JPH0830782B2 - 像点位置ずれ量の測定方法 - Google Patents
像点位置ずれ量の測定方法Info
- Publication number
- JPH0830782B2 JPH0830782B2 JP4629289A JP4629289A JPH0830782B2 JP H0830782 B2 JPH0830782 B2 JP H0830782B2 JP 4629289 A JP4629289 A JP 4629289A JP 4629289 A JP4629289 A JP 4629289A JP H0830782 B2 JPH0830782 B2 JP H0830782B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- pinhole
- optical system
- image point
- prism
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Automatic Focus Adjustment (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、結像光学系の像点位置ずれ量の測定方法に
関する。
関する。
従来、例えば双眼顕微鏡のような結像光学系の像点位
置ずれ量（合焦ずれ量）を測定する方法として、特開昭
63−147117号公報に開示された顕微鏡調整検査装置（以
下、単に調整検査装置という）を用いて行う方法があ
る。
置ずれ量（合焦ずれ量）を測定する方法として、特開昭
63−147117号公報に開示された顕微鏡調整検査装置（以
下、単に調整検査装置という）を用いて行う方法があ
る。
第４図は、上記調整検査装置１（一部を示す）を取付
けた顕微鏡２の概略構成図であり、ケーラー照明装置３
を内蔵した顕微鏡２を示している。
けた顕微鏡２の概略構成図であり、ケーラー照明装置３
を内蔵した顕微鏡２を示している。
図において４で示すのはピンホール（物体面）で、こ
のピンホール４には、光源5,補助レンズ6,ミラー7,コン
デンサーレンズ８を経て光が照射されるようになってお
り、ピンホール４は光軸上の基準位置に配備されてい
る。ピンホール４の像は、対物レンズ（被検レンズ又は
調整すべきレンズ）９を介して第１の像点10に結像（集
光）されるようになっており、この第１の像点10は、接
眼鏡筒11における接眼レンズの胴付部12から一定の距離
（位置）l0に結像されるように設定されている。
のピンホール４には、光源5,補助レンズ6,ミラー7,コン
デンサーレンズ８を経て光が照射されるようになってお
り、ピンホール４は光軸上の基準位置に配備されてい
る。ピンホール４の像は、対物レンズ（被検レンズ又は
調整すべきレンズ）９を介して第１の像点10に結像（集
光）されるようになっており、この第１の像点10は、接
眼鏡筒11における接眼レンズの胴付部12から一定の距離
（位置）l0に結像されるように設定されている。
かかる構成の調整検査装置に、第５図に示すような４
分割プリズムを用いた場合、その要部は、第６図に示す
構成となっている。
分割プリズムを用いた場合、その要部は、第６図に示す
構成となっている。
第５図の４分割プリズム13は、ウェッジ方向が全て異
なる４個のウェッジプリズムにより構成されている。
なる４個のウェッジプリズムにより構成されている。
第６図において、14はピンホール（第４図のピンホー
ル４に対応）、15は被検光学系（第４図の対物レンズ９
に対応）、16は基準像面（第４図の第１の像点10に対
応）、17は基準像面16付近にできるピンホール14の１次
像点、18はこの像を２次像として投影するための投影レ
ンズ、13は第５図に示す４分割プリズム、19は基準像面
16の投影レンズ18による投影像の位置に配置されたCCD
カメラの受光面、20は４個の点像で構成される映像パタ
ーンの各点像の重心位置を検出するための重心位置検出
部、21はずれ量Δを演算するための演算部、22はこの演
算結果を像点位置ずれ量として表示するための表示部で
ある。
ル４に対応）、15は被検光学系（第４図の対物レンズ９
に対応）、16は基準像面（第４図の第１の像点10に対
応）、17は基準像面16付近にできるピンホール14の１次
像点、18はこの像を２次像として投影するための投影レ
ンズ、13は第５図に示す４分割プリズム、19は基準像面
16の投影レンズ18による投影像の位置に配置されたCCD
カメラの受光面、20は４個の点像で構成される映像パタ
ーンの各点像の重心位置を検出するための重心位置検出
部、21はずれ量Δを演算するための演算部、22はこの演
算結果を像点位置ずれ量として表示するための表示部で
ある。
そして、受光面19で得られたピンホール像は、第７図
に示すように、基準座標軸x,yに対して、４ケ所に得ら
れる。
に示すように、基準座標軸x,yに対して、４ケ所に得ら
れる。
ここで、第４図において、第１の像点10は、接眼鏡筒
11における接眼レンズの胴付部12から一定の距離（位
置）l0に結像されるように設定されるべきものであり、
この第１の像点10からのずれ量Δの検出にあたっての測
定方法の原理は、以下のようであった。
11における接眼レンズの胴付部12から一定の距離（位
置）l0に結像されるように設定されるべきものであり、
この第１の像点10からのずれ量Δの検出にあたっての測
定方法の原理は、以下のようであった。
即ち、第７図において、受光面19で受光した４個のピ
ンホール像の各々の重心座標を図に示すごとく（x1,
y1），（x2,y2），（x3,y3）及び（x4,y4）とすれば、
合焦位置に対する像点位置ずれ量Δは次式で得られる。
ンホール像の各々の重心座標を図に示すごとく（x1,
y1），（x2,y2），（x3,y3）及び（x4,y4）とすれば、
合焦位置に対する像点位置ずれ量Δは次式で得られる。
（１）式において、β１は投影レンズの倍率、β２は
撮像倍率、NA′は検出像点側の開口数であり、係数の0.
