JPH08279577A - 電子部品用冷却装置 - Google Patents
電子部品用冷却装置Info
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- JPH08279577A JPH08279577A JP7903195A JP7903195A JPH08279577A JP H08279577 A JPH08279577 A JP H08279577A JP 7903195 A JP7903195 A JP 7903195A JP 7903195 A JP7903195 A JP 7903195A JP H08279577 A JPH08279577 A JP H08279577A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、LSIチップ等のように発熱する
電子部品を冷却するための電子部品用冷却装置に関し、
電子部品の冷却効率を従来より大幅に向上することを目
的とする。 【構成】 一面に電子部品33が装着されるコールドプ
レート31の他面に、アウターパイプ37を立設し、前
記アウターパイプ37の内側に沿って環状のヒートパイ
プ39を形成するとともに、前記ヒートパイプ39の内
側に冷却水通路57を形成して構成する。
電子部品を冷却するための電子部品用冷却装置に関し、
電子部品の冷却効率を従来より大幅に向上することを目
的とする。 【構成】 一面に電子部品33が装着されるコールドプ
レート31の他面に、アウターパイプ37を立設し、前
記アウターパイプ37の内側に沿って環状のヒートパイ
プ39を形成するとともに、前記ヒートパイプ39の内
側に冷却水通路57を形成して構成する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、整流ダイオード,LS
Iチップ等のように発熱する電子部品を冷却するための
電子部品用冷却装置に関する。
Iチップ等のように発熱する電子部品を冷却するための
電子部品用冷却装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、整流ダイオード,LSIチップ等
のように発熱する電子部品を冷却するためのヒートシン
クとして、例えば、実開明55−75198号公報に開
示されるものが知られている。図7は、この公報に開示
されるヒートシンクを示すもので、このヒートシンクで
は、取付部材11の一側に整流ダイオード等のように発
熱する電子部品13がビス15により固定され、取付部
材11の他側に複数の放熱プレート17が固定されてい
る。
のように発熱する電子部品を冷却するためのヒートシン
クとして、例えば、実開明55−75198号公報に開
示されるものが知られている。図7は、この公報に開示
されるヒートシンクを示すもので、このヒートシンクで
は、取付部材11の一側に整流ダイオード等のように発
熱する電子部品13がビス15により固定され、取付部
材11の他側に複数の放熱プレート17が固定されてい
る。
【0003】そして、放熱プレート17の間に波形放熱
フィン19が配置されている。このようなヒートシンク
では、電子部品13で発生した熱量が、取付部材11お
よび放熱プレート17を介して波形放熱フィン19に伝
達され、波形放熱フィン19から大気中に放熱されるた
め、電子部品13を効率的に冷却することができる。
フィン19が配置されている。このようなヒートシンク
では、電子部品13で発生した熱量が、取付部材11お
よび放熱プレート17を介して波形放熱フィン19に伝
達され、波形放熱フィン19から大気中に放熱されるた
め、電子部品13を効率的に冷却することができる。
【0004】しかしながら、このような従来のヒートシ
ンクでは、放熱プレート17と波形放熱フィン19との
自然放熱により電子部品13を冷却しているため、冷却
効率が低く、また、電子部品13が高密度化し発熱量が
増大しても、熱をフィン19に伝える放熱プレート17
の効率が、長くすればする程熱伝導率分低下するため、
フィン19を増大して放熱面積を増大しても冷却能力が
増大せず、電子部品13の熱を効率良く放出することが
困難であった。
ンクでは、放熱プレート17と波形放熱フィン19との
自然放熱により電子部品13を冷却しているため、冷却
効率が低く、また、電子部品13が高密度化し発熱量が
増大しても、熱をフィン19に伝える放熱プレート17
の効率が、長くすればする程熱伝導率分低下するため、
