JPH08310835A - 中空ガラス球及びその製造方法 - Google Patents
中空ガラス球及びその製造方法Info
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- JPH08310835A JPH08310835A JP13874895A JP13874895A JPH08310835A JP H08310835 A JPH08310835 A JP H08310835A JP 13874895 A JP13874895 A JP 13874895A JP 13874895 A JP13874895 A JP 13874895A JP H08310835 A JPH08310835 A JP H08310835A
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- powder
- hollow
- hollow glass
- oxynitride
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C11/00—Multi-cellular glass ; Porous or hollow glass or glass particles
- C03C11/002—Hollow glass particles
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/03—Use of materials for the substrate
- H05K1/0313—Organic insulating material
- H05K1/0353—Organic insulating material consisting of two or more materials, e.g. two or more polymers, polymer + filler, + reinforcement
- H05K1/0373—Organic insulating material consisting of two or more materials, e.g. two or more polymers, polymer + filler, + reinforcement containing additives, e.g. fillers
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- Glass Compositions (AREA)
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 中空ガラス球に要求される諸特性を満足し、
しかも潰れ難く、また万一潰れても基板の配線を腐食す
るガスを放出することのない中空ガラス球と、このよう
な中空ガラス球を組成系に囚われることなく作製するこ
とが可能な製造方法を提供する。 【構成】 本発明の中空ガラス球はオキシナイトライド
ガラスからなり、内部にＮ2 ガスが封入されてなること
を特徴とする。またこのような中空ガラス球は、ガラス
粉末と窒化物粉末との混合粉末をＮ2 ガス雰囲気中で熱
処理してオキシナイトライドガラスを作製し、これを粉
砕、分級した後、熱処理することによって、ガラス中か
らＮ2 ガスを発生させ、ガラス粉末を内部から膨張させ
て中空化することにより作製される。
しかも潰れ難く、また万一潰れても基板の配線を腐食す
るガスを放出することのない中空ガラス球と、このよう
な中空ガラス球を組成系に囚われることなく作製するこ
とが可能な製造方法を提供する。 【構成】 本発明の中空ガラス球はオキシナイトライド
ガラスからなり、内部にＮ2 ガスが封入されてなること
