JPH08290901A - オゾン発生装置 - Google Patents
オゾン発生装置Info
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- JPH08290901A JPH08290901A JP9463795A JP9463795A JPH08290901A JP H08290901 A JPH08290901 A JP H08290901A JP 9463795 A JP9463795 A JP 9463795A JP 9463795 A JP9463795 A JP 9463795A JP H08290901 A JPH08290901 A JP H08290901A
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- Japan
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- electrode
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 高電圧電極１が設けられた誘電体管１４と、
該誘電体管１４に空隙部３を介して対向配設された接地
電極管１２とを備え、前記高電圧電極１と接地電極管１
２間に電圧を印加して前記空隙部３内に流通させた原料
ガス中にオゾンを発生させる無声放電式のオゾン発生装
置において、無声放電によって接地電極のＳＵＳ成分が
溶融、蒸発し、ＳＵＳ管（接地電極管１２）内面やガラ
ス管（誘電体管１４）表面等に飛散することを防止し、
装置の信頼性を高める。 【構成】 接地電極管１２の内側表面に、例えば膜厚が
５０μｍ以下のＡｌ2Ｏ3から成るＳＵＳ成分飛散防止膜
１５（無機系の誘電体材料層）を成膜して設ける。これ
によって接地電極管１２のＳＵＳ材は放電空隙部分に直
接露出しない。このため接地電極のＳＵＳ成分が飛散し
て付着することは避けられる。
該誘電体管１４に空隙部３を介して対向配設された接地
電極管１２とを備え、前記高電圧電極１と接地電極管１
２間に電圧を印加して前記空隙部３内に流通させた原料
ガス中にオゾンを発生させる無声放電式のオゾン発生装
置において、無声放電によって接地電極のＳＵＳ成分が
溶融、蒸発し、ＳＵＳ管（接地電極管１２）内面やガラ
ス管（誘電体管１４）表面等に飛散することを防止し、
装置の信頼性を高める。 【構成】 接地電極管１２の内側表面に、例えば膜厚が
５０μｍ以下のＡｌ2Ｏ3から成るＳＵＳ成分飛散防止膜
１５（無機系の誘電体材料層）を成膜して設ける。これ
によって接地電極管１２のＳＵＳ材は放電空隙部分に直
接露出しない。このため接地電極のＳＵＳ成分が飛散し
て付着することは避けられる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、水処理や屎尿処理等に
利用される無声放電式のオゾン発生装置に関する。
利用される無声放電式のオゾン発生装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】オゾンは極めて強い酸化力を有し、水の
殺菌、脱臭、脱色等の上下水処理や屎尿処理及び食品関
連における殺菌などの多くの用途に使われている。オゾ
ンの生成法には、紫外線照射法、放射線照射法、プラズ
マ放電法、無声放電法及び水の電気分解法等があるが、
工業的には無声放電法が主体である。
殺菌、脱臭、脱色等の上下水処理や屎尿処理及び食品関
連における殺菌などの多くの用途に使われている。オゾ
ンの生成法には、紫外線照射法、放射線照射法、プラズ
マ放電法、無声放電法及び水の電気分解法等があるが、
工業的には無声放電法が主体である。
【０００３】図３に無声放電法によるオゾン発生装置の
原理を示す。図３において高電圧電極１と接地電極２
は、両者間に空隙部３が形成されるように誘電体４を介
在させて並設されている。両電極１，２間に例えばＡＣ
電圧を印加して空隙部３で無声放電を発生させ、原料と
なるガス（乾燥空気もしくは酸素）をこの空隙部３に通
すことによりオゾンを発生させている。
原理を示す。図３において高電圧電極１と接地電極２
は、両者間に空隙部３が形成されるように誘電体４を介
在させて並設されている。両電極１，２間に例えばＡＣ
