JPH08293753A - 圧電振動子およびその製造方法 - Google Patents
圧電振動子およびその製造方法Info
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- JPH08293753A JPH08293753A JP9909395A JP9909395A JPH08293753A JP H08293753 A JPH08293753 A JP H08293753A JP 9909395 A JP9909395 A JP 9909395A JP 9909395 A JP9909395 A JP 9909395A JP H08293753 A JPH08293753 A JP H08293753A
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 外部との導通をとる配線電極１２を有するベ
ース１１と、ベースに搭載する励振電極を有する圧電体
１３と、開口部を有し外表面に金属膜を有するフタ１６
と、ベースとフタとを接合する接合材１７と、フタの開
口部を気密封止する板材１８とを有する圧電振動子およ
びその製造方法。 【効果】 接合部分に溶融状態を生じずガス発生のない
陽極接合法により板材でフタの開口部を封孔する。この
ため、振動子容器内の雰囲気を汚染することがなく、脱
ガス成分が圧電体に吸着するなどして、特性の劣化を引
き起こすことがなくなる。このために、高い信頼性を有
する圧電振動子を提供することが可能となる。
ース１１と、ベースに搭載する励振電極を有する圧電体
１３と、開口部を有し外表面に金属膜を有するフタ１６
と、ベースとフタとを接合する接合材１７と、フタの開
口部を気密封止する板材１８とを有する圧電振動子およ
びその製造方法。 【効果】 接合部分に溶融状態を生じずガス発生のない
陽極接合法により板材でフタの開口部を封孔する。この
ため、振動子容器内の雰囲気を汚染することがなく、脱
ガス成分が圧電体に吸着するなどして、特性の劣化を引
き起こすことがなくなる。このために、高い信頼性を有
する圧電振動子を提供することが可能となる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は圧電振動子の構造とその
製造方法とに関し、とくに高い信頼性を有する圧電振動
子の構造とその製造方法とに関するものである。
製造方法とに関し、とくに高い信頼性を有する圧電振動
子の構造とその製造方法とに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】高い信頼性を要求される圧電体は、大気
や温度や湿度の外乱要因による振動子特性の変化や励振
電極材料の化学変化を防ぐため、真空や不活性ガス雰囲
気に気密封止された圧電振動子容器内に設置する必要が
ある。
や温度や湿度の外乱要因による振動子特性の変化や励振
電極材料の化学変化を防ぐため、真空や不活性ガス雰囲
気に気密封止された圧電振動子容器内に設置する必要が
ある。
【０００３】従来技術における圧電振動子の構造を、図
９の断面図を用いて説明する。図９に示すように、配線
電極９２を有するベース９１に導電性接着剤９９を介し
て接続する圧電体９３を気密封止するため、ベース９１
とフタ９６とを、低融点ガラスやはんだや金（Ａｕ）−
スズ（Ｓｎ）の共晶合金からなる接合材９７で接合する
構造を採用している。
９の断面図を用いて説明する。図９に示すように、配線
電極９２を有するベース９１に導電性接着剤９９を介し
て接続する圧電体９３を気密封止するため、ベース９１
とフタ９６とを、低融点ガラスやはんだや金（Ａｕ）−
スズ（Ｓｎ）の共晶合金からなる接合材９７で接合する
構造を採用している。
【０００４】しかしこの図９に示すような構造を採用す
ると、ベース９１とフタ９６との接合時に高温処理を行
う。このため、接合材９７が溶融状態になり、接合材９
７自身の蒸発と接合材９７に吸着しているガス成分の脱
ガスが発生する。
ると、ベース９１とフタ９６との接合時に高温処理を行
う。このため、接合材９７が溶融状態になり、接合材９
７自身の蒸発と接合材９７に吸着しているガス成分の脱
ガスが発生する。
【０００５】さらに、高温処理のためベース９１やフタ
９６の容器部材の内表面に吸着しているガス成分の脱ガ
スの発生もあり、容器内の雰囲気が汚染される。この結
果、脱ガス成分が圧電体９３に吸着するなどして圧電振
動子の特性劣化が発生する欠点がある。
９６の容器部材の内表面に吸着しているガス成分の脱ガ
スの発生もあり、容器内の雰囲気が汚染される。この結
果、脱ガス成分が圧電体９３に吸着するなどして圧電振
