JPH08297091A - 物体表面の付着物質量の測定方法及び測定装置 - Google Patents
物体表面の付着物質量の測定方法及び測定装置Info
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- JPH08297091A JPH08297091A JP12734295A JP12734295A JPH08297091A JP H08297091 A JPH08297091 A JP H08297091A JP 12734295 A JP12734295 A JP 12734295A JP 12734295 A JP12734295 A JP 12734295A JP H08297091 A JPH08297091 A JP H08297091A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 物体表面に付着した物質の付着量を高精度で
測定し、付着量の平均値及び分布を正確に求めることが
可能な測定方法及び測定装置を提供する。 【構成】 次の手段を具備する。レーザー光を被検出物
体の表面に向けて集光,照射する手段(2)。被検出物体
(6)表面のレーザー光照射位置に付着した被検物質から
発生された特定波長の強度を測定する手段(4)。 特定
波長光の強度を減衰させて零にするのに要するレーザー
光の累積照射量を求める手段(1)。レーザー光の累積照
射量に基づいて被検物体の表面上にあって特定波長光を
発生した被検物質の量を求める手段(1)。レーザー光照
射手段(2)と測定手段(4)を可動させるための手段と、被
検出物体を可動させるための手段(5)。被検出物体表面
上の複数の位置における被検物質量を表示するととも
に、それらの平均値を算出して表示する表示手段(1)。
測定し、付着量の平均値及び分布を正確に求めることが
可能な測定方法及び測定装置を提供する。 【構成】 次の手段を具備する。レーザー光を被検出物
体の表面に向けて集光,照射する手段(2)。被検出物体
(6)表面のレーザー光照射位置に付着した被検物質から
発生された特定波長の強度を測定する手段(4)。 特定
波長光の強度を減衰させて零にするのに要するレーザー
光の累積照射量を求める手段(1)。レーザー光の累積照
射量に基づいて被検物体の表面上にあって特定波長光を
発生した被検物質の量を求める手段(1)。レーザー光照
射手段(2)と測定手段(4)を可動させるための手段と、被
検出物体を可動させるための手段(5)。被検出物体表面
上の複数の位置における被検物質量を表示するととも
に、それらの平均値を算出して表示する表示手段(1)。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は物体の表面に付着した物
質量、特に碍子の表面に付着した塩分量の測定方法及び
測定装置に関するものである。
質量、特に碍子の表面に付着した塩分量の測定方法及び
測定装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術とその課題】送電線用鉄塔等に取り付けら
れる碍子は表面に多くの塩分が付着すると絶縁性能が低
下し閃絡事故の原因となり得る。そこで、碍子表面の塩
分量を測定し、多くの塩分が付着している場合は碍子表
面を洗浄する必要がある。
れる碍子は表面に多くの塩分が付着すると絶縁性能が低
下し閃絡事故の原因となり得る。そこで、碍子表面の塩
分量を測定し、多くの塩分が付着している場合は碍子表
面を洗浄する必要がある。
【０００３】従来は実使用碍子と形状及び表面状態を同
等としたパイロット碍子を実使用碍子と同一条件下で送
電線鉄塔に取り付けて、塩分付着量を知りたいときにパ
イロツト碍子を取り外し、その表面の特定箇所，特定面
積を一定量の純水で筆，ガーゼ等を用いて拭き取り、そ
の洗浄後の水の導電率を算出することによりその面積の
平均塩分付着量を求めていた。
等としたパイロット碍子を実使用碍子と同一条件下で送
電線鉄塔に取り付けて、塩分付着量を知りたいときにパ
イロツト碍子を取り外し、その表面の特定箇所，特定面
積を一定量の純水で筆，ガーゼ等を用いて拭き取り、そ
の洗浄後の水の導電率を算出することによりその面積の
平均塩分付着量を求めていた。
【０００４】しかし、この方法では測定に熟練を要し、
測定者により誤差がでやすく、準備も含めて測定に長時
間を有する。また、ある面積の平均付着量しか求めるこ
とができない。
測定者により誤差がでやすく、準備も含めて測定に長時
間を有する。また、ある面積の平均付着量しか求めるこ
