JPH08261208A - 複合アクチュエータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 回転運動と直動運動の同期を正確にとって、
回転軸の突出端を任意の経路でスムーズに回転及び直動
可能な複合アクチュエータを提供すること。 【構成】 複合アクチュエータ１１は、中空状のシリン
ダチューブ２０と、シリンダチューブ２０の中心に固設
され、外周に螺旋状の着磁帯１３が形成された雄磁気ネ
ジ軸１２と、シリンダチューブ２０内に摺動自在に嵌合
されたピストン１７と、内周に螺旋状の着磁帯２８が形
成された雌磁気ネジ１８と、ピストン１７の端面に付設
されピストン１７に対し回転自在なスラストベアリング
１５と、シリンダチューブ２０の外に突出する突出端と
を備える回転軸１４とを有し、ピストン１７がシリンダ
チューブ２０内を摺動することにより、回転軸１４が直
進運動と回転運動とを同時に行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、回転運動と直進運動と
を兼ね備えた複合アクチュエータに関し、さらに詳細に
は、回転運動と直進運動とが同時に行われる複合アクチ
ュエータに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、例えば、ロボットハンド等におい
て、回転運動と直進運動とを同時に行う複合アクチュエ
ータが使用されている。図７及び図８に、回転運動と直
進運動とを同時に行う従来の複合アクチュエータ１０１
を示す。これは、特公昭４９−４１５５０号に開示され
ている技術である。ロボットハンド１０２が、シリンダ
内を摺動するピストン１０３と一体的に設けられてい
る。ピストン１０３は、中空状のシリンダチューブ１０
４内を摺動する。シリンダチューブ１０４の中心には、
ガイド棒１０５が固設されている。ガイド棒１０５の外
周には、ガイド溝１０６が形成されている。ピストン１
０３の内面には、ガイド溝１０６に対して転動可能で、
かつピストン１０３に対して常に定位置にあって回転可
能な状態にガイドボール１０９が保持されている。ま
た、ピストン１０３は、復帰バネ１０７により上方向に
付勢されている。また、シリンダチューブ１０４には、
ピストン１０３より上側の位置に油圧供給ポート１０８
が形成されている。

【０００３】次に、上記構成を有する従来の複合アクチ
ュエータ１０１の作用を説明する。図７は、油圧供給ポ
ート１０８に作動油が供給されていない状態を示してい
る。また、図８は、油圧供給ポート１０８に作動油が供
給されている状態を示している。油圧供給ポート１０８
に作動油が供給されていない場合、ピストン１０３は、
復帰バネ１０７に付勢されてシリンダチューブ１０４の
中空部の上側に位置している。このとき、ロボットハン
ド１０２は、シリンダチューブ１０４から最も離間した
位置にある。また、ガイドボール１０９がガイド溝１０
６の上端部にあり、ロボットハンド１０２は、図７に示
すように、図の平面上にある。

【０００４】次に、油圧供給ポート１０８に作動油が供
給された場合、ピストン１０３が下向きに移動され、図
８の状態になる。このとき、ロボットハンド１０２は、
ロボットハンド１０２に最も近い位置にある。また、ガ
イドボール１０９がガイド溝１０６の下端部にあり、ロ
ボットハンド１０２は、図８に示すように、図と垂直な
位置に回転している。ここで、ロボットハンド１０２
が、図７の位置から図８の位置に移動する場合に、ロボ
ットハンド１０２の上下方向の位置、及びロボットハン
ド１０２の回転方向の位置は共に、ガイド溝１０６とガ
イドボール１０９とにより一義的に決定されるため、ロ
ボットハンド１０２の上下運動と回転運動とは、正確に
同期されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
複合アクチュエータには、次のような問題点があった。
すなわち、ガイドボール１０９が、ピストン１０３の内
面孔で回転し、かつガイド溝１０６に沿って転動するの
で、転動部等で摩耗粉が発生し、その摩耗粉により孔や
溝が削られたり、またガイドボール１０９に傷が付いた
りすることがあり、それにより、ロボットハンド１０２
の回転運動及び上下運動がスムーズでなくなる問題があ
った。その結果、ロボットハンド１０２が把持している
ワークの位置が狂ったりする問題があった。

