JPH0827254B2 - 薄膜型ガスセンサ - Google Patents
薄膜型ガスセンサInfo
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- JPH0827254B2 JPH0827254B2 JP3284041A JP28404191A JPH0827254B2 JP H0827254 B2 JPH0827254 B2 JP H0827254B2 JP 3284041 A JP3284041 A JP 3284041A JP 28404191 A JP28404191 A JP 28404191A JP H0827254 B2 JPH0827254 B2 JP H0827254B2
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- gas sensor
- layer
- oxide
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Description
の接合強度を向上させた薄膜型ガスセンサに関するもの
である。
ジルコニアを固体電解質として用いた酸素センサが知ら
れている。この酸素センサは、ジルコニア(ZrO2)
にイットリア(Y2O3)、マグネシア(MgO)、カル
シア(CaO)等の酸化物を数mol%程度添加した安
定化ジルコニアを固体電解質として用いたもので、通
常、マグネトロンスパッタ装置等を用いて多孔質のアル
ミナ(Al2O3)基板上に、多孔質の白金(Pt)電極
層、ZrO2ー8mol%Y2O3等の固体電解質層、多
孔質のPt電極層を順次積層して作成される。
層を一定の温度に保持し、両Pt電極層間に所定の電圧
を印加した状態にしておくと、多孔質のアルミナ基板を
通して固体電解質層に取り込まれた試料ガス中の酸素が
酸素ポンピング作用により該固体電解質層をイオンとな
って流れ、この酸素イオンをキャリアとする電流値か
ら、前記試料ガス中の酸素濃度が測定される様になって
いる。
ンサと比較して応答速度が速い、低消費電力、小型化が
可能等の様々な特徴があるために、地下室等の密室にお
ける酸欠事故防止、溶鋼中の酸素濃度測定、エンジンや
ボイラー等の燃焼管理、公害計測用等様々な目的に適合
したセンサである。
センサにおいては、単に、Pt電極層、固体電解質層、
Pt電極層を順次積層しているのみであるから、Pt電
極層と固体電解質層との接合強度が非常に弱いという欠
点があった。接合強度が弱いと、Pt電極層と固体電解
質層との界面の電気抵抗が非常に大きなものとなり前記
固体電解質層に掛かる電圧が所定の電圧より低下してし
まうこととなる。したがって、固体電解質層において酸
素ポンピング作用が良好に行われなくなり、酸素センサ
としての感度や応答性が大きく低下することとなる。こ
れらの現象は特に熱サイクルが存在する場合に顕著であ
る。
て、スパッタされる面に凹凸を形成し接触面積を増加さ
せる方法が検討されているが、Pt電極層と固体電解質
層との接合強度を大幅に高めることはできず、根本的な
解決方法にはなっていない。
てPt電極層と固体電解質層とを反応させ、Pt電極層
と固体電解質層との界面に接合層を形成する方法も考え
られているが、この方法ではPt電極層や固体電解質層
が変質する危険性があり、また、耐熱性の点から用いら
れる材料が限られてしまうために最適な材料を選択する
ことが極めて困難なものとなり、製造コストも大幅にア
ップするという欠点もある。
ものであって、電極と固体電解質との接合強度を向上さ
せることができ、かつ、高信頼性、小型化、低消費電
力、応答性の向上、低コスト等の優れた特徴を有する薄
膜型ガスセンサを提供することにある。
に、この発明は次の様な薄膜型ガスセンサを採用した。
すなわち、多孔質基板によって形成された支持部材上
に、各面に電極を積層した固体電解質を更に積層してな
る薄膜型ガスセンサにおいて、金属酸化物を主成分とす
る層を介して前記固体電解質と前記各電極とをそれぞれ
接合し、前記金属酸化物は、酸化銅(CuO)、亜酸化
銅(Cu2O )、酸化ビスマス(Bi2O3)、酸化亜鉛
(ZnO)、酸化カドミウム(CdO)、不定比酸化カ
ドミウム(CdOx(但しx<1.0)) から選択され
た少なくとも1種を含むことを特徴とする。
主成分とする層を介して前記固体電解質と、該固体電解
質の各面の電極とをそれぞれ接合することにより、前記
金属酸化物が前記固体電解質及び前記電極の表面の濡れ
性を向上させ、前記固体電解質と前記電極との間の接合
強度を大幅に向上させる。また、本発明の薄膜型ガスセ
ンサでは前記金属酸化物が、CuO,Cu2O,Bi2O
3,ZnO,CdO,CdOx(但しx<1.0)から選
択された少なくとも1種を含むことにより、これらの金
属酸化物が前記固体電解質及び前記電極の表面の濡れ性
を向上させ、前記固体電解質と前記電極との間の接合強
度を大幅に向上させる。
施例である酸素センサ1を示す正断面図である。この酸
素センサ1は、多孔質アルミナからなる基板2の上に、
多孔質のPt電極層3、金属酸化物層4、ZrO2ー8
mol%Y2O3からなる固体電解質層5、金属酸化物層
6、多孔質のPt電極層7を順次積層したものである。
%とBi2O350%の共晶であるが、前記共晶以外に、
CuO,Cu2O,Bi2O3,ZnO,CdO,CdOx
(但しx<1.0)の各薄膜、あるいはCuOとCu2
Oの共晶等も好適に用いられる。
スパッタ装置もしくは蒸着装置等を用いて基板2の上に
前記各層(Pt電極層3〜Pt電極層7)を順次積層し
て作成される。
図である。この図においては、該酸素センサ1を300
℃に加熱し、Pt電極層3,7間に印加される電圧の大
きさを変化させた場合に得られる電流の大きさをグラフ
化した。この図2から、この実施例の酸素センサ1は、
良好な限界電流特性を示すことが明白である。
の酸素センサのそれぞれの接合強度を比較したものであ
る。金属酸化物層は、CuO50%とBi2O350%の
共晶、CuO60%とCu2O40%の共晶、CuO,
Bi2O3の4種類を用いた。また、接合強度の評価は、
基板上の積層を格子状に切断して2×2mmの大きさの
試験片を10個作成し、これらの試験片のPt電極層に
テープを貼り付けた後に再びこのテープを剥離し、Pt
電極層が90%以上残っている試験片の数を求めること
により行った。
センサは従来例の酸素センサと比べてPt電極層と固体
電解質層との接合強度が大幅に向上していることがわか
る。
サ1によれば、基板2の上に、Pt電極層3、金属酸化
物層4、固体電解質層5、金属酸化物層6、Pt電極層
7を順次積層し、前記金属酸化物層4,6はCuO,C
u2O,Bi2O3,ZnO,CdO,CdOx(但しx<
1.0)から選択された少なくとも1種を含むものとし
たので、金属酸化物層4,6が固体電解質層5及びPt
電極層3,7の表面の濡れ性を向上させ、固体電解質層
5とPt電極層3,7との間の接合強度を大幅に向上さ
せることができる。したがって、感度や応答性等の電気
特性を大幅に向上させることができる。
力、応答性の向上、低コスト等の優れた特徴を有する薄
膜型の酸素センサを提供することが可能になる。
ガスセンサによれば、固体電解質の両面に電極を形成し
てなる薄膜型ガスセンサにおいて、金属酸化物を主成分
とする層を介して固体電解質と、該固体電解質の各面の
電極とをそれぞれ接合してなることとしたので、前記金
属酸化物が前記固体電解質及び前記電極の表面の濡れ性
を向上させ、前記固体電解質と前記電極との間の接合強
度を大幅に向上させることができる。したがって、該薄
膜型ガスセンサの感度や応答性等の電気特性を大幅に向
上させることができる。また、本発明の薄膜型ガスセン
サによれば、前記金属酸化物は、CuO,Cu2O,B
i2O3,ZnO,C dO,CdOx(但しx<1.0)
から選択された少なくとも1種を含むこととしたの
で、これらの金属酸化物が前記固体電解質及び前記電極
の表面の濡れ性を向上させ、前記固体電解質と前記電極
との間の接合強度を大幅に向上させることができる。し
たがって、該薄膜型ガスセンサの感度や応答性等の電気
特性を大幅に向上させることができる。
力、応答性の向上、低コスト等の優れた特徴を有する薄
膜型ガスセンサを提供することが可能になる。
素センサを示す正断面図である。
素センサの限界電流特性を示すグラフである。
6…金属酸化物層、5…固体電解質層
Claims (1)
- 【請求項1】 多孔質基板によって形成された支持部材
上に、各面に電極を積層した固体電解質を更に積層して
なる薄膜型ガスセンサにおいて、 金属酸化物を主成分とする層を介して前記固体電解質と
前記各電極とをそれぞれ接合し、 前記金属酸化物は、酸化銅(CuO)、亜酸化銅(Cu
2O )、酸化ビスマス(Bi2O3)、酸化亜鉛(Zn
O)、酸化カドミウム(CdO)、不定比酸化カドミウ
ム(CdOx(但しx<1.0)) から選択された少な
くとも1種を含むことを特徴とする薄膜型ガスセンサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3284041A JPH0827254B2 (ja) | 1991-10-04 | 1991-10-04 | 薄膜型ガスセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3284041A JPH0827254B2 (ja) | 1991-10-04 | 1991-10-04 | 薄膜型ガスセンサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0599892A JPH0599892A (ja) | 1993-04-23 |
JPH0827254B2 true JPH0827254B2 (ja) | 1996-03-21 |
Family
ID=17673532
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3284041A Expired - Fee Related JPH0827254B2 (ja) | 1991-10-04 | 1991-10-04 | 薄膜型ガスセンサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0827254B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20210057759A1 (en) | 2018-01-29 | 2021-02-25 | Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd. | Oxygen permeable element and sputtering target material |
US10879735B2 (en) * | 2018-03-12 | 2020-12-29 | Omega Energy Systems, Llc | Solid-state energy harvester of transition metal suboxides |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63158451A (ja) * | 1986-12-23 | 1988-07-01 | Tech Res Assoc Conduct Inorg Compo | 燃焼制御用センサ |
JPS63261150A (ja) * | 1987-04-17 | 1988-10-27 | Tech Res Assoc Conduct Inorg Compo | 燃焼制御用センサ |
JPH01102355A (ja) * | 1987-10-16 | 1989-04-20 | Tech Res Assoc Conduct Inorg Compo | 燃焼制御用センサ |
JPH02167461A (ja) * | 1988-12-21 | 1990-06-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 燃焼制御用センサ |
-
1991
- 1991-10-04 JP JP3284041A patent/JPH0827254B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0599892A (ja) | 1993-04-23 |
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