849は開口形状による補正係数である。この補正係数
は、円開口４と４分円開口との形状の違いによるもの
で、具体的には半径２とした４分円の図心の円の中心か
らの距離（正確には8/3π）として考えられる。
撮像倍率、NA′は検出像点側の開口数であり、係数の0.
849は開口形状による補正係数である。この補正係数
は、円開口４と４分円開口との形状の違いによるもの
で、具体的には半径２とした４分円の図心の円の中心か
らの距離（正確には8/3π）として考えられる。
従って、x2,x4,y1,y3の検出値によりずれ量Δを算出
することによって基準位置からの像点位置ずれ量を求め
ることができる。
することによって基準位置からの像点位置ずれ量を求め
ることができる。
即ち、CCDカメラからのビデオ信号から、４つの像点
の各々の重心点の座標点を重心位置検出部20にて検出
し、この検出された各座標から合焦ずれ量Δに対応する
量を演算部21にて算出し、この量を検出値δとして前記
４つの像点と共に表示部22に表示するものであった。
の各々の重心点の座標点を重心位置検出部20にて検出
し、この検出された各座標から合焦ずれ量Δに対応する
量を演算部21にて算出し、この量を検出値δとして前記
４つの像点と共に表示部22に表示するものであった。
しかしながら、上記調整検査装置によるずれ量測定方
法では、双眼顕微鏡２の機種、すなわち被検光学系15の
開口数NA′が変わると、合焦ずれ量が同じであっても表
示部22に表示される検出値δ が変化してしまう場合がある。
法では、双眼顕微鏡２の機種、すなわち被検光学系15の
開口数NA′が変わると、合焦ずれ量が同じであっても表
示部22に表示される検出値δ が変化してしまう場合がある。
被検レンズの開口数（NA）が異なる場合（NA2＞NA1）
の合焦ずれ量Δと検出値δの関数を模式的に示すと、第
８図ａのようになっている。
の合焦ずれ量Δと検出値δの関数を模式的に示すと、第
８図ａのようになっている。
第８図ａにおいて、両直線の交点におけるずれ量Δ１
は、投影レンズ18と４分割プリズム13と受光面19との各
相対位置関係により影響を受ける成分、検出値δ１は４
分割プリズム13を構成する各小プリズム（成分プリズ
ム）の角度誤差による影響を受ける成分である。そし
て、投影レンズ18と４分割プリズム13と受光面19との各
相対位置関係を通常知られている構成により異なるNAの
レンズで同一検出値となるように調整することにより、
第８図ｂのようにずれ量Δ＝０上において開口数NA2,NA
1に係わりなく、検出値δを一定にすることができる
が、この場合でも４分割プリズム13の角度誤差により、
検出値δ１＝０にすることはできない。
は、投影レンズ18と４分割プリズム13と受光面19との各
相対位置関係により影響を受ける成分、検出値δ１は４
分割プリズム13を構成する各小プリズム（成分プリズ
ム）の角度誤差による影響を受ける成分である。そし
て、投影レンズ18と４分割プリズム13と受光面19との各
相対位置関係を通常知られている構成により異なるNAの
レンズで同一検出値となるように調整することにより、
第８図ｂのようにずれ量Δ＝０上において開口数NA2,NA
1に係わりなく、検出値δを一定にすることができる
が、この場合でも４分割プリズム13の角度誤差により、
検出値δ１＝０にすることはできない。
上記検出値δ１は、上述のように４分割プリズム13を
構成する各小プリズム（各成分プリズム）の角度誤差に
よってδ＝０とならないものであるが、この現象のとき
には、第７図に例示したような各ピンホール像の相対向
する２点を結ぶ２本の直線が直交しない。２本の直線が
直交するようにするには４分割プリズム13の角度誤差を
極めて高度な製作技術によって達成する必要があるので
実現性の乏しいというのが現状である。
構成する各小プリズム（各成分プリズム）の角度誤差に
よってδ＝０とならないものであるが、この現象のとき
には、第７図に例示したような各ピンホール像の相対向
する２点を結ぶ２本の直線が直交しない。２本の直線が
直交するようにするには４分割プリズム13の角度誤差を
極めて高度な製作技術によって達成する必要があるので
実現性の乏しいというのが現状である。
従って、検出値δ＝０のときには、合焦ずれが生じて
いることになり、被検レンズの調整検査上で非常に煩わ
しいものであった。
