JPH08283942A - 昇華性金属材料の蒸発方法 - Google Patents
昇華性金属材料の蒸発方法Info
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- JPH08283942A JPH08283942A JP11388595A JP11388595A JPH08283942A JP H08283942 A JPH08283942 A JP H08283942A JP 11388595 A JP11388595 A JP 11388595A JP 11388595 A JP11388595 A JP 11388595A JP H08283942 A JPH08283942 A JP H08283942A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 昇華性金属材料であっても飛散などを生じさ
せずに安定した速度で蒸発させることができる昇華性金
属材料の蒸発方法を提供することにある。 【構成】 昇華性金属材料を真空槽中で加熱すると、塊
状や粉末状の形状にかかわらず溶融する前に蒸発するこ
とから、昇華性金属材料１３と、蒸気圧の低い異種金属
材料１４とを同一の原料槽１２にいれて電子銃１５から
の電子ビーム１６で加熱する。すると、２つの金属材料
１３，１４の混合割合に基づく溶融合金の湯面から昇華
性金属材料１３のみを蒸発させる。これにより、昇華性
金属材料であってもその合金による溶融状態を作り出
し、蒸気圧の違いを利用して昇華性金属材料のみを湯面
から蒸発させ、蒸発表面積を一定にして安定した速度で
の蒸発を可能としている。
せずに安定した速度で蒸発させることができる昇華性金
属材料の蒸発方法を提供することにある。 【構成】 昇華性金属材料を真空槽中で加熱すると、塊
状や粉末状の形状にかかわらず溶融する前に蒸発するこ
とから、昇華性金属材料１３と、蒸気圧の低い異種金属
材料１４とを同一の原料槽１２にいれて電子銃１５から
の電子ビーム１６で加熱する。すると、２つの金属材料
１３，１４の混合割合に基づく溶融合金の湯面から昇華
性金属材料１３のみを蒸発させる。これにより、昇華性
金属材料であってもその合金による溶融状態を作り出
し、蒸気圧の違いを利用して昇華性金属材料のみを湯面
から蒸発させ、蒸発表面積を一定にして安定した速度で
の蒸発を可能としている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、昇華性金属材料の蒸
発方法に関し、Ｃｒ（クロム）、Ｍｎ（マンガン）、Ｃ
ｏ（コバルト）、Ｍｇ（マグネシウム）、Ｎｉ（ニッケ
ル）などの昇華性金属材料を用いて気相メッキを行う場
合に安定した速度で蒸発させることができるようにした
ものである。
発方法に関し、Ｃｒ（クロム）、Ｍｎ（マンガン）、Ｃ
ｏ（コバルト）、Ｍｇ（マグネシウム）、Ｎｉ（ニッケ
ル）などの昇華性金属材料を用いて気相メッキを行う場
合に安定した速度で蒸発させることができるようにした
ものである。
【０００２】
【従来の技術】真空蒸着やイオンプレーティング等の気
相メッキを行う場合には、メッキすべき金属材料を真空
中で加熱して蒸発させ、生成した金属蒸気を基板上に凝
着させるようにしている。
相メッキを行う場合には、メッキすべき金属材料を真空
中で加熱して蒸発させ、生成した金属蒸気を基板上に凝
着させるようにしている。
【０００３】このような気相メッキすべき金属材料とし
てＣｒやＭｇ等の昇華性金属を用いる場合には、原料槽
に昇華性金属材料をいれて真空中で電子ビームを照射し
て加熱するようにするが、高真空条件下で昇華性金属材
料は、原料槽内の金属材料の融点未満の温度でも高い蒸
気圧を示すため、電子ビームが照射された金属材料が溶
融しないうちに表面から蒸発が進行し、その蒸発が生じ
る表面積が蒸発の進行とともに減少することから蒸発速
度を一定に保つことが困難であった。
てＣｒやＭｇ等の昇華性金属を用いる場合には、原料槽
に昇華性金属材料をいれて真空中で電子ビームを照射し
て加熱するようにするが、高真空条件下で昇華性金属材
料は、原料槽内の金属材料の融点未満の温度でも高い蒸
