JPH08262361A - ポリゴンミラーの取付構造 - Google Patents

ポリゴンミラーの取付構造

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JPH08262361A
JPH08262361A JP7086541A JP8654195A JPH08262361A JP H08262361 A JPH08262361 A JP H08262361A JP 7086541 A JP7086541 A JP 7086541A JP 8654195 A JP8654195 A JP 8654195A JP H08262361 A JPH08262361 A JP H08262361A
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JP
Japan
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polygon mirror
locking member
mounting structure
mirror
annular groove
Prior art date
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Pending
Application number
JP7086541A
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English (en)
Inventor
Soichi Isobe
壮一 磯部
Kazunori Hashimoto
和則 橋本
Toru Maruyama
徹 丸山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ebara Corp
Original Assignee
Ebara Corp
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Publication date
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    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10Scanning systems
    • G02B26/12Scanning systems using multifaceted mirrors
    • G02B26/121Mechanical drive devices for polygonal mirrors

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ジッター特性に悪影響を及ぼすことなく、経
時的にバランスが悪化することなく、且つ加工が容易で
安定性の優れたポリゴンミラーの取付構造を提供する。 【構成】 ポリゴンミラー3を回転体に固定するポリゴ
ンミラー3の取付構造において、回転体の外周に形成さ
れたミラー受座面に、上面に回転中心から所定半径の位
置に矩形断面の環状溝4を有したポリゴンミラー3を載
置し、下方に円錐又は半球形状をなす突起5bを具備し
た爪5aを外周部に複数有する平面リング状の係止部材
5を設け、ポリゴンミラー3の環状溝4に係止部材5の
突起5bを係合させ、突起5bにて溝内周上端を点接触
で押圧することによって、ポリゴンミラー3の位置固定
を行う。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はポリゴンミラーのスキャ
ナモータの回転体であるポリゴンミラーの取付構造に関
するものである。
【0002】
【従来の技術】従来から、ポリゴンミラースキャナモー
タの回転体であるポリゴンミラーを取付けるために、種
々のポリゴンミラーの取付構造が採用されている。図7
は従来のポリゴンミラーの取付構造を示す断面図であ
る。図7において、符号51は円筒状のセラミックスリ
ングであり、セラミックスリング51にスリーブ52を
焼バメし、その後スリーブ52とスリーブ55のポリゴ
ンミラー53に接する面を極めて高い精度の平面度及び
表面粗さで仕上げ、該スリーブ52とスリーブ55でポ
リゴンミラー53を挟み込み複数本のネジ66で締結し
て固定している。また、スリーブ55の下面にはモータ
のロータマグネット56が固着されている。なお、ポリ
ゴンミラー53は平面が多角形で外周には多角数に相当
するミラー面54が形成されている。
【0003】図8は上記回転体を組み込んだ従来のポリ
ゴンミラースキャナモータの断面を示す図である。ポリ
ゴンミラースキャナモータは図示するように、取付台5
7に固定された支軸58にセラミックス製ラジアル軸5
9が固定されており、該ラジアル軸59の下端面にはセ
ラミックス製スラスト板61が固定されている。上記回
転体のセラミックスリング51は、その内周面がラジア
ル軸59の外周面に摺接し、その下端面がスラスト板6
1に摺接している。また、ラジアル軸59の上端面には
支持板67の下面に固定されたセラミックス製スラスト
板60が摺接している。そして、ラジアル軸59の外周