【０００６】本発明は、回転運動と直動運動とを同時に
行って、回転軸の突出端を任意の経路でスムーズに回転
及び直動可能な複合アクチュエータを提供することを目
的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、本発明の複合アクチュエータは、（１）中空状のシ
リンダチューブと、（２）シリンダチューブの中心に固
設され、外周に螺旋状の着磁帯が形成された雄磁気ネジ
軸と、（３）シリンダチューブ内に摺動自在に嵌合さ
れ、シリンダチューブに対する回転を防止する回転防止
手段を備えるピストンと、（４）内周に螺旋状の着磁帯
が形成された雌磁気ネジと、ピストンの端面に付設され
ピストンに対し回転自在な回転保持手段と、シリンダチ
ューブの外に突出する突出端とを備える回転軸とを有
し、（５）ピストンがシリンダチューブ内を摺動するこ
とにより、回転軸が直進運動と回転運動とを同期して行
う。

【０００８】また、本発明の複合アクチュエータは、
（１）中空状のシリンダチューブと、（２）シリンダチ
ューブの中心に固設され、外周に螺旋状の着磁帯が形成
された雄磁気ネジ軸と、（３）シリンダチューブ内に摺
動自在に嵌合されると共に、内周に螺旋状の着磁帯が形
成された雌磁気ネジと、（４）シリンダチューブの外に
突出する突出端とを備えるピストンとを有し、（５）ピ
ストンがシリンダチューブ内を摺動することにより、突
出端が直進運動と回転運動とを同期して行う。

【０００９】また、本発明の複合アクチュエータは、上
記複合アクチュエータにおいて、前記雄磁気ネジ軸が、
外周全周に螺旋状の切れ目のない着磁帯が形成された一
体的な磁気ネジ部を有し、前記雌磁気ネジが、内周全周
に螺旋状の切れ目のない着磁帯が形成された一体的な雌
磁気ネジ部を有することを特徴とする。また、本発明の
複合アクチュエータは、上記複合アクチュエータにおい
て、前記ピストンの端面であって、前記シリンダの空気
室に駆動空気を供給する空気孔に対応する位置に、ショ
クアブソーバ用カップが取り付けられていることを特徴
とする。

【００１０】

【作用】直動型シリンダアクチュエータのピストンが摺
動すると、回転軸はピストンと一体的に摺動する。同時
に、回転軸の内周に備えられている雌磁気ネジが、固設
されている雄磁気ネジより磁力を受ける。ここで、ピス
トンは回転防止手段により、シリンダチューブに対して
回転しないようにすると良い。そして、回転軸は回転保
持手段により、ピストンに対して回転自在に取り付けら
れているので、回転軸はピストンの摺動に伴ってシリン
ダチューブの軸心方向に直進摺動すると同時に、ピスト
ンに対してシリンダチューブの軸心を中心にして回転運
動する。これにより、回転軸は、直進運動と回転運動を
同時に行う。

【００１１】回転軸が直進運動と回転運動とを同時に行
うとき、直進する位置は、シリンダチューブ内を摺動す
るピストンの位置により決定される。同時に、回転軸が
回転する位置は、雄磁気ネジ軸に対する回転軸の位置、
すなわち、雄磁気ネジ軸はシリンダチューブに固設され
ているので、シリンダチューブに対する回転軸の位置に
より決定される。従って、回転軸の直進位置と回転位置
とは、共にシリンダチューブに対するピストンの位置に
より一義的に定められる。このことから、雄磁気ネジ軸
と雌磁気ネジとの各々の着磁帯を任意に設計することに
より、回転軸に取り付けたハンド等を空間の任意の経路
を辿らせることが可能である。

【００１２】また、ピストンに回転防止手段を取り付け
ない場合には、外部手段により、回転軸に対して任意の
回転を与えることが可能である。また、回転軸をピスト
ンと一体に形成することもできる。この場合、ピストン
の外部突出部を構成する突出端が直進運動と回転運動と
を同期して行う。この場合は、ピストンの外周部が、ピ
ストンチューブの内面と直進摺動すると同時に回転摺動
する。