電圧を印加して空隙部３で無声放電を発生させ、原料と
なるガス（乾燥空気もしくは酸素）をこの空隙部３に通
すことによりオゾンを発生させている。
【０００４】オゾンＯ3の理論収率は、 Ｏ2→Ｏ＋Ｏ−１１８Ｋｃａｌ（吸熱反応） Ｏ＋Ｏ2→Ｏ3＋２５Ｋｃａｌ（発熱反応） より、 ３Ｏ2→２Ｏ3−６８Ｋｃａｌ となり、Ｏ3を１ｍｏｌ生成するために３４Ｋｃａｌ必
要となる。従って理論上の収率は１．２ｋｇＯ3／ＫＷ
ｈとなる。しかし、消費電力に対するオゾンの生成効率
は理論収率に比べて極めて低く数％に過ぎず、残りの９
０数％の電力は熱となってオゾン生成に寄与していない
というのがオゾン発生装置の現状である。
要となる。従って理論上の収率は１．２ｋｇＯ3／ＫＷ
ｈとなる。しかし、消費電力に対するオゾンの生成効率
は理論収率に比べて極めて低く数％に過ぎず、残りの９
０数％の電力は熱となってオゾン生成に寄与していない
というのがオゾン発生装置の現状である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】オゾンの生成量に影響
を及ぼす主な因子としては、電極の形状、電極間ギャッ
プの大きさ、誘電体の形状及び材質、電極の冷却方法、
原料ガスの除湿や冷却方法、印加電圧の波形等が挙げら
れる。
を及ぼす主な因子としては、電極の形状、電極間ギャッ
プの大きさ、誘電体の形状及び材質、電極の冷却方法、
原料ガスの除湿や冷却方法、印加電圧の波形等が挙げら
れる。
【０００６】現在のオゾン発生装置は図３で示したよう
に、電極間に空隙が形成されるように誘電体を介在させ
てその空隙部分で放電を起こさせる無声放電を応用する
構造などが主となっている。図３において無声放電が起
こると電極と誘電体間の空隙部３に微小なストリーマ状
放電柱が多数発生し、その放電柱の中を大量の電子が流
れる。その際空隙部分を流れている原料ガス中の酸素分
子Ｏ2と電子とが衝突し、衝突電離によって酸素原子Ｏ
や励起酸素分子Ｏ2＊が生成し、酸素分子Ｏ2と反応して
オゾンＯ3が生成される（放電の化学作用）。
に、電極間に空隙が形成されるように誘電体を介在させ
てその空隙部分で放電を起こさせる無声放電を応用する
構造などが主となっている。図３において無声放電が起
こると電極と誘電体間の空隙部３に微小なストリーマ状
放電柱が多数発生し、その放電柱の中を大量の電子が流
れる。その際空隙部分を流れている原料ガス中の酸素分
子Ｏ2と電子とが衝突し、衝突電離によって酸素原子Ｏ
や励起酸素分子Ｏ2＊が生成し、酸素分子Ｏ2と反応して
オゾンＯ3が生成される（放電の化学作用）。
【０００７】原料ガスとして酸素発生装置などより供給
される酸素ガスを用いる場合、電極間の放電空隙部分が
狭い程オゾンを発生させるのに要する放電消費電力は少
なくて済む。しかし図３で示されるような電極構造の場
合や、ガラス管（誘電体管）とＳＵＳ管（接地電極管）
とで構成される同軸円筒型の電極構造などの場合、特に
電極間の放電空隙部分が１ｍｍ以下の狭い場合は、無声
放電によって接地電極のＳＵＳ成分が溶融、蒸発してＳ
ＵＳ管内面やガラス管表面等に飛散して付着するという
問題が発生する。
される酸素ガスを用いる場合、電極間の放電空隙部分が
狭い程オゾンを発生させるのに要する放電消費電力は少
なくて済む。しかし図３で示されるような電極構造の場
合や、ガラス管（誘電体管）とＳＵＳ管（接地電極管）
とで構成される同軸円筒型の電極構造などの場合、特に
電極間の放電空隙部分が１ｍｍ以下の狭い場合は、無声
放電によって接地電極のＳＵＳ成分が溶融、蒸発してＳ
ＵＳ管内面やガラス管表面等に飛散して付着するという
問題が発生する。
【０００８】従って次のような具体的な問題が発生す
る。 （１）放電による電極の消耗。 （２）ガラス管表面抵抗の低下によるオゾン発生量の減
少。 （３）酸素原料型オゾン発生器の電極間隔を最適化でき
ない。 （４）電極材料の飛散によりオゾンガスに金属粒子が混
ざる。
る。 （１）放電による電極の消耗。 （２）ガラス管表面抵抗の低下によるオゾン発生量の減
少。 （３）酸素原料型オゾン発生器の電極間隔を最適化でき
ない。 （４）電極材料の飛散によりオゾンガスに金属粒子が混
ざる。