気圧を示すため、電子ビームが照射された金属材料が溶
融しないうちに表面から蒸発が進行し、その蒸発が生じ
る表面積が蒸発の進行とともに減少することから蒸発速
度を一定に保つことが困難であった。
【０００４】そこで、昇華性金属材料を原料とする場合
でも蒸発速度の安定化を図ることができるようにするた
め、特開平４−２１７６９号公報に開示されている蒸着
用昇華性金属材料では、図８に示すように、粉末状の昇
華性金属材料１を用い、これを原料槽２にいれ、電子ビ
ーム３で加熱して蒸発させるようにしている。
でも蒸発速度の安定化を図ることができるようにするた
め、特開平４−２１７６９号公報に開示されている蒸着
用昇華性金属材料では、図８に示すように、粉末状の昇
華性金属材料１を用い、これを原料槽２にいれ、電子ビ
ーム３で加熱して蒸発させるようにしている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、粉末状の昇
華性金属材料１を電子ビーム３で加熱してみたところ、
粉末原料１が飛散して真空槽４内に粉塵が舞ったり、飛
散した粉末の一部が電子銃５の中に侵入してアーキング
現象（電子ビームの不連続化現象）が発生したり、ある
いは排気系６を汚染するためメンテナンスが必要になる
などの問題が生じることが判った。
華性金属材料１を電子ビーム３で加熱してみたところ、
粉末原料１が飛散して真空槽４内に粉塵が舞ったり、飛
散した粉末の一部が電子銃５の中に侵入してアーキング
現象（電子ビームの不連続化現象）が発生したり、ある
いは排気系６を汚染するためメンテナンスが必要になる
などの問題が生じることが判った。
【０００６】この発明はかかる従来技術の課題に鑑みて
なされたもので、昇華性金属材料であっても飛散などを
生じさせずに安定した速度で蒸発させることができる昇
華性金属材料の蒸発方法を提供しようとするものであ
る。
なされたもので、昇華性金属材料であっても飛散などを
生じさせずに安定した速度で蒸発させることができる昇
華性金属材料の蒸発方法を提供しようとするものであ
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、この発明の請求項１記載の昇華性金属材料の蒸発方
法は、昇華性金属材料を真空槽中で加熱して蒸発するに
際し、昇華性金属材料と、昇華性金属材料の蒸発温度で
の蒸気圧の低い異種金属材料とを加熱溶融し、これらの
合金の湯面から昇華性金属材料のみを蒸発するようにし
たことを特徴とするものである。
め、この発明の請求項１記載の昇華性金属材料の蒸発方
法は、昇華性金属材料を真空槽中で加熱して蒸発するに
際し、昇華性金属材料と、昇華性金属材料の蒸発温度で
の蒸気圧の低い異種金属材料とを加熱溶融し、これらの
合金の湯面から昇華性金属材料のみを蒸発するようにし
たことを特徴とするものである。
【０００８】また、この発明の請求項２記載の昇華性金
属材料の蒸発方法は、請求項１記載の構成に加え、前記
異種金属材料を昇華性金属材料と溶融して合金を形成
し、共晶点あるいは液相線の最低温度における蒸気圧が
前記真空槽内の圧力より低いものであることを特徴とす
るものである。
属材料の蒸発方法は、請求項１記載の構成に加え、前記
異種金属材料を昇華性金属材料と溶融して合金を形成
し、共晶点あるいは液相線の最低温度における蒸気圧が
前記真空槽内の圧力より低いものであることを特徴とす
るものである。
【０００９】
【作用】これまでの気相メッキ法で被膜を生成する場合
には、不純物の混入を防止する必要から原料となる金属
材料を高純度とし、原材料からの不純物の蒸発を極力抑
えることが行われており、他の異種金属との合金を作っ
てこれを原料とすることは全くと言って良いほど行われ
ていない。
には、不純物の混入を防止する必要から原料となる金属
材料を高純度とし、原材料からの不純物の蒸発を極力抑
えることが行われており、他の異種金属との合金を作っ
てこれを原料とすることは全くと言って良いほど行われ
ていない。
【００１０】しかしながら、この発明の請求項１記載の
昇華性金属材料の蒸発方法によれば、昇華性金属材料を
真空槽中で加熱すると、塊状や粉末状の形状にかかわら
