JPH08273884A

JPH08273884A - ガラスプレート搬送装置

Info

Publication number: JPH08273884A
Application number: JP7096187A
Authority: JP
Inventors: Norio Kobayashi; 教郎小林; Norihiko Hara; 典彦原
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1995-03-29
Filing date: 1995-03-29
Publication date: 1996-10-18

Abstract

(57)【要約】【目的】静電気除去効果の向上を図る。【構成】第１の搬送アーム１４によりガラスプレート
１２が搬入されると、ピン部材２４ではこのガラスプレ
ート１２を受け取り、比較的小面積の接触部を介して一
時的に保持する。このとき、ピン部材２４の近傍に配置
されたイオン化エアバー３４からプラスに帯電したイオ
ン化空気が常時吹き出されている。このため、イオン化
空気がガラスプレート１２の表面は勿論裏面側まで十分
に吹き付けられ、当該ガラスプレート１２に帯電した静
電気が電気的に中和される。この場合、図示しない管理
手段では、ガラスプレート１２がピン部材２４上に所定
時間保持されるように、ガラスプレートの搬送工程を管
理している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ガラスプレート搬送装
置に係り、更に詳しくは、ガラスプレートが搬送経路上
で剥離帯電等により静電気を帯びた場合にこの静電気を
電気的に中和するためイオン化空気を吹き出すイオン化
エアバー等の吹出手段を備えたガラスプレート搬送装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のこの種の装置の搬送経路中には、
図１１に示されるように、ガラスプレート搬入用の搬送
アーム５０と、ガラスプレート搬出用の搬送アーム５２
とが、搬送方向（矢印Ａ方向）に沿って所定間隔隔てて
設けられている。また、これら両搬送アーム５０、５２
の間の部分には、当該両アーム５０、５２間の受け渡し
のために一時的にガラスプレート５４を保持する複数本
（ここでは、４本）のピンから成るプレート保持部５６
が配置されている。また、搬送アーム５２の上方には、
イオン化空気を常時吹き出すイオン化エアバー６０が配
置されている。

【０００３】搬送アーム５０及び搬送アーム５２は、搬
送方向（矢印Ａ方向）及びこれと反対方向に往復移動可
能に構成されている。プレート保持部５６は上下方向
（矢印Ｂ方向及びこれと反対方向）に移動可能に構成さ
れている。これによれば、以下のような手順でガラスプ
レート５４の搬送が行なわれる。

【０００４】プレート保持部５６が下降位置（図示の
位置）にあるときに、ガラスプレート５４を保持した搬
送アーム５０が、プレート保持部５６の上方まで移動し
て停止する。

【０００５】プレート保持部５６が上昇してガラスプ
レート５４を下から持ち上げると同時に搬送アーム５２
がガラスプレート５４の下方まで移動して停止する。

【０００６】次に、搬送アーム５０が搬送方向と反
対方向（反矢印Ａ方向）へ移動した後、プレート保持部
５６が下降することにより、プレート保持部５６から搬
送アーム５２上にガラスプレート５４が移載される。そ
の後、ガラスプレート５４を保持した搬送アーム５２が
搬送方向（矢印Ａ方向）に移動する。

【０００７】このようなガラスプレート５４の搬送工程
では、搬送アーム５２がガラスプレート５４の搬出のた
め、搬送方向に移動する間に、イオン化エアバー６０か
ら吹き出されるイオン化空気（通常はマイナスに帯電し
ている）が搬送アーム５２上のガラスプレート５４に吹
き付けられることにより、プロセス上又は搬送工程にお
いて帯電（通常はプラスに帯電）したガラスプレート５
４の電気的中和（静電気の中和）がなされていた。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来技術にあっては、ガラスプレート５４の帯電量が多い
場合、イオン化エアバー６０の下を通る時間が短く、か
つ搬送アーム５２がガラスプレート５４下面に全面で密
着していることから、イオン化空気がガラスプレート５
４の裏面に回り込まず、十分な静電気除去効果（静電気
の中和効果）が得られないという不都合がしばしば生じ
ていた。