を特徴とする。またこのような中空ガラス球は、ガラス
粉末と窒化物粉末との混合粉末をＮ2 ガス雰囲気中で熱
処理してオキシナイトライドガラスを作製し、これを粉
砕、分級した後、熱処理することによって、ガラス中か
らＮ2 ガスを発生させ、ガラス粉末を内部から膨張させ
て中空化することにより作製される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、中空ガラス球及びその
製造方法に関するものである。
製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】中空ガラス球は軽量で、しかも耐圧強度
が高いという特徴を有しており、従来より各種合成樹脂
の充填材等として使用されている。また軽量であるため
に、ガラス固有の誘電率を大きく低下させることが可能
であり、近年、これらの特徴を生かして中空ガラス球を
プリント配線基板の低誘電率化材として使用することが
提案され、開発が進められている。この用途に用いられ
る中空ガラス球には、低誘電率を達成するために軽量で
あること、アルカリイオンの溶出量が少ない、耐水性が
高いといった化学的耐久性に優れること等が要求され
る。
が高いという特徴を有しており、従来より各種合成樹脂
の充填材等として使用されている。また軽量であるため
に、ガラス固有の誘電率を大きく低下させることが可能
であり、近年、これらの特徴を生かして中空ガラス球を
プリント配線基板の低誘電率化材として使用することが
提案され、開発が進められている。この用途に用いられ
る中空ガラス球には、低誘電率を達成するために軽量で
あること、アルカリイオンの溶出量が少ない、耐水性が
高いといった化学的耐久性に優れること等が要求され
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで中空ガラス球
を製造するには、ＳＯ3 を溶融ガラス中に溶け込ませた
後、得られたガラスからガラス粉末を作製し、これを再
溶融することによってガラス中からＳＯ2 ガス及びＯ2
ガスを発生させ、ガラス粉末を内部から膨張させて中空
ガラス球を得る方法が一般的である。しかしこの方法で
は、ＳＯ3 が溶存し易い組成系を選択する必要があり、
ガラス組成が制約されてしまうため、所望の特性が得難
いという欠点がある。
を製造するには、ＳＯ3 を溶融ガラス中に溶け込ませた
後、得られたガラスからガラス粉末を作製し、これを再
溶融することによってガラス中からＳＯ2 ガス及びＯ2
ガスを発生させ、ガラス粉末を内部から膨張させて中空
ガラス球を得る方法が一般的である。しかしこの方法で
は、ＳＯ3 が溶存し易い組成系を選択する必要があり、
ガラス組成が制約されてしまうため、所望の特性が得難
いという欠点がある。
【０００４】また上記の方法で作製された中空ガラス球
をプリント配線基板に使用する場合、中空ガラス球が潰
れて内部に封入されているＳＯ2 ガスが流出してしまう
と、これが基板に形成された微細な配線を腐食させるお
それがある。
をプリント配線基板に使用する場合、中空ガラス球が潰
れて内部に封入されているＳＯ2 ガスが流出してしまう
と、これが基板に形成された微細な配線を腐食させるお
それがある。
【０００５】本発明の目的は、上記要求特性を満足させ
るとともに、潰れ難く、また万一潰れても基板の配線を
腐食するガスを放出することのない中空ガラス球と、こ
のようなガラス球を組成系に囚われることなく作製する
ことが可能な中空ガラス球の製造方法を提供することで
ある。
るとともに、潰れ難く、また万一潰れても基板の配線を
腐食するガスを放出することのない中空ガラス球と、こ
のようなガラス球を組成系に囚われることなく作製する
ことが可能な中空ガラス球の製造方法を提供することで