ず溶融する前に蒸発することから、昇華性金属材料と、
蒸気圧の低い異種金属材料とを同一の原料槽にいれて加
熱するようにしており、その混合割合に基づく溶融合金
の湯面から昇華性金属材料のみを蒸発するようにしてい
る。
昇華性金属材料の蒸発方法によれば、昇華性金属材料を
真空槽中で加熱すると、塊状や粉末状の形状にかかわら
ず溶融する前に蒸発することから、昇華性金属材料と、
蒸気圧の低い異種金属材料とを同一の原料槽にいれて加
熱するようにしており、その混合割合に基づく溶融合金
の湯面から昇華性金属材料のみを蒸発するようにしてい
る。
【００１１】これにより、昇華性金属材料であってもそ
の合金による溶融状態を作り出し、蒸気圧の違いを利用
して昇華性金属材料のみを湯面から蒸発させ、蒸発表面
積を一定にして安定した速度での蒸発を可能としてい
る。
の合金による溶融状態を作り出し、蒸気圧の違いを利用
して昇華性金属材料のみを湯面から蒸発させ、蒸発表面
積を一定にして安定した速度での蒸発を可能としてい
る。
【００１２】また、この発明の請求項２記載の昇華性金
属材料の蒸発方法によれば、昇華性金属材料と合金とな
って溶融状態を作る前記異種金属材料を、昇華性金属材
料と合金を形成するとともに、その共晶点あるいは液相
線の最低温度における蒸気圧が前記真空槽の真空より低
いものとするようにしており、異種金属材料を蒸発させ
ずに昇華性金属材料をのみを確実に蒸発できるようにな
る。
属材料の蒸発方法によれば、昇華性金属材料と合金とな
って溶融状態を作る前記異種金属材料を、昇華性金属材
料と合金を形成するとともに、その共晶点あるいは液相
線の最低温度における蒸気圧が前記真空槽の真空より低
いものとするようにしており、異種金属材料を蒸発させ
ずに昇華性金属材料をのみを確実に蒸発できるようにな
る。
【００１３】
【実施例】以下、この発明の一実施例を図面を参照しな
がら詳細に説明する。この発明の昇華性金属材料の蒸発
方法では、図１に示すように、真空槽１１内に設置した
原料槽１２に蒸発金属である昇華性金属材料１３とこれ
と合金を形成する異種金属材料１４とを入れ、電子銃１
５からの電子ビーム１６などの加熱手段によって加熱す
る。
がら詳細に説明する。この発明の昇華性金属材料の蒸発
方法では、図１に示すように、真空槽１１内に設置した
原料槽１２に蒸発金属である昇華性金属材料１３とこれ
と合金を形成する異種金属材料１４とを入れ、電子銃１
５からの電子ビーム１６などの加熱手段によって加熱す
る。
【００１４】なお、加熱手段としては、電子ビームに限
らず、抵抗加熱、高周波誘導加熱、レーザービーム加熱
など真空蒸発に通常用いられている加熱手段を用いるこ
とができる。
らず、抵抗加熱、高周波誘導加熱、レーザービーム加熱
など真空蒸発に通常用いられている加熱手段を用いるこ
とができる。
【００１５】この原料槽１２内に昇華性金属材料１３と
異種金属材料１４をいれる場合には、昇華性金属材料１
３を覆うように異種金属材料１４を入れるようにし、電
子ビーム１６などで加熱する場合に昇華性金属材料１３
から直接蒸発が起こることを防止する。
異種金属材料１４をいれる場合には、昇華性金属材料１
３を覆うように異種金属材料１４を入れるようにし、電
子ビーム１６などで加熱する場合に昇華性金属材料１３
から直接蒸発が起こることを防止する。
【００１６】このような真空槽１１内を真空排気装置１
７で真空排気した後、原料槽１２内をの昇華性金属材料
１３と異種金属材料１４に電子ビーム１６を照射する
と、異種金属材料１４が加熱されて溶融し、その溶湯が
昇華性金属材料１３を覆うようになり、昇華性金属材料
１３が徐々に溶融し、異種金属材料１４の溶湯と昇華性
金属材料１３の溶湯が一様な溶湯を形成して温度が低下
する。
７で真空排気した後、原料槽１２内をの昇華性金属材料
１３と異種金属材料１４に電子ビーム１６を照射する
と、異種金属材料１４が加熱されて溶融し、その溶湯が
昇華性金属材料１３を覆うようになり、昇華性金属材料
１３が徐々に溶融し、異種金属材料１４の溶湯と昇華性
金属材料１３の溶湯が一様な溶湯を形成して温度が低下
する。
【００１７】そこで、電子ビーム１６の照射量を調整し
て溶湯の温度を、昇華性金属材料１３のみが蒸発する状