【０００９】このため、従来においても、搬送アーム５
２の搬送速度を可能な範囲で低く設定して、静電気の電
気的中和を行なうようにする試みがなされていたが、搬
送アーム５２の搬送速度を下げすぎると、スループット
の低下のみならず、次工程への影響も大きく、限界があ
った。

【００１０】本発明は、かかる従来技術の有する不都合
に鑑みてなされたもので、その目的は、静電気除去効果
の向上を図ることができるガラスプレート搬送装置を提
供することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
ガラスプレートを搬入する搬入手段と；前記搬入手段に
より搬入されたガラスプレートを受け取り、比較的小面
積の接触部を介して一時的に保持するプレート保持部
と；前記プレート保持部の近傍に配置され、ガラスプレ
ートに帯電する電荷と逆極性に帯電したイオン化ガスを
前記ガラスプレートの搬送中に前記プレート保持部周辺
に常時吹き出す吹出手段と；前記プレート保持部に保持
されたガラスプレートを後工程の処理部に向けて搬出す
る搬出手段と；前記ガラスプレートが前記プレート保持
部上に所定時間保持されるように、前記ガラスプレート
の搬送工程を管理する管理手段とを有する。

【００１２】請求項２記載の発明は、請求項１記載のガ
ラスプレート搬送装置において、前記プレート保持部は
上下動可能で、下降位置で前記搬入手段及び前記搬出手
段との間でガラスプレートの受け渡しが可能な構成とさ
れ、前記管理手段は、前記搬入手段により搬入されたガ
ラスプレートを上昇位置で所定時間保持させるべく、前
記プレート保持部の上下動を管理することを特徴とす
る。

【００１３】請求項３記載の発明は、請求項１記載のガ
ラスプレート搬送装置において、前記管理手段は、前記
搬入手段によりガラスプレートが前記プレート保持部上
に載置されてから所定時間後にガラスプレートの搬出を
開始するよう前記搬出手段の動作を管理することを特徴
とする。

【００１４】請求項４記載の発明は、請求項１ないし３
のいずれかに記載のガラスプレート搬送装置において、
前記プレート保持部の近傍に、当該プレート保持部に保
持されたガラスプレートに帯電した電荷量を検出する電
荷量検出センサを設け、前記管理手段は、前記電荷量検
出センサの検出電荷量が一定値以下に低下したときに前
記所定時間が経過したものと判断することを特徴とす
る。

【００１５】

【作用】請求項１記載の発明によれば、搬入手段により
ガラスプレートが搬入されると、プレート保持部ではこ
の搬入されたガラスプレートを受け取り、比較的小面積
の接触部を介して一時的に保持する。このとき、プレー
ト保持部の近傍に配置された吹出手段からガラスプレー
トに帯電する電荷と逆極性に帯電したイオン化ガスがプ
レート保持部周辺に常時吹き出されている。このため、
イオン化ガスがガラスプレートの表面は勿論裏面側まで
十分に回り込み、当該ガラスプレートに帯電した静電気
が電気的に中和される。この場合、管理手段では、ガラ
スプレートがプレート保持部上に所定時間保持されるよ
うに、ガラスプレートの搬送工程を管理していることか
ら、多量の静電気がガラスプレートに帯電していてもこ
れを十分に除去できる。所定時間が経過し、静電気が除
去されると、プレート保持部に保持されたガラスプレー
トが搬出手段によって後工程の処理部に向けて搬出され
る。

【００１６】請求項２記載の発明によれば、管理手段に
よって、搬入手段により搬入されたガラスプレートを上
昇位置で所定時間保持させるべく、プレート保持部の上
下動が管理される。従って、請求項１記載の発明と同様
に、多量の静電気がガラスプレートに帯電していてもこ
れを十分に除去できる。

【００１７】請求項３記載の発明によれば、管理手段
は、搬入手段によりガラスプレートがプレート保持部上
に載置されてから所定時間後にガラスプレートの搬出を
開始するよう搬出手段の動作を管理する。従って、この
場合も請求項１記載の発明と同様に、多量の静電気がガ
ラスプレートに帯電していてもこれを十分に除去でき
る。