ある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明者等は、種々の研
究を行った結果、中空ガラス球をオキシナイトライドガ
ラスで作製することにより、上記目的が達成できること
を見いだし、本発明として提案するものである。
究を行った結果、中空ガラス球をオキシナイトライドガ
ラスで作製することにより、上記目的が達成できること
を見いだし、本発明として提案するものである。
【０００７】即ち、本発明の中空ガラス球は、オキシナ
イトライドガラスからなり、内部にＮ2 ガスが封入され
てなることを特徴とする。
イトライドガラスからなり、内部にＮ2 ガスが封入され
てなることを特徴とする。
【０００８】また本発明の中空ガラス球の製造方法は、
ガラス粉末と窒化物粉末との混合粉末をＮ2 ガス雰囲気
中で熱処理してオキシナイトライドガラスを作製し、こ
れを粉砕、分級した後、熱処理することによって、ガラ
ス中からＮ2 ガスを発生させ、ガラス粉末を内部から膨
張させて中空化することを特徴とする。
ガラス粉末と窒化物粉末との混合粉末をＮ2 ガス雰囲気
中で熱処理してオキシナイトライドガラスを作製し、こ
れを粉砕、分級した後、熱処理することによって、ガラ
ス中からＮ2 ガスを発生させ、ガラス粉末を内部から膨
張させて中空化することを特徴とする。
【０００９】
【作用】本発明の中空ガラス球は、オキシナイトライド
ガラスからなるため、弾性率が大きく高い耐圧強度を有
する。また化学的耐久性に優れたものである。しかも内
部に封入されているガスは、配線材料を腐食させること
のない中性のＮ2 ガスを主成分とするものである。
ガラスからなるため、弾性率が大きく高い耐圧強度を有
する。また化学的耐久性に優れたものである。しかも内
部に封入されているガスは、配線材料を腐食させること
のない中性のＮ2 ガスを主成分とするものである。
【００１０】中空ガラス球を構成するオキシナイトライ
ドガラスの組成は特に制限されるものではないが、例え
ば重量百分率でＳｉＯ2 ４０〜９５％、Ａｌ2 Ｏ3
０〜１８％、Ｂ2 Ｏ3 ０．５〜３０％、Ｒ2 Ｏ（Ｒ2
ＯはＬｉ2 Ｏ、Ｎａ2 Ｏ、Ｋ2 Ｏから選ばれる１種以
上）０〜２０％、ＲＯ（ＲＯはＣａＯ、ＺｎＯ、Ｂａ
Ｏ、ＳｒＯ、ＭｇＯから選ばれる１種以上）０〜３０％
の基本酸化物組成のうちＯの一部をＮで置換してなり、
Ｎの含有量が０．２〜５％であるガラスが好適である。
なお組成範囲を上記のように限定した理由は以下の通り
である。ＳｉＯ2 が４０％より少ないと化学的耐久性が
低下し、９５％より多いと見掛け比重が大きくなり過ぎ
る。Ａｌ2 Ｏ3 が１８％より多いと比重が大きくなり過
ぎる。Ｂ2 Ｏ3 が０．５％より少ないと比重が大きくな
り、３０％より多いと耐圧強度が低下する。Ｒ2 Ｏが２
０％より多いとアルカリ溶出量が多くなり過ぎ、ＲＯが
３０％より多いと化学的耐久性が低下する。Ｎが０．２
％より少ないと耐圧強度や化学的耐久性を改善する効果
が殆どなく、一方Ｎが５％より多い中空ガラス球は製造
困難である。
ドガラスの組成は特に制限されるものではないが、例え
ば重量百分率でＳｉＯ2 ４０〜９５％、Ａｌ2 Ｏ3
０〜１８％、Ｂ2 Ｏ3 ０．５〜３０％、Ｒ2 Ｏ（Ｒ2
ＯはＬｉ2 Ｏ、Ｎａ2 Ｏ、Ｋ2 Ｏから選ばれる１種以
上）０〜２０％、ＲＯ（ＲＯはＣａＯ、ＺｎＯ、Ｂａ
Ｏ、ＳｒＯ、ＭｇＯから選ばれる１種以上）０〜３０％
の基本酸化物組成のうちＯの一部をＮで置換してなり、
Ｎの含有量が０．２〜５％であるガラスが好適である。
なお組成範囲を上記のように限定した理由は以下の通り
である。ＳｉＯ2 が４０％より少ないと化学的耐久性が
低下し、９５％より多いと見掛け比重が大きくなり過ぎ
る。Ａｌ2 Ｏ3 が１８％より多いと比重が大きくなり過