動子の特性劣化が発生する欠点がある。
【０００６】そこで、図１０の断面図に示すような構造
の圧電振動子が提案されている。図１０に示すように、
ベース９１とフタ９６との接合時に発生するガス成分を
容器の外部に排出するための開口部９４を設ける。そし
て、ガスを排出した後にその開口部９４を封孔材料９８
でふさぎ、気密封止する構造を採用している。
の圧電振動子が提案されている。図１０に示すように、
ベース９１とフタ９６との接合時に発生するガス成分を
容器の外部に排出するための開口部９４を設ける。そし
て、ガスを排出した後にその開口部９４を封孔材料９８
でふさぎ、気密封止する構造を採用している。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図１０
に示すような構造にした場合においても、封孔材料９８
には、共晶合金や樹脂材料などを用いることになる。こ
のため、これらの材料も加熱により封孔を行う、すなわ
ち封孔時に溶融状態となる。
に示すような構造にした場合においても、封孔材料９８
には、共晶合金や樹脂材料などを用いることになる。こ
のため、これらの材料も加熱により封孔を行う、すなわ
ち封孔時に溶融状態となる。
【０００８】したがって、結局この封孔材料９８自身の
蒸発あるいは封孔材料９８に吸着しているガス成分の脱
ガスが発生し、容器内部の雰囲気が汚染され、圧電振動
子の特性劣化を引き起こすことになる。
蒸発あるいは封孔材料９８に吸着しているガス成分の脱
ガスが発生し、容器内部の雰囲気が汚染され、圧電振動
子の特性劣化を引き起こすことになる。
【０００９】本発明の目的は、上記課題を解決して、容
器内部の雰囲気の汚染が少なく高い信頼性の圧電振動子
の構造と、その製造方法とを提供することである。
器内部の雰囲気の汚染が少なく高い信頼性の圧電振動子
の構造と、その製造方法とを提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の圧電振動子においては、下記記載の手段を
採用する。
め、本発明の圧電振動子においては、下記記載の手段を
採用する。
【００１１】本発明の圧電振動子は、外部との導通をと
る配線電極を有するベースと、ベースに搭載する圧電体
と、開口部を有し外表面に金属膜を有するフタと、ベー
スとフタとを接合する接合材と、フタの開口部を気密封
止する板材とを有することを特徴とする。
る配線電極を有するベースと、ベースに搭載する圧電体
と、開口部を有し外表面に金属膜を有するフタと、ベー
スとフタとを接合する接合材と、フタの開口部を気密封
止する板材とを有することを特徴とする。
【００１２】本発明の圧電振動子の製造方法は、ベース
に設ける配線電極に圧電体を導電性接着剤を用いて電気
的、機械的に接続する工程と、開口部を有するフタの外
表面に金属膜を形成する工程と、フタとベースとを接合
材を用いて接合する工程と、フタの開口部を板材を用い
て陽極接合法により気密封止する工程とを有することを
特徴とする。
に設ける配線電極に圧電体を導電性接着剤を用いて電気
的、機械的に接続する工程と、開口部を有するフタの外
表面に金属膜を形成する工程と、フタとベースとを接合
材を用いて接合する工程と、フタの開口部を板材を用い
て陽極接合法により気密封止する工程とを有することを
特徴とする。
【００１３】本発明の圧電振動子は、外部との導通をと
る配線電極を有するベースと、ベースに搭載する圧電体
と、開口部を有し外表面に金属膜を有するフタと、ベー
スとフタとを接合する接合材と、フタあるいはベースの
少なくとも一方に設けるガス吸着剤と、フタの開口部を
気密封止する板材とを有することを特徴とする。
る配線電極を有するベースと、ベースに搭載する圧電体
と、開口部を有し外表面に金属膜を有するフタと、ベー
スとフタとを接合する接合材と、フタあるいはベースの
少なくとも一方に設けるガス吸着剤と、フタの開口部を
気密封止する板材とを有することを特徴とする。
【００１４】本発明の圧電振動子は、外部との導通をと
る配線電極を有するベースと、ベースに搭載する圧電体
と、開口部を有するフタと、ベースとフタとを接合する
接合材と、フタの開口部を気密封止する少なくとも一つ
の面に金属膜を有する板材とを有することを特徴とす
る。
る配線電極を有するベースと、ベースに搭載する圧電体
と、開口部を有するフタと、ベースとフタとを接合する
接合材と、フタの開口部を気密封止する少なくとも一つ
の面に金属膜を有する板材とを有することを特徴とす
る。
【００１５】本発明の圧電振動子の製造方法は、ベース
に設ける配線電極に圧電体を導電性接着剤を用いて電気
的、機械的に接続する工程と、開口部を有するフタとベ