フィン19を増大して放熱面積を増大しても冷却能力が
増大せず、電子部品13の熱を効率良く放出することが
困難であった。
【0005】そこで、従来、大型コンピュータ,超高速
コンピュータ等では、例えば、図8に示すように、LS
Iチップ21で発生した熱量を、高熱伝導性コンパウン
ド23を介して放熱スタッド25に導き、さらに、熱伝
導ブロック27を介してコールドプレート29の冷却水
通路Rを流れる冷却水に放熱することが行われている。
コンピュータ等では、例えば、図8に示すように、LS
Iチップ21で発生した熱量を、高熱伝導性コンパウン
ド23を介して放熱スタッド25に導き、さらに、熱伝
導ブロック27を介してコールドプレート29の冷却水
通路Rを流れる冷却水に放熱することが行われている。
【0006】このような電子部品用冷却装置では、比熱
の大きい冷却水を使用しているため、放熱効率を向上す
ることができる。
の大きい冷却水を使用しているため、放熱効率を向上す
ることができる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の電子部品用冷却装置では、例えば、アルミニ
ウムからなる熱伝導ブロック27を介して、熱量を冷却
水通路Rを流れる冷却水に伝導しているため、熱伝導ブ
ロック27の熱抵抗が大きく、充分な冷却効率を得るこ
とが困難になるという問題があった。
うな従来の電子部品用冷却装置では、例えば、アルミニ
ウムからなる熱伝導ブロック27を介して、熱量を冷却
水通路Rを流れる冷却水に伝導しているため、熱伝導ブ
ロック27の熱抵抗が大きく、充分な冷却効率を得るこ
とが困難になるという問題があった。
【0008】本発明は、かかる従来の問題を解決するた
めになされたもので、電子部品の冷却効率を従来より大
幅に向上することができる電子部品用冷却装置を提供す
ることを目的とする。
めになされたもので、電子部品の冷却効率を従来より大
幅に向上することができる電子部品用冷却装置を提供す
ることを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】請求項1の電子部品用冷
却装置は、一面に電子部品が装着されるコールドプレー
トの他面に、アウターパイプを立設し、前記アウターパ
イプの内側に沿って環状のヒートパイプを形成するとと
もに、前記ヒートパイプの内側に冷却水通路を形成して
なることを特徴とする。
却装置は、一面に電子部品が装着されるコールドプレー
トの他面に、アウターパイプを立設し、前記アウターパ
イプの内側に沿って環状のヒートパイプを形成するとと
もに、前記ヒートパイプの内側に冷却水通路を形成して
なることを特徴とする。
【0010】請求項2の電子部品用冷却装置は、請求項
1において、前記ヒートパイプは、前記アウターパイプ
の内側に同心状に配置されるインナーパイプと、前記ア
ウターパイプとインナーパイプとの間に配置され軸長方
向通路が形成されるインナーフィンと、前記アウターパ
イプとインナーパイプの間隙を先端において密閉するシ
ール部材とを備えてなることを特徴とする。
1において、前記ヒートパイプは、前記アウターパイプ
の内側に同心状に配置されるインナーパイプと、前記ア
ウターパイプとインナーパイプとの間に配置され軸長方
向通路が形成されるインナーフィンと、前記アウターパ
イプとインナーパイプの間隙を先端において密閉するシ
ール部材とを備えてなることを特徴とする。
【0011】請求項3の電子部品用冷却装置は、請求項
2において、前記インナーパイプのコールドプレート側
には、インナープレートが圧入されていることを特徴と
する。請求項4の電子部品用冷却装置は、請求項2また
は3において、前記冷却水通路は、前記インナーパイプ
の先端に嵌合される栓部材と、この栓部材に開口する第
1のパイプ部材と、前記栓部材を貫通して前記インナー
パイプに挿入される第2のパイプ部材とを備えてなるこ
とを特徴とする。
2において、前記インナーパイプのコールドプレート側
には、インナープレートが圧入されていることを特徴と
する。請求項4の電子部品用冷却装置は、請求項2また
は3において、前記冷却水通路は、前記インナーパイプ
の先端に嵌合される栓部材と、この栓部材に開口する第
1のパイプ部材と、前記栓部材を貫通して前記インナー
パイプに挿入される第2のパイプ部材とを備えてなるこ
とを特徴とする。
【0012】請求項5の電子部品用冷却装置は、請求項
1ないし4において、前記アウターパイプの外側には、