【００１３】

【実施例】以下、本発明を具体化した一実施例である複
合アクチュエータを図面に基づいて詳細に説明する。図
１に複合アクチュエータ１１の構成を断面図で示す。シ
リンダボディは、中空円筒状のシリンダチューブ２０と
その両端を塞ぐ左エンドカバー２１，右エンドカバー２
２により構成されている。右エンドカバー２２の左側端
面の中心には、シリンダチューブ２０の中心線に沿っ
て、外周に螺旋状の着磁帯１３を有する雄磁気ネジ軸１
２が片持ち状態でボルトにより固設されている。

【００１４】また、シリンダチューブ２０の内部には、
シリンダチューブ２０に対して摺動可能にピストン１７
が嵌合されている。また、ピストン１７の中心に形成さ
れた孔が雄磁気ネジ軸１２に嵌合しており、ピストン１
７は、雄磁気ネジ軸１２に対しても摺動自在である。図
４に図１のＣＣ断面図を示す。図４に示すように、ピス
トン１７の外周断面及びシリンダチューブ２０の内周断
面は、楕円形状であり、各々が嵌合しているので、ピス
トン１７はシリンダチューブ２０に対する回転が防止さ
れており、ピストン１７はシリンダチューブ２０に対し
て摺動はするが、回転することがない。

【００１５】一方、ピストン１７の左端面には、スラス
トベアリング１５を介して、回転軸１４が回転自在に止
めリング１６により保持されている。回転軸１４は、中
空形状であり、その中空部には、内周に螺旋状の着磁帯
２８が形成された雌磁気ネジ１８が固設されている。雌
磁気ネジ１８は、中空形状であり、その中空部には、雄
磁気ネジ軸１２が位置している。ここで、雌磁気ネジ１
８の内周と雄磁気ネジ軸１２の外周の間には、わずかな
隙間が形成され、雌磁気ネジ１８と雄磁気ネジ軸１２と
は接触しない状態でお互いに保持されている。

【００１６】回転軸１４の左端は、左エンドカバー２１
の中央孔よりシリンダチューブ２０の外に突出してい
る。突出した回転軸１４の左端には、図中上方向に延び
たハンド３３が取り付けられている。シリンダチューブ
２０内は、ピストン１７により左右に、左空気室２５と
右空気室２６との２つの空気室に分けられている。左エ
ンドカバー２１には、左空気室２５と連通する左空気ポ
ート１９が形成されている。また、右エンドカバー２２
には、右空気室２６と連通する右空気ポート３４が形成
されている。

【００１７】次に、複合アクチュエータ１１で使用して
いる雄磁気ネジ軸１２及び雌磁気ネジ１８の構成を詳細
に説明する。雄磁気ネジ軸１２は、図５に示すように、
ロッド部材３１、及びロッド部材３１の外周に嵌合され
接着された雄スパイラル円筒磁石３２より構成される雄
磁気ネジ軸１２とから構成されている。ロッド部材３１
は、高透磁性の材料（例えば鉄、酸化鉄、ニッケル、コ
バルト若しくはこれらを主成分とする合金その他の化合
物等）より成形されている。雄スパイラル円筒磁石３２
は円筒形状の磁石であって、螺旋状に形成された複数本
の着磁帯１３を有している。隣接する着磁帯１３同士は
着磁の極性が逆向きとなっている。すなわち、ある着磁
帯１３において外面にＮ極が着磁されていれば、その隣
の着磁帯１３においては外面にＳ極が着磁されている。
そして、図５に示すように、雄磁気ネジ軸１２の表面に
は、螺旋状にＮ極とＳ極とが交互に着磁された着磁帯１
３が整然と形成されている。

【００１８】一方、回転軸１４の内側には、雄磁気ネジ
１２軸に対応する位置に雌磁気ネジ１８が固設されてい
る。雌磁気ネジ１８は、図５に示すように、中空円筒状
の雌スパイラル円筒磁石２９が、高透磁性材料（例えば
鉄、酸化鉄、ニッケル、コバルト若しくはこれらを主成
分とする合金その他化合物等）から成形されるジャケッ
ト部材３０の内周に固着されることにより構成されてい
る。雌磁気ネジ１８の内周には、図５に示すように、螺
旋状にＮ極とＳ極とが交互に着磁された着磁帯２８が形
成されている。雄スパイラル円筒磁石３２の外周半径は
ｒであり、雌スパイラル円筒磁石２９の内周半径はｒ＋
αである。ここで、αは、雌スパイラル円筒磁石２９と
雄スパイラル円筒磁石３２との隙間を示している。