ぎる。Ｂ2 Ｏ3 が０．５％より少ないと比重が大きくな
り、３０％より多いと耐圧強度が低下する。Ｒ2 Ｏが２
０％より多いとアルカリ溶出量が多くなり過ぎ、ＲＯが
３０％より多いと化学的耐久性が低下する。Ｎが０．２
％より少ないと耐圧強度や化学的耐久性を改善する効果
が殆どなく、一方Ｎが５％より多い中空ガラス球は製造
困難である。
【００１１】なお本発明の中空ガラス球は、用途に応じ
て見掛け比重や粒径を適宜調整することができる。例え
ばプリント配線基板の充填材として用いる場合、作業性
の点から使用する合成樹脂の比重（約１．０〜１．３ｇ
／ｃｃ程度）とほぼ同等の０．９〜１．４ｇ／ｃｃの見
掛け比重となるようにすることが望ましい。また粒径は
３〜２０μｍであることが望ましい。
て見掛け比重や粒径を適宜調整することができる。例え
ばプリント配線基板の充填材として用いる場合、作業性
の点から使用する合成樹脂の比重（約１．０〜１．３ｇ
／ｃｃ程度）とほぼ同等の０．９〜１．４ｇ／ｃｃの見
掛け比重となるようにすることが望ましい。また粒径は
３〜２０μｍであることが望ましい。
【００１２】次に本発明の中空ガラス球の製造方法を説
明する。
明する。
【００１３】まず所望の組成を有するガラス粉末と、Ｓ
ｉ3 Ｎ4 、ＢＮ、ＡｌＮ等の窒化物粉末とを混合し、こ
れを真空電気炉にてＮ2 ガス雰囲気中で熱処理してオキ
シナイトライドガラスを作製する。得られるオキシナイ
トライドガラスの好ましい組成範囲は、重量百分率でＳ
ｉＯ2 ４０〜９５％、Ａｌ2 Ｏ3 ０〜１８％、Ｂ2Ｏ
3 ０．５〜３５％、Ｒ2 Ｏ（Ｒ2 ＯはＬｉ2 Ｏ、Ｎａ
2 Ｏ、Ｋ2 Ｏから選ばれる１種以上）０〜２０％、ＲＯ
（ＲＯはＣａＯ、ＺｎＯ、ＢａＯ、ＳｒＯ、ＭｇＯから
選ばれる１種以上）０〜３０％の基本酸化物組成のう
ち、Ｏの一部をＮで置換してなり、Ｎの含有量が１〜２
０％の組成を有するものである。
ｉ3 Ｎ4 、ＢＮ、ＡｌＮ等の窒化物粉末とを混合し、こ
れを真空電気炉にてＮ2 ガス雰囲気中で熱処理してオキ
シナイトライドガラスを作製する。得られるオキシナイ
トライドガラスの好ましい組成範囲は、重量百分率でＳ
ｉＯ2 ４０〜９５％、Ａｌ2 Ｏ3 ０〜１８％、Ｂ2Ｏ
3 ０．５〜３５％、Ｒ2 Ｏ（Ｒ2 ＯはＬｉ2 Ｏ、Ｎａ
2 Ｏ、Ｋ2 Ｏから選ばれる１種以上）０〜２０％、ＲＯ
（ＲＯはＣａＯ、ＺｎＯ、ＢａＯ、ＳｒＯ、ＭｇＯから
選ばれる１種以上）０〜３０％の基本酸化物組成のう
ち、Ｏの一部をＮで置換してなり、Ｎの含有量が１〜２
０％の組成を有するものである。
【００１４】なお組成範囲を上記のように限定した理由
は以下の通りである。ＳｉＯ2 が４０％より少ないと得
られる中空ガラス球の化学的耐久性が低下し、９５％よ
り多いと中空化が困難となる。Ａｌ2 Ｏ3 が１８％より
多いと中空化が困難になる。Ｂ2 Ｏ3 が０．５％より少
ないと中空化が困難になり、３５％より多い場合も中空
化が困難になる。Ｒ2 Ｏが２０％より多いと高温粘性が
低くなり過ぎて発生するＮ2 ガスが逸散し易くなる。Ｒ
Ｏが３０％より多いとガラス化領域から外れてしまう。
Ｎが１％より少ないと得られる中空ガラス球の比重が重
くなり、５％より多いとＮ2 ガスの放出が多過ぎて中空
化の段階で破壊が起こり易くなる。
は以下の通りである。ＳｉＯ2 が４０％より少ないと得
られる中空ガラス球の化学的耐久性が低下し、９５％よ
り多いと中空化が困難となる。Ａｌ2 Ｏ3 が１８％より
多いと中空化が困難になる。Ｂ2 Ｏ3 が０．５％より少
ないと中空化が困難になり、３５％より多い場合も中空
化が困難になる。Ｒ2 Ｏが２０％より多いと高温粘性が
低くなり過ぎて発生するＮ2 ガスが逸散し易くなる。Ｒ
Ｏが３０％より多いとガラス化領域から外れてしまう。
Ｎが１％より少ないと得られる中空ガラス球の比重が重