放熱フィンが配置されていることを特徴とする。
1ないし4において、前記アウターパイプの外側には、
放熱フィンが配置されていることを特徴とする。
【0013】
【作用】請求項1の電子部品用冷却装置では、コールド
プレートの一面に装着される電子部品から発熱した熱量
が、コールドプレートの他面に伝導される。
プレートの一面に装着される電子部品から発熱した熱量
が、コールドプレートの他面に伝導される。
【0014】この伝導された熱量によりヒートパイプ内
の冷媒が加熱されるが、ヒートパイプ内が真空とされる
ため、冷媒は比較的低温で蒸発し、蒸気は圧力波となり
音速でヒートパイプ内を先端に向けて移動する。そし
て、ヒートパイプ内を先端に向けて流れる間に、ヒート
パイプの内側に配置される冷却水通路内の冷却水と熱交
換し冷却され凝縮し、液化した冷媒が、ヒートパイプを
落下して、コールドプレート側に導かれる。
の冷媒が加熱されるが、ヒートパイプ内が真空とされる
ため、冷媒は比較的低温で蒸発し、蒸気は圧力波となり
音速でヒートパイプ内を先端に向けて移動する。そし
て、ヒートパイプ内を先端に向けて流れる間に、ヒート
パイプの内側に配置される冷却水通路内の冷却水と熱交
換し冷却され凝縮し、液化した冷媒が、ヒートパイプを
落下して、コールドプレート側に導かれる。
【0015】請求項2の電子部品用冷却装置では、ヒー
トパイプが、アウターパイプとインナーパイプとの間に
インナーフィンを配置し、これらの先端の間隙をシール
部材により密閉して構成される。請求項3の電子部品用
冷却装置では、インナーパイプのコールドプレート側に
圧入されるインナープレートにより、インナープレート
のコールドプレート側が密閉される。
トパイプが、アウターパイプとインナーパイプとの間に
インナーフィンを配置し、これらの先端の間隙をシール
部材により密閉して構成される。請求項3の電子部品用
冷却装置では、インナーパイプのコールドプレート側に
圧入されるインナープレートにより、インナープレート
のコールドプレート側が密閉される。
【0016】そして、インナープレートをインナーパイ
プの先端側から圧入する時に、インナーパイプが拡径さ
れ、インナーフィンがインナーパイプとアウターパイプ
とに密着される。請求項4の電子部品用冷却装置では、
例えば、第1のパイプ部材から供給された冷却水が、イ
ンナーパイプ内に流入した後、第2のパイプ部材から流
出される。
プの先端側から圧入する時に、インナーパイプが拡径さ
れ、インナーフィンがインナーパイプとアウターパイプ
とに密着される。請求項4の電子部品用冷却装置では、
例えば、第1のパイプ部材から供給された冷却水が、イ
ンナーパイプ内に流入した後、第2のパイプ部材から流
出される。
【0017】請求項5の電子部品用冷却装置では、アウ
ターパイプの外側に配置される放熱フィンにより、熱量
が大気中にも放散される。
ターパイプの外側に配置される放熱フィンにより、熱量
が大気中にも放散される。
【0018】
【実施例】以下、本発明の詳細を図面に示す実施例につ
いて説明する。
いて説明する。
【0019】図1ないし図4は、本発明の電子部品用冷
却装置の一実施例を示すもので、図において符号31
は、矩形状のコールドプレートを示している。このコー
ルドプレート31は、例えば、アルミニュウム等の熱伝
導性の良好な金属により形成されている。コールドプレ
ート31の一面には、例えば、LSIチップあるいはL
SIを集積したマルチチップモジュール(MCM)等の
電子部品33が、熱伝導性の良好な接着剤により接着さ
れている。
却装置の一実施例を示すもので、図において符号31
は、矩形状のコールドプレートを示している。このコー
ルドプレート31は、例えば、アルミニュウム等の熱伝
導性の良好な金属により形成されている。コールドプレ
ート31の一面には、例えば、LSIチップあるいはL
SIを集積したマルチチップモジュール(MCM)等の
電子部品33が、熱伝導性の良好な接着剤により接着さ
れている。
【0020】コールドプレート31の他面には、タンク
部35を構成する円形状の凹部31aが形成されてい
る。凹部31aの外周に沿って嵌合凸部31bが形成さ
れている。嵌合凸部31bには、円筒状のアウターパイ
プ37の下端が嵌合されている。アウターパイプ37
は、例えば、アルミニュウム等の熱伝導性の良好な金属
により形成されている。
部35を構成する円形状の凹部31aが形成されてい
る。凹部31aの外周に沿って嵌合凸部31bが形成さ
れている。嵌合凸部31bには、円筒状のアウターパイ