面とセラミックスリング51の内周面でラジアル動圧軸
受を構成し、ラジアル軸59の上下端面に固定されたス
ラスト板60,61の各面とセラミックスリング51の
上下面とでスラスト動圧軸受を構成している。
【0004】支軸58の上端には、上記支持板67がボ
ルト62で固定されている。そして、支持板67の下面
の所定位置にはカウンタマグネット63が固定され、磁
性体からなるスリーブ52を所定の磁力により吊り上げ
ている。ステータコイル64に駆動電流(交流)を供給
することにより、上記ポリゴンミラー53を含む回転体
は高速回転する。
【0005】図9および図10は従来のポリゴンミラー
の取付構造の他の例を示す図である。図8に示す例にお
いては、ポリゴンミラー71は、板バネからなる環状弾
性部材72と受け座73とにより挟持されており、ポリ
ゴンミラー71は環状弾性部材72の弾性力により直接
受け座73に対して押圧されることによって固定されて
いる。
【0006】また図10に示す例においては、ポリゴン
ミラー71は上面を押え部材74によって保持されたゴ
ムリングからなる弾性部材75と受け座76とにより挟
持されており、ポリゴンミラー71は弾性部材75の弾
性力により受け座76に対して押圧されることによって
固定されている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図7に
示すポリゴンミラーの取付構造においては、ポリゴンミ
ラー53にはボルト66の貫通用の穴53aが形成され
ている。そのため、ミラー自体の剛性が弱く、高温下で
の高速回転による遠心力、熱応力によりミラー変形が大
きくなる。この変形はミラー鏡面を歪ませるだけでな
く、回転体のバランスをもずらすことになる。また、ボ
ルト締結による面摩擦力による固定のため、経時的にラ
ジアル方向の芯ズレが生じ、回転体のバランスがずれ
る。さらにはボルトによるリジット(rigid)な固定のた
め、遠心力、熱応力による変形がくり返し生じた場合、
弾性部材による固定のように復元しないので、経時的な
回転体バランスのずれ、ポリゴンミラー鏡面の歪による
ジッター等の光学性能の悪化が考えられる。
【0008】また図9に示す例においては、ポリゴンミ
ラー71は上下方向に対し押圧されているが、ラジアル
方向つまり芯に対するズレ防止としては、板バネからな
る環状弾性部材72の押圧による面摩擦に頼っている。
従って高温下で高速回転するモータの遠心力、熱応力に
より経時的に回転体のバランスがずれることがある。ま
た、板バネの外周端がポリゴンミラーの鏡面に近く、全
周にわたり押圧しており、さらには外向き力として働い
ているのでミラーの鏡面を歪ませ、この歪によりジッタ
ー等の光学性能が悪化するという欠点がある。
【0009】図10に示す例においても、同様にポリゴ
ンミラー71は、ゴムリングからなる弾性部材75のつ
ぶし代による弾性的な面摩擦力によって固定されてお
り、経時的に回転体のバランスがずれることが考えられ
る。また、ゴムリングが全周にわたり押圧しているの
で、ミラー鏡面の歪が増大し、この歪によりジッター等
の光学性能が悪化するという欠点がある。
【0010】本発明は上述の事情に鑑みなされたもの
で、ジッター特性に悪影響を及ぼすことなく、経時的に
バランスが悪化することなく、且つ加工が容易で安定性
の優れたポリゴンミラーの取付構造を提供することを目
的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、ポリゴンミラーを回転体に固定するポリ
ゴンミラーの取付構造において、前記回転体の外周に形
成されたミラー受座面に、上面に回転中心から所定半径
の位置に矩形断面の環状溝を有したポリゴンミラーを載
置し、下方に円錐又は半球形状をなす突起を具備した爪
を外周部に複数有する平面リング状の係止部材を設け、
前記ポリゴンミラーの環状溝に前記係止部材の突起を係
合させ、該突起にて溝内周上端を点接触で押圧しさらに
外周上端にも点接触することによって、ポリゴンミラー
の位置固定を行うことを特徴とする。
【0012】
【作用】本発明によれば、図3に示すようにポリゴンミ
ラー3の環状溝4に係止部材5の突起5bを係合させる
ことにより、ポリゴンミラー3は、係止部材5の突起5
bにより環状溝4の内周上端4aが点接触にて押圧され
る。このとき、ポリゴンミラー3には斜め下方に力Fが
加わり、この力Fの分力FaとFbにより、ポリゴンミ
ラー3はラジアル方向と下方向に同時に押圧されること
になる。この場合、押圧点が点接触であり、かつ内径方
向なのでポリゴンミラーの鏡面には全く力が加わらず、
従って歪も発生しない。また突起5bは環状溝4の外周
上端4bにも軽く点接触する。
【0013】
【実施例】以下、本発明に係るポリゴンミラーの取付構
造の実施例を図面を参照して説明する。図1は本発明の
ポリゴンミラーの取付構造の一実施例を示す断面図であ
る。図1において、符号1は内周面がラジアル動圧軸受
の摺動面となり両端面がスラスト動圧軸受の摺動面とな
る円筒状のセラミックス材からなるセラミックスリング
である。セラミックスリング1の外周にはスリーブ2が
焼バメされている。スリーブ2はその高さ寸法がセラミ
ックスリング1の高さ寸法と略同一で、セラミックスリ