ースとを接合材を用いて接合する工程と、板材の少なく
とも一つの面に金属膜を形成する工程と、フタの開口部
を板材を用いて陽極接合法により気密封止する工程とを
有することを特徴とする。
に設ける配線電極に圧電体を導電性接着剤を用いて電気
的、機械的に接続する工程と、開口部を有するフタとベ
ースとを接合材を用いて接合する工程と、板材の少なく
とも一つの面に金属膜を形成する工程と、フタの開口部
を板材を用いて陽極接合法により気密封止する工程とを
有することを特徴とする。
【００１６】本発明の圧電振動子は、外部との導通をと
る配線電極を有するベースと、ベースに搭載する圧電体
と、開口部を有するフタと、ベースとフタとを接合する
接合材と、フタあるいはベースの少なくとも一方に設け
るガス吸着剤と、フタの開口部を気密封止する少なくと
も一つの面に金属膜を有する板材とを有することを特徴
とする。
る配線電極を有するベースと、ベースに搭載する圧電体
と、開口部を有するフタと、ベースとフタとを接合する
接合材と、フタあるいはベースの少なくとも一方に設け
るガス吸着剤と、フタの開口部を気密封止する少なくと
も一つの面に金属膜を有する板材とを有することを特徴
とする。
【００１７】
【作用】本発明の圧電振動子では、フタとベースとの接
合時に容器部材や接合材から発生するガスをフタの開口
部を通して外部に排出した後、低温で接合可能で、しか
も接合部分に溶融状態を生じずガス発生のない陽極接合
法を用いて、板材で開口部を封孔する。
合時に容器部材や接合材から発生するガスをフタの開口
部を通して外部に排出した後、低温で接合可能で、しか
も接合部分に溶融状態を生じずガス発生のない陽極接合
法を用いて、板材で開口部を封孔する。
【００１８】このため、振動子容器内の雰囲気を汚染す
ることがなくなり、従来例のような脱ガス成分が圧電体
に吸着するなどして圧電振動子の特性劣化が発生せず、
高い信頼性を有する圧電振動子を作製することが可能と
なる。
ることがなくなり、従来例のような脱ガス成分が圧電体
に吸着するなどして圧電振動子の特性劣化が発生せず、
高い信頼性を有する圧電振動子を作製することが可能と
なる。
【００１９】
【実施例】以下図面により本発明の実施例における圧電
振動子の構造と、この構造を形成するための製造方法と
を説明する。まずはじめに図１の断面図を用いて圧電振
動子の構造を説明する。図１は本発明の実施例における
圧電振動子の構造を示す断面図である。
振動子の構造と、この構造を形成するための製造方法と
を説明する。まずはじめに図１の断面図を用いて圧電振
動子の構造を説明する。図１は本発明の実施例における
圧電振動子の構造を示す断面図である。
【００２０】図１に示すように、配線電極１２を有する
ベース１１と、開口部１４を有し上部の外表面に金属膜
１５を有するフタ１６と、ベース１１上の配線電極１２
に導電性接着剤１９を介して電気的と機械的に接続する
圧電体１３と、フタ１６とベース１１とを接合する接合
材１７と、フタ１６が有する開口部１４を封孔する板材
１８とを有する。
ベース１１と、開口部１４を有し上部の外表面に金属膜
１５を有するフタ１６と、ベース１１上の配線電極１２
に導電性接着剤１９を介して電気的と機械的に接続する
圧電体１３と、フタ１６とベース１１とを接合する接合
材１７と、フタ１６が有する開口部１４を封孔する板材
１８とを有する。
【００２１】つぎに、この図１に示す構造の圧電振動子
を形成するための圧電振動子の製造方法について説明す
る。図７（ａ）から（ｄ）は本発明の実施例における圧
電振動子の作製方法を説明するための断面図である。
を形成するための圧電振動子の製造方法について説明す
る。図７（ａ）から（ｄ）は本発明の実施例における圧
電振動子の作製方法を説明するための断面図である。
【００２２】はじめに図７（ａ）に示すように、外部と
の導通を取るための配線電極１２をベース１１上に、真
空蒸着法やスパッタリング法やメッキ法によって薄膜形
成する。ここでベース１１はガラスや、セラミックス
や、ガラスセラミックスや、樹脂のいずれかを用いる。
の導通を取るための配線電極１２をベース１１上に、真
空蒸着法やスパッタリング法やメッキ法によって薄膜形
成する。ここでベース１１はガラスや、セラミックス
や、ガラスセラミックスや、樹脂のいずれかを用いる。
【００２３】その後、形成した配線電極１２に導電性接
着剤１９を用いて圧電体１３を電気的と機械的に接続す
る。
着剤１９を用いて圧電体１３を電気的と機械的に接続す
る。
【００２４】一方、図７（ｂ）に示すように、フタ１６
の上部の外表面には、金属膜１５を真空蒸着法やスパッ
タリング法やメッキ法によって膜形成する。フタ１６と
