JPH08305032A - 反射防止コーティング用組成物 - Google Patents
反射防止コーティング用組成物Info
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Abstract
成するための反射防止コーティング用組成物を提供す
る。 【構成】 パーフロロアルキルカルボン酸と、有機アミ
ンと、ポリビニルピロリドンと水とを含有する反射防止
コーティング用組成物。この組成物の使用によれば、難
溶化層形成が低減され、及び屈折率の低い干渉防止膜が
形成できる。
Description
組成物に関し、詳しくは、フォトレジストを用いフォト
リソグラフィー技術によりパターン形成を行なう際に、
フォトレジスト膜内において基板からの反射光と干渉す
ることによりもたらされるパターン寸法精度の低下(パ
ターン寸法幅の変動)を防止するための干渉防止膜をフ
ォトレジスト膜上に形成するための反射防止コーティン
グ用組成物に関する。
エハーなどの基板上にフォトレジスト膜を形成し、これ
に活性光線を選択的に照射した後、現像処理を行ない基
板上にフォトレジストのパターンを形成するリソグラフ
ィー技術が応用されている。
スト膜に活性光線を選択的に照射した場合に、干渉作用
のためパターン寸法幅が変動してくることが知られてい
る。このため、前記のパターン寸法幅の変動をできるだ
け小さくするための検討が随所でなされている。その幾
つかをあげると(1)特開平5−188598号、
(2)特開平6−148896号などが例示できる。
される反射防止コーティング用組成物であって、水溶性
ポリマーバインダーと水溶性フルオロカーボン化合物
(パーフロロカルボン酸、パーフロロスルホン酸の4級
アンモニウム塩など)により構成されるものが開示され
ている。また、この組成物により屈折率が1.401の
透明膜が得られ、実際にフォトリソグラフィー工程に適
用すると、反射防止コーティング膜がない場合に比較し
て、フォトレジスト膜厚変動による感度のバラツキが低
減するとしている。そして、この感度のバラツキはレジ
スト膜中での光の多重干渉効果によるものであり、反射
防止膜の理想的な屈折率は √(N resist)=1.28〜1.30 であるとしている。
フッ素系界面活性剤とを含有したレジスト用塗布液、ま
たその塗布液からなる干渉防止膜をレジスト表面に設け
ることによって、パターン寸法精度のすぐれたレジスト
パターンを形成するというものである。ここでの水溶性
膜形成成分としては分子中に水酸基を有しない水溶性ポ
リマーであるアクリル酸系重合体やポリビニルピロリド
ンなどであり、一方、フッ素系界面活性剤としては、パ
ーフロロカルボン酸、パーフロロスルホン酸又は各々の
四級アンモニウム塩が例示されている。
(1)では、反射防止膜をレジスト上に形成すると現像
後のレジストパターン上層部に現像残り(不溶化層)が
発生することがある。この現象はレジスト成分であるノ
ボラック樹脂とナフトキノンアジド化合物が四級アンモ
ニウム塩の存在によって相互作用を起こし表面部分が現
像液に不溶性となるためと思われる。また、理想的な屈
折率にはまだほど遠いのが実状である。更に、前記
(2)ではRfCOOHのみでは水に不溶(塩基が存在
してはじめて溶解する)であり、RfCOOM、RfSO
3M(Mは四級アンモニウム化合物である)の場合はレ
ジスト表面に難溶化層を形成してしまうという欠点があ
る。
し、フォトレジスト膜上に良質の干渉防止膜を形成する
ための反射防止コーティング用組成物を提供することに
ある。
ーティング液についていろいろな角度から検討してきた
結果、パーフロロアルキルカルボン酸と、有機アミン
と、ポリビニルピロリドンと、水とを組合わせたコーテ
ィング用組成物を用いれば、フォトレジストパターン上
に難溶化層とはならない良質の反射防止層が形成でき、
更には、より理想値に近い屈折率が得られ、レジスト膜
厚変動による感度(寸法のバラツキ)が低減できること
を見出した。本発明はこれに基づいてなされたものであ
る。
ルカルボン酸、有機アミン、ポリビニルピロリドン及び
水を含むことを特徴とする反射防止コーティング用組成
物、(2)前記(1)において、パーフロロアルキルカ
ルボン酸が一般式 CnF2n+1COOH (n=5〜10) で表わされる化合物であることを特徴とする反射防止コ
ーティング用組成物、(3)前記(1)において、有機
