JPH08273225A - 光記録媒体 - Google Patents
光記録媒体Info
- Publication number
- JPH08273225A JPH08273225A JP7070997A JP7099795A JPH08273225A JP H08273225 A JPH08273225 A JP H08273225A JP 7070997 A JP7070997 A JP 7070997A JP 7099795 A JP7099795 A JP 7099795A JP H08273225 A JPH08273225 A JP H08273225A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- peripheral part
- substrate
- recording medium
- optical recording
- recording
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 全面にわたってクロストーク量のばらつきが
小さく、かつ、そのレベルが充分低い光記録媒体を提供
する 【構成】 光ビームをトラッキングするためのガイド溝
の深さが、媒体の位置によって異なる光記録媒体とす
る。
小さく、かつ、そのレベルが充分低い光記録媒体を提供
する 【構成】 光ビームをトラッキングするためのガイド溝
の深さが、媒体の位置によって異なる光記録媒体とす
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は光記録媒体に関する。
【０００２】
【従来の技術】高密度に情報を蓄積することができる光
記録媒体は、大容量外部メモリーとしてその市場拡大が
期待されている。例えば、光ディスクは高速に再生する
ことが可能であるということでコンピュータの外部メモ
リーとして注目されており、情報の蓄積方法や大きさが
異なる数々の種類の光記録媒体が提案されている。例え
ば、直径5.25インチのサイズでは、１回のみ情報の書き
込みが可能であるライトワンスタイプ及び情報の書換え
が可能である光磁気タイプが、また、直径3.5 インチの
サイズでは、再生専用であるＲＯＭタイプと光磁気タイ
プ及び光磁気とＲＯＭの混在しているパーシャルＲＯＭ
タイプがＩＳＯ規格により標準化されており、今後更に
広く普及するものと予想されている。また、最近では、
ＣＤ−ＲＯＭやＭＤ（ミニディスク）が急速に普及して
きており、今後の動向が注目されている。
記録媒体は、大容量外部メモリーとしてその市場拡大が
期待されている。例えば、光ディスクは高速に再生する
ことが可能であるということでコンピュータの外部メモ
リーとして注目されており、情報の蓄積方法や大きさが
異なる数々の種類の光記録媒体が提案されている。例え
ば、直径5.25インチのサイズでは、１回のみ情報の書き
込みが可能であるライトワンスタイプ及び情報の書換え
が可能である光磁気タイプが、また、直径3.5 インチの
サイズでは、再生専用であるＲＯＭタイプと光磁気タイ
プ及び光磁気とＲＯＭの混在しているパーシャルＲＯＭ
タイプがＩＳＯ規格により標準化されており、今後更に
広く普及するものと予想されている。また、最近では、
ＣＤ−ＲＯＭやＭＤ（ミニディスク）が急速に普及して
きており、今後の動向が注目されている。
【０００３】これらの光記録媒体は、記録再生装置の光
ピックアップからのレーザービームにより記録を行う。
記録された部分はマークといい、このマークを連続して
並べる領域をトラックという。記録密度を高くするため
には、このトラックを整然と並べる必要があり、そのた
めには、レーザービームをトラックに沿ってガイドする
必要がある。即ち、トラッキングのためのガイドが必要
であり、このガイドは一般に、凹または凸の溝の形で、
ディスクの内周から外周へ向けてスパイラル状に形成さ
れている。この溝のことをガイド溝と呼ぶ。
ピックアップからのレーザービームにより記録を行う。
記録された部分はマークといい、このマークを連続して
並べる領域をトラックという。記録密度を高くするため
には、このトラックを整然と並べる必要があり、そのた
めには、レーザービームをトラックに沿ってガイドする
必要がある。即ち、トラッキングのためのガイドが必要
であり、このガイドは一般に、凹または凸の溝の形で、
ディスクの内周から外周へ向けてスパイラル状に形成さ
れている。この溝のことをガイド溝と呼ぶ。
【０００４】更に、ガイド溝について詳しく説明する
と、ＩＳＯ規格においても定義されているように、光ピ
ックアップから見た場合に凹になる部分、つまり遠方に
なる部分はランドと呼ばれ、ピックアップから見た場合
に凸になる部分、つまり近くになる部分はグルーブと呼
ばれる。情報は、ランドまたはグルーブのどちらかに記
録される。ランドに記録される場合はランド記録方式と