くなり、５％より多いとＮ2 ガスの放出が多過ぎて中空
化の段階で破壊が起こり易くなる。
【００１５】次に作製したオキシナイトライドガラスを
粉砕、分級してオキシナイトライドガラス粉末を得る。
粉砕、分級してオキシナイトライドガラス粉末を得る。
【００１６】その後、オキシナイトライド粉末を熱処理
する（例えば１５００〜１９００℃の火炎中を通過させ
る）と、化１に示すような反応が起こり、ガラス中から
Ｎ2ガスが発生して、ガラス粉末を内部から膨張させ
る。このようにして中空ガラス球を作製することができ
る。
する（例えば１５００〜１９００℃の火炎中を通過させ
る）と、化１に示すような反応が起こり、ガラス中から
Ｎ2ガスが発生して、ガラス粉末を内部から膨張させ
る。このようにして中空ガラス球を作製することができ
る。
【００１７】
【化１】
【００１８】なお上記組成範囲のオキシナイトライドガ
ラス粉末を使用すると、重量百分率でＳｉＯ2 ４０〜
９５％、Ａｌ2 Ｏ3 ０〜１８％、Ｂ2 Ｏ3 ０．５〜
３０％、Ｒ2 Ｏ（Ｒ2 ＯはＬｉ2 Ｏ、Ｎａ2 Ｏ、Ｋ2 Ｏ
から選ばれる１種以上）０〜２０％、ＲＯ（ＲＯはＣａ
Ｏ、ＺｎＯ、ＢａＯ、ＳｒＯ、ＭｇＯから選ばれる１種
以上）０〜３０％の基本酸化物組成のうちＯの一部をＮ
で置換してなり、Ｎの含有量が０．２〜５％である中空
ガラス球を得ることができる。
ラス粉末を使用すると、重量百分率でＳｉＯ2 ４０〜
９５％、Ａｌ2 Ｏ3 ０〜１８％、Ｂ2 Ｏ3 ０．５〜
３０％、Ｒ2 Ｏ（Ｒ2 ＯはＬｉ2 Ｏ、Ｎａ2 Ｏ、Ｋ2 Ｏ
から選ばれる１種以上）０〜２０％、ＲＯ（ＲＯはＣａ
Ｏ、ＺｎＯ、ＢａＯ、ＳｒＯ、ＭｇＯから選ばれる１種
以上）０〜３０％の基本酸化物組成のうちＯの一部をＮ
で置換してなり、Ｎの含有量が０．２〜５％である中空
ガラス球を得ることができる。
【００１９】
【実施例】以下、本発明を実施例に基づいて説明する。
【００２０】（実施例１）まず重量％で、ＳｉＯ2 ５
５％、Ａｌ2 Ｏ3 １４％、Ｂ2 Ｏ3 ８％、ＣａＯ
２１％、ＢａＯ １％、ＭｇＯ １％の組成を有する、
所謂Ｅガラス（比重２．６ｇ／ｃｃ）の粉末５００ｇと
Ｓｉ3 Ｎ4 粉末２６．４ｇとの混合粉末をアルミナ坩堝
に入れ、高周波誘導加熱炉内に設置した。次いで加熱炉
を約１Ｔｏｒｒまで減圧し、乾燥Ｎ2 ガスを６００Ｔｏ
ｒｒとなるまで注入する操作を２回繰り返してＯ2 分圧
が１ｐｐｍ以下、Ｎ2 分圧が７６０Ｔｏｒｒとなるよう
に調整した。続いて加熱炉を１５００℃まで昇温し、３
０分間保持した後、自然放冷した。その後、得られたオ
キシナイトライドガラスを粉砕、分級することによっ
て、重量％でＳｉＯ2 ５８％、Ａｌ2 Ｏ3 １３％、
Ｂ2 Ｏ3 ８％、ＣａＯ１９％、ＢａＯ １％、ＭｇＯ
１％の基本酸化物組成のうち、Ｏの一部をＮで置換し
たオキシナイトライドガラス粉末（比重２．６ｇ／ｃ
ｃ、粒径３〜１０μｍ）を得た。なおキエルダル法にて
Ｎの含有量を測定したところ、１．３％であった。
５％、Ａｌ2 Ｏ3 １４％、Ｂ2 Ｏ3 ８％、ＣａＯ
２１％、ＢａＯ １％、ＭｇＯ １％の組成を有する、
所謂Ｅガラス（比重２．６ｇ／ｃｃ）の粉末５００ｇと
Ｓｉ3 Ｎ4 粉末２６．４ｇとの混合粉末をアルミナ坩堝
に入れ、高周波誘導加熱炉内に設置した。次いで加熱炉
を約１Ｔｏｒｒまで減圧し、乾燥Ｎ2 ガスを６００Ｔｏ
ｒｒとなるまで注入する操作を２回繰り返してＯ2 分圧
が１ｐｐｍ以下、Ｎ2 分圧が７６０Ｔｏｒｒとなるよう
に調整した。続いて加熱炉を１５００℃まで昇温し、３
０分間保持した後、自然放冷した。その後、得られたオ
キシナイトライドガラスを粉砕、分級することによっ
て、重量％でＳｉＯ2 ５８％、Ａｌ2 Ｏ3 １３％、
Ｂ2 Ｏ3 ８％、ＣａＯ１９％、ＢａＯ １％、ＭｇＯ