とができない。
【０００５】これに対し近年特開平4-121643号公報にか
維持されているように、碍子に離れたところからレーザ
ー光を照射し、付着した塩分を蒸発,気化させ、その気体
の発する特定波長の光により付着した塩分料を換算する
方法が提案されている。
維持されているように、碍子に離れたところからレーザ
ー光を照射し、付着した塩分を蒸発,気化させ、その気体
の発する特定波長の光により付着した塩分料を換算する
方法が提案されている。
【０００６】この方法では短時間に容易に測定できるも
のの以下のような問題点を有している。 (a) 特定の点の局部付着量のみの測定となり、平均値は
算出が困難である。 (b)レーザー光の照射角によっては蒸発が不十分となり、
測定値に誤差を生じやすい。またレーザー光を強くし過
ぎると碍子の表面を損傷させてしまうおそれがある。 (c)照射は決められた角度の範囲で行わなくてはならず、
その照射角度の許容範囲は狭いため碍子の下面やひだの
間に付着した塩分料の測定は不可能である。 (d)屋外での測定となるため、降雨等により表面が濡れて
いる場合は測定できず、乾燥させるのも困難である。 (e)碍子の耐電圧は塩分の平均付着量のみならず、付着量
の分布状況にも影響されることが知られているが、この
方法では付着量の分布状況を知るのは困難である。そこ
で、簡便に平均付着量を測定するとともに分布状態を知
り得る測定方法及び測定装置が求められている。
のの以下のような問題点を有している。 (a) 特定の点の局部付着量のみの測定となり、平均値は
算出が困難である。 (b)レーザー光の照射角によっては蒸発が不十分となり、
測定値に誤差を生じやすい。またレーザー光を強くし過
ぎると碍子の表面を損傷させてしまうおそれがある。 (c)照射は決められた角度の範囲で行わなくてはならず、
その照射角度の許容範囲は狭いため碍子の下面やひだの
間に付着した塩分料の測定は不可能である。 (d)屋外での測定となるため、降雨等により表面が濡れて
いる場合は測定できず、乾燥させるのも困難である。 (e)碍子の耐電圧は塩分の平均付着量のみならず、付着量
の分布状況にも影響されることが知られているが、この
方法では付着量の分布状況を知るのは困難である。そこ
で、簡便に平均付着量を測定するとともに分布状態を知
り得る測定方法及び測定装置が求められている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の測定方法は、レ
ーザー光を物体の表面に向けて照射し、前記物体の表面
に付着した被検出物を過熱蒸発させて当該被検出物に特
定の波長を有する励起発光を生じさせる工程と、前記励
起発光が減衰して消滅するのに必要な前記レーザー光の
照射光量累積値を検出する工程と、 予め求められたレー
ザー光の照射光量累積値と被検出物質量との関係から、
前記被検出物質量を求める工程を有する物体表面の付着
物質量の測定方法において、 少なくとも前記物体の複数
点において付着物質量を測定し、各測定点における測定
値と、それらの平均値を算出し表示する工程を有する。
ーザー光を物体の表面に向けて照射し、前記物体の表面
に付着した被検出物を過熱蒸発させて当該被検出物に特
定の波長を有する励起発光を生じさせる工程と、前記励
起発光が減衰して消滅するのに必要な前記レーザー光の
照射光量累積値を検出する工程と、 予め求められたレー
ザー光の照射光量累積値と被検出物質量との関係から、
前記被検出物質量を求める工程を有する物体表面の付着
物質量の測定方法において、 少なくとも前記物体の複数
点において付着物質量を測定し、各測定点における測定
値と、それらの平均値を算出し表示する工程を有する。
【０００８】又、本発明の測定装置はレーザー光を発生
するレーザー光源と、レーザー光を被検出物体の表面に
向けて集光,照射する手段と、被検出物体表面のレーザー
光照射位置に付着している被検物質から発生された特定
波長の強度を測定する手段と、前記特定波長光の強度を
減衰させて零にするのに要するレーザー光の累積照射量
を求める手段と、求められたレーザー光の累積照射量に
基づいて被検物体の表面上にあって特定波長光を発生し
た被検物質の量を求める手段と、前記レーザー照射手段
と測定手段を可動させるための手段と、被検出物体を可
動させるための手段と、 被検出物体表面上の複数の位置
における被検物質量を表示するとともに、それらの平均
値を算出して表示する表示手段を具備する。
するレーザー光源と、レーザー光を被検出物体の表面に
向けて集光,照射する手段と、被検出物体表面のレーザー
