JPH08297826A - 歪測定装置 - Google Patents

歪測定装置

Info

Publication number
JPH08297826A
JPH08297826A JP10426795A JP10426795A JPH08297826A JP H08297826 A JPH08297826 A JP H08297826A JP 10426795 A JP10426795 A JP 10426795A JP 10426795 A JP10426795 A JP 10426795A JP H08297826 A JPH08297826 A JP H08297826A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
track
magnetic
disk
magnetic disk
servo
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP10426795A
Other languages
English (en)
Inventor
Kazuya Suzuki
一也 鈴木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
Priority to JP10426795A priority Critical patent/JPH08297826A/ja
Publication of JPH08297826A publication Critical patent/JPH08297826A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
  • Moving Of The Head To Find And Align With The Track (AREA)
  • Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【構成】 磁気ディスク1は、サーボ用の凹凸パターン
を有する非磁性基板上に磁性層が形成されている。この
磁気ディスク1を回転させ、磁気ヘッド2をディスクの
ある半径位置で固定しながら上記サーボ用の凹凸パター
ンによる位置決め信号を読み取り、磁気ヘッド2の半径
位置を徐々に移動させてこの読み取り動作を繰り返す。
読み取られた信号は、信号処理回路部5を介してトラッ
ク検出回路6に送り、半径方向の歪を含んだトラック軌
跡情報を検出する。 【効果】 磁気ディスク1上の凹凸パターンの歪の測定
が容易に行える。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、サーボ用の凹凸パター
ンを有する記録媒体のトラック歪量を測定する歪測定装
置に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に磁気ディスク装置においては、磁
気ディスクの記録容量の増大を図るためにトラック密度
の向上が図られてきている。この磁気ディスクの記録密
度の増加に対応させるため、磁気ディスク装置には、磁
気ヘッドの位置決め精度の向上が要求され、トラッキン
グ精度の向上が必要になってきている。
【0003】このような要求を満足するため、種々のト
ラッキングサーボ方式が開発されてきている。このトラ
ッキングサーボ方式の磁気ディスク装置は、磁気ヘッド
によって磁気ディスク上に書き込まれた位置決め信号を
読み出し、この位置決め信号に応じてヘッドアクチュエ
ータを制御することにより、再生用の磁気ヘッドをトラ
ック中央に位置させるように構成されている。
【0004】このような位置決め信号を磁気ヘッドで書
き込む場合には、位置決め信号の書き込み精度によって
トラッキング精度が決まることから、精度を保つための
専用のヘッド送り機構が必要となり、さらには、このヘ
ッド送り機構の機械的な精度によって磁気ディスクのト
ラッキング精度が制限されることになり、高密度化を阻
む原因の一つになる。
【0005】このヘッド送り機構の機械的な精度による
高密度化の制限を回避するために、磁気ディスクにサー
ボ用の凹凸パターンを形成し、この凹凸パターンを位置
決め信号とする磁気ディスクが提案されている。この磁
気ディスクは、非磁性基板の表面の位置決め信号を書き
込もうとする領域に予めサーボ用の凹凸パターンを形成
しておき、この上に磁性層を被着形成し、凹部と凸部と
に互いに逆極性の信号を書き込むことで構成されてお
り、上記凹凸パターン形成の際に、例えばフォトリソグ
ラフィ等による高精度のパターン形成技術を用いること
により、位置決め信号の精度を高めるようにしている。
【0006】このように、位置決め信号を予め磁気ディ
スク上に凹凸パターン形状で形成することにより、位置