ング1の全外周面に渡って焼バメされるようになってい
る。これにより焼バメによる残留応力は均一となる。
【0014】また、スリーブ2は外周に小径部2aと大
径部2bを有する断面L字状の円筒状のスリーブであ
り、小径部2aと大径部2bの間に設けた段差部にポリ
ゴンミラー3の下面を受けるリング状のミラー受座面2
cが形成されている。ポリゴンミラー3は周囲にミラー
面3aが多角数だけ形成され、中央部にスリーブ2の小
径部2aが貫通する貫通孔3bが形成されている。ま
た、ポリゴンミラー3の上面には、回転中心から所定半
径の位置に矩形断面の環状溝4が形成されている。
【0015】また、ポリゴンミラー3の上方にはネジ6
によってスリーブ2に固定された係止部材5が設けられ
ている。スリーブ2の下面にはモータのロータマグネッ
ト7が固定されている。図2は係止部材の構造を示す図
であり、図2(a)は平面図、図2(b)は断面図であ
る。図2に示すように、係止部材5は、中央にセラミッ
クリング1が貫通する貫通孔5cが形成された弾性を有
する金属板(SK5を焼入れ)からなる平面リング状
で、その外周部に複数の爪5aが突設されている。そし
て、爪5aには、下面に円錐状の突起5bが一体に形成
されている。なお、符号5dはネジ6を挿通する挿通孔
である。
【0016】次に、ポリゴンミラー3の取付方法を簡単
に説明する。ポリゴンミラー3の貫通孔3bにセラミッ
クスリング1の外周に焼バメしたスリーブ2の小径2a
を貫通させ、ミラー受座面2c上にポリゴンミラー3を
載置し、更にポリゴンミラー3上に係止部材5を載置
し、該係止部材5をスリーブ2の上端面に設けた複数の
ネジ穴2dに螺合するネジ6で締め付ける。これによ
り、係止部材5の外周に設けられた複数の爪5aの下面
に設けられた突起5bをポリゴンミラー3の環状溝4に
係合させる。ポリゴンミラー3の環状溝4に係止部材5
の突起5bを係合させることにより、ポリゴンミラー3
は、図1のA部拡大図である図3に示すように、係止部
材5の突起5bにより環状溝4の内周上端4aが点接触
にて押圧される。このとき、ポリゴンミラー3には斜め
下方に力Fが加わり、この力Fの分力FaとFbによ
り、ポリゴンミラー3はラジアル方向と下方向に同時に
押圧されることになる。この場合、押圧点が点接触であ
り、かつ内径方向なのでポリゴンミラーのミラー面3a
には全く力が加わらず、従って歪も発生しない。また突
起5bは環状溝4の外周上端4bにも軽く点接触する。
ここでセラミックスリング1とスリーブ2とはポリゴン
ミラー3を固定する回転体を構成する。
【0017】図1および図2において、ポリゴンミラー
3の環状溝4の内・外周の加工精度は1/100mmレベ
ルが可能である。そして、係止部材5の爪5aに形成さ
れた突起5bは、図3に示すように環状溝4の内外周上
端4a,4bに点接触すればよいので、突起5bは内周
上端4aを押圧し、外周上端4bに軽く接するというよ
うな固定が可能となる。また、図1および図3に示すよ
うに、円錐状の突起5bの先端の高さより、ポリゴンミ
ラー3の環状溝4の底面の方が深いため、係止部材5の
突起5bは環状溝4の内外周上端4a,4bに接するこ
とができる。なお、係止部材5は、遠心力、熱応力に対
する復元性を持たせ、環状溝4の形状にならって接触す
ること等を考慮した場合、板バネ等の弾性部材からなる
ことが望ましい。
【0018】本発明においては、係止部材5の爪5aの
位置以外の箇所を利用して、ポリゴンミラー3の環状溝
4内にバランス修正用接着剤を塗布することによって、
回転体のバランス修正を行うことができる。
【0019】図4は本発明の係止部材5の変形例を示す
実施例である。本実施例においては、係止部材5の爪5
aの下面に形成された突起5bは半球形状をしている。
その他の構成は図1および図2に示す係止部材と同様で
ある。また本実施例の係止部材5の作用は図3に示す作
用と同様である。
【0020】図5は本発明の他の実施例を示す図であ
る。図において係止部材は突起5bを具備した爪5aを
複数有する平面リング5Aと、弾性部材からなる平面リ
ング5Bの2つを重ねた物からなっている。板バネはそ
の板厚と押圧力Fは比例関係にある。適度な押圧力を得
るためには板厚が厚くなる場合がある。板厚が厚くなる
と、板バネの成形上、突起が円錐の場合はその先端が鈍
に、半球の場合その先端は大きくなってしまう。ミラー
の加工及び変形からも、ミラーに設ける溝4は極力狭く
浅い方が望ましい。従って溝に係合する突起も鋭で小さ
い方が望ましい。以上より、係止部材5を板厚のうすく
鋭突起となる平面リング5Aと、弾性効果を得る弾性部
材5Bの2つを重ねて構成する場合がある。
【0021】図6は本発明の他の実施例を示す図であ
り、図6(a)はその断面図、図6(b)は係止部材の
平面図である。図6に示す実施例においては、係止部材
15は、中央にセラミックリング1が貫通する貫通孔1
6cが形成された弾性を有する金属板からなりその外周
部に複数の爪16aを具備した平面リング状の平板16
と、爪16aの下面に固着された円錐又は半球形状のゴ
ム又は樹脂等の弾性部材からなる突起17とから構成さ
れている。このように突起を別部材として別途製作する
