condenser |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02288276A (ja) | 1990-11-28 |
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