決め信号の精度は、ヘッド送り機構の機械的精度に依存
することなく、凹凸パターン精度によって決定され、高
トラック密度化を図ることが可能となる。
【0007】ここで図3の(A)、(B)は、上述した
ようなサーボ用の凹凸パターンを有するサンプルドサー
ボ方式の磁気ディスク1の例をそれぞれ示している。こ
の図3の(A)、(B)に示す磁気ディスク1におい
て、一定の回転角度毎にサーボゾーンSZが設けられ、
このサーボゾーンSZ内に上記凹凸パターンが形成され
ている。
【0008】なお、図3の(A)は、ディスクの径方向
に磁気ヘッドが直線状に移動するような直動ヘッドアー
ムを用いる場合に放射状にサーボゾーンSZが形成され
た例を示し、図3の(B)は、回動ヘッドアームにより
支持された磁気ヘッドのスライダ軌跡状にサーボゾーン
SZが形成された例を示している。
【0009】この磁気ディスク1のサーボゾーンSZ内
の凹凸パターンは、例えば図4に示すように、サーボゾ
ーンSZのアドレスを示すアドレス部ADと、無信号の
ブランク領域BLと、トラック中心を通る凸部とトラッ
ク中心に対して一定のオフセットを持たせてちどり状に
配置した凸部が形成されたファインパターン部FPとで
構成されており、これらのアドレス部ADと、ファイン
パターン部FPと、データを記録する領域としてのデー
タトラック部DTとで1つのセグメントを形成してい
る。データトラック部DTの各トラックも凹凸形状で形
成されている。ファインパターン部FPは、この磁気デ
ィスクの位置決め信号が書き込まれる凸部16と凹部1
7とは、矢印に示すように極性m1 とm2 とで互いに逆
極性の信号が書き込まれる。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】ところが、磁気ディス
クの基板となる非磁性支持体をプラスチック等で形成し
た場合、磁気ディスクの成形条件によっては凹凸形状の
パターンが本来の理想的なパターンからずれた歪んだパ
ターンになってしまうことがあり、これによって本来有
すべき高精度のトラッキング性能が劣化することがあ
る。
【0011】そこで、本発明は、上述したような実情に
鑑みてなされたものであり、ディスクの凹凸パターンの
歪を測定し評価することができるような歪測定装置の提
供を目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明に係る歪測定装置
は、上述した課題を解決するために、サーボ用の凹凸パ
ターンを有する非磁性基板上に磁性層が形成されたディ
スク状記録媒体から情報を読み出す磁気ヘッドと、この
磁気ヘッドをディスク径方向に移動させると共に所定の
ディスク半径位置で固定させるヘッド操作手段と、上記
ディスク状記録媒体から読み出した信号に基づきトラッ
ク軌跡を検出するトラック検出手段と、上記トラック検
出手段からの検出信号によりトラックの歪量を解析する
解析手段とを有することを特徴としている。
【0013】ここで、上記トラック検出手段は、上記磁
気ヘッドからの位置決め信号のゼロレベルに基づいてト
ラック軌跡を検出するようにすることが好ましい。
【0014】
【作用】本発明に係る歪測定装置は、磁気ヘッドをディ
スク状記録媒体のある半径位置で固定しながら、磁気ヘ
ッドによりサーボ用の凹凸パターンによるトラック位置
決め信号を読み取って、このトラック位置決め信号に基
づきトラック検出手段によりトラックの軌跡を検出し、
この検出トラック軌跡に基づいてトラックの歪を測定す
る。
【0015】
【実施例】以下、本発明に係る歪測定装置の一実施例に
ついて、図面を参照しながら説明する。
【0016】この実施例では、記録媒体としてサンプル
ドサーボ方式の磁気ディスクにおけるトラックの歪量の
測定に用いた歪測定装置について説明する。
【0017】ここで、サンプルドサーボ方式の磁気ディ
スクとは、一定の角度間隔にサーボゾーンが設けられた
磁気ディスクである。このサーボゾーンにおいては、サ
ーボゾーンのアドレス部と、ブランク領域と、凹凸が予
め形成されたファインパターン部とでサーボセグメント
が形成されている。
【0018】本実施例の磁気ディスクは、サーボ用の凹
凸パターンが予め形成された非磁性基板上に磁性層が形
成されており、凹部と凸部の極性が互いに逆極性に磁化
されることで磁気的にデータが書き込まれている。
【0019】この歪測定装置は、例えば図1に示すよう
に、サンプルドサーボ方式の磁気ディスク1の情報を読
み出す磁気ヘッド2をディスク径方向に移動させると共
に所定のディスク半径位置で固定させるように操作する
ヘッド操作部3と、磁気ディスク1の回転を制御する回
転制御部4と、磁気ディスク1から読み出した信号に信