態に保持する。
て溶湯の温度を、昇華性金属材料１３のみが蒸発する状
態に保持する。
【００１８】そして、この昇華性金属材料１３の蒸発金
属を利用して気相メッキを行う場合には、原料槽１２と
対向してシャッタ１８と基板１９を設置しておき、シャ
ッタ１８を開くことによって基板１９に被膜を成形す
る。
属を利用して気相メッキを行う場合には、原料槽１２と
対向してシャッタ１８と基板１９を設置しておき、シャ
ッタ１８を開くことによって基板１９に被膜を成形す
る。
【００１９】このような昇華性金属材料と合金を形成
し、しかも昇華性金属材料が蒸発する状態で、自らは蒸
発しない異種金属材料としては、次のようなものを選定
する。
し、しかも昇華性金属材料が蒸発する状態で、自らは蒸
発しない異種金属材料としては、次のようなものを選定
する。
【００２０】 昇華性金属と合金を形成し、共晶点あ
るいは液相線の最低温度の組成で溶解すれば、昇華性金
属が十分な蒸気圧を有する温度よりも低い温度で溶湯が
形成されるものであること。 異種金属材料の蒸気圧が昇華性金属との共晶点ある
いは液相線の最低温度において、真空槽の圧力未満であ
ること。
るいは液相線の最低温度の組成で溶解すれば、昇華性金
属が十分な蒸気圧を有する温度よりも低い温度で溶湯が
形成されるものであること。 異種金属材料の蒸気圧が昇華性金属との共晶点ある
いは液相線の最低温度において、真空槽の圧力未満であ
ること。
【００２１】このような昇華性金属材料と異種金属材料
の具体例としては、昇華性金属材料としてＭｎ（マンガ
ン）を、異種金属材料としてＺｒ（ジルコニウム）を挙
げることができ、図２に状態図を示すように、Ｍｎ−Ｚ
ｒ合金の共晶点は７７．５％Ｚｒの組成であり、その温
度は１１３７℃である。そして、Ｍｎの蒸気圧は、表１
に示すように、共晶点温度直上の１２４９℃において
１．０Torrであり、Ｚｒの蒸気圧は１×１０-10 Torr以
下である。
の具体例としては、昇華性金属材料としてＭｎ（マンガ
ン）を、異種金属材料としてＺｒ（ジルコニウム）を挙
げることができ、図２に状態図を示すように、Ｍｎ−Ｚ
ｒ合金の共晶点は７７．５％Ｚｒの組成であり、その温
度は１１３７℃である。そして、Ｍｎの蒸気圧は、表１
に示すように、共晶点温度直上の１２４９℃において
１．０Torrであり、Ｚｒの蒸気圧は１×１０-10 Torr以
下である。
【００２２】
【表 １】
【００２３】この昇華性金属材料のＭｎと異種金属材料
のＺｒを用いてＭｎを蒸発させる場合には、原料槽１２
としてセラミックス製のるつぼを用い、このるつぼにま
ず、２２．５％のＭｎ１３を入れ、次に７７．５％のＺ
ｒ１４をＭｎ１３を覆うように入れる。
のＺｒを用いてＭｎを蒸発させる場合には、原料槽１２
としてセラミックス製のるつぼを用い、このるつぼにま
ず、２２．５％のＭｎ１３を入れ、次に７７．５％のＺ
ｒ１４をＭｎ１３を覆うように入れる。
【００２４】こののち、原料槽１２としてのるつぼが設
置してある真空槽１１内を排気してほぼ１×１０-6Torr
にする。
置してある真空槽１１内を排気してほぼ１×１０-6Torr
にする。
【００２５】次いで、電子ビーム１６を照射してまずＺ
ｒ１４を加熱溶解する。すると、Ｚｒ１４の溶湯がＭｎ
１３を覆い、Ｍｎ１３が徐々に溶けていって一様な溶湯
を形成し、温度が下がる。そこで、電子ビーム１６を調
整して溶湯を適当な温度に保持する。
ｒ１４を加熱溶解する。すると、Ｚｒ１４の溶湯がＭｎ
１３を覆い、Ｍｎ１３が徐々に溶けていって一様な溶湯
を形成し、温度が下がる。そこで、電子ビーム１６を調
整して溶湯を適当な温度に保持する。
【００２６】このようにＺｒとＭｎが一様な溶湯となっ
た状態では、昇華性金属であるＭｎの蒸気圧が共晶点温
度直上の１２４９℃において１．０Torrであることか
ら、真空槽１１内が１×１０-6Torrになっているので、
蒸発が起こる一方、異種金属であるＺｒはその蒸気圧が
１×１０-10 Torr以下であることから蒸発が起こらず、
Ｍｎのみを蒸発させることができる。
た状態では、昇華性金属であるＭｎの蒸気圧が共晶点温
度直上の１２４９℃において１．０Torrであることか