プ37の下端が嵌合されている。アウターパイプ37
は、例えば、アルミニュウム等の熱伝導性の良好な金属
により形成されている。
【0021】アウターパイプ37の内側には、ヒートパ
イプ39が形成されている。この実施例では、ヒートパ
イプ39は、アウターパイプ37の内側に同心状に配置
されるインナーパイプ41を有している。アウターパイ
プ37とインナーパイプ41との間には、インナーフィ
ン43が配置されている。
イプ39が形成されている。この実施例では、ヒートパ
イプ39は、アウターパイプ37の内側に同心状に配置
されるインナーパイプ41を有している。アウターパイ
プ37とインナーパイプ41との間には、インナーフィ
ン43が配置されている。
【0022】このインナーフィン43は、アウターパイ
プ37とインナーパイプ41との間に複数の軸長方向通
路45を形成し、冷媒の凝縮面積を拡大している。そし
て、アウターパイプ37とインナーパイプ41の間隙が
上端においてシール部材47により、また、下端におい
てインナープレート51により密閉されている。
プ37とインナーパイプ41との間に複数の軸長方向通
路45を形成し、冷媒の凝縮面積を拡大している。そし
て、アウターパイプ37とインナーパイプ41の間隙が
上端においてシール部材47により、また、下端におい
てインナープレート51により密閉されている。
【0023】シール部材47には、冷媒注入口47aが
形成され、冷媒注入口47aは、封止部材49により、
作動液注入,真空引き後に封止される。インナーパイプ
41,インナーフィン43,シール部材47およびイン
ナープレート51は、例えば、アルミニュウム等の熱伝
導性の良好な金属により形成されている。
形成され、冷媒注入口47aは、封止部材49により、
作動液注入,真空引き後に封止される。インナーパイプ
41,インナーフィン43,シール部材47およびイン
ナープレート51は、例えば、アルミニュウム等の熱伝
導性の良好な金属により形成されている。
【0024】インナーパイプ41のコールドプレート3
1側には、例えば、アルミニュウム等の熱伝導性の良好
な金属からなるインナープレート51が圧入されてい
る。アウターパイプ37の外側には、所定間隔を置いて
放熱フィン55が配置されている。なお、これは、搭載
上必要なければ不要である。この放熱フィン55は、例
えば、アルミニュウム等の熱伝導性の良好な金属により
形成されている。
1側には、例えば、アルミニュウム等の熱伝導性の良好
な金属からなるインナープレート51が圧入されてい
る。アウターパイプ37の外側には、所定間隔を置いて
放熱フィン55が配置されている。なお、これは、搭載
上必要なければ不要である。この放熱フィン55は、例
えば、アルミニュウム等の熱伝導性の良好な金属により
形成されている。
【0025】インナーパイプ41内には、冷却水通路5
7が配置されている。この冷却水通路57は、インナー
パイプ41の上端に嵌合される栓部材59を有してい
る。この栓部材59には、冷却水を供給する第1のパイ
プ部材61が開口されている。
7が配置されている。この冷却水通路57は、インナー
パイプ41の上端に嵌合される栓部材59を有してい
る。この栓部材59には、冷却水を供給する第1のパイ
プ部材61が開口されている。
【0026】また、栓部材59を貫通して、冷却水を流
出する第2のパイプ部材63が、インナーパイプ41に
挿入されている。この実施例では、第2のパイプ部材6
3のインナーパイプ41内に位置する部分に、熱交換用
フィン63aが形成されている。
出する第2のパイプ部材63が、インナーパイプ41に
挿入されている。この実施例では、第2のパイプ部材6
3のインナーパイプ41内に位置する部分に、熱交換用
フィン63aが形成されている。
【0027】この熱交換用フィン63aの下端には、円
錐台状の逃げ部63bが形成されている。上述した電子
部品用冷却装置は、以下述べるようにして製造される。
すなわち、先ず、図4に示すように、コールドプレート
31の嵌合凸部31bに、アウターパイプ37が嵌合固
定される。
錐台状の逃げ部63bが形成されている。上述した電子
部品用冷却装置は、以下述べるようにして製造される。
すなわち、先ず、図4に示すように、コールドプレート
31の嵌合凸部31bに、アウターパイプ37が嵌合固
定される。
【0028】この後、外周にインナーフィン43が巻き
付けられたインナーパイプ41が、アウターパイプ37