しては、ガラスや、セラミックスや、ガラスセラミック
スや、樹脂のいずれかを用いる。さらに金属膜１５とし
ては、アルミニウムや、シリコンや、ニッケルや、チタ
ンや、タンタルや、クロムや、ガリウムや、ヒ素のうち
の一種もしくは二種以上の化合物から選択する。
の上部の外表面には、金属膜１５を真空蒸着法やスパッ
タリング法やメッキ法によって膜形成する。フタ１６と
しては、ガラスや、セラミックスや、ガラスセラミック
スや、樹脂のいずれかを用いる。さらに金属膜１５とし
ては、アルミニウムや、シリコンや、ニッケルや、チタ
ンや、タンタルや、クロムや、ガリウムや、ヒ素のうち
の一種もしくは二種以上の化合物から選択する。
【００２５】つぎに図７（ｃ）に示すように、圧電体１
３を電気的と機械的に接続したベース１１と金属膜１５
を形成したフタ１６とを、低融点ガラスあるいは無機接
着剤からなる接合材１７を用いて接合する。
３を電気的と機械的に接続したベース１１と金属膜１５
を形成したフタ１６とを、低融点ガラスあるいは無機接
着剤からなる接合材１７を用いて接合する。
【００２６】一般的には接合材料を用いて接合するとき
加熱が必要であり、この加熱によりベース１１やフタ１
６などの内表面あるいは接合材から脱ガスの発生がある
が、これらのガスはフタ１６に設けられている開口部１
４から外部へ排出される。このため、容器内部の雰囲気
が脱ガス成分で汚染されることはない。
加熱が必要であり、この加熱によりベース１１やフタ１
６などの内表面あるいは接合材から脱ガスの発生がある
が、これらのガスはフタ１６に設けられている開口部１
４から外部へ排出される。このため、容器内部の雰囲気
が脱ガス成分で汚染されることはない。
【００２７】つぎに図７（ｄ）に示すように、フタ１６
が有する開口部１４を、陽極接合法により板材１８で気
密封止する。板材１８にはソーダガラスあるいはパイレ
ックスガラスを用いる。なお、板材１８は、ガラスや、
セラミックスや、ガラスセラミックスや、金属や、ある
いは樹脂の表面にソーダガラスあるいはパイレックスガ
ラスを有する構造にしてもよい。
が有する開口部１４を、陽極接合法により板材１８で気
密封止する。板材１８にはソーダガラスあるいはパイレ
ックスガラスを用いる。なお、板材１８は、ガラスや、
セラミックスや、ガラスセラミックスや、金属や、ある
いは樹脂の表面にソーダガラスあるいはパイレックスガ
ラスを有する構造にしてもよい。
【００２８】陽極接合法では図７（ｄ）に示すように、
板材１８がマイナス側に、フタ１６に形成する金属膜１
５がプラス側になるように、２００Ｖから４００Ｖの範
囲の直流電圧を印加して接合を行う。
板材１８がマイナス側に、フタ１６に形成する金属膜１
５がプラス側になるように、２００Ｖから４００Ｖの範
囲の直流電圧を印加して接合を行う。
【００２９】このとき温度１５０℃から３００℃の範囲
の加熱も必要になるが、陽極接合法はイオンの移動を利
用する接合方法のため、板材１８と金属膜１５との接合
部分に溶融状態を生じない。このため、圧電振動子の容
器内部の雰囲気を汚染することはなく、圧電体１３に脱
ガス成分が吸着するなどして振動子の特性の劣化を引き
起こすことがなくなる。
の加熱も必要になるが、陽極接合法はイオンの移動を利
用する接合方法のため、板材１８と金属膜１５との接合
部分に溶融状態を生じない。このため、圧電振動子の容
器内部の雰囲気を汚染することはなく、圧電体１３に脱
ガス成分が吸着するなどして振動子の特性の劣化を引き
起こすことがなくなる。
【００３０】さらに、陽極接合法での加熱温度は、接合
材１７でベース１１とフタ１６とを接合するときの温度
より低くでき、陽極接合時にベース１１やフタ１６など
の内表面などからの脱ガスも生じないので、振動子の容
器内の雰囲気を汚染することがなく、振動子の特性の劣
化を引き起こすことがない。
材１７でベース１１とフタ１６とを接合するときの温度
より低くでき、陽極接合時にベース１１やフタ１６など
の内表面などからの脱ガスも生じないので、振動子の容
器内の雰囲気を汚染することがなく、振動子の特性の劣
化を引き起こすことがない。
【００３１】さらに図２に示すように、ベース１１とフ
タ１６とを接合材１７で接合する前に、ベース１１ある
いはフタ１６の少なくとも一方にガス吸着材２０を設け
れておけば、若干の汚染ガスの発生があっても、ガス吸
着材２０がその汚染ガスを吸着除去するので、圧電振動
子の容器内部の雰囲気をより清浄にすることが可能であ
る。なお、図２ではガス吸着材２０をフタ１６側に設け
る場合を示してある。
タ１６とを接合材１７で接合する前に、ベース１１ある
いはフタ１６の少なくとも一方にガス吸着材２０を設け
れておけば、若干の汚染ガスの発生があっても、ガス吸