【００１８】請求項４記載の発明によれば、管理手段
は、電荷量検出センサの検出電荷量が一定値以下に低下
したときに所定時間が経過したものと判断する。従っ
て、ガラスプレートに帯電した電荷量の大小に拘らず、
十分な帯電除去がなされた時点で速やかにガラスプレー
トを次工程の処理部に向けて搬出させることが可能とな
る。

【００１９】

【実施例】

《第１実施例》以下、本発明の第１実施例を図１ないし
図６に基づいて説明する。

【００２０】図１には、液晶用露光装置の一部を構成す
る第１実施例に係るガラスプレート搬送装置１０の概略
構成が示されている。このガラスプレート搬送装置１０
は、ガラスプレート１２を矢印Ａで示される搬送方向に
沿って搬送する第１の搬送アーム１４と、この第１の搬
送アームより所定距離を隔てた搬送方向（矢印Ａ方向）
下流側に配置された第２の搬送アーム１６とを備えてい
る。

【００２１】第１の搬送アーム１４は、水平面に沿って
配置された略コ字状の板状部材から成り、凹部１４Ａが
搬送方向に向けて配設されている。この第１の搬送アー
ム１４は、図１では図示を省略したが、実際には、第１
モータ１８（図２参照）によって駆動される図示しない
ベルト機構に取り付けられており、これによって矢印Ａ
方向及びこれと反対方向に往復移動可能とされている。

【００２２】第２の搬送アーム１６は、第１の搬送アー
ム１４と同一面に沿って配置された略コ字状の板状部材
から成り、凹部１６Ａが凹部１４Ａと対向する状態で配
設されている。この第２の搬送アーム１６も、図１では
図示を省略したが、実際には、第２モータ２０（図２参
照）によって駆動される図示しないベルト機構に取り付
けられており、これによって矢印Ａ方向及びこれと反対
方向に往復移動可能とされている。

【００２３】これら両搬送アーム１４、１６の中間に
は、温度調整ステージ２２が両搬送アーム１４、１６の
移動面より幾分下方に設けられており、この温度調整ス
テージ２２は、実際には図示しないチャンバに水平に固
定されている。この温度調整ステージ２２は、外部から
チャンバ内に搬入されるガラスプレート１４をその上面
に密着させることにより所定の温度、例えば２３℃に設
定するためのステージで、図示しない温度コントローラ
によって温度管理されている。この温度調整ステージ２
２には、図１に示される如く、これを鉛直方向に貫通し
た状態でプレート保持部としての４本のピン部材２４が
設けられており、これら４本のピン部材２４の下端は、
水平プレート２６を介して一体化されている。この水平
プレート２６の下面には、鉛直方向に配置されたピスト
ンロッド２８の一端が固着されている。このピストンロ
ッド２８の他端は、回転運動を直線運動に変換する図示
しない動力変換機構（例えば、偏心カム機構）に連結さ
れ、この動力変換機構によってピストンロッド２８と一
体的に４本のピン部材２４が矢印Ｂ方向及びこれと反対
方向に沿って上下動される構成となっている。図２に
は、この動力変換機構を駆動する第３モータ３０が示さ
れている。なお、ピストンロッド２８、及び第１、第２
の搬送アーム１４、１６をエアーシリンダ等で駆動する
ことも可能である。

【００２４】また、温度調整ステージ２２には、図１で
は図示を省略したが、実際には、真空ポンプ３２（図２
参照）に接続されたバキューム用の小孔が多数穿設され
ており、これらの小孔（図示省略）を介して後述するよ
うにガラスプレート１２が真空吸着され、密着されるよ
うになっている。また、４本のピン部材２４の上端面は
同一水平面に位置し、これらの上端面によって小面積の
ガラスプレート１２との接触部が構成されている。本実
施例では、ピン部材２４としては、直径１ｃｍ程度の円
形断面のものが使用されている。