に嵌挿される。次に、シール部材47の貫通穴47b
が、インナーパイプ41に嵌合され、シ一ル部材47の
外周部がアウターパイプ37に嵌合される。そして、ア
ウターパイプ37の外側に、所定間隔を置いて、放熱フ
ィン55が嵌合される。
付けられたインナーパイプ41が、アウターパイプ37
に嵌挿される。次に、シール部材47の貫通穴47b
が、インナーパイプ41に嵌合され、シ一ル部材47の
外周部がアウターパイプ37に嵌合される。そして、ア
ウターパイプ37の外側に、所定間隔を置いて、放熱フ
ィン55が嵌合される。
【0029】この後、インナーパイプ41に、インナー
パイプ41の内径より大きい外径を有するインナープレ
ート51が、治具により圧入される。このインナープレ
ート51の圧入により、インナーパイプ41が拡径さ
れ、インナーフィン43がインナーパイプ41とアウタ
ーパイプ37とに密着され、アウターパイプ37に放熱
フィン55が密着される。
パイプ41の内径より大きい外径を有するインナープレ
ート51が、治具により圧入される。このインナープレ
ート51の圧入により、インナーパイプ41が拡径さ
れ、インナーフィン43がインナーパイプ41とアウタ
ーパイプ37とに密着され、アウターパイプ37に放熱
フィン55が密着される。
【0030】次に、インナーパイプ41内に第2のパイ
プ部材63が嵌挿され、第1のパイプ部材61が取付ら
れた栓部材59が、インナーパイプ41に嵌合される。
そして、この後、ろう付け炉内においてろう付けされ、
一体接合される。この状態では、シール部材47には、
冷媒注入口47aが開口されており、冷媒注入口47a
から水等の冷媒がタンク部35内に所定量注入される。
プ部材63が嵌挿され、第1のパイプ部材61が取付ら
れた栓部材59が、インナーパイプ41に嵌合される。
そして、この後、ろう付け炉内においてろう付けされ、
一体接合される。この状態では、シール部材47には、
冷媒注入口47aが開口されており、冷媒注入口47a
から水等の冷媒がタンク部35内に所定量注入される。
【0031】この後、冷媒注入口47aからタンク部3
5および軸長方向通路45内が真空引きされ、封止部材
49により冷媒注入口47aが封止される。上述した電
子部品用冷却装置では、コールドプレート31の一面に
装着される電子部品33から発熱した熱量が、コールド
プレート31の凹部31aの底面に伝導される。
5および軸長方向通路45内が真空引きされ、封止部材
49により冷媒注入口47aが封止される。上述した電
子部品用冷却装置では、コールドプレート31の一面に
装着される電子部品33から発熱した熱量が、コールド
プレート31の凹部31aの底面に伝導される。
【0032】この伝導された熱量によりタンク部35内
の冷媒が加熱されるが、タンク部35および軸長方向通
路45内が真空とされるため、冷媒は比較的低温で蒸発
し、蒸気は圧力波となり音速で軸長方向通路45を密度
の低い先端に向けて移動する。そして、ヒートパイプ3
9内の軸長方向通路45を先端に向けて流れる間に、ヒ
ートパイプ39の内側に配置される冷却水通路57内の
冷却水と熱交換し冷却され凝縮し、液化した冷媒が、ヒ
ートパイプ39を落下して、コールドプレート31側に
導かれる。
の冷媒が加熱されるが、タンク部35および軸長方向通
路45内が真空とされるため、冷媒は比較的低温で蒸発
し、蒸気は圧力波となり音速で軸長方向通路45を密度
の低い先端に向けて移動する。そして、ヒートパイプ3
9内の軸長方向通路45を先端に向けて流れる間に、ヒ
ートパイプ39の内側に配置される冷却水通路57内の
冷却水と熱交換し冷却され凝縮し、液化した冷媒が、ヒ
ートパイプ39を落下して、コールドプレート31側に
導かれる。
【0033】上述した電子部品用冷却装置65は、例え
ば、図5および図6に示すように、複数隣接配置され冷
却モジュールとして用いられる。この冷却モジュールで
は、冷却水を供給する主配管67からの分岐管67a
が、第1のパイプ部材61に接続され、また、冷却水を
流出する主配管69からの分岐管69aが、第2のパイ
プ部材63に接続されている。
ば、図5および図6に示すように、複数隣接配置され冷
却モジュールとして用いられる。この冷却モジュールで
は、冷却水を供給する主配管67からの分岐管67a
が、第1のパイプ部材61に接続され、また、冷却水を
流出する主配管69からの分岐管69aが、第2のパイ
プ部材63に接続されている。
【0034】さらに、冷却モジュールの一側には、複数