光照射位置に付着している被検物質から発生された特定
波長の強度を測定する手段と、前記特定波長光の強度を
減衰させて零にするのに要するレーザー光の累積照射量
を求める手段と、求められたレーザー光の累積照射量に
基づいて被検物体の表面上にあって特定波長光を発生し
た被検物質の量を求める手段と、前記レーザー照射手段
と測定手段を可動させるための手段と、被検出物体を可
動させるための手段と、 被検出物体表面上の複数の位置
における被検物質量を表示するとともに、それらの平均
値を算出して表示する表示手段を具備する。
【０００９】
【作用】レーザー等の強力な光を微小径のスポットに照
射し塩分を蒸発させる。その気体の発する特定波長の光
を検出し、これを電気信号に変換し、塩分付着量を換算
する。測定は碍子表面の多数点を測定し、誤差を少なくす
る。そのために碍子を回転，移動させるとともに、レーザ
ー光照射部と測定部を可動とすることにより多数点での
正確な測定を可能とする。各測定点における測定値及び
それらの平均値は表示手段に表示される。
射し塩分を蒸発させる。その気体の発する特定波長の光
を検出し、これを電気信号に変換し、塩分付着量を換算
する。測定は碍子表面の多数点を測定し、誤差を少なくす
る。そのために碍子を回転，移動させるとともに、レーザ
ー光照射部と測定部を可動とすることにより多数点での
正確な測定を可能とする。各測定点における測定値及び
それらの平均値は表示手段に表示される。
【００１０】
【実施例】以下、本発明を好適な実施例を用いて説明す
る。図１は本発明に係る測定装置の概念図である。図中
(6)は被検物体たるパイロット碍子であり、送電線架台よ
り取り外されたものである。(3)はレーザー用のパルス電
源である。(2)は小型の固体レーザー光源を備えたレー
ザー光照射部であり、(4)は分光器，感光素子を備えた
測定部である。レーザー光照射部(2)及び測定部(4)は可
動であり、光照射,受光の位置を碍子(6)表面に対してで
きるだけ直角に近づけて測定することができるようにな
っている。またパイロツト碍子(6)は碍子駆動部(5)によ
り上下方向に移動できるとともに、回転させることがで
きる。(1)は制御部であり、パルス制御，計測信号，計
測値換算，碍子位置制御，レーザー光照射部(2)及び測
定部(4)の向き制御等を行う。
る。図１は本発明に係る測定装置の概念図である。図中
(6)は被検物体たるパイロット碍子であり、送電線架台よ
り取り外されたものである。(3)はレーザー用のパルス電
源である。(2)は小型の固体レーザー光源を備えたレー
ザー光照射部であり、(4)は分光器，感光素子を備えた
測定部である。レーザー光照射部(2)及び測定部(4)は可
動であり、光照射,受光の位置を碍子(6)表面に対してで
きるだけ直角に近づけて測定することができるようにな
っている。またパイロツト碍子(6)は碍子駆動部(5)によ
り上下方向に移動できるとともに、回転させることがで
きる。(1)は制御部であり、パルス制御，計測信号，計
測値換算，碍子位置制御，レーザー光照射部(2)及び測
定部(4)の向き制御等を行う。
【００１１】本実施例では微小スポット0.1■1.0φで測
定した。測定精度は0.001mg/cm2程度とした。レーザー光
照射部と測定部は可動であるので、光照射,受光の位置を
碍子(6)表面に対してできるだけ直角に近い角度で測定
する。パルス駆動装置によって間欠的に駆動されるレー
ザー光源から発生されたパルス状のレーザー光は、集光
されてパイロット碍子(6)表面に付着した物質量測定目
標位置に向けられる。レーザー光照射によって、その位
置によって付着したNa原子の熱的励起による発光が生ず
る。この発光は測定部(4)において特定波長のものが選
択され、光電変換器により電気信号に変換されて制御部
(1)に送られる。
定した。測定精度は0.001mg/cm2程度とした。レーザー光
照射部と測定部は可動であるので、光照射,受光の位置を
碍子(6)表面に対してできるだけ直角に近い角度で測定
する。パルス駆動装置によって間欠的に駆動されるレー
ザー光源から発生されたパルス状のレーザー光は、集光
されてパイロット碍子(6)表面に付着した物質量測定目
標位置に向けられる。レーザー光照射によって、その位
置によって付着したNa原子の熱的励起による発光が生ず
る。この発光は測定部(4)において特定波長のものが選
択され、光電変換器により電気信号に変換されて制御部
(1)に送られる。
【００１２】制御部(1)においてノイズ除去された電気
信号より全レーザー光量を累算する。パルス状レーザー