１％の基本酸化物組成のうち、Ｏの一部をＮで置換し
たオキシナイトライドガラス粉末（比重２．６ｇ／ｃ
ｃ、粒径３〜１０μｍ）を得た。なおキエルダル法にて
Ｎの含有量を測定したところ、１．３％であった。
【００２１】次に、オキシナイトライドガラス粉末を最
高温度１８５０℃のガスバーナー気流中に供給して約１
００ミリ秒間熱処理し、サイクロンにて捕集した。
高温度１８５０℃のガスバーナー気流中に供給して約１
００ミリ秒間熱処理し、サイクロンにて捕集した。
【００２２】このようにして得られた捕集品は、粒径が
３〜１３μｍであり、見掛け比重をウルトラピクノメー
ターにて測定したところ、平均１．３ｇ／ｃｃであっ
た。また光学顕微鏡で観察し、さらに捕集品を押し割っ
て走査型電子顕微鏡で観察したところ、中空ガラス球で
あることが確認された。
３〜１３μｍであり、見掛け比重をウルトラピクノメー
ターにて測定したところ、平均１．３ｇ／ｃｃであっ
た。また光学顕微鏡で観察し、さらに捕集品を押し割っ
て走査型電子顕微鏡で観察したところ、中空ガラス球で
あることが確認された。
【００２３】続いてＪＩＳ Ｒ３５０２に準じて中空ガ
ラス球の粒度分布でアルカリイオンの溶出量を測定した
ところ、０．４１ｍｇであった。また１８０℃、１０時
間の条件で耐水性を評価したところ、重量減は０．７５
％であった。さらに１２０ｋｇ／ｃｍ2 のＮ2 圧力下で
中空球の破壊率を測定したところ、破壊されたものは
２．１％であった。
ラス球の粒度分布でアルカリイオンの溶出量を測定した
ところ、０．４１ｍｇであった。また１８０℃、１０時
間の条件で耐水性を評価したところ、重量減は０．７５
％であった。さらに１２０ｋｇ／ｃｍ2 のＮ2 圧力下で
中空球の破壊率を測定したところ、破壊されたものは
２．１％であった。
【００２４】（実施例２）高周波加熱の条件を１３００
℃、１時間に変更し、他は実施例１と同様にしてオキシ
ナイトライドガラス粉末（比重２．６ｇ／ｃｃ、粒径３
〜１０μｍ）を作製した。このガラス粉末は、重量％で
ＳｉＯ2 ５８％、Ａｌ2 Ｏ3 １３％、Ｂ2 Ｏ3 ８
％、ＣａＯ １９％、ＢａＯ １％、ＭｇＯ １％の基
本酸化物組成のうち、Ｏの一部をＮで置換したものであ
り、キエルダル法にてＮの含有量を測定したところ、
１．５％であった。
℃、１時間に変更し、他は実施例１と同様にしてオキシ
ナイトライドガラス粉末（比重２．６ｇ／ｃｃ、粒径３
〜１０μｍ）を作製した。このガラス粉末は、重量％で
ＳｉＯ2 ５８％、Ａｌ2 Ｏ3 １３％、Ｂ2 Ｏ3 ８
％、ＣａＯ １９％、ＢａＯ １％、ＭｇＯ １％の基
本酸化物組成のうち、Ｏの一部をＮで置換したものであ
り、キエルダル法にてＮの含有量を測定したところ、
１．５％であった。
【００２５】次いで、このガラス粉末を実施例１と同様
の方法で熱処理したところ、粒径が３〜１４μｍ、見掛
け比重の平均が１．１ｇ／ｃｃの中空ガラス球が得られ
た。またこの中空ガラス球は、アルカリイオンの溶出量
が０．４３ｍｇ、耐水性試験による重量減が０．８０
％、破壊率が３．０％であった。
の方法で熱処理したところ、粒径が３〜１４μｍ、見掛
け比重の平均が１．１ｇ／ｃｃの中空ガラス球が得られ
た。またこの中空ガラス球は、アルカリイオンの溶出量
が０．４３ｍｇ、耐水性試験による重量減が０．８０
％、破壊率が３．０％であった。
【００２６】（実施例３）まず重量％で、ＳｉＯ2 ７
１％、Ａｌ2 Ｏ3 ２％、Ｂ2 Ｏ3 １％、ＣａＯ ５
％、ＭｇＯ ４％、Ｎａ2 Ｏ １６％、Ｋ2 Ｏ １％の
組成を有するガラス粉末（比重２．４ｇ／ｃｃ）５００
ｇとＢＮ粉末１８．０ｇとの混合粉末を使用し、他は実
施例１と同様にしてオキシナイトライドガラス粉末（比
重２．４ｇ／ｃｃ、粒径３〜１０μｍ）を作製した。こ