の冷却ファン71が配置されている。以上のように構成
された電子部品用冷却装置では、コールドプレート31
に立設されるアウターパイプ37の内側にヒートパイプ
39を形成し、ヒートパイプ39の内側に冷却水通路5
7を形成したので、ヒートパイプ39内の冷媒を冷却水
通路57内の冷却水により確実に冷却することが可能に
なり電子部品33の冷却効率を従来より大幅に向上する
ことができる。
の冷却ファン71が配置されている。以上のように構成
された電子部品用冷却装置では、コールドプレート31
に立設されるアウターパイプ37の内側にヒートパイプ
39を形成し、ヒートパイプ39の内側に冷却水通路5
7を形成したので、ヒートパイプ39内の冷媒を冷却水
通路57内の冷却水により確実に冷却することが可能に
なり電子部品33の冷却効率を従来より大幅に向上する
ことができる。
【0035】すなわち、上述した電子部品用冷却装置で
は、真空のヒートパイプ39内で冷媒を効率的に蒸発
し、蒸発した冷媒を冷却水通路57内の冷却水により冷
却するようにしたので、電子部品33の冷却効率を従来
より大幅に向上することができる。また、上述した電子
部品用冷却装置では、アウターパイプ37とインナーパ
イプ41との間にインナーフィン43を配置し、これら
の先端の間隙をシール部材47により密閉してヒートパ
イプ39を構成したので、シール性の高いヒートパイプ
39を容易,確実に形成することができる。
は、真空のヒートパイプ39内で冷媒を効率的に蒸発
し、蒸発した冷媒を冷却水通路57内の冷却水により冷
却するようにしたので、電子部品33の冷却効率を従来
より大幅に向上することができる。また、上述した電子
部品用冷却装置では、アウターパイプ37とインナーパ
イプ41との間にインナーフィン43を配置し、これら
の先端の間隙をシール部材47により密閉してヒートパ
イプ39を構成したので、シール性の高いヒートパイプ
39を容易,確実に形成することができる。
【0036】さらに、インナーパイプ41のコールドプ
レート31側にインナープレート51を圧入したので、
インナープレート51のコールドプレート31側を容
易,確実にシールすることができ、また、インナーフィ
ン43をインナーパイプ41とアウターパイプ37とに
確実に密着することができる。また、上述した電子部品
用冷却装置では、冷却水通路57を、インナーパイプ4
1の先端に嵌合される栓部材59に、第1のパイプ部材
61と第2のパイプ部材63とを接続して形成したの
で、シール性の高い冷却水通路57を容易,確実に形成
することができる。
レート31側にインナープレート51を圧入したので、
インナープレート51のコールドプレート31側を容
易,確実にシールすることができ、また、インナーフィ
ン43をインナーパイプ41とアウターパイプ37とに
確実に密着することができる。また、上述した電子部品
用冷却装置では、冷却水通路57を、インナーパイプ4
1の先端に嵌合される栓部材59に、第1のパイプ部材
61と第2のパイプ部材63とを接続して形成したの
で、シール性の高い冷却水通路57を容易,確実に形成
することができる。
【0037】さらに、上述した電子部品用冷却装置で
は、アウターパイプ37の外側に配置される放熱フィン
55により、熱量を大気中に効率的に放散することがで
きる。また、上述した電子部品用冷却装置では、インナ
ープレート51の下端を先細り形状にしたので、コール
ドプレート31のほぼ全面に、均一に冷媒が流れるた
め、ヒートスポットがなくなり、電子部品33を確実に
保護することができる。
は、アウターパイプ37の外側に配置される放熱フィン
55により、熱量を大気中に効率的に放散することがで
きる。また、上述した電子部品用冷却装置では、インナ
ープレート51の下端を先細り形状にしたので、コール
ドプレート31のほぼ全面に、均一に冷媒が流れるた
め、ヒートスポットがなくなり、電子部品33を確実に
保護することができる。
【0038】なお、以上述べた実施例では、MCMから
なる電子部品33に本発明を適用した例について説明し
たが、本発明はかかる実施例に限定されるものではな
く、電気的な発熱を伴う電子素子等に広く適用できる。
なる電子部品33に本発明を適用した例について説明し
たが、本発明はかかる実施例に限定されるものではな
く、電気的な発熱を伴う電子素子等に広く適用できる。
【0039】
【発明の効果】以上述べたように、請求項1の電子部品
用冷却装置では、コールドプレートに立設されるアウタ