号処理を施す信号処理部5と、信号処理部5からの信号
に基づきトラック軌跡を検出するトラック検出回路6
と、トラック検出回路6からの検出信号によりトラック
の歪量を解析する解析処理回路7とを有して成ってい
る。
【0020】ヘッド操作部3は、操作ステージ31、サ
スペンジョンアーム32、スレッディングモータ33、
図示しないが回転を水平移動に変換する機構、及びステ
ージコントローラ34とを有して構成されている。操作
ステージ31は、先端側に磁気ヘッド2が装着固定され
たサスペンジョンアーム32を支持しながら制御信号に
応じて磁気ヘッド2を磁気ディスク1の径方向である図
1の矢印A方向に移動させる。ステージコントローラ3
4は、操作ステージ31を制御する。すなわち、ステー
ジコントローラ34からの制御信号に応じてスレッディ
ングモータ33が駆動され、操作ステージ31が駆動制
御されることで、サスペンジョンアーム32の先端の磁
気ヘッド2が上記ディスク径方向に移動される。またス
テージコントローラ34は、磁気ヘッド2のギャップ部
の位置を磁気ディスク1の半径方向の値として信号処理
部5の信号処理回路52に送る。磁気ヘッド2は、再生
した信号を信号処理部5の信号増幅回路51に供給す
る。
【0021】回転制御部4は、載置された磁気ディスク
1を一定の回転速度で回転するように回転制御する回転
制御回路41と、回転制御回路41からの制御信号に応
じて磁気ディスク1を回転させるスピンドルモータ等の
回転体42とで構成される。回転体42は、回転制御回
路41からの制御信号により磁気ディスク1を矢印R方
向に回転させる。
【0022】信号処理部5は、信号増幅回路51と、信
号処理回路52と、メモリ53とを有している。
【0023】信号増幅回路51は、磁気ヘッド2で検出
された再生信号を増幅して信号処理回路52に出力す
る。信号処理回路52は、再生信号の中から各サーボゾ
ーンSZに書き込まれている位置決め信号のデータとト
ラックアドレス情報を検出して処理する。この信号処理
回路52は、検出したこれらの情報をメモリ53に供給
する。またメモリ53には、ステージコントローラ34
からの磁気ヘッド2の位置情報すなわちディスク半径位
置情報が供給されている。
【0024】トラック検出回路6は、メモリ53からの
データを取り込んで、磁気ディスク1上を磁気ヘッド2
が移動した例えば図2(A)に示す矢印Wの範囲内の歪
情報、あるいは歪を含んだトラック軌跡情報を検出す
る。
【0025】ここで、図2はトラック検出の概念を説明
するための図であり、(A)はディスクの円周方向を直
線に展開してトラック軌跡の歪を強調して示し、(B)
は位置決め信号及びゼロレベル点を示し、(C)はメモ
リ空間上での情報を示している。すなわち、メモリ53
は、図2の(C)に示すように、縦軸に磁気ヘッドのデ
ィスク半径位置であるヘッド位置、横軸に磁気ディスク
のサーボセグメント番号をそれぞれとった2次元マトリ
クス上に、上記位置決め信号及びトラックアドレスデー
タが保存されるように構成されている。なお、各トラッ
ク毎にぞれぞれ独立した歪検出が不要な場合には、トラ
ックアドレスデータを省略して、位置決め信号のみをメ
モリ53に記憶するようにしてもよい。
【0026】トラック検出回路6では、トラックアドレ
スデータと、各サーボゾーンの位置決め信号データと、
磁気ヘッド2の位置情報に基づいて、図2(C)の検出
トラック軌跡DTを求めることで、上記図2の(A)に
示すトラック軌跡情報を検出している。
【0027】解析処理回路7は、トラック検出回路6で
検出したトラック軌跡情報に基づいて理想トラックから
の歪量を求める。ここで、解析処理回路7により、離散
的なフーリエ変換(DFT)処理を検出したトラック軌
跡情報に施して歪の周波数成分の影響を解析するように
してもよい。
【0028】この解析処理回路7からの解析結果は、例
えばCRT8に供給して歪量を画面に表示させたり、解
析結果を1つのファイルデータにまとめて磁気ディスク
9に供給して記録するようにすればよい。
【0029】このように構成することにより、磁気ディ
スク1の歪量を容易に検出することができる。
【0030】次に、歪測定装置により、磁気ディスク1
上の凹凸パターン形状の半径方向の歪を測定するための
動作について、図1の構成及び図2のトラック軌跡等を
参照しながら説明する。
【0031】先ず、歪測定を行う前に、測定対象とする
磁気ディスク1をスピンドルモータ等の回転部の回転体
42上部に装着固定し、回転制御回路41からの制御信
号に応じてスピンドルモータ等の回転体42を回転させ
て、載置された磁気ディスク1を一定の回転速度で回転
させる。
【0032】次に、歪測定装置は、ステージコントロー