ら、真空槽１１内が１×１０-6Torrになっているので、
蒸発が起こる一方、異種金属であるＺｒはその蒸気圧が
１×１０-10 Torr以下であることから蒸発が起こらず、
Ｍｎのみを蒸発させることができる。
【００２７】したがって、このＭｎとＺｒの合金の溶湯
の表面から昇華性金属であるＭｎを蒸発させるので、蒸
発表面積を変化させずに一定の蒸発表面積でＭｎを蒸発
させることができる。
の表面から昇華性金属であるＭｎを蒸発させるので、蒸
発表面積を変化させずに一定の蒸発表面積でＭｎを蒸発
させることができる。
【００２８】こうしてＭｎとＺｒの合金の溶湯の表面か
らＭｎのみを蒸発させると、合金の組成が変化すること
から、原料槽１２であるセラミックス製のるつぼ内に蒸
発量に応じた量だけＭｎを補給装置２０で補給するよう
にする。
らＭｎのみを蒸発させると、合金の組成が変化すること
から、原料槽１２であるセラミックス製のるつぼ内に蒸
発量に応じた量だけＭｎを補給装置２０で補給するよう
にする。
【００２９】また、Ｍｎの蒸発速度は、るつぼ内のＭｎ
の組成を一定に保ったまま電子ビームの強度を調整して
溶湯の温度を変えることにより制御することができる。
の組成を一定に保ったまま電子ビームの強度を調整して
溶湯の温度を変えることにより制御することができる。
【００３０】こうして蒸発速度を制御した状態でるつぼ
と対向しているシャッタ１８を開き、基板１９にＭｎの
被膜を形成するようにすることで、安定した状態でＭｎ
の被膜の形成ができる。
と対向しているシャッタ１８を開き、基板１９にＭｎの
被膜を形成するようにすることで、安定した状態でＭｎ
の被膜の形成ができる。
【００３１】このようにしてＭｎとＺｒの合金の溶湯か
らＭｎの被膜を形成し、ＥＰＭＡ（Electoron Probe Mi
cro Analyzer) によって被膜の成分分析を行ったとこ
ろ、異種金属であるＺｒを全く検出することがなく、Ｍ
ｎのみの被膜を形成できることを確認した。
らＭｎの被膜を形成し、ＥＰＭＡ（Electoron Probe Mi
cro Analyzer) によって被膜の成分分析を行ったとこ
ろ、異種金属であるＺｒを全く検出することがなく、Ｍ
ｎのみの被膜を形成できることを確認した。
【００３２】なお、上記実施例では、昇華性金属材料と
してＭｎを、これと合金を形成する異種金属材料として
Ｚｒを用いる場合で説明したが、これらの組み合わせに
限らず、他の昇華性金属材料、例えばＣｒ（クロム）、
Ｃｏ（コバルト）、Ｎｉ（ニッケル）、Ｍｇ（マグネシ
ウム）にも適用することができ、これらと合金をなす異
種金属材料としては、既に説明した及びの２つの条
件を満たす金属を組み合わせることができ、それぞれの
昇華性金属材料に組み合わせることができる異種金属を
表２〜表５に示すとともに、状態図の一例を図３〜図７
に示してある。
してＭｎを、これと合金を形成する異種金属材料として
Ｚｒを用いる場合で説明したが、これらの組み合わせに
限らず、他の昇華性金属材料、例えばＣｒ（クロム）、
Ｃｏ（コバルト）、Ｎｉ（ニッケル）、Ｍｇ（マグネシ
ウム）にも適用することができ、これらと合金をなす異
種金属材料としては、既に説明した及びの２つの条
件を満たす金属を組み合わせることができ、それぞれの
昇華性金属材料に組み合わせることができる異種金属を
表２〜表５に示すとともに、状態図の一例を図３〜図７
に示してある。
【００３３】なお、表１および図３に示すＭｎ−Ｃｕの
場合のみが共晶を形成せず、液相線の最低温度の組成を
用いる場合である。
場合のみが共晶を形成せず、液相線の最低温度の組成を
用いる場合である。
【００３４】
【表 ２】
【００３５】
【表 ３】
【００３６】
【表 ４】
【００３７】
【表 ５】
【００３８】したがって、各表に示した昇華性金属材料
と合金用異種金属材料をその液相線の最低温度又は共晶
点温度となる組成で溶融させ、昇華性金属材料の蒸発量
に応じて補給しながら組成を一定に保ち、溶湯の温度を
調整することで、蒸発速度を制御しながら昇華性金属材
料のみを蒸発させることができる。
と合金用異種金属材料をその液相線の最低温度又は共晶
点温度となる組成で溶融させ、昇華性金属材料の蒸発量