ーパイプの内側にヒートパイプを形成し、ヒートパイプ
の内側に冷却水通路を形成したので、ヒートパイプ内の
冷媒を冷却水通路内の冷却水により確実に冷却すること
が可能になり電子部品の冷却効率を従来より大幅に向上
することができる。
用冷却装置では、コールドプレートに立設されるアウタ
ーパイプの内側にヒートパイプを形成し、ヒートパイプ
の内側に冷却水通路を形成したので、ヒートパイプ内の
冷媒を冷却水通路内の冷却水により確実に冷却すること
が可能になり電子部品の冷却効率を従来より大幅に向上
することができる。
【0040】請求項2の電子部品用冷却装置では、アウ
ターパイプとインナーパイプとの間にインナーフィンを
配置し、これらの先端の間隙をシール部材により密閉し
てヒートパイプを構成したので、シール性の高いヒート
パイプを容易,確実に形成することができる。請求項3
の電子部品用冷却装置では、インナーパイプのコールド
プレート側にインナープレートを圧入したので、インナ
ープレートのコールドプレート側を容易,確実にシール
することができ、また、インナーフィンをインナーパイ
プとアウターパイプとに確実に密着することができる。
ターパイプとインナーパイプとの間にインナーフィンを
配置し、これらの先端の間隙をシール部材により密閉し
てヒートパイプを構成したので、シール性の高いヒート
パイプを容易,確実に形成することができる。請求項3
の電子部品用冷却装置では、インナーパイプのコールド
プレート側にインナープレートを圧入したので、インナ
ープレートのコールドプレート側を容易,確実にシール
することができ、また、インナーフィンをインナーパイ
プとアウターパイプとに確実に密着することができる。
【0041】請求項4の電子部品用冷却装置では、冷却
水通路を、インナーパイプの先端に嵌合される栓部材
に、第1のパイプ部材と第2のパイプ部材とを接続して
形成したので、シール性の高い冷却水通路を容易,確実
に形成することができる。請求項5の電子部品用冷却装
置では、アウターパイプの外側に配置される放熱フィン
により、熱量を大気中に効率的に放散することができる
という利点がある。
水通路を、インナーパイプの先端に嵌合される栓部材
に、第1のパイプ部材と第2のパイプ部材とを接続して
形成したので、シール性の高い冷却水通路を容易,確実
に形成することができる。請求項5の電子部品用冷却装
置では、アウターパイプの外側に配置される放熱フィン
により、熱量を大気中に効率的に放散することができる
という利点がある。
【図1】本発明の電子部品用冷却装置の一実施例を示す
断面図である。
断面図である。
【図2】図1の斜視図である。
【図3】図1の横断面図である。
【図4】図1の分解斜視図である。
【図5】図1の電子部品用冷却装置の配置例を示す側面
図である。
図である。
【図6】図5の斜視図である。
【図7】従来のヒートシンクを示す側面図である。
【図8】従来の電子部品用冷却装置を示す側面図であ
る。
る。
31 コールドプレート 33 電子部品 37 アウターパイプ 39 ヒートパイプ 41 インナーパイプ 43 インナーフィン 47 シール部材 51 インナープレート 55 放熱フィン 57 冷却水通路 59 栓部材 61 第1のパイプ部材 63 第2のパイプ部材
Claims (5)
- 【請求項1】 一面に電子部品(33)が装着されるコ
ールドプレート(31)の他面に、アウターパイプ(3
7)を立設し、前記アウターパイプ(37)の内側に沿
って環状のヒートパイプ(39)を形成するとともに、
前記ヒートパイプ(39)の内側に冷却水通路(57)
を形成してなることを特徴とする電子部品用冷却装置。 - 【請求項2】 請求項1記載の電子部品用冷却装置にお
いて、 前記ヒートパイプ(39)は、前記アウターパイプ(3
7)の内側に同心状に配置されるインナーパイプ(4
1)と、前記アウターパイプ(37)とインナーパイプ
(41)との間に配置され軸長方向通路(45)が形成
されるインナーフィン(43)と、前記アウターパイプ
(37)とインナーパイプ(41)の間隙を先端におい
て密閉するシール部材(47)とを備えてなることを特
徴とする電子部品用冷却装置。 - 【請求項3】 請求項2記載の電子部品用冷却装置にお
いて、 前記インナーパイプ(41)のコールドプレート(3
1)側には、インナープレート(51)が圧入されてい
ることを特徴とする電子部品用冷却装置。 - 【請求項4】 請求項2または3記載の電子部品用冷却
装置において、 前記冷却水通路(57)は、前記インナーパイプ(4