ラ34によりヘッド操作部のヘッド操作ステージ31を
制御し、磁気ヘッド2を歪測定の位置に移動させる。こ
の移動後、磁気ヘッド2は、この位置で少なくともディ
スク1回転分の測定が終了するまで固定する。この測定
終了後、歪測定装置は、磁気ヘッド2をディスク径方向
に微少量だけ移動させる。このようにして、磁気ヘッド
2をある一定範囲、例えば図2の(A)の矢印Bに示す
範囲だけ移動するまで測定を繰り返す。
【0033】磁気ヘッド2は、磁気ディスク1上のサー
ボゾーンSZ内に記録された情報を読み出す。この情報
は、位置決め信号とトラックアドレスの情報を含んでい
る。磁気ヘッド2からの出力信号は、信号処理部5に送
られる。
【0034】信号処理部5では、磁気ヘッド2からの信
号を信号増幅回路51で増幅し、信号処理回路52に送
る。信号処理回路52では、供給された信号から各サー
ボゾーンでの位置決め信号とトラックアドレスのデータ
を検出し、検出データをメモリ53に送る。
【0035】ここで、測定時には磁気ヘッド2が所定位
置で固定されるので、磁気ディスク1上に描かれる軌跡
は真円であり、図2の(A)では直線TRで表される。
この磁気ヘッド2が径方向に微少移動された後の軌跡
は、破線の直線で表される。従って、磁気ヘッド2は、
磁気ディスク上の歪んだ各トラックTrn 、Trn+1
Trn+2 、Trn+3 上を横切って移動する。
【0036】図2の(A)の状態で、磁気ヘッド2は、
図2の(B)に示す位置決め信号Pが得られる。この位
置決め信号Pがゼロレベルを横切るとき、得られたサー
ボセグメントにおいて磁気ヘッド2がオントラック状態
になり、これらのゼロレベル点を図中の丸印で表してい
る。
【0037】メモリ53は、サーボゾーンからの位置決
め信号と、必要に応じてトラックアドレスのデータと
を、そのときの磁気ヘッド位置における各サーボセグメ
ント番号のメモリセルに保存する。
【0038】ここで、上記磁気ディスク1が偏心や歪成
分を持たない場合、すべてのサーボゾーンSZから得ら
れる位置決め信号Pの値は、各サーボセグメント間です
べて等しいものになり、このときの磁気ヘッド位置にお
ける位置決め信号Pについては、ゼロレベルを示す位置
がオントラック状態となる。
【0039】一方、磁気ディスク1が偏心や歪成分を持
つ場合、位置決め信号Pの値は、図2の(B)に示すよ
うに、各サーボゾーン毎に異なる値となり、ゼロレベル
が得られる磁気ヘッド位置も各サーボゾーンSZ毎に違
ってくる。
【0040】これによって、あるトラックについて、各
サーボゾーンでのゼロレベルが得られる磁気ヘッド位置
すなわちディスク半径位置を得ることで、トラックの歪
成分を含んだ情報である図2(C)の検出トラック軌跡
DTを得ることができる。なお、磁気ヘッドがどのトラ
ックにオントラックしているかは、各サーボゾーンから
得られるトラックアドレスから知ることが可能である。
【0041】トラック検出回路6は、メモリ53に保存
されたデータを基に磁気ディスク1の半径方向の歪情報
を検出する。この場合、図2の(C)のメモリ空間にお
ける丸印の同じ集まりTrn,Z、Trn+1,Z、T
n+2,Z、Trn+3,Zが、各トラックの軌跡として検出さ
れる。このトラック検出回路6により検出されたトラッ
クの歪成分を含んだトラックデータ軌跡、すなわち検出
トラック軌跡DTのデータは、解析処理回路7に送られ
る。
【0042】ここで、トラック検出回路6で検出された
データは、磁気ヘッド2の移動範囲Wによって複数トラ
ック検出可能であり、磁気ヘッド2が最内周トラックか
ら最外周トラックまで移動すれば、磁気ディスク1上に
存在する全てのトラックの歪成分を検出することが可能
である。
【0043】解析処理回路7は、上記検出トラック軌跡
DTのデータに基づいて、差分処理や積分処理、離散フ
ーリエ変換(DFT)処理等を行うことにより、トラッ
クの歪成分を検出すると共に、各サーボゾーンSZでの
歪量や全体の歪量のピーク・ツウ・ピーク(peak to pe
ak)値、周波数成分の影響等の歪測定の評価を行うこと
ができる。
【0044】解析処理回路7は、この解析結果を磁気デ
ィスクドライブ装置に装着された図1の磁気ディスク9
に記録して保持するようにしてもよい。また、解析処理
回路7は、この解析結果をCRT8に表示して歪を視覚
的に表示して評価させるようにしてもよい。
【0045】以上のように構成することにより、高密度
化に対応した例えばサンプルドサーボ方式の磁気ディス
クにおける歪量を検出することができる。これにより、
測定対象の磁気ディスクの精度が十分確保されるものか
どうかの良否判定を行うこともでき、製品の品質管理に
も大いに役立てることができる。
【0046】なお、本発明は、歪測定装置について説明