いることになり、被検レンズの調整検査上で非常に煩わ
しいものであった。
本発明は、かかる従来の問題点に鑑みてなされたもの
で、４分割プリズムの製作上の角度誤差があっても、開
口数NAが異なるレンズに対しては検出値δ＝０の場合に
合焦ずれΔ＝０となって検出される、即ち４分割プリズ
ムの角度誤差を許容して測定でき、被検レンズの調整検
査上煩わしさのない像点位置ずれ量の測定方法を提供す
ることを目的とする。
で、４分割プリズムの製作上の角度誤差があっても、開
口数NAが異なるレンズに対しては検出値δ＝０の場合に
合焦ずれΔ＝０となって検出される、即ち４分割プリズ
ムの角度誤差を許容して測定でき、被検レンズの調整検
査上煩わしさのない像点位置ずれ量の測定方法を提供す
ることを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明は、被検結像光学
系により作られる１次ピンホール像をリレーレンズ及び
ウェッジ方向の全て異なる４個のウェッジプリズムより
成る４分割プリズムにより拡大又は縮小された４個の２
次ピンホール像として結像し、この４個の２次ピンホー
ル像の光軸に直角なる重心の位置（x1,y1），（x2,
y2），（x3,y3）及び（x4,y4）（ただしx1＞x2,x3,x4、
x3＜x1,x2,x4、y2＞y1,y3,y4、y4＜y1,y2,y3）を受光素
子及び重心位置検出部により検出し、 （K,Cは定数）により、前記１次ピンホール像の光軸方
向での基準位置からのずれ量を算出することとした。
系により作られる１次ピンホール像をリレーレンズ及び
ウェッジ方向の全て異なる４個のウェッジプリズムより
成る４分割プリズムにより拡大又は縮小された４個の２
次ピンホール像として結像し、この４個の２次ピンホー
ル像の光軸に直角なる重心の位置（x1,y1），（x2,
y2），（x3,y3）及び（x4,y4）（ただしx1＞x2,x3,x4、
x3＜x1,x2,x4、y2＞y1,y3,y4、y4＜y1,y2,y3）を受光素
子及び重心位置検出部により検出し、 （K,Cは定数）により、前記１次ピンホール像の光軸方
向での基準位置からのずれ量を算出することとした。
上記構成の像点位置ずれ量の測定方法によれば、開口
数NAが異なるレンズに対しても検出値δ＝０の場合に合
焦ずれΔ＝０となって検出され、４分割プリズムの角度
誤差を許容して測定できる。
数NAが異なるレンズに対しても検出値δ＝０の場合に合
焦ずれΔ＝０となって検出され、４分割プリズムの角度
誤差を許容して測定できる。
第２図は、本発明を実施するための調査検査装置の概
略構成を示す説明図、第３図ａ〜ｄは上記調整検査装置
の調整過程を示す説明図、第１図は被検光学系を有する
双眼顕微鏡の接眼鏡筒に、調整検査装置を装着した要部
説明図である。
略構成を示す説明図、第３図ａ〜ｄは上記調整検査装置
の調整過程を示す説明図、第１図は被検光学系を有する
双眼顕微鏡の接眼鏡筒に、調整検査装置を装着した要部
説明図である。
第２図において、外筒23には投影レンズ18と４分割プ
リズム13が、それぞれ取受けられている。外筒23の一端
側には、投影レンズ18による投影像の位置にCCDカメラ2
4を配した内筒25が摺動自在に取付けられている。このC
CDカメラ24には、４分割プリズム13にて得られる４個の
点像で構成される映像パターンの各点像の重心位置を検
出するための重心位置検出部20が接続されている。この
重心位置検出部20で得られたデーターは演算部21に送ら
れ、データ入力部26で入力されたデーターと共に演算さ
れて、その演算結果が表示部22で、像点位置ずれ量Δと
して表示される。この二値化像（デジタル処理された
像）に代えて、破線で示すようにCCDカメラ24から直接
スルー画像を取り入れてもよい。
リズム13が、それぞれ取受けられている。外筒23の一端
側には、投影レンズ18による投影像の位置にCCDカメラ2
4を配した内筒25が摺動自在に取付けられている。このC
CDカメラ24には、４分割プリズム13にて得られる４個の
点像で構成される映像パターンの各点像の重心位置を検
出するための重心位置検出部20が接続されている。この
重心位置検出部20で得られたデーターは演算部21に送ら
れ、データ入力部26で入力されたデーターと共に演算さ
れて、その演算結果が表示部22で、像点位置ずれ量Δと
して表示される。この二値化像（デジタル処理された