着材２０がその汚染ガスを吸着除去するので、圧電振動
子の容器内部の雰囲気をより清浄にすることが可能であ
る。なお、図２ではガス吸着材２０をフタ１６側に設け
る場合を示してある。
【００３２】さらにまた、図１では外部との導通をとる
ために、配線電極１２をベース１１の側面を介してベー
ス１１の裏面まで形成しているが、配線電極１２は図３
に示すように、ベース１１内部を貫通してベース１１の
裏面に達する構造にしてもよい。
ために、配線電極１２をベース１１の側面を介してベー
ス１１の裏面まで形成しているが、配線電極１２は図３
に示すように、ベース１１内部を貫通してベース１１の
裏面に達する構造にしてもよい。
【００３３】配線電極１２を、図３に示すよう構造にす
ると、ベース１１とフタ１６とを接合材１７で接合する
部分に導電材料で構成する配線電極がない構造となり、
接合材１７に導電性材料を用いても電気的に短絡するこ
とがなくなる。
ると、ベース１１とフタ１６とを接合材１７で接合する
部分に導電材料で構成する配線電極がない構造となり、
接合材１７に導電性材料を用いても電気的に短絡するこ
とがなくなる。
【００３４】このために、接合材１７として低融点ガラ
スや無機接着剤の他に、はんだや、金（Ａｕ）−スズ
（Ｓｎ）の共晶合金を用いることも可能となる。さら
に、フタ１６としてガラスや、セラミックスや、ガラス
セラミックス、あるいは樹脂の他に金属を用いることも
可能となる。
スや無機接着剤の他に、はんだや、金（Ａｕ）−スズ
（Ｓｎ）の共晶合金を用いることも可能となる。さら
に、フタ１６としてガラスや、セラミックスや、ガラス
セラミックス、あるいは樹脂の他に金属を用いることも
可能となる。
【００３５】つぎに以上の説明と異なる実施例における
圧電振動子の構造を説明する。図４は本発明の他の実施
例の圧電振動子の構造を示す断面図である。
圧電振動子の構造を説明する。図４は本発明の他の実施
例の圧電振動子の構造を示す断面図である。
【００３６】図４に示すように、配線電極１２を有する
ベース１１と、開口部１４を有するフタ５６と、ベース
１１上の配線電極１２に導電性接着剤１９を介して設け
る圧電体１３と、フタ５６とベース１１とを接合する接
合材１７と、フタ５６が有する開口部１４を封孔する表
面に金属膜１５を有する板材５８とを備える。
ベース１１と、開口部１４を有するフタ５６と、ベース
１１上の配線電極１２に導電性接着剤１９を介して設け
る圧電体１３と、フタ５６とベース１１とを接合する接
合材１７と、フタ５６が有する開口部１４を封孔する表
面に金属膜１５を有する板材５８とを備える。
【００３７】なお、図４では金属膜１５を板材５８の片
面に形成する場合を示したが、図６に示すように、金属
膜１５は板材５８の外表面全体に形成してもよい。
面に形成する場合を示したが、図６に示すように、金属
膜１５は板材５８の外表面全体に形成してもよい。
【００３８】また、図４では板材５８の面積がフタ５６
の上面の面積より小さい場合を示したが、板材５８の面
積は図５に示すように、フタ５６の上面の面積とほぼ等
しくてもよい。
の上面の面積より小さい場合を示したが、板材５８の面
積は図５に示すように、フタ５６の上面の面積とほぼ等
しくてもよい。
【００３９】つぎに、本発明の他の実施例の圧電振動子
の作製方法について説明する。図８（ａ）から（ｄ）は
本発明の他の実施例の圧電振動子の製造方法を説明する
ための断面図である。
の作製方法について説明する。図８（ａ）から（ｄ）は
本発明の他の実施例の圧電振動子の製造方法を説明する
ための断面図である。
【００４０】まず図８（ａ）に示すように、外部との導
通を取るための配線電極１２をベース１１上に、真空蒸
着法やスパッタリング法やメッキ法によって薄膜形成す
る。ベース１１としてはガラスや、セラミックスや、ガ
ラスセラミックスや、あるいは樹脂を用いる。
通を取るための配線電極１２をベース１１上に、真空蒸
着法やスパッタリング法やメッキ法によって薄膜形成す
る。ベース１１としてはガラスや、セラミックスや、ガ
ラスセラミックスや、あるいは樹脂を用いる。
【００４１】その後、ベース１１上に形成した配線電極
１２に導電性接着剤１９を用いて圧電体１３を電気的と
機械的に接続する。
１２に導電性接着剤１９を用いて圧電体１３を電気的と
機械的に接続する。
【００４２】つぎに図８（ｂ）に示すように、圧電体１
３を接続したベース１１とソーダガラスあるいはパイレ
ックスガラスからなるフタ５６とを、低融点ガラスある
いは無機接着剤からなる接合材１７を用いて接合する。
なおフタ５６は、ガラスや、セラミックスや、ガラスセ
ラミックスや、金属や、あるいは樹脂の表面にソーダガ