【０００９】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
その目的は、無声放電によって接地電極のＳＵＳ成分が
溶融、蒸発してＳＵＳ管内面やガラス管表面等に飛散す
ることを防止したオゾン発生装置を提供することにあ
る。
その目的は、無声放電によって接地電極のＳＵＳ成分が
溶融、蒸発してＳＵＳ管内面やガラス管表面等に飛散す
ることを防止したオゾン発生装置を提供することにあ
る。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は、（１）一方の
面に高電圧電極が設けられた誘電体と、該誘電体の他方
の面に空隙部を介して並設された接地電極とを備え、前
記高電圧電極と接地電極間に電圧を印加して前記空隙部
内に流通させた原料ガス中にオゾンを発生させる無声放
電式のオゾン発生装置において、前記接地電極の空隙部
側の面に、無機系の誘電体材料層を成膜して設けたこと
を特徴とし、（２）前記誘電体材料層の成膜材としてＡ
ｌ2Ｏ3を用い、膜厚を５０μｍ以下に形成したことを特
徴とし、（３）前記誘電体材料層の成膜材としてＺｒＯ
2を用い、膜厚を５０μｍ以下に形成したことを特徴と
し、（４）前記誘電体材料層は、真空蒸着、スパッタ、
イオンプレーティング等のＰＶＤ法（物理蒸着法）、熱
ＣＶＤ、プラズマＣＶＤ、レーザーＣＶＤ等のＣＶＤ法
（化学気相蒸着法）および溶射法等の方法を用いて成膜
したことを特徴とし、（５）前記誘電体は筒状の誘電体
管から成り、前記接地電極は、前記誘電体管の同軸外周
部に空隙部を介して配設された筒状の接地電極管から成
ることを特徴としている。
面に高電圧電極が設けられた誘電体と、該誘電体の他方
の面に空隙部を介して並設された接地電極とを備え、前
記高電圧電極と接地電極間に電圧を印加して前記空隙部
内に流通させた原料ガス中にオゾンを発生させる無声放
電式のオゾン発生装置において、前記接地電極の空隙部
側の面に、無機系の誘電体材料層を成膜して設けたこと
を特徴とし、（２）前記誘電体材料層の成膜材としてＡ
ｌ2Ｏ3を用い、膜厚を５０μｍ以下に形成したことを特
徴とし、（３）前記誘電体材料層の成膜材としてＺｒＯ
2を用い、膜厚を５０μｍ以下に形成したことを特徴と
し、（４）前記誘電体材料層は、真空蒸着、スパッタ、
イオンプレーティング等のＰＶＤ法（物理蒸着法）、熱
ＣＶＤ、プラズマＣＶＤ、レーザーＣＶＤ等のＣＶＤ法
（化学気相蒸着法）および溶射法等の方法を用いて成膜
したことを特徴とし、（５）前記誘電体は筒状の誘電体
管から成り、前記接地電極は、前記誘電体管の同軸外周
部に空隙部を介して配設された筒状の接地電極管から成
ることを特徴としている。
【００１１】
【作用】接地電極表面は誘電体材料層によって覆われる
ので、接地電極のＳＵＳ材は放電空隙部分に直接露出し
ない。このため接地電極のＳＵＳ成分が溶融、蒸発して
ＳＵＳ管（接地電極管）内面やガラス管（誘電体管）表
面に飛散して付着することは避けられる。これによって
放電による電極の消耗や、オゾン発生量の減少およびオ
ゾンガスに金属粒子が混ざることは防止される。
ので、接地電極のＳＵＳ材は放電空隙部分に直接露出し
ない。このため接地電極のＳＵＳ成分が溶融、蒸発して
ＳＵＳ管（接地電極管）内面やガラス管（誘電体管）表
面に飛散して付着することは避けられる。これによって
放電による電極の消耗や、オゾン発生量の減少およびオ
ゾンガスに金属粒子が混ざることは防止される。
【００１２】
【実施例】以下、図面を参照しながら本発明の一実施例
を説明する。無声放電によって接地電極のＳＵＳ成分が
溶融、蒸発してＳＵＳ管（接地電極管）内面やガラス管
（誘電体管）表面等に飛散して付着するという問題を解
決するには、ＳＵＳ接地電極表面を誘電体で覆ってＳＵ
Ｓ材が放電空隙部分に直接露出しないようにし、放電に
さらされることがないようにすれば良い。誘電体でＳＵ
Ｓ材を覆うには、放電に強い無機系の材料でＳＵＳ電極
表面を成膜すれば良い。成膜する方法として、真空蒸
着、スパッタ、イオンプレーティング等のＰＶＤ法（物
理蒸着法）、熱ＣＶＤ、プラズマＣＶＤ、レーザーＣＶ
Ｄ等のＣＶＤ法（化学気相蒸着法）および溶射法等の方
法を用いる。
を説明する。無声放電によって接地電極のＳＵＳ成分が