が繰り返し発生されると、照射位置における付着塩分が
拡散され減少するので、熱的励起による発光も減少し、
付着塩分が全て蒸散されると出力信号が零になる。この
時にレーザー光発生が止められるように制御されている
ので、その間に発せられたレーザー光量が累算される。
そして予め求めてある全レーザー光量と付着塩分量との
関係より付着量を特定する。
信号より全レーザー光量を累算する。パルス状レーザー
が繰り返し発生されると、照射位置における付着塩分が
拡散され減少するので、熱的励起による発光も減少し、
付着塩分が全て蒸散されると出力信号が零になる。この
時にレーザー光発生が止められるように制御されている
ので、その間に発せられたレーザー光量が累算される。
そして予め求めてある全レーザー光量と付着塩分量との
関係より付着量を特定する。
【００１３】制御部(1)の制御により碍子(6)の上下移
動，回転及び レーザー光照射部(2)，測定部(4)の向き
を変えて、同様の測定により碍子(6)表面上の他の位置
の塩分付着量を測定する。同様にして多数点における付
着量を測定し、平均値を求めるとともに、付着量の密度
分布を求める。本実施例においては制御部(1)を兼ねる
コンピュータのディスプレイ上に測定値，平均値を表示
させるようにした。
動，回転及び レーザー光照射部(2)，測定部(4)の向き
を変えて、同様の測定により碍子(6)表面上の他の位置
の塩分付着量を測定する。同様にして多数点における付
着量を測定し、平均値を求めるとともに、付着量の密度
分布を求める。本実施例においては制御部(1)を兼ねる
コンピュータのディスプレイ上に測定値，平均値を表示
させるようにした。
【００１４】［実施例２］光ファイバー又は鏡を用いて
照射するレーザー光を屈曲，反射させることにより 碍
子の下側面，ヒダの中、垂直面にも任意の角度で照射さ
せることもできる（図示せず）。これにより、更に精度
よく測定することができる。特に光ファイバーは絶縁性
があるため課電中の碍子について測定することも可能で
ある。
照射するレーザー光を屈曲，反射させることにより 碍
子の下側面，ヒダの中、垂直面にも任意の角度で照射さ
せることもできる（図示せず）。これにより、更に精度
よく測定することができる。特に光ファイバーは絶縁性
があるため課電中の碍子について測定することも可能で
ある。
【００１５】［実施例３］碍子が降雨等で濡れている場
合を考慮して図２に示すように測定装置に碍子収納函体
(7)を設け、その中に温風を吹き付ける機構（図示せ
ず）を設けて乾燥させることもできる。この場合、碍子
(6)を駆動部(5)に接続された碍子取付部(5a)に取付やす
いように、取付け時には駆動部(5)を動かせて碍子取付
部(5a)を函体(7)の外に位置させることにより函体(7)外
で取付可能とし、測定時に碍子(6)を函体(7)内に収納で
きるようにした。また、本実施例では装置全体を函体(7)
内に収納しているが、函体(7)は碍子の乾燥が目的であ
るので、少なくとも碍子(6)を収納可能であれば測定装
置全体を函体(7)内に収納する必要はなく、例えば制御
部(1)，パルス電源(3)等を函体(7)外に配することもで
きる。
合を考慮して図２に示すように測定装置に碍子収納函体
(7)を設け、その中に温風を吹き付ける機構（図示せ
ず）を設けて乾燥させることもできる。この場合、碍子
(6)を駆動部(5)に接続された碍子取付部(5a)に取付やす
いように、取付け時には駆動部(5)を動かせて碍子取付
部(5a)を函体(7)の外に位置させることにより函体(7)外
で取付可能とし、測定時に碍子(6)を函体(7)内に収納で
きるようにした。また、本実施例では装置全体を函体(7)
内に収納しているが、函体(7)は碍子の乾燥が目的であ
るので、少なくとも碍子(6)を収納可能であれば測定装
置全体を函体(7)内に収納する必要はなく、例えば制御
部(1)，パルス電源(3)等を函体(7)外に配することもで
きる。
【００１６】なお、上記各実施例においては碍子表面に
付着した塩分の測定を行ったが、被測定物質が付着した
物体としては碍子に限られるわけではない。また、被測
定物質もレーザー光の照射により蒸発し、その気体の発
する特定波長の光を検出することにより付着量が求めら
れるものであれば、塩分以外のものでも良い。
付着した塩分の測定を行ったが、被測定物質が付着した
物体としては碍子に限られるわけではない。また、被測
定物質もレーザー光の照射により蒸発し、その気体の発
する特定波長の光を検出することにより付着量が求めら
れるものであれば、塩分以外のものでも良い。
【００１７】