ラスやパイレックスガラスを形成する構造にしてもよ
い。
３を接続したベース１１とソーダガラスあるいはパイレ
ックスガラスからなるフタ５６とを、低融点ガラスある
いは無機接着剤からなる接合材１７を用いて接合する。
なおフタ５６は、ガラスや、セラミックスや、ガラスセ
ラミックスや、金属や、あるいは樹脂の表面にソーダガ
ラスやパイレックスガラスを形成する構造にしてもよ
い。
【００４３】一方、図７（ｃ）に示すように、板材５８
の表面には、金属膜１５を真空蒸着法やスパッタリング
法やメッキ法によって薄膜形成する。板材５８としては
ガラスや、セラミックスや、ガラスセラミックスや、金
属やあるいは樹脂を用いる。金属膜１５としてはアルミ
ニウムや、シリコンや、ニッケルや、チタンや、タンタ
ルや、クロムや、ガリウムや、あるいはヒ素のうちの一
種もしくは二種以上の化合物から選択する。
の表面には、金属膜１５を真空蒸着法やスパッタリング
法やメッキ法によって薄膜形成する。板材５８としては
ガラスや、セラミックスや、ガラスセラミックスや、金
属やあるいは樹脂を用いる。金属膜１５としてはアルミ
ニウムや、シリコンや、ニッケルや、チタンや、タンタ
ルや、クロムや、ガリウムや、あるいはヒ素のうちの一
種もしくは二種以上の化合物から選択する。
【００４４】つぎに図８（ｄ）に示すように、フタ５６
に設けた開口部１４を、陽極接合法により金属膜１５を
形成した板材５８で気密封止する。
に設けた開口部１４を、陽極接合法により金属膜１５を
形成した板材５８で気密封止する。
【００４５】陽極接合法では図８（ｄ）に示すように、
フタ５６がマイナス側に板材５８に形成する金属膜１５
がプラス側になるように２００Ｖから４００Ｖの範囲の
直流電圧を印加して接合を行う。
フタ５６がマイナス側に板材５８に形成する金属膜１５
がプラス側になるように２００Ｖから４００Ｖの範囲の
直流電圧を印加して接合を行う。
【００４６】このとき温度１５０℃から３００℃の範囲
の加熱も必要になるが、陽極接合法はイオンの移動を利
用する接合方法のため、フタ５６と金属膜１５との接合
部分に溶融状態を生じないので、図１を用いて説明した
実施例と同様に、圧電振動子の容器内部の雰囲気を汚染
することはない。
の加熱も必要になるが、陽極接合法はイオンの移動を利
用する接合方法のため、フタ５６と金属膜１５との接合
部分に溶融状態を生じないので、図１を用いて説明した
実施例と同様に、圧電振動子の容器内部の雰囲気を汚染
することはない。
【００４７】また、図２に示した実施例と同様にベース
１１とフタ５６とを接合材１７で接合する前に、ベース
１１あるいはフタ５６の少なくとも一方にガス吸着材を
設けれておけば、若干の汚染ガスの発生があっても、ガ
ス吸着材２０がその汚染ガスを吸着除去するので、圧電
振動子の容器内部の雰囲気をより清浄にすることが可能
である。
１１とフタ５６とを接合材１７で接合する前に、ベース
１１あるいはフタ５６の少なくとも一方にガス吸着材を
設けれておけば、若干の汚染ガスの発生があっても、ガ
ス吸着材２０がその汚染ガスを吸着除去するので、圧電
振動子の容器内部の雰囲気をより清浄にすることが可能
である。
【００４８】
【発明の効果】上記の説明から明らかなように本発明に
よれば、フタとベースとの接合時に容器部材や接合材か
ら発生するガスをフタの開口部を通して外部に排出した
後、接合部分に溶融状態を生じずガス発生のない陽極接
合法により板材でフタの開口部を封孔する。
よれば、フタとベースとの接合時に容器部材や接合材か
ら発生するガスをフタの開口部を通して外部に排出した
後、接合部分に溶融状態を生じずガス発生のない陽極接
合法により板材でフタの開口部を封孔する。
【００４９】このため、振動子容器内の雰囲気を汚染す
ることがなく、脱ガス成分が圧電体に吸着するなどし
て、特性の劣化を引き起こすことがなくなる。このた
め、高い信頼性を有する圧電振動子を作製することが可
能となる。
ることがなく、脱ガス成分が圧電体に吸着するなどし
て、特性の劣化を引き起こすことがなくなる。このた
め、高い信頼性を有する圧電振動子を作製することが可
能となる。
【図１】本発明の実施例における圧電振動子の構造とそ
の製造方法とを示す断面図である。
の製造方法とを示す断面図である。
【図２】本発明の実施例における圧電振動子の構造とそ
の製造方法とを示す断面図である。
の製造方法とを示す断面図である。
【図３】本発明の実施例における圧電振動子の構造とそ
の製造方法とを示す断面図である。
の製造方法とを示す断面図である。
【図４】本発明の実施例における圧電振動子の構造とそ
の製造方法とを示す断面図である。
の製造方法とを示す断面図である。