に応じて補給しながら組成を一定に保ち、溶湯の温度を
調整することで、蒸発速度を制御しながら昇華性金属材
料のみを蒸発させることができる。
【００３９】
【発明の効果】以上、一実施例とともに具体的に説明し
たようにこの発明の請求項１記載の昇華性金属材料の蒸
発方法によれば、これまでの気相メッキ法で被膜を生成
する場合には、不純物の混入を防止する必要から原料と
なる金属材料を高純度とし、原材料からの不純物の蒸発
を極力抑えることが行われており、他の異種金属との合
金を作ってこれを原料とすることは全くと言って良いほ
ど行われていず、昇華性金属材料を真空槽中で加熱する
と、塊状や粉末状の形状にかかわらず溶融する前に蒸発
することから、昇華性金属材料と、蒸気圧の低い異種金
属材料とを同一の原料槽にいれて加熱するようにしたの
で、その混合割合に基づく溶融合金の湯面から昇華性金
属材料のみを蒸発させることができるようになった。
たようにこの発明の請求項１記載の昇華性金属材料の蒸
発方法によれば、これまでの気相メッキ法で被膜を生成
する場合には、不純物の混入を防止する必要から原料と
なる金属材料を高純度とし、原材料からの不純物の蒸発
を極力抑えることが行われており、他の異種金属との合
金を作ってこれを原料とすることは全くと言って良いほ
ど行われていず、昇華性金属材料を真空槽中で加熱する
と、塊状や粉末状の形状にかかわらず溶融する前に蒸発
することから、昇華性金属材料と、蒸気圧の低い異種金
属材料とを同一の原料槽にいれて加熱するようにしたの
で、その混合割合に基づく溶融合金の湯面から昇華性金
属材料のみを蒸発させることができるようになった。
【００４０】これにより、昇華性金属材料であってもそ
の合金による溶融状態を作り出し、蒸気圧の違いを利用
して昇華性金属材料のみを湯面から蒸発させ、蒸発表面
積を一定にして安定した速度での蒸発が可能となった。
の合金による溶融状態を作り出し、蒸気圧の違いを利用
して昇華性金属材料のみを湯面から蒸発させ、蒸発表面
積を一定にして安定した速度での蒸発が可能となった。
【００４１】また、この発明の請求項２記載の昇華性金
属材料の蒸発方法によれば、昇華性金属材料と合金とな
って溶融状態を作る前記異種金属材料を、昇華性金属材
料と合金を形成するとともに、その共晶点あるいは液相
線の最低温度における蒸気圧が前記真空槽の真空より低
いものとするようにしたので、異種金属材料を蒸発させ
ずに昇華性金属材料をのみを確実に蒸発させることがで
きるようになる。
属材料の蒸発方法によれば、昇華性金属材料と合金とな
って溶融状態を作る前記異種金属材料を、昇華性金属材
料と合金を形成するとともに、その共晶点あるいは液相
線の最低温度における蒸気圧が前記真空槽の真空より低
いものとするようにしたので、異種金属材料を蒸発させ
ずに昇華性金属材料をのみを確実に蒸発させることがで
きるようになる。
【図１】この発明の昇華性金属材料の蒸発方法の一実施
例を気相メッキに適用する場合の概略構成図である。
例を気相メッキに適用する場合の概略構成図である。
【図２】この発明の昇華性金属材料の蒸発方法の一実施
例に用いるＭｎ−Ｚｒの状態図である。
例に用いるＭｎ−Ｚｒの状態図である。
【図３】この発明の昇華性金属材料の蒸発方法の一実施
例に用いるＣｕ−Ｍｎの状態図である。
例に用いるＣｕ−Ｍｎの状態図である。
【図４】この発明の昇華性金属材料の蒸発方法の一実施
例に用いるＣｒ−Ｚｒの状態図である。
例に用いるＣｒ−Ｚｒの状態図である。
【図５】この発明の昇華性金属材料の蒸発方法の一実施
例に用いるＣｏ−Ｚｒの状態図である。
例に用いるＣｏ−Ｚｒの状態図である。
【図６】この発明の昇華性金属材料の蒸発方法の一実施
例に用いるＮｉ−Ｚｒの状態図である。
例に用いるＮｉ−Ｚｒの状態図である。
【図７】この発明の昇華性金属材料の蒸発方法の一実施
例に用いるＣｕ−Ｍｇの状態図である。
例に用いるＣｕ−Ｍｇの状態図である。
【図８】従来の昇華性金属材料の蒸発方法の概略構成図
である。
である。