と、図2や図4に示す係止部材のように板バネをプレス
にて突起を出すよりも突起自体の寸法精度は出しやす
く、又形状も自由に作ることができる。なお、符号16
dはネジ6を挿通する挿通孔である。ポリゴンミラー3
の環状溝4の構造は図1および図2に示す実施例と同様
であり、係止部材15の作用は図3に示す作用と同様で
ある。
【0022】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、以
下に列挙する効果が得られる。 (1)ポリゴンミラーを面摩擦ではなく、直接、係止部
材にて押圧固定し、押圧力が下方向とラジアル方向の両
方向に加わるので、経時的な回転体のバランスずれが生
じない。 (2)ポリゴンミラー自体に、ボルト取付のための数個
所の貫通孔がなくなったため、ミラー自体の剛性が高く
なり、従ってミラー鏡面の変形が少なくなったので、ジ
ッター等の光学性能がよくなる。 (3)ポリゴンミラーを係止部材によって弾性的に固定
している。従って、高温高速回転下で加わる遠心力、熱
応力のくり返しによる変形に対し、復元可能な態様で固
定を行っているので、経時的な回転体バランスずれ、ジ
ッター等の光学性能の劣化がなくなる。 (4)ポリゴンミラーを極力小領域(点接触)にて固定
し、さらにはポリゴンミラーを極力内径側でかつ内径方
向に押圧している。従ってポリゴンミラーへの押圧固定
力がミラー鏡面まで伝わらないため、鏡面に悪影響を及
ぼす歪も発生せず、ジッター等の光学性能が改善され
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るポリゴンミラーの取付構造の一実
施例を示す断面図である。
【図2】図1における係止部材の詳細構造を示す図であ
り、図2(a)は平面図、図2(b)は断面図である。
【図3】図1のA部拡大断面図であり、係止部材と環状
溝の作用を説明する図である。
【図4】本発明に係るポリゴンミラーの取付構造におけ
る係止部材の他の実施例を示す断面図である。
【図5】本発明に係るポリゴンミラーの取付構造の他の
実施例を示す半断面図である。
【図6】本発明に係るポリゴンミラーの取付構造の更に
他の実施例を示す図であり、図6(a)はその半断面
図、図6(b)は係止部材の平面図である。
【図7】従来のポリゴンミラーの取付構造を示す断面図
である。
【図8】従来のポリゴンミラースキャナーモータの断面
図である。
【図9】従来のポリゴンミラーの取付構造を示す断面図
である。
【図10】従来のポリゴンミラーの取付構造を示す断面
図である。
【符号の説明】 1 セラミックスリング 2 スリーブ 3 ポリゴンミラー 3a ミラー面 4 環状溝 4a 内周上端 4b 外周上端 5 係止部材 5a 爪 5b 突起 6 ネジ 15 係止部材 16 平板 17 突起

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ポリゴンミラーを回転体に固定するポリ
    ゴンミラーの取付構造において、前記回転体の外周に形
    成されたミラー受座面に、上面に回転中心から所定半径
    の位置に矩形断面の環状溝を有したポリゴンミラーを載
    置し、下方に円錐又は半球形状をなす突起を具備した爪
    を外周部に複数有する平面リング状の係止部材を設け、
    前記ポリゴンミラーの環状溝に前記係止部材の突起を係
    合させ、該突起にて溝内周上端を点接触で押圧すること
    によって、ポリゴンミラーの位置固定を行うことを特徴
    とするポリゴンミラーの取付構造。
  2. 【請求項2】 前記突起は前記環状溝の外周上端に点接
    触することを特徴とする請求項1記載のポリゴンミラー
    の取付構造。
  3. 【請求項3】 前記環状溝内にバランス修正用接着剤を
    塗布することによって、回転体のバランス修正を行うこ
    とを特徴とする請求項1又は2記載のポリゴンミラーの
    取付構造。
  4. 【請求項4】 前記係止部材は弾性部材からなることを
    特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のポリ
    ゴンミラーの取付構造。
  5. 【請求項5】 前記係止部材は、突起を具備した爪を外
    周部に複数有する平面リングと弾性部材からなる平面リ
    ングを重ねたものであることを特徴とする請求項1乃至
    3のいずれか1項に記載のポリゴンミラーの取付構造。
  6. 【請求項6】 前記突起は前記爪に一体に形成されてい
    ることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記
    載のポリゴンミラーの取付構造。
  7. 【請求項7】 前記突起は弾性部材からなり、該突起は
    前記爪に固着されていることを特徴とする請求項1乃至
    4のいずれか1項に記載のポリゴンミラーの取付構造。
JP7086541A 1995-03-17 1995-03-17 ポリゴンミラーの取付構造 Pending JPH08262361A (ja)

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