像）に代えて、破線で示すようにCCDカメラ24から直接
スルー画像を取り入れてもよい。
前記データ入力部24に入力されるデータは、 β1;投影レンズの倍率 β2;CCDカメラによる撮影倍率 MA′；検出像点側（被検光学系）の開口数 0.849;開口形状による補正係数 n;分割プリズムの屈折率 l;分割プリズムの分割面からCCDカメラ受光面までの距
離 αx1,αy1,αx2,αy2,αx3,αy3,αx4,αy4;分割プリズ
ムのＸ及びＹ方向の成分角、 である。このデータの入力によって、演算部21にて、次
式（２），（３）が求められる。
離 αx1,αy1,αx2,αy2,αx3,αy3,αx4,αy4;分割プリズ
ムのＸ及びＹ方向の成分角、 である。このデータの入力によって、演算部21にて、次
式（２），（３）が求められる。
なお、上記に代えて、外部でk,Cを求めておいて、デ
ータ入力部に入力してもよい。また、1/0.849β１β２
を入れておいて、被検物に対してNA′を入力部より入れ
てもよい。
ータ入力部に入力してもよい。また、1/0.849β１β２
を入れておいて、被検物に対してNA′を入力部より入れ
てもよい。
外筒23の他端側には、この外筒23内に進退自在な基準
位置部材27の当接面から一定の距離l0（被検レンズの結
像点位置に相当する）の位置に設けたピンホール28を有
する基準鏡筒29が嵌め込まれている。この基準鏡筒29
は、外筒23との螺合によって、軸方向に移動自在であ
り、移動量が測定できるようになっている。
位置部材27の当接面から一定の距離l0（被検レンズの結
像点位置に相当する）の位置に設けたピンホール28を有
する基準鏡筒29が嵌め込まれている。この基準鏡筒29
は、外筒23との螺合によって、軸方向に移動自在であ
り、移動量が測定できるようになっている。
さらに、基準鏡筒29の前方（第２図において左方）に
は、この調整検査装置を調整するために、着脱自在な調
整用光学系30と照明光源31が設けられている（支部部材
は不図示）。
は、この調整検査装置を調整するために、着脱自在な調
整用光学系30と照明光源31が設けられている（支部部材
は不図示）。
上記構成よりなる調整検査装置によって被検光学系を
検査する場合には、以下のように調整されたのちに測定
が行われる。
検査する場合には、以下のように調整されたのちに測定
が行われる。
既知の開口数NA1を有する調整用光学系30を配置し、
照明光源31の像をピンホール28の位置に結像させる。
（なお、結像しないでピンホールを照明しても良い。例
えばケーラー照明がある。） 投影レンズ18、４分割プリズム13、CCDカメラ24のそ
れぞれの光軸が一致し、それぞれの間隔が所定に位置出
しされ、４分割プリズム13とCCDカメラ24の直交座標軸
が一致している（所定の設計配置状態にある）場合に
は、ピンホール28の位置（基準像面位置すなわちΔ＝
０）における、CCDカメラ24と重心位置検出部20を介し
て、演算部21により検出値δ を求め、次いで基準鏡筒29を介してピンホール28を基準
像面位置（Δ＝０）から軸方向の前後に移動しながらそ
の移動量Δと、検出値δの関係を求める。この関係は、
第３図ａに示すようになる。
照明光源31の像をピンホール28の位置に結像させる。
（なお、結像しないでピンホールを照明しても良い。例
えばケーラー照明がある。） 投影レンズ18、４分割プリズム13、CCDカメラ24のそ
れぞれの光軸が一致し、それぞれの間隔が所定に位置出
しされ、４分割プリズム13とCCDカメラ24の直交座標軸
が一致している（所定の設計配置状態にある）場合に
は、ピンホール28の位置（基準像面位置すなわちΔ＝
０）における、CCDカメラ24と重心位置検出部20を介し
て、演算部21により検出値δ を求め、次いで基準鏡筒29を介してピンホール28を基準
像面位置（Δ＝０）から軸方向の前後に移動しながらそ
の移動量Δと、検出値δの関係を求める。この関係は、
第３図ａに示すようになる。
そして、既知の開口数NA2（NA2＞NA1）を有する調整
用光学型32に置き換えて同様にΔ＝０のときのδ値、お
よびΔ≠０のときのδ値の関係を求めると、第３図ａに
示すようになる。ここで、開口数NA1,開口数NA2の調整
用光学系30,32は、顕微鏡の倍率の異なる対物レンズ
（市販品）を利用すれば開口数が異なるので便利であ
る。