呼ばれ、グルーブに記録される場合はグルーブ記録方式
と呼ばれる。情報を記録する経路をトラックという。ト
ラックの中心から隣りのトラックの中心までを、トラッ
クピッチと呼んでいる。
と、ＩＳＯ規格においても定義されているように、光ピ
ックアップから見た場合に凹になる部分、つまり遠方に
なる部分はランドと呼ばれ、ピックアップから見た場合
に凸になる部分、つまり近くになる部分はグルーブと呼
ばれる。情報は、ランドまたはグルーブのどちらかに記
録される。ランドに記録される場合はランド記録方式と
呼ばれ、グルーブに記録される場合はグルーブ記録方式
と呼ばれる。情報を記録する経路をトラックという。ト
ラックの中心から隣りのトラックの中心までを、トラッ
クピッチと呼んでいる。
【０００５】ガイド溝は、一般に光記録媒体の原盤を製
造する際に、レーザービームで露光することにより原盤
上に形成する。この原盤のパターンを転写したスタンパ
ーと呼ばれる型を用いて、プラスチック射出成形や紫外
線硬化樹脂の注型で複製することで、基板にトラッキン
グガイドを形成する。ただし、原盤に直接記録膜や反射
膜を成膜することでそのまま光記録媒体としたり、ある
いは、原盤を用いてフォトマスクやレティクルを作り、
それに密着露光や縮小投影露光により光記録媒体を複製
する等の方法も提案されている。
造する際に、レーザービームで露光することにより原盤
上に形成する。この原盤のパターンを転写したスタンパ
ーと呼ばれる型を用いて、プラスチック射出成形や紫外
線硬化樹脂の注型で複製することで、基板にトラッキン
グガイドを形成する。ただし、原盤に直接記録膜や反射
膜を成膜することでそのまま光記録媒体としたり、ある
いは、原盤を用いてフォトマスクやレティクルを作り、
それに密着露光や縮小投影露光により光記録媒体を複製
する等の方法も提案されている。
【０００６】記録密度をより高めることは、光記録媒体
としての長所を更に増大させることになることから、こ
のための種々のアプローチがなされている。例えば、ラ
ンド・グルーブ記録は、通常、ランドまたはグルーブの
どちらか一方にしか記録を行っていなかったものを、そ
のどちらにも記録することで、単純に２倍の容量にしよ
うという試みである。
としての長所を更に増大させることになることから、こ
のための種々のアプローチがなされている。例えば、ラ
ンド・グルーブ記録は、通常、ランドまたはグルーブの
どちらか一方にしか記録を行っていなかったものを、そ
のどちらにも記録することで、単純に２倍の容量にしよ
うという試みである。
【０００７】これらの光記録媒体の記録層や誘電体保護
層は通常スパッタリングにより形成される。この場合、
生産効率を考えて、複数の基板をスパッタリング槽内に
セットして、同時にスパッタリングを行うことが一般的
である。
層は通常スパッタリングにより形成される。この場合、
生産効率を考えて、複数の基板をスパッタリング槽内に
セットして、同時にスパッタリングを行うことが一般的
である。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかし、スパッタリン
グにより記録層の形成を行うと、基板の各位置とスパッ
タリングターゲットの間の相対的位置関係が異なること
や、スパッタリング槽内に導入されるガスの濃度にむら
が生ずる等の原因で、基板の位置によって記録層の下の
層や記録層の膜厚や特性にばらつきが生じる。このばら
つきを極力抑えるために、基板を回転させたり、また、
複数の基板を一度にスパッタリングする方法において
は、基板を保持する基板ホルダーも回転させる等の対策
がされた。
グにより記録層の形成を行うと、基板の各位置とスパッ
タリングターゲットの間の相対的位置関係が異なること
や、スパッタリング槽内に導入されるガスの濃度にむら
が生ずる等の原因で、基板の位置によって記録層の下の
層や記録層の膜厚や特性にばらつきが生じる。このばら
つきを極力抑えるために、基板を回転させたり、また、
複数の基板を一度にスパッタリングする方法において
は、基板を保持する基板ホルダーも回転させる等の対策
がされた。
【０００９】しかし、そのような対策を講じてもなお、
光記録媒体の位置によって媒体の特性がばらつくこと
を、依然として抑えきれなかった。この問題は、光記録
媒体の面積が大きくなるほど、また、高密度記録のため
にトラック間距離が短くなるほど、その影響が大きく、
特に、ランド・グルーブ記録のように、隣接するトラッ
ク間の距離が非常に短い場合には、その影響はかなり大
きいものになる。記録層に下の層や記録層の膜厚や特性
のばらつきは、反射率等の光学特性の変動の原因となっ
たり、また、記録層が光磁気記録層の場合には、これに
加えて直線偏光に楕円偏光成分が混入するカー楕円率の
変動の原因となり、これらの変動はトラック間の信号ク
ロストーク量を増大させる原因となっていた。例えば、