のオキシナイトライドガラス粉末は、重量％でＳｉＯ2
７０％、Ａｌ2 Ｏ3 ２％、Ｂ2 Ｏ3 ２％、ＣａＯ
５％、ＭｇＯ４％、Ｎａ2 Ｏ １６％、Ｋ2 Ｏ １％
の基本酸化物組成のうち、Ｏの一部をＮで置換したもの
であり、キエルダル法にてＮの含有量を測定したとこ
ろ、１．４％であった。
１％、Ａｌ2 Ｏ3 ２％、Ｂ2 Ｏ3 １％、ＣａＯ ５
％、ＭｇＯ ４％、Ｎａ2 Ｏ １６％、Ｋ2 Ｏ １％の
組成を有するガラス粉末（比重２．４ｇ／ｃｃ）５００
ｇとＢＮ粉末１８．０ｇとの混合粉末を使用し、他は実
施例１と同様にしてオキシナイトライドガラス粉末（比
重２．４ｇ／ｃｃ、粒径３〜１０μｍ）を作製した。こ
のオキシナイトライドガラス粉末は、重量％でＳｉＯ2
７０％、Ａｌ2 Ｏ3 ２％、Ｂ2 Ｏ3 ２％、ＣａＯ
５％、ＭｇＯ４％、Ｎａ2 Ｏ １６％、Ｋ2 Ｏ １％
の基本酸化物組成のうち、Ｏの一部をＮで置換したもの
であり、キエルダル法にてＮの含有量を測定したとこ
ろ、１．４％であった。
【００２７】次いで、このガラス粉末を実施例１と同様
の方法で熱処理したところ、粒径が３〜１３μｍ、見掛
け比重の平均が１．２ｇ／ｃｃの中空ガラス球が得られ
た。またこの中空ガラス球は、アルカリイオンの溶出量
が３．２ｍｇ、耐水性試験による重量減が１．８５％、
破壊率が１．８％であった。
の方法で熱処理したところ、粒径が３〜１３μｍ、見掛
け比重の平均が１．２ｇ／ｃｃの中空ガラス球が得られ
た。またこの中空ガラス球は、アルカリイオンの溶出量
が３．２ｍｇ、耐水性試験による重量減が１．８５％、
破壊率が１．８％であった。
【００２８】（実施例４）まず重量％で、ＳｉＯ2 ７
６％、Ｂ2 Ｏ3 ２０％、Ｎａ2 Ｏ ２％、Ｋ2Ｏ１
％、Ｌｉ2 Ｏ １％の組成を有する、所謂Ｄガラス（比
重２．２ｇ／ｃｃ）の粉末５００ｇとＢＮ粉末１８．０
ｇとの混合粉末を使用し、他は実施例１と同様にしてオ
キシナイトライドガラス粉末（比重２．２ｇ／ｃｃ、粒
径３〜１０μｍ）を作製した。このようにして得られた
オキシナイトライドガラス粉末は、重量％で、ＳｉＯ2
７５％、Ｂ2 Ｏ3 ２１％、Ｎａ2 Ｏ ２％、Ｋ2 Ｏ
１％、Ｌｉ2 Ｏ １％の基本酸化物組成のうち、Ｏの
一部をＮで置換したものであり、キエルダル法にてＮの
含有量を測定したところ、１．６％であった。
６％、Ｂ2 Ｏ3 ２０％、Ｎａ2 Ｏ ２％、Ｋ2Ｏ１
％、Ｌｉ2 Ｏ １％の組成を有する、所謂Ｄガラス（比
重２．２ｇ／ｃｃ）の粉末５００ｇとＢＮ粉末１８．０
ｇとの混合粉末を使用し、他は実施例１と同様にしてオ
キシナイトライドガラス粉末（比重２．２ｇ／ｃｃ、粒
径３〜１０μｍ）を作製した。このようにして得られた
オキシナイトライドガラス粉末は、重量％で、ＳｉＯ2
７５％、Ｂ2 Ｏ3 ２１％、Ｎａ2 Ｏ ２％、Ｋ2 Ｏ
１％、Ｌｉ2 Ｏ １％の基本酸化物組成のうち、Ｏの
一部をＮで置換したものであり、キエルダル法にてＮの
含有量を測定したところ、１．６％であった。
【００２９】次いで、このガラス粉末を実施例１と同様
の方法で熱処理したところ、粒径が３〜１４μｍ、見掛
け比重の平均が１．０ｇ／ｃｃの中空ガラス球が得られ
た。またこの中空ガラス球は、アルカリイオンの溶出量
が３．５ｍｇ、耐水性試験による重量減が３．２５％、
破壊率が５．１％であった。
の方法で熱処理したところ、粒径が３〜１４μｍ、見掛
け比重の平均が１．０ｇ／ｃｃの中空ガラス球が得られ
た。またこの中空ガラス球は、アルカリイオンの溶出量
が３．５ｍｇ、耐水性試験による重量減が３．２５％、
破壊率が５．１％であった。
【００３０】
【発明の効果】本発明の中空ガラス球は、軽量であり、
耐圧強度が高く、化学的耐久性に優れたものである。ま
た内部に封入されているガスが中性のＮ2 ガスを主成分
とするため、万一中空ガラス球が潰れても、流出するガ