【００２５】更に、温度調整ステージ２２の上方で第
１、第２の搬送アーム１４、１６の移動面より幾分高い
位置には、細長い直方体状の吹出手段としてのイオン化
エアバー３４が水平方向でかつ搬送直交方向に配置され
ている。このイオン化エアバー３４は、プラスの電荷を
出す電極とマイナスの電荷を出す電極の両方を備え、そ
れぞれ独立した吹出孔からイオン化空気を吹き出すもの
であるが、以後の説明では、ガラスプレート１２は通常
プラスに帯電するので、イオン化エアバー３４からはマ
イナスに帯電したイオン化空気（イオン化ガスの一種）
が吹き出されるものとする。このイオン化エアバー３４
は、配管（配線を含む）３６を介してコントロールボッ
クス３８に接続されいる。このコントロールボックス３
８は、実際には、図示しないチャンバの外壁に固定され
ている。ガラスプレート搬送装置１０の作動中は、イオ
ン化エアバー３４からはマイナスに帯電したイオン化空
気が常時チャンバ内の温度調整ステージ２２周辺に吹出
されている。

【００２６】図２には、本装置１０の制御系の構成が概
略的に示されている。この制御系は、管理手段としての
コントローラ４０を中心として構成されている。このコ
ントローラ４０は、ＣＰＵ（中央処理装置）、ＲＯＭ
（リード・オンリ・メモリ）、ＲＡＭ（ランダム・アク
セス・メモリ）、入力インタフェース及び出力インタフ
ェース等を含むいわゆるマイクロコンピュータから構成
されている。このコントローラ４０の出力端には、前述
した第１モータ１８、第２モータ２０及び第３モータ３
０をそれぞれ駆動する第１モータ駆動回路４２、第２モ
ータ駆動回路４４及び第３モータ駆動回路４６が接続さ
れている。第１モータ１８、第２モータ２０及び第３モ
ータ３０として、本実施例では、ステッピング・モータ
（パルスモータ）が使用され、これらのモータ１８、２
０、３０がそれぞれの駆動回路４２、４４、４６を介し
てコントローラ４０によりオープンループ制御される。

【００２７】また、コントローラ４０の出力端には、前
述した真空ポンプ３２のスイッチ４８も接続されてい
る。

【００２８】次に、コントローラ４０内ＣＰＵの主要な
制御アルゴリズムを示す図３のフローチャートを中心と
して、図１及び図４ないし図６を参照しつつ本第１実施
例の動作を説明する。

【００２９】この制御アルゴリズムがスタートするの
は、ガラスプレート１２が図示しない外部の搬送手段か
ら第１の搬送アーム１４に受け渡されたときである。こ
の状態が図１に示されている。

【００３０】ステップ１００で第１モータ駆動回路４２
へ制御信号を送出し、第１モータ１８を駆動して第１の
搬送アーム１４を温度調整ステージ２２上方まで移動さ
せる。このとき、平面視では第１の搬送アーム１４の凹
部１４Ａ内へ４本のピン部材２４が入り込んだ状態とな
っている。

【００３１】次のステップ１０２で第３モータ駆動回路
４６へ制御信号を送出し、第３モータ３０を駆動してピ
ン部材２４を上方（矢印Ｂ方向）へ所定量駆動した後、
ステップ１０４へ進んで第１モータ駆動回路４２を介し
て第１の搬送アーム１４を反矢印Ａ方向に駆動して元の
位置へ退避させる。これにより、図４に示されるよう
に、４本のピン部材２４によりガラスプレート１２が下
方から支持された状態となる。

【００３２】次のステップ１０６では、第３モータ駆動
回路４６を介してピン部材２４を所定量下方（反矢印Ｂ
方向）へ駆動した後、ステップ１０８に進んで真空ポン
プ３２のスイッチ４８をオン（ＯＮ）にする。これによ
り、ガラスプレート１２が下降して温度調整ステージ２
２に真空吸着され、両者が密着する。この状態が図５に
示されている。