【図５】本発明の実施例における圧電振動子の構造とそ
の製造方法とを示す断面図である。
の製造方法とを示す断面図である。
【図６】本発明の実施例における圧電振動子の構造とそ
の製造方法とを示す断面図である。
の製造方法とを示す断面図である。
【図７】本発明の実施例における圧電振動子の構造とそ
の製造方法とを示す断面図である。
の製造方法とを示す断面図である。
【図８】本発明の実施例における圧電振動子の構造とそ
の製造方法とを示す断面図である。
の製造方法とを示す断面図である。
【図９】従来例における圧電振動子の構造を示す断面図
である。
である。
【図１０】従来例における圧電振動子の構造を示す断面
図である。
図である。
１１ ベース １２ 配線電極 １３ 圧電体 １４ 開口部 １５ 金属膜 １６ フタ １７ 接合材 １８ 板材 １９ 導電性接着剤
Claims (16)
- 【請求項１】 外部との導通をとる配線電極を有するベ
ースと、ベースに搭載する圧電体と、開口部を有し外表
面に金属膜を有するフタと、ベースとフタとを接合する
接合材と、フタの開口部を気密封止する板材とを有する
ことを特徴とする圧電振動子。 - 【請求項２】 ベースに設ける配線電極に圧電体を導電
性接着剤を用いて電気的、機械的に接続する工程と、開
口部を有するフタの外表面に金属膜を形成する工程と、
フタとベースとを接合材を用いて接合する工程と、フタ
の開口部を板材を用いて陽極接合法により気密封止する
工程とを有することを特徴とする圧電振動子の製造方
法。 - 【請求項３】 外部との導通をとる配線電極を有するベ
ースと、ベースに搭載する圧電体と、開口部を有し外表
面に金属膜を有するフタと、ベースとフタとを接合する
接合材と、フタあるいはベースの少なくとも一方に設け
るガス吸着剤と、フタの開口部を気密封止する板材とを
有することを特徴とする圧電振動子。 - 【請求項４】 外部との導通をとる配線電極を有するベ
ースと、ベースに搭載する圧電体と、開口部を有するフ
タと、ベースとフタとを接合する接合材と、フタの開口
部を気密封止する少なくとも一つの面に金属膜を有する
板材とを有することを特徴とする圧電振動子。 - 【請求項５】 ベースに設ける配線電極に圧電体を導電
性接着剤を用いて電気的、機械的に接続する工程と、開
口部を有するフタとベースとを接合材を用いて接合する
工程と、板材の少なくとも一つの面に金属膜を形成する
工程と、フタの開口部を板材を用いて陽極接合法により
気密封止する工程とを有することを特徴とする圧電振動
子の製造方法。 - 【請求項６】 外部との導通をとる配線電極を有するベ
ースと、ベースに搭載する圧電体と、開口部を有するフ
タと、ベースとフタとを接合する接合材と、フタあるい
はベースの少なくとも一方に設けるガス吸着剤と、フタ
の開口部を気密封止する少なくとも一つの面に金属膜を
有する板材とを有することを特徴とする圧電振動子。 - 【請求項７】 ベースは、ガラス、ガラスセラミック
ス、セラミックスあるいは樹脂からなることを特徴とす
る請求項１、３、４、あるいは６に記載の圧電振動子。 - 【請求項８】 接合材は、低融点ガラス、無機接着剤、
はんだ、あるいは共晶合金であることを特徴とする請求
項１、３、４、あるいは６に記載の圧電振動子。 - 【請求項９】 フタは、ガラス、ガラスセラミックス、
セラミックス、金属あるいは樹脂で構成することを特徴
とする請求項１、あるいは３に記載の圧電振動子。 - 【請求項１０】 フタは、ソーダガラスあるいはパイレ
ックスガラスであることを特徴とする請求項４、あるい
は６に記載の圧電振動子。 - 【請求項１１】 フタは、ガラス、ガラスセラミック
ス、セラミックス、金属あるいは樹脂の表面にソーダガ
ラスあるいはパイレックスガラスを有することを特徴と
する請求項４、あるいは６に記載の圧電振動子。 - 【請求項１２】 フタの外表面に設ける金属膜は、アル
ミニウム（Ａｌ）、シリコン（Ｓｉ）、ニッケル（Ｎ
ｉ）、チタン（Ｔｉ）、タンタル（Ｔａ）、クロム（Ｃ
ｒ）、ガリウム（Ｇａ）、あるいはヒ素（Ａｓ）の内の
一種もしくは二種以上の化合物から選択した材料で構成
することを特徴とする請求項１、あるいは３に記載の圧
電振動子。 - 【請求項１３】 板材の少なくとも一つの面に設ける金
属膜は、アルミニウム（Ａｌ）、シリコン（Ｓｉ）、ニ
ッケル（Ｎｉ）、チタン（Ｔｉ）、タンタル（Ｔａ）、
クロム（Ｃｒ）、ガリウム（Ｇａ）、あるいはヒ素（Ａ
ｓ）の内の一種もしくは二種以上の化合物から選択した
材料で構成することを特徴とする請求項４、あるいは６
に記載の圧電振動子。 - 【請求項１４】 板材は、ソーダガラスあるいはパイレ
ックスガラスであることを特徴とする請求項１、あるい