したが、この実施例に限定されるものでなく、例えばサ
ンプルドサーボ方式以外にも、セクタサーボ方式の磁気
ディスクにも適用でき、この他種々の変形例にも適用す
ることができ、凹凸を予め形成する記録媒体であればこ
の記録媒体の歪を測定することができることは言うまで
もない。
【0047】
【発明の効果】本発明に係る歪測定装置によれば、磁気
ヘッドをディスク状記録媒体のある半径位置で固定しな
がら、磁気ヘッドによりサーボ用の凹凸パターンを読み
出し、この読み出した信号に基づきトラック検出手段に
よりトラックの軌跡を検出し、この検出トラック軌跡に
基づいてトラックの歪を測定しているため、高密度化に
対応した凹凸パターンを有するディスク状記録媒体にお
ける歪量の検出が容易に実現できる。これにより、測定
対象の記録媒体の精度が十分確保されるものかどうかの
良否判定を行うこともでき、製品の品質管理にも大いに
役立てることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る歪測定装置の一実施例における概
略的な構成を示す図である。
【図2】上記歪測定装置の動作を説明する図である。
【図3】上記歪測定装置にかけるサンプルドサーボ方式
の磁気ディスクを説明する模式図である。
【図4】上記磁気ディスクのサーボセグメント内のパタ
ーンを説明する模式図である。
【符号の説明】
1、9 磁気ディスク 2 磁気ヘッド 3 ヘッド操作部 4 回転制御部 5 信号処理部 6 トラック検出回路 7 解析処理回路 8 CRT

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 サーボ用の凹凸パターンを有する非磁性
    基板上に磁性層が形成されたディスク状記録媒体から情
    報を読み出す磁気ヘッドと、 この磁気ヘッドをディスク径方向に移動させると共に所
    定のディスク半径位置で固定させるヘッド操作手段と、 上記ディスク状記録媒体から読み出した信号に基づきト
    ラック軌跡を検出するトラック検出手段と、 上記トラック検出手段からの検出信号によりトラックの
    歪量を解析する解析手段とを有することを特徴とする歪
    測定装置。
  2. 【請求項2】 上記トラック検出手段は、上記磁気ヘッ
    ドからの位置決め信号のゼロレベルに基づいてトラック
    軌跡を検出することを特徴とする請求項1記載の歪測定
    装置。
JP10426795A 1995-04-27 1995-04-27 歪測定装置 Pending JPH08297826A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10426795A JPH08297826A (ja) 1995-04-27 1995-04-27 歪測定装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10426795A JPH08297826A (ja) 1995-04-27 1995-04-27 歪測定装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH08297826A true JPH08297826A (ja) 1996-11-12

Family

ID=14376161

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10426795A Pending JPH08297826A (ja) 1995-04-27 1995-04-27 歪測定装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH08297826A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005115358A (ja) * 2003-09-19 2005-04-28 Matsushita Electric Ind Co Ltd レジストパターン形成方法、マスター情報担体の製造方法、磁気記録媒体の製造方法、磁気記録再生装置の製造方法、及び磁気記録再生装置
US7813075B2 (en) 2007-10-22 2010-10-12 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. System, method and apparatus for performing metrology on patterned media disks with test pattern areas