溶融、蒸発してＳＵＳ管（接地電極管）内面やガラス管
（誘電体管）表面等に飛散して付着するという問題を解
決するには、ＳＵＳ接地電極表面を誘電体で覆ってＳＵ
Ｓ材が放電空隙部分に直接露出しないようにし、放電に
さらされることがないようにすれば良い。誘電体でＳＵ
Ｓ材を覆うには、放電に強い無機系の材料でＳＵＳ電極
表面を成膜すれば良い。成膜する方法として、真空蒸
着、スパッタ、イオンプレーティング等のＰＶＤ法（物
理蒸着法）、熱ＣＶＤ、プラズマＣＶＤ、レーザーＣＶ
Ｄ等のＣＶＤ法（化学気相蒸着法）および溶射法等の方
法を用いる。
【００１３】図１において（ａ）は放電管の断面、
（ｂ）および（ｃ）は接地電極管の構造を示している。
１４は一端が閉塞され他端が開放された円筒の誘電体管
であり、例えばガラス管で構成されている。誘電体管１
４の内壁面には高電圧電極１が設けられている。誘電体
管１４の同心円外周には空隙部（無声放電部）３を介し
て接地電極管１２が並設されている。５は高電圧電極１
と接地電極管１２の間に所定の高電圧を印加する高電圧
電源である。
（ｂ）および（ｃ）は接地電極管の構造を示している。
１４は一端が閉塞され他端が開放された円筒の誘電体管
であり、例えばガラス管で構成されている。誘電体管１
４の内壁面には高電圧電極１が設けられている。誘電体
管１４の同心円外周には空隙部（無声放電部）３を介し
て接地電極管１２が並設されている。５は高電圧電極１
と接地電極管１２の間に所定の高電圧を印加する高電圧
電源である。
【００１４】１５は接地電極管１２の内壁面に成膜され
たＳＵＳ成分飛散防止膜（無機系誘電体材料層）であ
る。この成膜に用いる無機系の誘電体材料の種類および
成膜厚さを表１のように変えて実施した。
たＳＵＳ成分飛散防止膜（無機系誘電体材料層）であ
る。この成膜に用いる無機系の誘電体材料の種類および
成膜厚さを表１のように変えて実施した。
【００１５】
【表１】
【００１６】図１のように接地電極管１２の内側表面に
ＳＵＳ成分飛散防止膜１５（無機系の誘電体材料層）を
設けたオゾン発生電極を用いた場合の接地電極ＳＵＳ成
分の飛散防止度合いの結果は表２のように示され、また
この場合の電極部の単位面積当たりの放電電力に対する
オゾン発生量の関係は図２のように示される。
ＳＵＳ成分飛散防止膜１５（無機系の誘電体材料層）を
設けたオゾン発生電極を用いた場合の接地電極ＳＵＳ成
分の飛散防止度合いの結果は表２のように示され、また
この場合の電極部の単位面積当たりの放電電力に対する
オゾン発生量の関係は図２のように示される。
【００１７】
【表２】
【００１８】図２における各曲線は表２の各実施例によ
る放電電力とオゾン発生量の関係を示している。表２お
よび図２によれば、接地電極管１２の内側の表面に、無
機系の誘電体材料層としてＡｌ2Ｏ3もしくはＺｒＯ2を
設けることにより、両材料ともにＳＵＳ成分の飛散は防
止できるが、成膜厚さが５０μｍを超えるとオゾン発生
量が減少してしまうのが判る。
る放電電力とオゾン発生量の関係を示している。表２お
よび図２によれば、接地電極管１２の内側の表面に、無
機系の誘電体材料層としてＡｌ2Ｏ3もしくはＺｒＯ2を
設けることにより、両材料ともにＳＵＳ成分の飛散は防
止できるが、成膜厚さが５０μｍを超えるとオゾン発生
量が減少してしまうのが判る。
【００１９】オゾン発生量を減少させることなくＳＵＳ
成分の飛散も防止するには成膜する無機系の誘電体材料
層の成膜厚さに最適値がある。すなわち成膜厚さを約５
０μｍ以下とすることでこの条件を満たすことが可能と
なった。
成分の飛散も防止するには成膜する無機系の誘電体材料
層の成膜厚さに最適値がある。すなわち成膜厚さを約５
０μｍ以下とすることでこの条件を満たすことが可能と
なった。
【００２０】尚前記実施例では誘電体材料層としてＡｌ
2Ｏ3およびＺｒＯ2を用いたが、これら以外の酸化物や
窒化物およびそれらの複合物等の絶縁性のある放電に強
い材料を用いても前記同様の効果が得られる。また本発
明は図１のような同軸円筒型のオゾン発生装置に限ら
ず、その他の例えば平行平板型の電極形状を採用したオ
ゾン発生装置にも容易に適用でき、その場合も前記と同
様の効果が得られる。
2Ｏ3およびＺｒＯ2を用いたが、これら以外の酸化物や
窒化物およびそれらの複合物等の絶縁性のある放電に強
い材料を用いても前記同様の効果が得られる。また本発
明は図１のような同軸円筒型のオゾン発生装置に限ら
ず、その他の例えば平行平板型の電極形状を採用したオ
ゾン発生装置にも容易に適用でき、その場合も前記と同
様の効果が得られる。
【００２１】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、無声放電
式のオゾン発生装置において、接地電極（接地電極管）
の内側の表面に無機系の誘電体材料層を設けて、ＳＵＳ
材が放電空隙部分に直接露出しないようにして放電にさ
らされることがないようにしたので、無声放電によって
接地電極のＳＵＳ成分が溶融、蒸発してＳＵＳ管内面や
ガラス管表面等に飛散しなくなった。その結果次のよう
な効果が得られる。
式のオゾン発生装置において、接地電極（接地電極管）
の内側の表面に無機系の誘電体材料層を設けて、ＳＵＳ
材が放電空隙部分に直接露出しないようにして放電にさ
らされることがないようにしたので、無声放電によって
接地電極のＳＵＳ成分が溶融、蒸発してＳＵＳ管内面や
ガラス管表面等に飛散しなくなった。その結果次のよう
な効果が得られる。
【００２２】（１）放電による電極の消耗を防止するこ
とができる。 （２）ガラス管表面抵抗の低下によるオゾン発生量の減
少を防止することができる。 （３）酸素原料型オゾン発生器の電極間隔を最適化する
ことができる。 （４）電極材料は飛散しないのでオゾンガス中に金属粒
子が混ざることはない。 （５）前記（１）〜（４）によってオゾン発生装置の信
頼性を高めることができる。
とができる。 （２）ガラス管表面抵抗の低下によるオゾン発生量の減
少を防止することができる。 （３）酸素原料型オゾン発生器の電極間隔を最適化する
ことができる。 （４）電極材料は飛散しないのでオゾンガス中に金属粒
子が混ざることはない。 （５）前記（１）〜（４）によってオゾン発生装置の信
頼性を高めることができる。
【図１】本発明のオゾン発生装置で用いる放電管の概略
を示し、（ａ）は放電管断面図、（ｂ）は接地電極管構
造図、（ｃ）は接地電極管断面図。
を示し、（ａ）は放電管断面図、（ｂ）は接地電極管構
造図、（ｃ）は接地電極管断面図。
【図２】本発明の各実施例の単位面積当たりの放電電力
とオゾン発生量の関係を表す特性図。
とオゾン発生量の関係を表す特性図。
【図３】無声放電法によるオゾン生成の概要を示す説明
図。
図。
１…高電圧電極 ２…接地電極 ３…空隙部 ４…誘電体 ５…高電圧電源 １２…接地電極管 １４…誘電体管 １５…ＳＵＳ成分飛散防止膜
Claims (5)
- 【請求項１】 一方の面に高電圧電極が設けられた誘電
体と、該誘電体の他方の面に空隙部を介して並設された
接地電極とを備え、前記高電圧電極と接地電極間に電圧
を印加して前記空隙部内に流通させた原料ガス中にオゾ
ンを発生させる無声放電式のオゾン発生装置において、
前記接地電極の空隙部側の面に、無機系の誘電体材料層
を成膜して設けたことを特徴とするオゾン発生装置。 - 【請求項２】 前記誘電体材料層の成膜材としてＡｌ2
Ｏ3を用い、膜厚を５０μｍ以下に形成したことを特徴
とする請求項１に記載のオゾン発生装置。 - 【請求項３】 前記誘電体材料層の成膜材としてＺｒＯ
2を用い、膜厚を５０μｍ以下に形成したことを特徴と
する請求項１に記載のオゾン発生装置。 - 【請求項４】 前記誘電体材料層は、真空蒸着、スパッ
タ、イオンプレーティング等のＰＶＤ法（物理蒸着
法）、熱ＣＶＤ、プラズマＣＶＤ、レーザーＣＶＤ等の
ＣＶＤ法（化学気相蒸着法）および溶射法等の方法を用
いて成膜したことを特徴とする請求項１又は２又は３に
記載のオゾン発生装置。 - 【請求項５】 前記誘電体は筒状の誘電体管から成り、
前記接地電極は、前記誘電体管の同軸外周部に空隙部を
介して配設された筒状の接地電極管から成ることを特徴
とする請求項１又は２又は３又は４に記載のオゾン発生
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9463795A JPH08290901A (ja) | 1995-04-20 | 1995-04-20 | オゾン発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9463795A JPH08290901A (ja) | 1995-04-20 | 1995-04-20 | オゾン発生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08290901A true JPH08290901A (ja) | 1996-11-05 |
Family
ID=14115792
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9463795A Pending JPH08290901A (ja) | 1995-04-20 | 1995-04-20 | オゾン発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08290901A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002129341A (ja) * | 2000-10-24 | 2002-05-09 | Huei-Tarng Liou | 高温及び高電圧下で耐久性のある石英管又は高アルミナ含有管に金被覆する方法、及び、オゾン発生器用の金被覆された石英管又は高アルミナ含有管 |
| WO2003068382A1 (fr) * | 2002-02-15 | 2003-08-21 | Furrex Co., Ltd. | Dispositif de decharge |
| JP2009221076A (ja) * | 2008-03-18 | 2009-10-01 | Metawater Co Ltd | オゾン発生管の製造方法 |
| WO2016182824A1 (en) * | 2015-05-08 | 2016-11-17 | Sunpower Corporation | High throughput chemical vapor deposition electrode |
-
1995
- 1995-04-20 JP JP9463795A patent/JPH08290901A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002129341A (ja) * | 2000-10-24 | 2002-05-09 | Huei-Tarng Liou | 高温及び高電圧下で耐久性のある石英管又は高アルミナ含有管に金被覆する方法、及び、オゾン発生器用の金被覆された石英管又は高アルミナ含有管 |
| WO2003068382A1 (fr) * | 2002-02-15 | 2003-08-21 | Furrex Co., Ltd. | Dispositif de decharge |
| JP2009221076A (ja) * | 2008-03-18 | 2009-10-01 | Metawater Co Ltd | オゾン発生管の製造方法 |
| WO2016182824A1 (en) * | 2015-05-08 | 2016-11-17 | Sunpower Corporation | High throughput chemical vapor deposition electrode |
| US10100439B2 (en) | 2015-05-08 | 2018-10-16 | Sunpower Corporation | High throughput chemical vapor deposition electrode |
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Legal Events
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Effective date: 20040325 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
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| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040817 |