用光学型32に置き換えて同様にΔ＝０のときのδ値、お
よびΔ≠０のときのδ値の関係を求めると、第３図ａに
示すようになる。ここで、開口数NA1,開口数NA2の調整
用光学系30,32は、顕微鏡の倍率の異なる対物レンズ
（市販品）を利用すれば開口数が異なるので便利であ
る。
第３図ａにおいて、各調整用光学系30,32のΔ＝０に
おけるδ値が０でないのは、４分割プリズム13の成分プ
リズムの成分角による影響によるものである。
おけるδ値が０でないのは、４分割プリズム13の成分プ
リズムの成分角による影響によるものである。
このδ値に対してデータ入力部26を介して前記データ
（β1,β2,NA1,NA2,n,l,αnx（ｎ＝１〜４），αny（ｎ
＝１〜４）等）を入れて補正することにより、Δ＝０の
ときにδ値＝０とすることができる。この線図の関係は
第３図ｂに示すようになる。
（β1,β2,NA1,NA2,n,l,αnx（ｎ＝１〜４），αny（ｎ
＝１〜４）等）を入れて補正することにより、Δ＝０の
ときにδ値＝０とすることができる。この線図の関係は
第３図ｂに示すようになる。
なお、調整検査装置の光学系（投影レンズ18,4分割プ
リズム13,CCDカメラ24）が所定の設計配置状態になって
いなく、かつ４分割プリズム13の成分角が全て等しい場
合は第３図ｃの状態の線図となる。また、調整検査装置
の光学系が所定の設計配置状態になく、かつ４分割プリ
ズム13の成分角も等しくない場合は第３図ｄの状態の線
図となる 上記のように調整された調整検査装置を第１図に示す
ように被検光学系15を有する双眼顕微鏡の接眼鏡筒11に
装着する。そして、双眼顕微鏡内に配置されたピンホー
ル14を介して、被検光学系15（開口数NA′）により得ら
れた第１の像点を調整検査装置により測定し、基準像面
16からのずれ量Δに応じて、４分割プリズム13により得
られる各像点位置をCCDカメラ24、重心位置検出部20を
介して取り込むとともに、これにデータ入力部26から入
れたデータ（β1,β2,NA′,n,αnx（ｎ＝１〜），αny
（ｎ＝１〜４））によるＣ値,K値によって補正を加えて
演算部21にて演算し、その結果を表示する。そして、表
示値がδ＝０にならないときには、Δ＝０すなわち基準
像面位置ｌになっていないので、被検光学系15等を移動
あるいは被検光学系15を構成するレンズを移動してΔ＝
０になるように調整する。
リズム13,CCDカメラ24）が所定の設計配置状態になって
いなく、かつ４分割プリズム13の成分角が全て等しい場
合は第３図ｃの状態の線図となる。また、調整検査装置
の光学系が所定の設計配置状態になく、かつ４分割プリ
ズム13の成分角も等しくない場合は第３図ｄの状態の線
図となる 上記のように調整された調整検査装置を第１図に示す
ように被検光学系15を有する双眼顕微鏡の接眼鏡筒11に
装着する。そして、双眼顕微鏡内に配置されたピンホー
ル14を介して、被検光学系15（開口数NA′）により得ら
れた第１の像点を調整検査装置により測定し、基準像面
16からのずれ量Δに応じて、４分割プリズム13により得
られる各像点位置をCCDカメラ24、重心位置検出部20を
介して取り込むとともに、これにデータ入力部26から入
れたデータ（β1,β2,NA′,n,αnx（ｎ＝１〜），αny
（ｎ＝１〜４））によるＣ値,K値によって補正を加えて
演算部21にて演算し、その結果を表示する。そして、表
示値がδ＝０にならないときには、Δ＝０すなわち基準
像面位置ｌになっていないので、被検光学系15等を移動
あるいは被検光学系15を構成するレンズを移動してΔ＝
０になるように調整する。
この表示は、例えば表示部22の画面において、第７図
の如く、CCDカメラ24によって撮影された各像点位置
を、直接表示する（いわゆるスルー画像）のものや、重
心位置検出部20を介して画像処理（ディジタル処理）し
た後の二値化像を表示するものに加えて、演算処理後の
Δ、即ち、 をディジタル的な数値で表示してもよい。
の如く、CCDカメラ24によって撮影された各像点位置
を、直接表示する（いわゆるスルー画像）のものや、重
心位置検出部20を介して画像処理（ディジタル処理）し
た後の二値化像を表示するものに加えて、演算処理後の
Δ、即ち、 をディジタル的な数値で表示してもよい。
この表示によって、被検光学系15あるいは被検光学系