【００３３】次のステップ１１０では、図示しない第１
タイマー用カウンタをリセット（カウント値ｎ→０）し
た後、ステップ１１２に進んでカウント値ｎが予め定め
た値ｎ₀以上であるか否かを判断する。これは、ガラス
プレート１２と温度調整ステージ２２との間の熱伝導現
象が平衡状態に達し、両者が同一温度になる時間とし
て、予め実験等で求めた時間（ここでは便宜上ｔとす
る）が経過したか否かを判断する必要があるからであ
る。

【００３４】このステップ１１２における判断が否定さ
れた場合には、ステップ１１４に進んで第１タイマー用
カウンタを１インクリメント（ｎ＋１→ｎ）した後、ス
テップ１１２に戻り、以後ステップ１１２における判断
が肯定されるまで、ステップ１１２、１１４の判断・処
理を繰り返す。

【００３５】時間ｔが経過してステップ１１２の判断が
肯定されると、ステップ１１６に進んで真空ポンプ３２
のスイッチ４８をオフ（ＯＦＦ）にして真空吸着を解除
した後、ステップ１１８へ進んでピン部材２４を所定量
上方（矢印Ｂ方向）へ駆動する。これにより、ガラスプ
レート１２が温度調整ステージ２２から離れて上方へ持
ち上げられ、再び図４の状態となる。このときに、ガラ
スプレート１２に剥離帯電が生じることがある。

【００３６】次のステップ１２０では、図示しない第２
タイマー用カウンタをリセット（カウント値Ｎ→０）し
た後、ステップ１２２に進んでカウント値Ｎが静電気除
去の基準として予め定めた値Ｎ₀以上であるか否かを判
断する。これは、予め定めた所定時間（ここでは、便宜
上Ｔとする）の間、ガラスプレート１２を図４の位置に
保持するためである。即ち、ガラスプレート１２は小面
積の接触部を介してピン部材２４により４点で支持され
ているため、これを、イオン化エアバー３４から吹き出
されるマイナスに帯電したイオン化空気が当たり易い位
置に、所定時間Ｔ保持することにより、ガラスプレート
１２の表面は勿論、裏側にまでイオン化空気が十分に回
り込んで、ガラスプレート１２に帯電した静電気（プラ
スの電荷）が充分に電気的に中和されることが期待でき
るからである。

【００３７】ステップ１２２における判断が否定された
場合には、ステップ１２４に進んで第２タイマー用カウ
ンタを１インクリメント（Ｎ＋１→Ｎ）した後、ステッ
プ１２２に戻り、以後ステップ１２２における判断が肯
定されるまで、ステップ１２２、１２４の判断・処理を
繰り返す。

【００３８】所定時間Ｔが経過し、ステップ１２２の判
断が肯定されると、ステップ１２６に進んで第２モータ
駆動回路４４に制御信号を送出して第２モータ２０を駆
動し、第２の搬送アーム１６を温度調整ステージ２２の
上方、即ちガラスプレート１２の下方へ移動させた後、
ステップ１２８に進んで第３モータ駆動回路４６を介し
てピン部材２４を所定量下方（反矢印Ｂ方向）へ駆動す
る。これにより、ガラスプレート１２が第２の搬送アー
ム１６上に移載される。

【００３９】次のステップ１３０では、第２モータ駆動
回路４４を介して第２の搬送アーム１６を次工程の処理
部へ向けて搬送方向（矢印Ａ方向）へ駆動する。この状
態が、図６に示されている。

【００４０】ここまでの説明からわかるように、本第１
実施例では、第１の搬送アーム１４と第１モータ１８に
よって駆動される図示しないベルト機構とによって搬入
手段が構成され、第２の搬送アーム１６と第２モータ２
０によって駆動される図示しないベルト機構とによって
搬出手段が構成されている。