1)の先端に嵌合される栓部材(59)と、この栓部材
(59)に開口する第1のパイプ部材(61)と、前記
栓部材(59)を貫通して前記インナーパイプ(41)
に挿入される第2のパイプ部材(63)とを備えてなる
ことを特徴とする電子部品用冷却装置。 - 【請求項5】 請求項1ないし4のいずれか1項記載の
電子部品用冷却装置において、 前記アウターパイプ(37)の外側には、放熱フィン
(55)が配置されていることを特徴とする電子部品用
冷却装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7903195A JPH08279577A (ja) | 1995-04-04 | 1995-04-04 | 電子部品用冷却装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7903195A JPH08279577A (ja) | 1995-04-04 | 1995-04-04 | 電子部品用冷却装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08279577A true JPH08279577A (ja) | 1996-10-22 |
Family
ID=13678570
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7903195A Pending JPH08279577A (ja) | 1995-04-04 | 1995-04-04 | 電子部品用冷却装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH08279577A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005019794A (ja) * | 2003-06-27 | 2005-01-20 | Mitsubishi Electric Corp | 冷却装置 |
US7240722B2 (en) * | 2005-06-08 | 2007-07-10 | Fu Zhun Precision Industry (Shen Zhen) Co., Ltd. | Heat dissipation device |
WO2010039689A3 (en) * | 2008-10-02 | 2010-07-01 | Varian Semiconductor Equipment Associates | Fluid delivery mechanism for vaccum wafer processing system |
JP2011129699A (ja) * | 2009-12-17 | 2011-06-30 | Toyota Motor Corp | 積層型冷却装置 |
-
1995
- 1995-04-04 JP JP7903195A patent/JPH08279577A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005019794A (ja) * | 2003-06-27 | 2005-01-20 | Mitsubishi Electric Corp | 冷却装置 |
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WO2010039689A3 (en) * | 2008-10-02 | 2010-07-01 | Varian Semiconductor Equipment Associates | Fluid delivery mechanism for vaccum wafer processing system |
CN102224572A (zh) * | 2008-10-02 | 2011-10-19 | 瓦里安半导体设备公司 | 用于真空晶圆处理系统的液体输送机制 |
TWI463594B (zh) * | 2008-10-02 | 2014-12-01 | Varian Semiconductor Equipment | 用於真空晶圓處理系統的液體輸送機制 |
JP2011129699A (ja) * | 2009-12-17 | 2011-06-30 | Toyota Motor Corp | 積層型冷却装置 |
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