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005115358A (ja) * 2003-09-19 2005-04-28 Matsushita Electric Ind Co Ltd レジストパターン形成方法、マスター情報担体の製造方法、磁気記録媒体の製造方法、磁気記録再生装置の製造方法、及び磁気記録再生装置
US7813075B2 (en) 2007-10-22 2010-10-12 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. System, method and apparatus for performing metrology on patterned media disks with test pattern areas

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4558383A (en) Information storage disk transducer position control system using a prerecorded servo pattern requiring no alignment with the storage disk
US6429989B1 (en) Method for self-servowriting timing propagation
US5012363A (en) Servo pattern writing method for a disk storage device
US4007493A (en) Track positioning system for magnetic transducer head
US4872071A (en) Method and apparatus for detecting abnormal operation of moving storage apparatus
JP2523922B2 (ja) トラック追従制御装置
US5270886A (en) Two motor servo system for a removable disk drive
US5091808A (en) Two-motor servo mechanism system for a magnetic disk drive
US6611389B1 (en) Method of determining the variation of the clearance between a magnetic transducer and a recording media during track seeking
US5615063A (en) Magnetoresistive head bias current switching based on skew angle
US4561028A (en) Apparatus and method for reading and writing data on a magnetic disc
JPH08297826A (ja) 歪測定装置
US6603630B1 (en) Method and apparatus for monitoring track misregistration
JPH08167121A (ja) 磁気ディスクの異常突起検出方法及び磁気ディスク装置
JP2005032350A (ja) 基準磁気信号記録装置及びその製造方法
JP2523316B2 (ja) 磁気デイスクへのサ−ボ・デ−タの記録方法とその装置
US6091566A (en) Magnetoresistive head and hard drive system having offsets from center of the servo area to minimize microjogging
JP3823180B2 (ja) 磁気ディスク装置
JP2605721B2 (ja) ディスク状記録媒体
JP2633479B2 (ja) Mrヘッドのサーボ方法及びハードディスクシステム
JPH1011746A (ja) 磁気ディスクの検査方法及びその装置
KR100258340B1 (ko) 액츄에이터 암의 위치설정시의 오프셋 및 반복진동에러를 보상하기 위한 서보 컨트롤러 및 그 방법
JPS6252382B2 (ja)
WO2003102556A1 (fr) Dispositif d'analyse et disque d'analyse utilise dans ce dernier
JP3792945B2 (ja) サーボデータ書き込み装置及び方法

Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20040420