【００４１】以上説明したように、本第１実施例による
と、搬送工程中に、ガラスプレート１２は比較的接触面
積の小さいピン部材２４上に所定時間Ｔの間保持され、
その近傍に配置されたイオン化エアバー３４から吹き出
されるイオン化空気がその表面は勿論、裏面までも充分
に回り込むことから、従来の装置に比較して帯電除去効
率が向上する。従って、ガラスプレート１２が多量の静
電気を帯びている場合であっても、充分に静電気を電気
的に中和した状態で、次工程の処理部へと受け渡すこと
が可能となり、ガラスプレート１２に帯電した静電気に
起因する次工程での不具合を未然に防止することが可能
である。

【００４２】なお、上記第１実施例では、ガラスプレー
ト１２の電気的中和のため、ピン部材２４を上昇位置に
静止させるためのタイマー機能をソフトウェアで実現す
る場合を例示したが、ハードウェアタイマーを用いても
よい。ハードウェアタイマーを使用する場合は、このタ
イマーを操作し易いように、チャンバ外に設けることが
望ましい。

【００４３】これまでの説明から明らかなように、上記
第１実施例では、多量の静電気が搬送中のガラスプレー
ト１２に帯電した場合をも考慮して充分な帯電除去効果
を確保するために、所定時間Ｔとして充分に長い時間を
設定する必要があるが、ガラスプレート１２に帯電した
静電気の量が少ない場合にも、充分に長い時間、ガラス
プレート１２を上昇位置で静止させることは、スループ
ットを不必要に低下させる原因ともなりかねない。かか
る点を考慮すれば、ガラスプレート１２に帯電した静電
気の量に応じて時間Ｔを増減できれば、最も効率良く、
静電気除去効果とスループットの両面を満足させること
ができて便利である。このような観点からなされたの
が、以下の第２実施例である。

【００４４】《第２実施例》次に、本発明の第２実施例
を図７ないし図９に基づいて説明する。ここで、前述し
た第１実施例と同一若しくは同等の構成部分について
は、同一の符号を付すと共にその説明を簡略にし若しく
は省略するものとする。

【００４５】この第２実施例は、図７に示されるよう
に、前述したピン部材２４の最上位位置の近傍にガラス
プレート１２に帯電した電荷量を非接触にて検出する電
荷量検出センサとしての静電気モニタ５０が設けられて
いる点に特徴を有する。

【００４６】この静電気モニタ５０の出力（検出電荷
量）は、図８に示されるように、コントローラ４０に入
力されるようになっている。

【００４７】この第２実施例では、上記の点を除けば、
コントローラ４０の制御アルゴリズムが第１実施例と異
なるのみで、その他の部分構成は第１実施例と同一であ
るので、以下、コントローラ４０内ＣＰＵの制御アルゴ
リズムを示す図９のフローチャートに基づいて第２実施
例の動作について説明する。

【００４８】ステップ２００〜ステップ２１８まで第１
実施例におけるステップ１００〜ステップ１１８と同様
の処理・判断を行なう。

【００４９】次のステップ２２０において静電気モニタ
５０の出力Ｍを読み込み、ステップ２２２に進んで上記
ステップ２２０で読み込んだ出力Ｍが静電気除去の基準
として予め定めた値Ｍ₀以下であるか否かを判断する。
このステップ２２２における判断が否定された場合、即
ちガラスプレート１２に帯電した静電気のレベルが十分
なレベルまで低下していないときは、ステップ２２０に
戻り、以後ステップ２２０、２２２の処理・判断を繰り
返す。

【００５０】イオン化エアバー３４から吹き出されるマ
イナスに帯電したイオン化空気によりガラスプレート１
２に帯電した静電気が電気的に中和され、十分なレベル
まで帯電量が低下すると、ステップ２２２における判断
が肯定されるので、ステップ２２６に進んで、以後ステ
ップ２２６〜２３２において第１実施例のステップ１２
６〜１３２と同様の処理を行なう。

【００５１】このように、本第２実施例では、静電気モ
ニタ５０の検出電荷量が一定値Ｍ₀以下に低下した時点
で、コントローラ４０が、前述した第１実施例における
所定時間Ｔが経過したものと判断した場合と同様の結果
となっている。