【００１９】上記構成を有する雄スパイラル円筒磁石３
２及び雌スパイラル円筒磁石２９は、以下の特徴を有し
ている。すなわち、機械的強度に優れる。中空部分に強
度部材を挿入するか、又は周囲を強度部材で覆うことが
できるからである。図５の磁気ネジでは、ロッド部材３
１及びジャケット部材３０が、かかる強度部材に相当す
る。この強度部材により機械的強度が確保されるので、
雄スパイラル円筒磁石３２及び雌スパイラル円筒磁石２
９として、磁石材料としては優れるが材質的に脆いフェ
ライト系や希土類系の材料で形成しても問題はない。そ
して、強度部材を高透磁性の材料で構成すれば、雄スパ
イラル円筒磁石３２及び雌スパイラル円筒磁石２９の強
い磁力を更に有効に利用することができる。

【００２０】次に、上記構成を有する複合アクチュエー
タ１１の作用を説明する。図１は、左空気ポート１９に
圧縮空気が供給され、ピストン１７が右側に押し付けら
れている状態を示している。この状態では、回転軸１４
は、シリンダチューブ２０に最も近い位置にあり、ハン
ド３３が左方向から見て上向きに位置している。次に、
図示しない電磁弁により、圧縮空気の供給が、左空気ポ
ート１９から右空気ポート３４へ切り替えられた場合を
説明する。ピストン１７は、圧縮空気に押されて左方向
に移動する。このとき、ピストン１７の断面形状が楕円
状であり、同形状のシリンダチューブ２０と嵌合してい
るので、ピストン１７は回転せずにシリンダチューブ２
０内を摺動する。

【００２１】ピストン１７が、図中矢印Ａで示すように
左方向に直進移動すると、雌磁気ネジ１８も共に直進移
動するため、回転軸１４の内側に固設された雌磁気ネジ
１８が雄磁気ネジ軸１２の着磁帯１３より磁力を受け
る。回転軸１４は、スラストベアリング１５によりピス
トン１７に対して回転自在に取り付けられているので、
回転軸１４は、図中矢印Ｂで示すように、左方向から見
て時計回りに回転する。ここで、シリンダチューブ２０
の中央線上に固設された一体的な雄磁気ネジ軸１２が、
外周全周に螺旋状の着磁帯１３を有しており、また、回
転軸１４の内側に固設された一体的な雌磁気ネジ１８
が、内周全周に螺旋状の着磁帯２８を有しているので、
ピストン１７の摺動により、雌磁気ネジ１８が雄磁気ネ
ジ軸１２から磁力を受け、回転軸１４が回転されるとき
に、回転軸１４の回転がスムーズであり、回転ムラが発
生することがない。

【００２２】すなわち、雄磁気ネジ軸１２が、円筒形状
に形成された永久磁石材料の外周面全周に切れ目なく螺
旋着磁された雄スパイラル円筒磁石３２が、高透磁性の
ロッド部材３１に嵌合され構成されており、また、回転
軸１４の構成要素の１つである雌磁気ネジ１８が、円筒
形状に形成された永久磁石材料の内周面全周に切れ目な
く螺旋着磁された雌スパイラル円筒磁石２９が、高透磁
性のジャケット部材３０の内周に嵌合されているので、
雌スパイラル円筒磁石２９がピストン１７と共に摺動し
たとき、雌スパイラル円筒磁石２９がジャケット部材３
０の磁力を受けてスムーズに回転され、回転軸１４に回
転ムラが発生しない。

【００２３】ピストン１７が左側に移動した状態を図２
に示す。ここでは、図示しないストッパーにより回転軸
１４の直進運動が停止された状態である。回転軸１４
は、図１のときから丁度３６０度回転した状態にあり、
ハンド３３は、左方向から見て、図中上方向に位置して
いる。また、回転軸１４は、図１の場合と比べて離間し
ている。