15を構成するレンズの調整作業を極めて容易に行うこと
ができる。
15を構成するレンズの調整作業を極めて容易に行うこと
ができる。
以上のように、本発明の像点位置ずれ量の測定方法に
よれば、開口数NAが異なるレンズに対しても検出値δ＝
０の場合に合焦ずれΔ＝０と検出でき、４分割プリズム
の角度誤差を許容して測定でき、煩わしさがなく像点位
置ずれ量の測定を行うことができる。
よれば、開口数NAが異なるレンズに対しても検出値δ＝
０の場合に合焦ずれΔ＝０と検出でき、４分割プリズム
の角度誤差を許容して測定でき、煩わしさがなく像点位
置ずれ量の測定を行うことができる。
第１図は本発明の一実施例を示すもので被検光学系を有
する双眼顕微鏡の接眼鏡筒に調整検査装置を装着した場
合の要部縦断面図、 第２図は本発明の一実施例で用いた調整検査装置を示す
要部縦断面図、第３図a,b,cおよびｄはそれぞれ第２図
に示す調整検査装置の調整過程を示すグラフ、第４図は
従来の調整検査装置を取付けた双眼顕微鏡の概略構成
図、第５図は４分割プリズムの斜視図、第６図は従来の
調整検査装置を示す概略構成図、第７図はCCDカメラの
受光面で得られたピンホール像を示す画像図、第８図ａ
およびｂはそれぞれ第６図に示す調整検査装置の調整過
程を示すグラフである。 11……接眼鏡筒、13……４分割プリズム 14,28……ピンホール、15……被検光学系 16……基準像面、18……投影レンズ 19……受光面、20……重心位置検出部 21……演算部、22……表示部 24……CCDカメラ、26……データ入力部
する双眼顕微鏡の接眼鏡筒に調整検査装置を装着した場
合の要部縦断面図、 第２図は本発明の一実施例で用いた調整検査装置を示す
要部縦断面図、第３図a,b,cおよびｄはそれぞれ第２図
に示す調整検査装置の調整過程を示すグラフ、第４図は
従来の調整検査装置を取付けた双眼顕微鏡の概略構成
図、第５図は４分割プリズムの斜視図、第６図は従来の
調整検査装置を示す概略構成図、第７図はCCDカメラの
受光面で得られたピンホール像を示す画像図、第８図ａ
およびｂはそれぞれ第６図に示す調整検査装置の調整過
程を示すグラフである。 11……接眼鏡筒、13……４分割プリズム 14,28……ピンホール、15……被検光学系 16……基準像面、18……投影レンズ 19……受光面、20……重心位置検出部 21……演算部、22……表示部 24……CCDカメラ、26……データ入力部
Claims (1)
- 【請求項１】被検結像光学系により作られる１次ピンホ
ール像をリレーレンズ及びウェッジ方向の全て異なる４
個のウェッジプリズムより成る４分割プリズムにより拡
大又は縮小された４個の２次ピンホール像として結像
し、この４個の２次ピンホール像の光軸に直角なる重心
の位置（x1,y1），（x2,y2），（x3,y3）及び（x4,y4）
（ただしx1＞x2,x3,x4、x3＜x1,x2,x4、y2＞y1,y3,y4、
y4＜y1,y2,y3）を受光素子及び重心位置検出部により検
出し、 （k,Cは定数）により、前記１次ピンホール像の光軸方
向での基準位置からのずれ量を算出することを特徴とす
る像点位置ずれ量の測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4629289A JPH0830782B2 (ja) | 1989-02-27 | 1989-02-27 | 像点位置ずれ量の測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4629289A JPH0830782B2 (ja) | 1989-02-27 | 1989-02-27 | 像点位置ずれ量の測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02226110A JPH02226110A (ja) | 1990-09-07 |
| JPH0830782B2 true JPH0830782B2 (ja) | 1996-03-27 |
Family
ID=12743137