アミンがアルカノールアミンであることを特徴とする反
射防止コーティング用組成物、が提供される。
おいて、パーフロロアルキルカルボン酸がC7F15CO
OH、前記有機アミンがモノエタノールアミンであるこ
とを特徴とする反射防止コーティング用組成物が提供さ
れる。
おいて、ポリビニルピロリドンの分子量が1000〜2
0000、好ましくは2000〜10000であること
を特徴とする反射防止コーティング用組成物、(6)前
記(1)又は(5)において、ポリビニルピロリドンに
含まれるビニルピロリドンモノマー量が100ppm以
下であることを特徴とする反射防止コーティング用組成
物、が提供される。
において、パーフロロアルキルカルボン酸とポリビニル
ピロリドンとの割合は、ポリビニルピロリドン1重量部
に対してパーフロロアルキルカルボン酸が4〜8重量部
であることを特徴とする反射防止コーティング用組成物
が提供される。
発明で用いられるパーフルオロアルキルカルボン酸は好
ましくは一般式 CnF2n+1COOH (n=5〜10) で表わされるもので、中でも特にC7F15COOHの使
用が特に好ましい。このパーフロロアルキルカルボン酸
は活性剤として用いられ、水に不溶であるが、塩基性物
質が共存していると溶解する性質がある。
ンダーとして用いられる。一般的な水溶性ポリマーバイ
ンダーにおける必要な特性としては(i)スピン塗布時
の塗膜性能がよいこと、(ii)フッ素系界面活性剤との
相溶性がよいこと、(iii)高温ベーク処理(150〜1
60℃程度)後の水への溶解性が良いこと、(iv)23
00nmの波長の光に対する吸収をもたないこと、
(v)屈折率が低いこと、などがあげられる。
分子量(Mw=1000〜20000)のポリビニルピ
ロリドンが良好である。更に(ii)に関しては、水溶性
ポリマーとして例えばPAA(ポリアクリル酸)を用い
られた場合、このポリマーと活性剤(パーフロロアルキ
ルカルボン酸)との重量比が1:2.5よりも活性剤の
量が多くなると塗膜中に折出物が認められるようになる
(図2)のに対して、PAAの代りにポリビニルピロリ
ドンが用いられた場合には、その比は1:8くらいまで
均質な塗膜が得られるようになる(図1)。
は好ましくは分子量1000〜20000、更に好まし
くは2000〜10000のものである。分子量が10
00より小さいと安定な膜質が得られ難く、20000
より大きいとスピンコート時の糸引きや塗膜不良となる
傾向がみられる。パーフロロアルキルカルボン酸(活性
剤)/ポリビニルピロリドン比と屈折率との関係は図1
のように測定され、活性剤の占める割合が大きいほど屈
折率は低くなるため有利である。
ン酸は塩基性物質の共存下で溶解するが、本発明で用い
られる塩基性物質は有機アミンであり、中でもアルカノ
ールアミン、特にモノエタノールアミンの使用が望まし
い。従って、本発明では、パーフロロアルキルカルボン
酸、ポリビニールピロリドン、有機アミン及び水の組合
わせによって、より低い屈折率が得られ、また、レジス
ト上で難溶化層の形成が起らない。パーフロロアルキル
カルボン酸と有機アミンとは任意の組成比が採用でき
る。水についても同様である。水は望ましくは純水(イ
オン交換水)が用いられる。
具体的に説明する。
ル2.5gを入れて均一になるまで撹拌する。これに分
子量3,000のポリビニルピロリドン3.0g及びパ
ーフロロカルボン酸(商品名 FC−26/3M社製、
又はEF−201/トーケムプロダクツ社製)5.4g
を加えて溶解したものを濾過してサンプルとする。同様
にして、パーフロロカルボン酸の添加量を変えたサンプ
ルを準備する。それぞれのサンプルはシリコンウェハー
上でその膜厚が650Åになるように調整されているも
のである。
ハー上に塗布し、この塗布した膜を顕微鏡で観察すると
ともにエリプリメーター(ルドルフ社製 AEL−4)
にて膜厚及び屈折率を測定する。
ストAZ−7700を膜厚がおよそ1μmになるように
スピン塗布する。続いて、このレジスト膜上に前記にて
作製したサンプルをスピン塗布し、ホットプレート上で
90℃、90秒間のベーキングを行なった。その後でi
線ステーパーにてパターン露光を行ない、更に120℃
で90秒間のPEB処理を行なった。最後にTMAH
(テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド)2.