は３に記載の圧電振動子。 - 【請求項１５】 板材は、ガラス、ガラスセラミック
ス、セラミックス、金属あるいは樹脂の表面にソーダガ
ラスあるいはパイレックスガラスを有することを特徴と
する請求項１、あるいは３に記載の圧電振動子。 - 【請求項１６】 板材は、ガラス、ガラスセラミック
ス、セラミックス、金属あるいは樹脂であることを特徴
とする請求項４、あるいは６に記載の圧電振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9909395A JPH08293753A (ja) | 1995-04-25 | 1995-04-25 | 圧電振動子およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9909395A JPH08293753A (ja) | 1995-04-25 | 1995-04-25 | 圧電振動子およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08293753A true JPH08293753A (ja) | 1996-11-05 |
Family
ID=14238273
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9909395A Pending JPH08293753A (ja) | 1995-04-25 | 1995-04-25 | 圧電振動子およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08293753A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003060472A (ja) * | 2001-08-08 | 2003-02-28 | Seiko Instruments Inc | 圧電振動子 |
| US6960870B2 (en) | 1997-07-29 | 2005-11-01 | Seiko Epson Corporation | Piezo-electric resonator and manufacturing method thereof |
| US6976295B2 (en) | 1997-07-29 | 2005-12-20 | Seiko Epson Corporation | Method of manufacturing a piezoelectric device |
| JP2007324852A (ja) * | 2006-05-31 | 2007-12-13 | Kyocera Kinseki Corp | 水晶振動子、及びその製造方法、 |
| JP2007324932A (ja) * | 2006-05-31 | 2007-12-13 | Kyocera Kinseki Corp | 圧電振動子容器部材の製造方法とそれを用いた圧電振動子 |
| JP2007324847A (ja) * | 2006-05-31 | 2007-12-13 | Kyocera Kinseki Corp | 水晶振動子、及びその製造方法、 |
| CN102130661A (zh) * | 2010-01-15 | 2011-07-20 | 精工爱普生株式会社 | 压电器件的制造方法 |
| JP2011216940A (ja) * | 2010-03-31 | 2011-10-27 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶デバイス、及びその製造方法 |
-
1995
- 1995-04-25 JP JP9909395A patent/JPH08293753A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP2007324847A (ja) * | 2006-05-31 | 2007-12-13 | Kyocera Kinseki Corp | 水晶振動子、及びその製造方法、 |
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| US8319404B2 (en) | 2010-03-31 | 2012-11-27 | Nihon Dempa Kogyo, Co., Ltd. | Surface-mountable quartz-crystal devices and methods for manufacturing same |
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