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4629289A Expired - Lifetime JPH0830782B2 (ja) | 1989-02-27 | 1989-02-27 | 像点位置ずれ量の測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0830782B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102005020542A1 (de) * | 2005-05-03 | 2006-11-09 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Einrichtung und Verfahren zur reproduzierbaren Einstellung der Pinholeöffnung und Pinholelage in Laserscanmikroskopen |
-
1989
- 1989-02-27 JP JP4629289A patent/JPH0830782B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02226110A (ja) | 1990-09-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100654248B1 (ko) | 편심측정방법 및 편심측정장치 | |
| EP0877241B1 (en) | An apparatus for measuring an optical characteristic of an examined lens | |
| US4867554A (en) | Surface examining apparatus | |
| JPH02161332A (ja) | 曲率半径測定装置及び方法 | |
| JPH0830782B2 (ja) | 像点位置ずれ量の測定方法 | |
| JP2983673B2 (ja) | 曲率半径測定方法および装置 | |
| JP2024504839A (ja) | アフォーカル光学系の変調伝達関数を測定するための測定装置及び方法 | |
| JP2521736B2 (ja) | 顕微鏡調整検査装置 | |
| US4768875A (en) | Arrangement for making contactless section-like measurements of the form of curved optically effective surfaces | |
| JPH06101B2 (ja) | 眼科機械用アライメント装置 | |
| JP2775276B2 (ja) | 眼屈折力測定装置 | |
| US6831792B2 (en) | Objective lens, combination of objective lenses, and method for adjusting optical system using objective lens | |
| JP2520365B2 (ja) | 光学式測長装置におけるワ―ク測定位置設定法 | |
| KR100395773B1 (ko) | 두 장의 사진을 이용한 광 삼각법 삼차원 측정 장치 | |
| JPH04174639A (ja) | 角膜曲率測定装置 | |
| JP2519183B2 (ja) | 貫通孔の三次元位置測定装置 | |
| JPH02206425A (ja) | 視線検出装置 | |
| JPH0659273B2 (ja) | 角膜曲率半径測定装置 | |
| JP2519187B2 (ja) | 貫通孔の三次元位置測定装置 | |
| JP2953689B2 (ja) | 検眼装置 | |
| JPS58171025A (ja) | 撮影装置 | |
| JPS62135705A (ja) | 画像処理式測定装置 | |
| JP3118845B2 (ja) | フォーカスインジケータを有する光学装置 | |
| JP2008185348A (ja) | 観察装置 | |
| JP2962489B2 (ja) | レンズ系の偏心量測定方法および装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 13 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090327 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |