JPH08288365A - ロボットによるウエハ搬送方法及びその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 搬送アームと搬送目標位置のずれ、または搬
送アーム上でのウエハ位置ずれが発生した場合でも、ウ
エハへのダメージ及びロボット装置へのダメージをなく
し、信頼性の高いウエハの搬送を行うことができるロボ
ットによるウエハ搬送方法及びその装置を提供する。 【構成】 搬送アーム３と搬送目標位置のずれ、または
搬送アーム３上でのウエハ１の位置ずれが発生した場合
でも、一時的な真空チャック機構４のＯＦＦにより、ウ
エハ１へのダメージ及びロボット装置へのダメージをな
くし、信頼性の高いウエハの搬送を行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ロボットによるウエハ
搬送方法及びその装置に係り、特に、ロボットを使用し
てウエハを搬送させる際のウエハチャックの方法及びロ
ボットアームの構造に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来のウエハ搬送装置は、一般に真空チ
ャックする搬送アームを用いて、ロボットがウエハを、
予め定められた位置に搬送するものであった。また、ウ
エハ搬送の途中にウエハサイズを検出する機構を設け、
そのウエハの搬送制御を自動的に選択して、搬送を実行
するように構成したウエハ搬送装置も提案されている
（特開平５−８２６２５号公報参照）。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来の装置では、搬送アームと搬送目標位置のずれ、
または搬送アーム上でのウエハ位置ずれが発生した場合
等、ウエハが搬送目標位置に置かれているキャリア等と
接触してしまい、ウエハのダメージ（キズ、割れ、ゴミ
等）及びロボットアームへのダメージが発生するといっ
た問題があった。

【０００４】本発明は、上記問題点を解決するために、
搬送アームと搬送目標位置のずれ、または搬送アーム上
でのウエハ位置ずれが発生した場合でも、ウエハへのダ
メージ及びロボット装置へのダメージをなくし、信頼性
の高いウエハの搬送を行うことができるロボットによる
ウエハ搬送方法及びその装置を提供することを目的とす
る。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、 （１）ロボットによるウエハ搬送方法において、ロボッ
トの搬送アーム上にウエハを真空チャックして収納容器
の直前まで搬送する工程と、前記収納容器の直前で前記
ウエハの真空チャックを解除し、このウエハを前記収納
容器にアライメントする工程と、アライメント終了後、
再び前記ウエハの真空チャックを行い、このウエハを前
記収納容器内に収納する工程とを施すようにしたもので
ある。

【０００６】（２）ロボットによるウエハ搬送方法にお
いて、ロボットの搬送アームにウエハを真空チャックし
て収納容器の直前まで搬送する工程と、前記収納容器の
直前で前記ウエハの真空チャックを一部解除し、このウ
エハを前記収納容器にアライメントする工程と、アライ
メント終了後、再び前記ウエハの真空チャックを行い、
このウエハを前記収納容器内に収納する工程とを施すよ
うにしたものである。

【０００７】（３）ロボットによるウエハ搬送方法にお
いて、ロボットの搬送アームにウエハを真空チャックし
て収納容器の直前まで搬送する工程と、前記ウエハが前
記収納容器に接触する際には前記ウエハを前記搬送アー
ムからずらして外部からの負荷を逃がし、このウエハを
前記収納容器にアライメントする工程と、アライメント
終了後、前記搬送アームによりこのウエハを前記収納容
器内に収納する工程とを施すようにしたものである。

【０００８】（４）ロボットによるウエハ搬送方法にお
いて、ロボットの搬送アームにウエハを真空チャックし
て収納容器の直前まで搬送する工程と、前記ウエハが前
記収納容器に接触する際には前記搬送アームを撓ませて
外部からの負荷を逃がし、前記ウエハを前記収納容器に
アライメントする工程と、アライメント終了後、前記搬
送アームによりこのウエハを前記収納容器内に収納する
工程とを施すようにしたものである。

【０００９】（５）ロボットによるウエハ搬送装置にお
いて、ロボットの搬送アーム上に設けられるウエハの真
空チャックと、前記収納容器の直前で前記ウエハの真空
チャックを解除する手段と、このウエハを前記収納容器
にアライメントした後、再び前記ウエハの真空チャック
を行う手段と、前記ウエハを前記収納容器内に収納する
手段とを設けるようにしたものである。

【００１０】（６）ロボットによるウエハ搬送装置にお
いて、ロボットの搬送アームに設けられるウエハの真空
チャックと、前記収納容器の直前で前記ウエハの真空チ
ャックの一部を解除する手段と、このウエハを前記収納
容器にアライメントした後、再び前記ウエハの真空チャ
ックを行う手段と、前記ウエハを前記収納容器内に収納
する手段とを設けるようにしたものである。

【００１１】（７）ロボットによるウエハ搬送装置にお
いて、ロボットの搬送アームに設けられるウエハを吸着
するチャックと、前記ウエハを前記収納容器にアライメ
ントするために前記ウエハを前記搬送アームからずら
し、外部からの負荷を逃がす機構とを設けるようにした
ものである。 （８）ロボットによるウエハ搬送装置において、ロボッ
トの搬送アームに設けられるウエハを吸着するチャック
と、前記ウエハを前記収納容器にアライメントするため
に前記搬送アーム自体に外部からの負荷を逃がす機構を
設けるようにしたものである。

【００１２】

【作用】

（１）請求項１記載のロボットによるウエハ搬送方法に
よれば、搬送アームと搬送目標位置のずれ、または搬送
アーム上でのウエハ位置ずれが発生した場合でも、一時
的な真空チャックの解除により、ウエハへのダメージ及
びロボット装置へのダメージをなくし、信頼性の高いウ
エハの搬送を行うことができる。

【００１３】（２）請求項２記載のロボットによるウエ
ハ搬送方法によれば、搬送アームと搬送目標位置のず
れ、または搬送アーム上でのウエハ位置ずれが発生した
場合でも、一時的に真空チャックの一部を解除すること
により、ウエハへのダメージ及びロボット装置へのダメ
ージをなくし、信頼性の高いウエハの搬送を行うことが
できる。

【００１４】更に、ウエハは必ずしも搬送アーム上に乗
せる必要はなく、搬送態様を広げることができる。 （３）請求項３記載のロボットによるウエハ搬送方法に
よれば、搬送アームと搬送目標位置のずれ、または搬送
アーム上でのウエハ位置ずれが発生した場合でも、前記
ウエハを前記搬送アームからずらして、外部からの負荷
を逃がし、そのウエハを前記収納容器にアライメントす
るようにしたので、ウエハ及び搬送アームに対するダメ
ージは最小限に抑えることができる。

【００１５】（４）請求項４記載のロボットによるウエ
ハ搬送方法によれば、搬送アームと搬送目標位置のず
れ、または搬送アーム上でのウエハ位置ずれが発生した
場合でも、前記ウエハが前記収納容器に接触する際に
は、前記搬送アームを撓ませて外部からの負荷を逃が
し、前記ウエハを前記収納容器にアライメントするよう
にしたので、簡単な構成により、確実なウエハの搬送を
行うことができる。

【００１６】（５）請求項５記載のロボットによるウエ
ハ搬送装置によれば、通常のチャック機構を用いて、簡
単な構成でもって、搬送アームと搬送目標位置のずれ、
または搬送アーム上でのウエハ位置ずれが発生した場合
でも、一時的な真空チャックの解除により、ウエハへの
ダメージ及びロボット装置へのダメージをなくし、信頼
性の高いウエハの搬送を達成できる。

【００１７】（６）請求項６記載のロボットによるウエ
ハ搬送装置によれば、チャック機構及びその制御を工夫
したので、ウエハの確実な搬送と、その搬送態様の拡大
を図ることができる。 （７）請求項７記載のロボットによるウエハ搬送装置に
よれば、ウエハを搬送アームからずらし、外部からの負
荷を逃がす機構を設けるようにしたので、外部からウエ
ハに負荷が加えられた場合でも、ウエハをずらすことが
でき、ウエハ及びロボット装置に対するダメージを最小
限に抑えることができる。

【００１８】（８）請求項８記載のロボットによるウエ
ハ搬送装置によれば、搬送アーム自体に負荷に対する逃
げができるような機構を取り付けることにより、外部か
ら搬送アームに負荷が加えられた場合でも、ウエハ及び
ロボット装置に対するダメージを最小限におさえること
ができる。

【００１９】

【実施例】以下、本発明の実施例について図を参照しな
がら順次説明する。図１は本発明の第１実施例を示すウ
エハ搬送装置によるウエハのキャリアへの搬送状態を示
す平面工程図、図２はそのウエハのキャリアへの搬入時
のウエハの動きを示す図、図３はそのウエハのキャリア
への搬入を説明するキャリアの斜視図である。

【００２０】（１）まず、図１（ａ）に示すように、ウ
エハ１をロボット２の搬送アーム３に真空チャック機構
４によりチャックした状態で、搬送目標位置直前まで搬
送する。この時の直前とは、ウエハ１がキャリア５に接
触する手前をいう。この位置は、ロボット２の搬送アー
ム３の位置として、予めロボット２にティーチングした
位置、もしくはキャリア５の手前に位置検出センサ（図
示なし）を設置し、ウエハ１又は搬送アーム３の位置が
検出され、停止させる位置とする。

【００２１】（２）次に、図１（ｂ）に示すように、搬
送アーム３の真空チャック機構４をＯＦＦにした状態に
して、更に搬送アーム３を前進させる。この時にウエハ
１がキャリア５に接触した場合は、ウエハ１は搬送アー
ム３の前進する力によって、図３に示すように、キャリ
ア５の溝６に合った位置に移動し、位置が補正される。
ウエハ１は搬送アーム３に水平に乗っているだけである
ため、キャリアの溝６に接触したとしても、それによる
ウエハ１のダメージはほとんどない。また、真空チャッ
ク機構４がＯＦＦのため、搬送アーム３にも、その衝撃
が伝わることはない。

【００２２】（３）次に、ウエハ１がキャリア５の溝６
に適合する、つまり、ウエハ１がキャリア５へアライメ
ントされると、図１（ｃ）に示すように、再度搬送アー
ム３の真空チャック機構４をＯＮにして、搬送アーム３
を前進させ、ウエハ１をキャリア５に収納する。このよ
うに構成することにより、ウエハ１の搬送位置がキャリ
ア５とずれている場合にも、ウエハ１及び搬送アーム３
への外部からの負荷を回避することにより、円滑な搬入
を行うことができる。

【００２３】次に、本発明の第２実施例について説明す
る。上記第１実施例では、ウエハ１が搬送アーム３から
のチャックが一時的に解除されるようにしたが、以下の
ような機構により、ウエハをずらすようにしてもよい。
図４は本発明の第２実施例を示すウエハ搬送装置による
ウエハのキャリアへの搬送状態を示す平面工程図であ
る。なお、第１実施例と同じ部分については同じ番号を
付してその説明は省略する。

【００２４】この実施例においては、真空チャック機構
１３として、三角の各頂点に配置される吸着孔１３ａ，
１３ｂ，１３ｃを設け、キャリア５に対するウエハ１の
アライメント時に吸着孔１３ａを残して、吸着孔１３ｂ
と１３ｃはチャックを解除して、吸着孔１３ａの吸着点
１４を中心にして、ウエハ１が回転可能に支持するよう
にする。

【００２５】以下、そのウエハ搬送装置による動作を説
明する。 （１）まず、図４（ａ）に示すように、ウエハ１をロボ
ット１１の搬送アーム１２に真空チャック機構１３によ
りチャックした状態で、搬送目標位置直前まで搬送す
る。この時の直前とは、ウエハ１がキャリア５に接触す
る手前をいう。この位置は、ロボット１１の搬送アーム
１２の位置として、予めロボット１１にティーチングし
た位置、もしくはキャリア５の手前に位置検出センサ
（図示なし）を設置し、ウエハ１又は搬送アーム１２の
位置が検出され、停止させる位置とする。

【００２６】（２）次に、図４（ｂ）に示すように、搬
送アーム１２の真空チャック機構１３の吸着孔１３ｂと
１３ｃによるチャックをＯＦＦして解除し、吸着孔１３
ａのみによってチャックを行う。つまり、チャックの一
部解除を行い、更に搬送アーム１２を前進させる。この
時にウエハ１がキャリア５に接触した場合は、ウエハ１
は搬送アーム１２が前進する力によって、キャリア５の
溝６（図３参照）に合った位置に移動し、ウエハ１はキ
ャリア５に対してアライメントされる。

【００２７】この場合にも、ウエハ１はキャリア５の溝
６に接触したとしても、それによるウエハ１のダメージ
はほとんどない。搬送アーム１２にも、その衝撃は伝わ
ることはない。 （３）次に、ウエハ１がキャリア５の溝６に適合する、
つまり、ウエハ１がキャリア５へアライメントされる
と、図４（ｃ）に示すように、再度搬送アーム１２の真
空チャック機構１３をＯＮにする。つまり、三角の各頂
点に配置される全ての吸着孔１３ａ，１３ｂ，１３ｃで
チャックして、搬送アーム１２を前進させ、ウエハ１を
キャリア５に収納する。

【００２８】このように構成することにより、ウエハ１
の搬送位置がキャリア５とずれている場合にも、ウエハ
１及び搬送アーム１２への外部からの負荷を回避するこ
とにより、円滑な搬入を行うことができる。更に、この
実施例の場合には、前記第１実施例に示したように、ウ
エハ１が搬送アーム３上に必ずしも水平に乗っていない
場合にも適用することができる。

【００２９】図５は本発明の第３実施例を示すウエハ搬
送のためのロボットの搬送アームの第１の逃がし（左右
方向への逃がし）機構の動作原理を示す図、図６は本発
明の第３実施例を示すウエハ搬送のためのロボットの搬
送アームの第２の逃がし（前後方向への逃がし）機構の
動作原理を示す図である。図５に示すように、ロボット
２１の搬送アーム２２は左右方向へ変位できるように構
成し、ウエハ１がキャリアに接触する場合には、それに
よって生じる外部からの負荷を搬送アーム２２の左右方
向への変位により、逃がすようにしたものである。な
お、２３はチャック機構であり、一般的には真空チャッ
ク機構が用いられるが、その他の種類のチャック機構で
あってもよい。

【００３０】具体的にはバネ継手を設けたり、搬送アー
ム自体をゴム板などで構成することもできる。また、図
６に示すように、ロボット３１の搬送アーム３２は前後
方向へ変位できるように構成し、ウエハ１がキャリアに
接触する場合には、それによって生じる外部からの負荷
を搬送アーム３２の前後方向への変位により、逃がすよ
うにしたものである。なお、３３はチャック機構であ
り、一般的には真空チャック機構が用いられるが、その
他の種類のチャック機構であってもよい。

【００３１】具体的には搬送アームをバネ付のテレスコ
ープ式に構成したり、コイルばねを搬送アームの間に介
在させるように構成することができる。したがって、ロ
ボットの搬送アームに、ウエハを介して負荷が外部より
加えられた時に、ウエハ自体が逃げてロボットへの負荷
（衝撃）を少なくすることができる。

【００３２】図７は本発明の第３実施例を示す第１の逃
がし機構付のロボットによるウエハの搬送装置の平面図
である。この実施例においては、ロボット４１の搬送ア
ーム４２の途中にコイルバネ４３を介在させることによ
り、ウエハ１を介して負荷が外部より加えられた時に、
ウエハ１自体が左右方向に逃げてロボット４１への負荷
（衝撃）を少なくすることができる。なお、４４はチャ
ック機構であり、一般的には真空チャック機構が用いら
れるが、その他の種類のチャック機構であってもよい。

【００３３】なお、コイルバネ４３のバネ体間のピッチ
を広くする、つまり、まばらに巻かれたコイルバネを用
いると、前後方向に対する逃げ機構を有することになる
ことは言うまでもない。図８は本発明の第３実施例を示
す第２の逃がし機構付のロボットによるウエハの搬送装
置の平面図である。

【００３４】この実施例においては、ロボット５１には
孔があいた支承部５２が設けられ、この支承部５２の孔
に搬送アーム５３の基部が係合するようにし、搬送アー
ム５３の基部の端面と支承部５２の孔の底面間にはコイ
ルバネ５４が装着されており、通常は搬送アーム５３が
ストッパに当たるまで前方に押し出されている。なお、
５５はチャック機構であり、一般的には真空チャック機
構が用いられるが、その他の種類のチャック機構であっ
てもよい。

【００３５】そこで、ウエハ１に前方からの負荷が加え
られると、コイルバネ５４に抗して、搬送アーム５３が
後方に移動し、前記負荷をコイルバネ５４で吸収してロ
ボット５１への負荷（衝撃）を少なくすることができ
る。図９は本発明の第３実施例を示す第１及び第２の逃
がし機構付のロボットによるウエハの搬送装置の平面図
である。

【００３６】この実施例においては、ロボット６１には
バネ受け部６２が形成され、このバネ受け部６２と空間
６４を隔てて搬送アーム６３が配置されるように、まば
らに巻かれたコイルバネ６５が、バネ受け部６２と搬送
アーム６３の基部との間に装着されている。なお、６６
はチャック機構であり、一般的には真空チャック機構が
用いられるが、その他の種類のチャック機構であっても
よい。

【００３７】そこで、ウエハ１を介して負荷が外部より
加えられた時に、搬送アーム６３のコイルバネ６５が撓
むことにより、ウエハ１が左右方向に逃げてロボット６
１への負荷（衝撃）を少なくすることができる。また、
ウエハ１に前方からの負荷が加えられると、まばらに巻
かれたコイルバネ６５が縮むことにより、搬送アーム６
３が後方に移動し、前記負荷をコイルバネ６５で吸収し
てロボット６１への負荷（衝撃）を少なくすることがで
きる。

【００３８】このように構成することにより、ウエハ１
に加えられる負荷に対してウエハ１は前後左右に逃げる
ことができ、ウエハ１のキャリア５への円滑な収納を行
うことができる。なお、本発明は、上記実施例に限定さ
れるものではなく、本発明の趣旨に基づき種々の変形が
可能であり、それらを本発明の範囲から排除するもので
はない。

【００３９】

【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、以下のような効果を奏することができる。 （１）請求項１記載の発明によれば、搬送アームと搬送
目標位置のずれ、または搬送アーム上でのウエハ位置ず
れが発生した場合でも、一時的な真空チャックの解除に
より、ウエハへのダメージ及びロボット装置へのダメー
ジをなくし、信頼性の高いウエハの搬送を行うことがで
きる。

【００４０】（２）請求項２記載の発明によれば、搬送
アームと搬送目標位置のずれ、または搬送アーム上での
ウエハ位置ずれが発生した場合でも、一時的に真空チャ
ックの一部を解除することにより、ウエハへのダメージ
及びロボット装置へのダメージをなくし、信頼性の高い
ウエハの搬送を行うことができる。更に、ウエハは必ず
しも搬送アーム上に乗せる必要はなく、搬送態様を広げ
ることができる。

【００４１】（３）請求項３記載の発明によれば、搬送
アームと搬送目標位置のずれ、または搬送アーム上での
ウエハ位置ずれが発生した場合でも、前記ウエハを前記
搬送アームからずらして、外部からの負荷を逃がし、そ
のウエハを前記収納容器にアライメントするようにした
ので、ウエハ及び搬送アームに対するダメージは最小限
に抑えることができる。

【００４２】（４）請求項４記載の発明によれば、搬送
アームと搬送目標位置のずれ、または搬送アーム上での
ウエハ位置ずれが発生した場合でも、前記ウエハが前記
収納容器に接触する際には、前記搬送アームを撓ませて
外部からの負荷を逃がし、前記ウエハを前記収納容器に
アライメントするようにしたので、簡単な構成により、
確実なウエハの搬送を行うことができる。

【００４３】（５）請求項５記載の発明によれば、通常
のチャック機構を用いて、簡単な構成でもって、搬送ア
ームと搬送目標位置のずれ、または搬送アーム上でのウ
エハ位置ずれが発生した場合でも、一時的な真空チャッ
クの解除により、ウエハへのダメージ及びロボット装置
へのダメージをなくし、信頼性の高いウエハの搬送を達
成できる。

【００４４】（６）請求項６記載の発明によれば、チャ
ック機構及びその制御を工夫したので、ウエハの確実な
搬送と、その搬送態様の拡大を図ることができる。 （７）請求項７記載の発明によれば、ウエハを搬送アー
ムからずらし、外部からの負荷を逃がす機構を設けるよ
うにしたので、外部からウエハに負荷が加えられた場合
でも、ウエハをずらすことができ、ウエハ及びロボット
装置に対するダメージを最小限に抑えることができる。

【００４５】（８）請求項８記載の発明によれば、搬送
アーム自体に負荷に対する逃げができるような機構を取
り付けることにより、外部から搬送アームに負荷が加え
られた場合でも、ウエハ及びロボット装置に対するダメ
ージを最小限におさえることができる。 このように、上記発明は、そのための構成は極めて簡単
でありうるが、それによってもたらされる効果は著大で
ある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例を示すウエハ搬送装置によ
るウエハのキャリアへの搬送状態を示す平面工程図であ
る。

【図２】本発明の第１実施例を示すウエハのキャリアへ
の搬入時のウエハの動きを示す図である。

【図３】本発明の第１実施例を示すウエハのキャリアへ
の搬入を説明するキャリアの斜視図である。

【図４】本発明の第２実施例を示すウエハ搬送装置によ
るウエハのキャリアへの搬送状態を示す平面工程図であ
る。

【図５】本発明の第３実施例を示すウエハ搬送のための
ロボットの搬送アームの第１の逃がし（左右方向への逃
がし）機構の動作原理を示す図である。

【図６】本発明の第３実施例を示すウエハ搬送のための
ロボットの搬送アームの第２の逃がし（前後方向への逃
がし）機構の動作原理を示す図である。

【図７】本発明の第３実施例を示す第１の逃がし機構付
のロボットによるウエハの搬送装置の平面図である。

【図８】本発明の第３実施例を示す第２の逃がし機構付
のロボットによるウエハの搬送装置の平面図である。

【図９】本発明の第３実施例を示す第１及び第２の逃が
し機構付のロボットによるウエハの搬送装置の平面図で
ある。

【符号の説明】

１ ウエハ ２，１１，２１，３１，４１，５１，６１ ロボット ３，１２，２２，３２，４２，５３，６３ 搬送アー
ム ４，１３，２３，３３ 真空チャック機構 ５ キャリア ６ キャリアの溝 １３ａ，１３ｂ，１３ｃ 吸着孔 １４ 吸着点 ４３，５４，６５ コイルバネ ４４，５５，６６ チャック機構 ５２ 支承部 ６２ バネ受け部 ６４ 空間