【００２４】以上詳細に説明したように、本実施例のロ
ータリーアクチュエータ１１によれば、（１）中空状の
シリンダチューブ２０と、（２）シリンダチューブ２０
の中心に固設され、外周に螺旋状の着磁帯１３が形成さ
れた雄磁気ネジ軸１２と、（３）シリンダチューブ２０
内に摺動自在に嵌合され、シリンダチューブ２０に対す
る回転を防止する楕円形状のピストン１７と、（４）内
周に螺旋状の着磁帯２８が形成された雌磁気ネジ１８
と、ピストン１７の端面に付設されピストン１７に対し
回転自在な回転保持手段１５，１６と、シリンダチュー
ブ２０の外に突出する突出端とを備える回転軸１４とを
有し、（５）ピストン１７がシリンダチューブ２０内を
摺動することにより、回転軸１４が直進運動と回転運動
とを同期して行うので、回転力を伝達する手段が非接触
であるため、長期間使用した場合でも、摩耗粉等が発生
せず、直進運動と回転運動との同期運動を常にスムーズ
に行わせることができる。

【００２５】次に、本発明の第二の実施例を図３により
説明する。第二の実施例の主要部は、ほとんど第一の実
施例と同じなので、異なる構成のみ説明する。右エンド
カバー２２に速度調整用のノズル孔２４が形成され、ノ
ズル孔２４の空気通路上に先端が尖った形状のノズル２
３が、ノズル孔２４に対して移動可能に保持されてい
る。また、ピストン１７の右端面には、右エンドカバー
２２の右空気ポート孔に対応する位置に、その孔を塞ぐ
ようにショックアブソーバ用のカップ２７が取り付けら
れている。

【００２６】次に、上記構成を有する第二の実施例の複
合アクチュエータ１１の作用を説明する。右空気ポート
３４から左空気ポート１９へ駆動空気の供給が切り替え
られたとき、ピストン１７は右方向に移動し、右エンド
カバー２２に当接して停止する。ここで、ピストン１７
が右エンドカバー２２に当接する前にカップ２７が右空
気ポート３４を塞ぐため、右空気室２６内の空気が右空
気ポート３４から逃げることができなくなり、ノズル孔
２４から外部に逃げることになる。従って、ノズル２３
によりノズル孔２４の開口面積を調整することにより、
ピストン１７が右エンドカバー２２に当接するショック
を緩和することができる。

【００２７】以上説明したように、第二の実施例の複合
アクチュエータ１１によれば、ピストン１７の端面であ
って、右空気室２６に駆動空気を供給する右空気ポート
３４の空気孔に対応する位置に、ショクアブソーバ用カ
ップ２７が取り付けられているので、ピストン１７が右
エンドカバー２２に当接して停止する時のショックを緩
和することができる。

【００２８】次に、本発明の第三の実施例を図６により
説明する。第三の実施例の主要部は、ほとんど第一の実
施例と同じなので、異なる構成のみ説明する。すなわ
ち、第三の実施例が第一の実施例と異なるのは、回転軸
１４が突出端４２として、ピストン４１と一体的に構成
されている点、ピストン４１及びシリンダチューブ２０
の断面が円形状であって回転防止部材が無い点である。
従って、スラストベアリング１５、止めリング１６等、
ピストンに対して回転軸１４を回転させるための部品は
必要ない。第三の実施例の作用が第一の実施例と異なる
のは、ピストン４１がシリンダチューブ２０に対して、
直進運動すると同時に回転運動することである。本実施
例によれば、スラストベアリング１５等の部品を減らす
ことにより、全体の構成を簡素化することができ、コス
トダウンが可能である。

【００２９】以上本発明の複合アクチュエータ１１につ
いて実施例に基づいて詳細に説明したが、本発明は上記
実施例に限定されることなく、色々な変形が可能であ
る。実施例では、ピストンに回転防止手段を取り付けた
場合を説明したが、ピストンに回転防止手段を取り付け
ない場合には、回転軸１４の回転はフリーとなるので、
外部にガイドを設けて回転軸１４に任意の回転角度を与
えることが可能である。また、ガイドを設けずに、回転
軸１４の回転をフリーな状態に保つことも可能である。

【００３０】本実施例では、ピストン１７の回転防止手
段としてピストン１７の形状を楕円形状としているが、
ピストン１７の形状を円形状としてガイドピン等により
ピストン１７の回転を防止してもよい。本実施例では、
回転軸１４を３６０度回転させているが、着磁帯のリー
ド角度を変更することにより、任意の回転角度を得るこ
とができる。例えば前記実施例では、ショックアブソー
バ用のカップをピストン１７の右端面にのみ取り付けた
が、左端面に取り付けてもよい。