【発明の効果】物体表面に付着した物質の付着量を測定
するに際し、レーザー光を直角任意の近い角度で照射で
きるため、測定の精度が高い。また、多数点を測定する
ため平均値を求め得るだけでなく付着量の分布も求める
こともできるため碍子の耐電圧がより正確に予測でき
る。更に、極めて狭いスポットで測定するため測定によ
り付着物が変化する範囲は極狭く、測定点を少しずらし
て測定することにより付着量の時間的な変化，付着分布
の時間的変化も測定することもできる。
するに際し、レーザー光を直角任意の近い角度で照射で
きるため、測定の精度が高い。また、多数点を測定する
ため平均値を求め得るだけでなく付着量の分布も求める
こともできるため碍子の耐電圧がより正確に予測でき
る。更に、極めて狭いスポットで測定するため測定によ
り付着物が変化する範囲は極狭く、測定点を少しずらし
て測定することにより付着量の時間的な変化，付着分布
の時間的変化も測定することもできる。
【図１】本発明に係る測定装置の構成を示す概念図。
【図２】函体を備えた測定装置の構成を示した図。
(1) 制御部 (2) レーザー光照射部 (3) パルス電源 (4) 測定部 (5) 碍子駆動部 (6) 被検出物体（パイロット碍子） (7) 函体
Claims (4)
- 【請求項１】 レーザー光を物体の表面に向けて照射
し、前記物体の表面に付着した被検出物を過熱蒸発させ
て当該被検出物に特定の波長を有する励起発光を生じさ
せる工程と、 前記励起発光が減衰して消滅するのに必要な前記レーザ
ー光の照射光量累積値を検出する工程と、 予め求められたレーザー光の照射光量累積値と被検出物
質量との関係から、前記被検出物質量を求める工程を有
し、 前記物体の複数点において被検出物質量を求め、各測定
点における測定値と、それらの平均値を算出し表示する
工程を有する物体表面の付着物質量の測定方法。 - 【請求項２】 レーザー光を被検出物体の表面に向
けて集光,照射する手段と、 被検出物体表面のレーザー光照射位置に付着した被検物
質から発生された特定波長の強度を測定する手段と、前
記特定波長光の強度を減衰させて零にするのに要するレ
ーザー光の累積照射量を求める手段と、求められたレー
ザー光の累積照射量に基づいて被検物体の表面上にあっ
て特定波長光を発生した被検物質の量を求める手段と、 前記レーザー光照射手段と測定手段を可動させるための
手段と、被検出物体を可動させるための手段と、 被検出物体表面上の複数の位置における被検物質量を表
示するとともに、それらの平均値を算出して表示する表
示手段を具備した物体表面付着物質量の測定装置。 - 【請求項３】 レーザー光照射手段に光ファイバを
備えたことを特徴とする請求項２記載の物体表面付着物
質量の測定装置。 - 【請求項４】 測定時に被検出物体を収納可能な函
体を備えたことを特徴とする請求項２記載の物体表面付
着物質量の測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12734295A JPH08297091A (ja) | 1995-04-26 | 1995-04-26 | 物体表面の付着物質量の測定方法及び測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12734295A JPH08297091A (ja) | 1995-04-26 | 1995-04-26 | 物体表面の付着物質量の測定方法及び測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08297091A true JPH08297091A (ja) | 1996-11-12 |
Family
ID=14957556
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12734295A Pending JPH08297091A (ja) | 1995-04-26 | 1995-04-26 | 物体表面の付着物質量の測定方法及び測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08297091A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008514935A (ja) * | 2004-09-30 | 2008-05-08 | インモビリーエンゲゼルシャフト・ヘルムート・フィッシャー・ゲーエムベーハー・ウント・コンパニイ・カーゲー | 測定値を出力するための方法と表示デバイス |