１１ 真空槽 １２ 原料槽 １３ 昇華性金属材料 １４ 異種金属材料 １５ 電子銃 １６ 電子ビーム １７ 真空排気装置 １８ シャッタ １９ 基板 ２０ 補給装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 篠原 譲司 東京都江東区豊洲三丁目１番15号 石川島 播磨重工業株式会社技術研究所内 (72)発明者 山田 龍児 東京都江東区豊洲三丁目１番15号 石川島 播磨重工業株式会社技術研究所内
Claims (2)
- 【請求項１】 昇華性金属材料を真空槽中で加熱して蒸
発するに際し、昇華性金属材料と、昇華性金属材料の蒸
発温度での蒸気圧の低い異種金属材料とを加熱溶融し、
これらの合金の湯面から昇華性金属材料のみを蒸発する
ようにしたことを特徴とする昇華性金属材料の蒸発方
法。 - 【請求項２】 前記異種金属材料を昇華性金属材料と溶
融して合金を形成し、共晶点あるいは液相線の最低温度
における蒸気圧が前記真空槽内の圧力より低いものであ
ることを特徴とする請求項１記載の昇華性金属材料の蒸
発方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11388595A JPH08283942A (ja) | 1995-04-14 | 1995-04-14 | 昇華性金属材料の蒸発方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11388595A JPH08283942A (ja) | 1995-04-14 | 1995-04-14 | 昇華性金属材料の蒸発方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08283942A true JPH08283942A (ja) | 1996-10-29 |
Family
ID=14623573
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11388595A Pending JPH08283942A (ja) | 1995-04-14 | 1995-04-14 | 昇華性金属材料の蒸発方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08283942A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007186792A (ja) * | 2006-01-10 | 2007-07-26 | General Electric Co <Ge> | 物理蒸着法とそのための装置 |
| JP2009530491A (ja) * | 2006-03-13 | 2009-08-27 | サエス ゲッターズ ソチエタ ペル アツィオニ | マグネシウム蒸着のためのマグネシウム−銅組成物の使用、及び、マグネシウムディスペンサー |
-
1995
- 1995-04-14 JP JP11388595A patent/JPH08283942A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007186792A (ja) * | 2006-01-10 | 2007-07-26 | General Electric Co <Ge> | 物理蒸着法とそのための装置 |
| JP2009530491A (ja) * | 2006-03-13 | 2009-08-27 | サエス ゲッターズ ソチエタ ペル アツィオニ | マグネシウム蒸着のためのマグネシウム−銅組成物の使用、及び、マグネシウムディスペンサー |
| TWI397594B (zh) * | 2006-03-13 | 2013-06-01 | Getters Spa | 鎂-銅組成物之於蒸發鎂上之用途及鎂分配器 |
| KR101382538B1 (ko) * | 2006-03-13 | 2014-04-07 | 사에스 게터스 에스.페.아. | 마그네슘 증발용 마그네슘-구리 조성물 사용 방법 및 마그네슘 분배기 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20050127 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050607 |