【００３１】

【発明の効果】以上説明したことから明かなように本発
明の複合アクチュエータによれば、中空状のシリンダチ
ューブと、シリンダチューブの中心に固設され、外周に
螺旋状の着磁帯が形成された雄磁気ネジ軸と、シリンダ
チューブ内に摺動自在に嵌合されたピストンと、内周に
螺旋状の着磁帯が形成された雌磁気ネジと、ピストンの
端面に付設されピストンに対し回転自在な回転保持手段
と、シリンダチューブの外に突出する突出端とを備える
回転軸とを有し、ピストンがシリンダチューブ内を摺動
することにより、回転軸が直進運動と回転運動とを同時
に行うので、回転力を伝達する手段が非接触であるた
め、長期間使用した場合でも、摩耗粉等が発生せず、直
進運動と回転運動との同時運動を常にスムーズに行わせ
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第一実施例の複合アクチュエータ１１
の構成を示す断面図である。

【図２】複合アクチュエータ１１の別な状態を示す断面
図である。

【図３】第二の実施例の複合アクチュエータ１１の構成
を示す断面図である。

【図４】図１のＣＣ断面図である。

【図５】雄磁気ネジ軸１２と雌磁気ネジ１８の構成を示
す分解斜視図である。

【図６】第三の実施例の複合アクチュエータ１１の構成
を示す断面図である。

【図７】従来の複合アクチュエータの構成を示す断面図
である。

【図８】従来の複合アクチュエータの別な状態を示す断
面図である。

【符号の説明】

１１ 複合アクチュエータ １２ 雄磁気ネジ軸 １３ 着磁帯 １７ ピストン １８ 雌磁気ネジ ２０ シリンダチューブ ２３ ノズル ２４ ノズル孔 ２７ カップ ２８ 着磁帯 ２９ 雌スパイラル円筒磁石 ３０ ジャケット部材 ３２ 雄スパイラル円筒磁石 ４１ ピストン ４２ 突出端

フロントページの続き (72)発明者 吉田 泰裕 愛知県小牧市大字北外山字早崎3005 シー ケーディ株式会社内 (72)発明者 遠藤 方志 愛知県小牧市大字北外山字早崎3005 シー ケーディ株式会社内

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 中空状のシリンダチューブと、 前記シリンダチューブの中心に固設され、外周に螺旋状
   の着磁帯が形成された雄磁気ネジ軸と、 前記シリンダチューブ内に摺動自在に嵌合され、前記シ
   リンダチューブに対する回転を防止する回転防止手段を
   備えるピストンと、 内周に螺旋状の着磁帯が形成された雌磁気ネジと、前記
   ピストンの端面に付設されピストンに対し回転自在な回
   転保持手段と、前記シリンダチューブの外に突出する突
   出端とを備える回転軸とを有し、 前記ピストンが前記シリンダチューブ内を摺動すること
   により、前記回転軸が直進運動と回転運動とを同期して
   行うことを特徴とする複合アクチュエータ。
2. 【請求項２】 中空状のシリンダチューブと、 前記シリンダチューブの中心に固設され、外周に螺旋状
   の着磁帯が形成された雄磁気ネジ軸と、 前記シリンダチューブ内に摺動自在に嵌合されると共
   に、内周に螺旋状の着磁帯が形成された雌磁気ネジと、
   前記シリンダチューブの外に突出する突出端とを備える
   ピストンとを有し、 前記ピストンが前記シリンダチューブ内を摺動すること
   により、前記突出端が直進運動と回転運動とを同期して
   行うことを特徴とする複合アクチュエータ。
3. 【請求項３】 請求項１または請求項２に記載するもの
   において、 前記雄磁気ネジ軸が、外周全周に螺旋状の切れ目のない
   着磁帯が形成された一体的な磁気ネジ部を有し、 前記雌磁気ネジが、内周全周に螺旋状の切れ目のない着
   磁帯が形成された一体的な雌磁気ネジ部を有することを
   特徴とする複合アクチュエータ。
4. 【請求項４】 請求項１及至請求項３に記載するものの
   １つにおいて、 前記ピストンの端面であって、前記シリンダの空気室に
   駆動空気を供給する空気孔に対応する位置に、ショクア
   ブソーバ用カップが取り付けられていることを特徴とす
   る複合アクチュエータ。