| JP2008268067A (ja) * | 2007-04-23 | 2008-11-06 | Techno System Kk | 測定装置 |
| JP2009145243A (ja) * | 2007-12-14 | 2009-07-02 | Eisai R & D Management Co Ltd | レーザー誘導ブレークダウン分光分析法を利用した元素の定量方法及び定量装置 |
| JP2013015404A (ja) * | 2011-07-04 | 2013-01-24 | Institute For Laser Technology | 碍子表面の付着物の付着密度測定方法及び測定装置 |
| CN103056121A (zh) * | 2012-12-27 | 2013-04-24 | 中国电力科学研究院 | 一种绝缘子表面污秽盐密测量方法及其装置 |
| JP2017009323A (ja) * | 2015-06-17 | 2017-01-12 | 一般財団法人電力中央研究所 | コンクリート含有物質の計測方法及び計測装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62280641A (ja) * | 1986-05-30 | 1987-12-05 | Hitachi Ltd | 洗浄装置の評価方法 |
| JPH0231175A (ja) * | 1988-07-20 | 1990-02-01 | Hamamatsu Photonics Kk | 発光によるデバイスおよびその材料の評価装置 |
| JPH04121643A (ja) * | 1990-09-13 | 1992-04-22 | Nishimu Denshi Kogyo Kk | 物体表面付着物質量の非接触測定方法および装置 |
-
1995
- 1995-04-26 JP JP12734295A patent/JPH08297091A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62280641A (ja) * | 1986-05-30 | 1987-12-05 | Hitachi Ltd | 洗浄装置の評価方法 |
| JPH0231175A (ja) * | 1988-07-20 | 1990-02-01 | Hamamatsu Photonics Kk | 発光によるデバイスおよびその材料の評価装置 |
| JPH04121643A (ja) * | 1990-09-13 | 1992-04-22 | Nishimu Denshi Kogyo Kk | 物体表面付着物質量の非接触測定方法および装置 |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008514935A (ja) * | 2004-09-30 | 2008-05-08 | インモビリーエンゲゼルシャフト・ヘルムート・フィッシャー・ゲーエムベーハー・ウント・コンパニイ・カーゲー | 測定値を出力するための方法と表示デバイス |
| JP4856647B2 (ja) * | 2004-09-30 | 2012-01-18 | インモビリーエンゲゼルシャフト・ヘルムート・フィッシャー・ゲーエムベーハー・ウント・コンパニイ・カーゲー | 測定値を出力するための方法と表示デバイス |
| JP2008268067A (ja) * | 2007-04-23 | 2008-11-06 | Techno System Kk | 測定装置 |
| JP2009145243A (ja) * | 2007-12-14 | 2009-07-02 | Eisai R & D Management Co Ltd | レーザー誘導ブレークダウン分光分析法を利用した元素の定量方法及び定量装置 |
| JP2013015404A (ja) * | 2011-07-04 | 2013-01-24 | Institute For Laser Technology | 碍子表面の付着物の付着密度測定方法及び測定装置 |
| CN103056121A (zh) * | 2012-12-27 | 2013-04-24 | 中国电力科学研究院 | 一种绝缘子表面污秽盐密测量方法及其装置 |
| JP2017009323A (ja) * | 2015-06-17 | 2017-01-12 | 一般財団法人電力中央研究所 | コンクリート含有物質の計測方法及び計測装置 |
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