【００５２】以上説明した本第２実施例によると、第１
実施例と同等の効果を得られる他、ステップ２２２にお
ける判断が肯定される時点は、ガラスプレート１２に帯
電した静電気の量（電荷量）に応じて早くなったり遅く
なったりすることから、ガラスプレート１２の帯電量の
大小に拘らず、静電気が十分に中和された時点で速やか
に第２の搬送アーム１６によりガラスプレート１２が次
工程の処理部へ搬出され、これにより不必要にガラスプ
レート１２を停止させてスループットを低下させること
なく、静電気除去効果を十分に確保することが可能とな
る。従って、最も効率良く、静電気除去効果とスループ
ットの両面を満足させることができる。

【００５３】なお、上記第１、第２実施例では、温度調
整ステージ２２が設けられている場合を例示したが、チ
ャンバ内に搬入する前にチャンバ内とほぼ同一温度にガ
ラスプレート１２の温度が調整されている場合、あるい
は温度調整が不要な場合は、温度調整ステージ２２を設
ける必要はない。

【００５４】また、上記第１、第２実施例では、時間ｔ
の間、温度調整ステージ２２とガラスプレート１２とを
密着させることによってガラスプレート１２の温度調整
を行なう場合を例示したが、実施に当たっては、温度調
整ステージ２２の温度管理のために設けられている温度
センサの出力をモニタしてこの温度センサの出力が一定
時間以上設定値を維持する場合に、温度調整が完了した
と判断するようにすることが望ましい。

【００５５】なお、上記第１、第２実施例では、温度調
整ステージ２２のみに真空吸着用の孔が形成された場合
を例示したが、これと共に、ピン部材２４の上端面に吸
着パッドを設け、このパッドを介してガラスプレート１
２がピン部材２４に真空吸着されるように構成しても良
い。

【００５６】また、上記第１、第２実施例では、ガラス
プレート１２に帯電した静電気を電気的に中和するため
にイオン化ガスとしてイオン化空気を使用する場合を例
示したが、本発明はこれに限定されるものではなく、装
置に影響を与えない気体であれば他のものを使用しても
良い。

【００５７】なお、上記第１、第２実施例で説明した第
１、第２の搬送アーム１４、１６及びピン部材２４の形
状及び動作方向、動作方法は代表例的な例であって、本
発明がこれに限定されるものではない。例えば、ピン部
材２４は固定で、第１、第２の搬送アーム１４、１６が
水平移動に加え、上下動をもする構成としても良い。こ
のようにした場合には、コントローラ４０では、ガラス
プレート１２がピン部材２４上に載置されてから所定時
間経過後、又は静電気モニタ５０の検出電荷量が所定レ
ベル以下に低下したときにガラスプレート１２の搬出を
開始するように、第２の搬送アーム１６の動作を管理す
るようにすれば、上記第１実施例、又は第２実施例と同
等の効果を得ることができる。

【００５８】また、上記第１、第２実施例では、吹出手
段としてのイオン化エアバー３４を１つ設ける場合を例
示したが、本発明はこれに限定されるものではなく、吹
出手段を複数設けても良い。例えば、図１０に示される
ように、イオン化エアバー３４をガラスプレート１２が
所定時間保持されるピン部材２４の最上位位置の上下で
搬送方向上流側と下流側に上下各一対、合計４つ配置し
ても良い。このようにすれば。ピン部材２４は小面積の
接触部を介してガラスプレート１２を保持しているだけ
なので、ガラスプレート１２の下方からもイオン化エア
バー３４によりイオン化空気を吹き付けることができ、
より一層効率のよい静電気除去効果が期待できる。

【００５９】さらに、上記実施例レベルで考えれば明ら
かなように、本発明は、搬送工程上に小面積の接触部を
介してガラスプレート１２を一時的に保持するプレート
保持部（上記実施例ではピン部材２４）があれば、この
プレート保持部に所定時間ガラスプレート１２を保持さ
せるためのタイマー機能を、ソフトウェア又はハードウ
ェア的に加えるだけで実現可能であることから、大がか
りな改造を必要とせず、既存のガラスプレート搬送装置
への適用も容易である。