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ロボットによるウエハ搬送方法におい
   て、（ａ）ロボットの搬送アーム上にウエハを真空チャ
   ックして収納容器の直前まで搬送する工程と、（ｂ）前
   記収納容器の直前で前記ウエハの真空チャックを解除
   し、該ウエハを前記収納容器にアライメントする工程
   と、（ｃ）該アライメントした後、再び前記ウエハの真
   空チャックを行い、該ウエハを前記収納容器内に収納す
   る工程とを施すことを特徴とするロボットによるウエハ
   搬送方法。
2. 【請求項２】 ロボットによるウエハ搬送方法におい
   て、（ａ）ロボットの搬送アームにウエハを真空チャッ
   クして収納容器の直前まで搬送する工程と、（ｂ）前記
   収納容器の直前で前記ウエハの真空チャックを一部解除
   し、該ウエハを前記収納容器にアライメントする工程
   と、（ｃ）該アライメントした後、再び前記ウエハの真
   空チャックを行い、該ウエハを前記収納容器内に収納す
   る工程とを施すことを特徴とするロボットによるウエハ
   搬送方法。
3. 【請求項３】 ロボットによるウエハ搬送方法におい
   て、（ａ）ロボットの搬送アームにウエハを真空チャッ
   クして収納容器の直前まで搬送する工程と、（ｂ）前記
   ウエハが前記収納容器に接触する際には前記ウエハを前
   記搬送アームからずらして外部からの負荷を逃がし、該
   ウエハを前記収納容器にアライメントする工程と、
   （ｃ）該アライメントした後、前記搬送アームにより前
   記ウエハを前記収納容器内に収納する工程とを施すこと
   を特徴とするロボットによるウエハ搬送方法。
4. 【請求項４】 ロボットによるウエハ搬送方法におい
   て、（ａ）ロボットの搬送アームにウエハを真空チャッ
   クして収納容器の直前まで搬送する工程と、（ｂ）前記
   ウエハが前記収納容器に接触する際には前記搬送アーム
   を撓ませて外部からの負荷を逃がし、前記ウエハを前記
   収納容器にアライメントする工程と、（ｃ）該アライメ
   ントした後、前記搬送アームにより前記ウエハを前記収
   納容器内に収納する工程とを施すことを特徴とするロボ
   ットによるウエハ搬送方法。
5. 【請求項５】 ロボットによるウエハ搬送装置におい
   て、（ａ）ロボットの搬送アーム上に設けられるウエハ
   の真空チャックと、（ｂ）前記収納容器の直前で前記ウ
   エハの真空チャックを解除する手段と、（ｃ）該ウエハ
   を前記収納容器にアライメントした後、再び前記ウエハ
   の真空チャックを行う手段と、（ｄ）前記ウエハを前記
   収納容器内に収納する手段とを具備することを特徴とす
   るロボットによるウエハ搬送装置。
6. 【請求項６】 ロボットによるウエハ搬送装置におい
   て、（ａ）ロボットの搬送アームに設けられるウエハの
   真空チャックと、（ｂ）前記収納容器の直前で前記ウエ
   ハの真空チャックの一部を解除する手段と、（ｃ）該ウ
   エハを前記収納容器にアライメントした後、再び前記ウ
   エハの真空チャックを行う手段と、（ｄ）前記ウエハを
   前記収納容器内に収納する手段とを具備することを特徴
   とするロボットによるウエハ搬送装置。
7. 【請求項７】 ロボットによるウエハ搬送装置におい
   て、（ａ）ロボットの搬送アームに設けられるウエハを
   吸着するチャックと、（ｂ）前記ウエハを前記収納容器
   にアライメントするために前記ウエハを前記搬送アーム
   からずらし、外部からの負荷を逃がす機構とを具備する
   ことを特徴とするロボットによるウエハ搬送装置。
8. 【請求項８】 ロボットによるウエハ搬送装置におい
   て、（ａ）ロボットの搬送アームに設けられるウエハを
   吸着するチャックと、（ｂ）前記ウエハを前記収納容器
   にアライメントするために前記搬送アーム自体に外部か
   らの負荷を逃がす機構を具備することを特徴とするロボ
   ットによるウエハ搬送装置。