このように製造された光ディスクでは、内周部と外周部
でクロストーク量が大きく異なる。
光記録媒体の位置によって媒体の特性がばらつくこと
を、依然として抑えきれなかった。この問題は、光記録
媒体の面積が大きくなるほど、また、高密度記録のため
にトラック間距離が短くなるほど、その影響が大きく、
特に、ランド・グルーブ記録のように、隣接するトラッ
ク間の距離が非常に短い場合には、その影響はかなり大
きいものになる。記録層に下の層や記録層の膜厚や特性
のばらつきは、反射率等の光学特性の変動の原因となっ
たり、また、記録層が光磁気記録層の場合には、これに
加えて直線偏光に楕円偏光成分が混入するカー楕円率の
変動の原因となり、これらの変動はトラック間の信号ク
ロストーク量を増大させる原因となっていた。例えば、
このように製造された光ディスクでは、内周部と外周部
でクロストーク量が大きく異なる。
【００１０】このように、これまでは、内周部、外周部
共に充分低いレベルで、かつ、ばらつきに小さいクロス
トーク量のディスクを製造することは困難であった。
共に充分低いレベルで、かつ、ばらつきに小さいクロス
トーク量のディスクを製造することは困難であった。
【００１１】
【課題を解決する為の手段】本発明者は、反射率等の光
学特性の変動や、直線偏光に楕円偏光成分が混入するカ
ー楕円率の変動は、ガイド溝の深さとも関係があること
から、記録層の膜厚や特性のばらつきに応じてガイド溝
深さが変化する基板を用いれば、これらのばらつきをキ
ャンセルできることを見出し、本発明をなすに至った。
学特性の変動や、直線偏光に楕円偏光成分が混入するカ
ー楕円率の変動は、ガイド溝の深さとも関係があること
から、記録層の膜厚や特性のばらつきに応じてガイド溝
深さが変化する基板を用いれば、これらのばらつきをキ
ャンセルできることを見出し、本発明をなすに至った。
【００１２】従って、本発明は第１に「光ビームをトラ
ッキングするためのガイド溝の深さが、媒体の位置によ
って異なることを特徴とする光記録媒体」を提供し、第
２に「光記録媒体は光磁気記録媒体であることを特徴と
する請求項１に記載の光記録媒体」を提供し、更に第３
に「ガイド溝の深さが、磁性層のカー楕円率χK の関数
に応じて変化することを特徴とする請求項２に記載の光
記録媒体」を提供する。
ッキングするためのガイド溝の深さが、媒体の位置によ
って異なることを特徴とする光記録媒体」を提供し、第
２に「光記録媒体は光磁気記録媒体であることを特徴と
する請求項１に記載の光記録媒体」を提供し、更に第３
に「ガイド溝の深さが、磁性層のカー楕円率χK の関数
に応じて変化することを特徴とする請求項２に記載の光
記録媒体」を提供する。
【００１３】
【作用】基板の半径位置により、スパッタリングされた
記録層の特性が異なるのは、上記のように、主として、
基板の各部分とスパッタリングターゲットの相対的位置
関係の違いやスパッタリング用ガスの圧力分布のばらつ
きが原因であると考えられる。これらの原因は完全に取
り除くことは困難である反面、スパッタリングを繰り返
した際の再現性はかなり高い。
記録層の特性が異なるのは、上記のように、主として、
基板の各部分とスパッタリングターゲットの相対的位置
関係の違いやスパッタリング用ガスの圧力分布のばらつ
きが原因であると考えられる。これらの原因は完全に取
り除くことは困難である反面、スパッタリングを繰り返
した際の再現性はかなり高い。
【００１４】一方、媒体の各部分における反射率や、光
磁気記録媒体の場合には、カー回転角とカー楕円率がわ
かっていれば、ガイド溝の深さを適当に調節することに
より信号クロストーク量を小さくすることができる。例
えば、カー楕円率χK が大きな媒体にランド・グルーブ
記録を行う場合、ランド再生にとってクロストークが最
小になるガイド溝深さと、グルーブ再生にとってクロス
トークが最小になるガイド溝深さは異なってしまう。こ
の場合、ランド再生のクロストークを低下させるために
は、更にガイド溝を深くすることが効果的である。
磁気記録媒体の場合には、カー回転角とカー楕円率がわ
かっていれば、ガイド溝の深さを適当に調節することに
より信号クロストーク量を小さくすることができる。例
えば、カー楕円率χK が大きな媒体にランド・グルーブ
記録を行う場合、ランド再生にとってクロストークが最
小になるガイド溝深さと、グルーブ再生にとってクロス
トークが最小になるガイド溝深さは異なってしまう。こ
の場合、ランド再生のクロストークを低下させるために
は、更にガイド溝を深くすることが効果的である。
【００１５】従って、ガイド溝深さが半径位置により異
なる基板を用いれば、媒体全面にわたって信号クロスト
ーク量が小さく、かつ、一定な媒体を安定して製造する
ことが可能となる。
なる基板を用いれば、媒体全面にわたって信号クロスト
ーク量が小さく、かつ、一定な媒体を安定して製造する
ことが可能となる。
【００１６】
【実施例１】まず、ピッチ 1.6μm でガイド溝が形成さ
れた直径 305mmの基板を用意する。ガイド溝の深さは、
内周部（半径 65 〜90mm）では 75nm 、中周部（半径 9
0 〜120mm ）では 80nm 、外周部（半径 120〜146mm ）
では 85nm であり、ランドとグルーブの幅は共に 0.8μ
m である。この基板にスパッタリングにより記録磁性層
を成膜して、光磁気ディスクを製作する。
れた直径 305mmの基板を用意する。ガイド溝の深さは、
内周部（半径 65 〜90mm）では 75nm 、中周部（半径 9
0 〜120mm ）では 80nm 、外周部（半径 120〜146mm ）
では 85nm であり、ランドとグルーブの幅は共に 0.8μ
m である。この基板にスパッタリングにより記録磁性層
を成膜して、光磁気ディスクを製作する。
【００１７】この光磁気ディスクを 1000 rpm で回転さ
せながら、約２μm の長さのマークを内周部、中周部、
及び外周部のランドに記録した後、1.5 mWの再生ビーム
強度で、それぞれ隣接するグルーブを再生してクロスト
ーク量を測定する。また、同様の条件でグルーブにマー
クを記録した後、隣接するランドを再生した場合のクロ
ストーク量を測定する。これらの結果を表１に示す。
せながら、約２μm の長さのマークを内周部、中周部、
及び外周部のランドに記録した後、1.5 mWの再生ビーム
強度で、それぞれ隣接するグルーブを再生してクロスト
ーク量を測定する。また、同様の条件でグルーブにマー
クを記録した後、隣接するランドを再生した場合のクロ
ストーク量を測定する。これらの結果を表１に示す。
【００１８】
【表１】
【００１９】
【比較例１】ガイド溝の深さが全面にわたって 75nm の
基板を用いること以外は、全く同様の条件で記録、再生
を行い、クロストーク量を測定する。この結果も併せて
表１に示す。表１より、実施例におけるクロストーク量
は、比較例におけるクロストーク量に比べて小さく、か
つ、ばらつきが小さい。これは、外周部におけるクロス
トーク量が改善されることによるものである。
基板を用いること以外は、全く同様の条件で記録、再生
を行い、クロストーク量を測定する。この結果も併せて
表１に示す。表１より、実施例におけるクロストーク量
は、比較例におけるクロストーク量に比べて小さく、か
つ、ばらつきが小さい。これは、外周部におけるクロス
トーク量が改善されることによるものである。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
内周部と外周部でクロストーク量のばらつきが小さく、
かつ、そのレベルが充分低い光ディスクを製造すること
ができる。
内周部と外周部でクロストーク量のばらつきが小さく、
かつ、そのレベルが充分低い光ディスクを製造すること
ができる。
【図１】 本発明の実施例に係る光記録媒体に使用する
基盤の垂直断面図である。
基盤の垂直断面図である。
Claims (3)
- 【請求項１】 光ビームをトラッキングするためのガイ
ド溝の深さが、媒体の位置によって異なることを特徴と
する光記録媒体。 - 【請求項２】 光記録媒体は光磁気記録媒体であること
を特徴とする請求項１に記載の光記録媒体。 - 【請求項３】 ガイド溝の深さが、磁性層のカー楕円率
χK の関数に応じて変化することを特徴とする請求項２
に記載の光記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7070997A JPH08273225A (ja) | 1995-03-29 | 1995-03-29 | 光記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7070997A JPH08273225A (ja) | 1995-03-29 | 1995-03-29 | 光記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08273225A true JPH08273225A (ja) | 1996-10-18 |
Family
ID=13447717
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7070997A Pending JPH08273225A (ja) | 1995-03-29 | 1995-03-29 | 光記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08273225A (ja) |
-
1995
- 1995-03-29 JP JP7070997A patent/JPH08273225A/ja active Pending
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