【００６０】本発明は、上記の如く、ガラスプレートに
イオン化ガスが所定時間当たるようにすることをその解
決原理とするものであり、かかる観点からは、イオン化
エアバー等の吹出手段がガラスプレートの移動と同期し
て移動する構成も、その応用例として考えられる。

【００６１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
多量の静電気がガラスプレートに帯電していてもこれを
十分に除去することができるという従来にない優れた効
果がある。

【００６２】特に、請求項４記載の発明によれば、最も
効率良く、静電気除去効果とスループットの両面を満足
させることができるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施例に係るガラスプレート搬送装置の概
略構成を示す斜視図である。

【図２】図１の装置の制御系の構成を示すブロック図で
ある。

【図３】図２のコントローラ内ＣＰＵの制御アルゴリズ
ムを示すフローチャートである。

【図４】図１の装置の動作説明図であって、ピン部材に
よってガラスプレートが下方から支持された状態を示す
斜視図である。

【図５】図１の装置の動作説明図であって、ガラスプレ
ートが温度調整ステージに密着した状態を示す斜視図で
ある。

【図６】図１の装置の動作説明図であって、第２の搬送
アームによってガラスプレートが次工程へ向けて搬送さ
れる状態を示す斜視図である。

【図７】第２実施例に係るガラスプレート搬送装置の概
略構成を示す斜視図である。

【図８】図７の装置の制御系の構成を示すブロック図で
ある。

【図９】図８のコントローラ内ＣＰＵの制御アルゴリズ
ムを示すフローチャートである。

【図１０】イオン化エアバーを複数設けた変形例を示す
斜視図である。

【図１１】従来のガラスプレート搬送装置を示す斜視図
である。

【符号の説明】

１０ガラスプレート搬送装置１２ガラスプレート１４第１の搬送アーム（搬入手段）１６第２の搬送アーム（搬出手段）２４ピン部材（プレート保持部）３４イオン化エアバー（吹出手段）４０コントローラ（管理手段）５０静電気モニタ（電荷量検出センサ）

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ガラスプレートを搬入する搬入手段と；
前記搬入手段により搬入されたガラスプレートを受け取
り、比較的小面積の接触部を介して一時的に保持するプ
レート保持部と；前記プレート保持部の近傍に配置さ
れ、ガラスプレートに帯電する電荷と逆極性に帯電した
イオン化ガスを前記ガラスプレートの搬送中に前記プレ
ート保持部周辺に常時吹き出す吹出手段と；前記プレー
ト保持部に保持されたガラスプレートを後工程の処理部
に向けて搬出する搬出手段と；前記ガラスプレートが前
記プレート保持部上に所定時間保持されるように、前記
ガラスプレートの搬送工程を管理する管理手段と；を有
するガラスプレート搬送装置。
【請求項２】前記プレート保持部は上下動可能で、下
降位置で前記搬入手段及び前記搬出手段との間でガラス
プレートの受け渡しが可能な構成とされ、前記管理手段は、前記搬入手段により搬入されたガラス
プレートを上昇位置で所定時間保持させるべく、前記プ
レート保持部の上下動を管理することを特徴とする請求
項１記載のガラスプレート搬送装置。
【請求項３】前記管理手段は、前記搬入手段によりガ
ラスプレートが前記プレート保持部上に載置されてから
所定時間後にガラスプレートの搬出を開始するよう前記
搬出手段の動作を管理することを特徴とする請求項１記
載のガラスプレート搬送装置。
【請求項４】前記プレート保持部の近傍に、当該プレ
ート保持部に保持されたガラスプレートに帯電した電荷
量を検出する電荷量検出センサを設け、前記管理手段は、前記電荷量検出センサの検出電荷量が
一定値以下に低下したときに前記所定時間が経過したも
のと判断することを特徴とする請求項１ないし３のいず
れかに記載のガラスプレート搬送装置。