スが基板の配線等に悪影響を及ぼすおそれがない。それ
ゆえ各種樹脂の充填材、特にプリント配線基板の充填材
として好適である。
耐圧強度が高く、化学的耐久性に優れたものである。ま
た内部に封入されているガスが中性のＮ2 ガスを主成分
とするため、万一中空ガラス球が潰れても、流出するガ
スが基板の配線等に悪影響を及ぼすおそれがない。それ
ゆえ各種樹脂の充填材、特にプリント配線基板の充填材
として好適である。
【００３１】また本発明の方法によれば、上記した中空
ガラス球を組成系に囚われることなく作製することが可
能である。
ガラス球を組成系に囚われることなく作製することが可
能である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中村 利夫 滋賀県大津市晴嵐２丁目７番１号 日本電 気硝子株式会社内 (72)発明者 長谷川 義徳 滋賀県大津市晴嵐２丁目７番１号 日本電 気硝子株式会社内 (72)発明者 白石 鶴美 滋賀県大津市晴嵐２丁目７番１号 日本電 気硝子株式会社内
Claims (2)
- 【請求項１】 オキシナイトライドガラスからなり、内
部にＮ2 ガスが封入されてなることを特徴とする中空ガ
ラス球。 - 【請求項２】 ガラス粉末と窒化物粉末との混合粉末を
Ｎ2 ガス雰囲気中で熱処理してオキシナイトライドガラ
スを作製し、これを粉砕、分級した後、熱処理すること
によって、ガラス中からＮ2 ガスを発生させ、ガラス粉
末を内部から膨張させて中空化することを特徴とする中
空ガラス球の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13874895A JPH08310835A (ja) | 1995-05-12 | 1995-05-12 | 中空ガラス球及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13874895A JPH08310835A (ja) | 1995-05-12 | 1995-05-12 | 中空ガラス球及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08310835A true JPH08310835A (ja) | 1996-11-26 |
Family
ID=15229264
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13874895A Pending JPH08310835A (ja) | 1995-05-12 | 1995-05-12 | 中空ガラス球及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08310835A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019112246A (ja) * | 2017-12-22 | 2019-07-11 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス繊維及びその製造方法 |
-
1995
- 1995-05-12 JP JP13874895A patent/JPH08310835A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019112246A (ja) * | 2017-12-22 | 2019-07-11 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス繊維及びその製造方法 |
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