38%水溶液を使用して現像を行なった後、SEMにて
レジストパターン表面を観察した。レジストパターン上
の難溶化層の状態は、本サンプルを塗布していないレジ
ストパターンと比較して判断した。各サンプルの屈折率
は図1に示した。
リドン1(重量比)に対してパーフロロカルボン酸が8
くらいまでは均質な膜が得られたが、パーフロロカルボ
ン酸の添加量を更に増やすと膜中に結晶化物様の物が発
生した。また、レジスト上に塗布してパターニングした
もののSEM観察の結果、いずれのサンプルについて
も、膜残りの様な現象も認められず、レジスト表面の難
溶化層の発生もなく、レジストのみのパターン形成時と
同様なディフェクトのないきれいなパターンが形成され
た。(以下、実施例及び比較例を実施例1と同様の操作
で行なった。)
のものの屈折率は1.37であった。また、上記組成に
おいてポリビニルピロリドンの分子量を変えたサンプル
では、 1)Mw: 3000 塗布膜良好、 2)Mw: 9000 塗布膜良好、 3)Mw:45000 塗布ムラが発生し易い、 の結果が得られた。
が9000のものを使用したところ、フッ素系活性剤が
有利であった。
を調べたところ、アルキルアミン、芳香族アミン、エタ
ノールアミン、水の中ではエタノールアミンが良好で、
中でも2アミノエタノールは屈折率への影響が少なく良
好であった。
のものの屈折率は1.41であり、レジスト表面で難溶
化層を形成した。
のものの屈折率は1.43であり、レジスト表面で難溶
化層が形成は起らないが、屈折率の上昇してしまうが認
められた。
のものの屈折率は図2に破線で示したように、フッ素系
活性剤の増量と共に屈折率が低下するが、膜中に多量の
粒子が発生している。なお、レジスト表面での難溶化層
の形成は起こらなかった。
のものの屈折率は図2に実線で示したように、フッ素系
活性剤の増量と共に屈折率が低下するが、膜中に多量の
粒子が発生している。なお、レジスト表面での難溶化層
の形成は起こらなかった。
のものの屈折率は1.362であったが、レジスト表面
での難溶化層の形成が確認された。
れ、及び屈折率の低い反射防止コーティング用組成物が
得られる。
リビニルヒロリドンとの混合割合と、屈折率との関係を
表わしたグラフ。
ホン酸系のフッ素化合物)とポリアクリル酸との混合割
合と、屈折率との関係を表わしたグラフ。
Claims (7)
- 【請求項1】 パーフロロアルキルカルボン酸、有機ア
ミン、ポリビニルピロリドン及び水を含有することを特
徴とする反射防止コーティング用組成物。 - 【請求項2】 前記パーフロロアルキルカルボン酸が一
般式 CnF2n+1COOH (n=5〜10) で表わされる化合物であることを特徴とする請求項1記
載の反射防止コーティング用組成物。 - 【請求項3】 前記有機アミンがアルカノールアミンで
あることを特徴とする請求項1記載の反射防止コーティ
ング用組成物。 - 【請求項4】 前記パーフロロアルキルカルボン酸がC
7F15COOH、前記有機アミンがモノエタノールアミ
ンであることを特徴とする請求項1記載の反射防止コー
ティング用組成物。 - 【請求項5】 前記ポリビニルピロリドンの分子量が1
000〜20000、好ましくは2000〜10000
であることを特徴とする請求項1記載の反射防止コーテ
ィング用組成物。 - 【請求項6】 前記ポリビニルピロリドンに含まれるビ
ニルピロリドンモノマー量が100ppm以下であるこ
とを特徴とする請求項1又は5記載の反射防止コーティ
ング用組成物。 - 【請求項7】 前記パーフロロアルキルカルボン酸とポ
リビニルピロリドンとの割合は、ポリビニルピロリドン
1重量部に対してパーフロロアルキルカルボン酸4〜8
重量部であることを特徴とする請求項1記載の反射防止
コーティング用組成物。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13109695A JP3510003B2 (ja) | 1995-05-01 | 1995-05-01 | 反射防止コーティング用組成物 |
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Publication Number | Publication Date |
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JPH08305032A true JPH08305032A (ja) | 1996-11-22 |
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JP13109695A Expired - Lifetime JP3510003B2 (ja) | 1995-05-01 | 1995-05-01 | 反射防止コーティング用組成物 |
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