JPH0949505A - ロータリーアクチュエータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 大きなトルクで、かつトルク変動の少ない安
定した回転の可能な、磁気ネジを利用したロータリーア
クチュエータを提供すること。 【構成】 （ａ）ピストン１７が、摺動方向と平行に形
成され内周に螺旋状の着磁帯１６を有する雌磁気ネジ１
５と、ピストン１７内周と雌磁気ネジ１５とで形成され
る円周溝１７ａと、円周溝１７ａのピストン１７内周に
設けられたＯリング１８とを有し、（ｂ）ロッド１２
が、雌磁気ネジ１５に回転可能に装着されると共に、外
周に螺旋状の着磁帯１３を有する雄磁気ネジ１４を有
し、（ｃ）エンドカバー２１，２２が、ピストン１７の
円周溝１７ａに進入して延出し、Ｏリング１８が当接す
るシールガイド２１ａ，２２ａを有し、（ｄ）ピストン
１７の摺動により、雄磁気ネジ１４が雌磁気ネジ１５か
ら磁力を受け、ロッド１２が回転されることを特徴とす
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ロータリーアクチュエ
ータに関し、さらに詳細には、ピストンとロッドとの各
々に磁気ネジを形成し、ピストンの移動により、ロッド
を回転させるロータリーアクチュエータに関するもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】従来、圧縮空気等の流体を駆動源として
利用するロータリーアクチュエータが色々と使用されて
いる。しかし、従来のベーン型ロータリーアクチュエー
タ及びラックピニオン式ロータリーアクチュエータに
は、ロッドと直交する方向にボディが延びてしまい、ロ
ータリーアクチュエータが大型化する問題があった。ま
た、ベーン型ロータリーアクチュエータでは、シールと
ベーンとの間で流体の漏れが発生する問題があった。そ
れらの問題を解決するために、本出願人は、ネジを用い
たロータリーアクチュエータを提案している。

【０００３】図９に従来例として、ボールネジ式ロータ
リーアクチュエータを示す。これは、本出願人が特開昭
６０−４４６０７号で提案したものである。シリンダボ
ディ１２９を貫通してロッド１２２が２つの回転軸受１
２８により回転可能に支持されている。ロッド１２２の
中央部には、段付部１２３が形成され、段付部１２３の
周囲には、螺旋状にボール溝１２４が形成されている。
シリンダボディ１２９の内部には、ピストン１２１が、
ロッド１２２に対して軸方向に摺動可能に嵌合されてい
る。ピストン１２１には、複数のボール１２５を保持す
るボール保持部材１２６が一体的に固設されている。ボ
ール１２５は、段付部１２３のボール溝１２４に係合し
ている。また、ピストン１２１に形成されたガイド孔
が、シリンダボディ１２９に付設されたガイド棒１２７
と嵌合している。従って、ピストン１２１がロッド１２
２に対して摺動することにより、ボール１２５の作用
で、ロッド１２２が回転する。シリンダボディ１２９の
内側は、ピストン１２１により右室と左室に分割されて
いる。

【０００４】次に、上記構成を有するボールネジ式ロー
タリーアクチュエータの作用を説明する。ピストン１２
１の右室に圧縮空気が流入されると、ピストン１２１
は、摺動して図９の位置に来る。このとき、ロッド１２
２は、ボール１２５の作用により、左側から見て時計回
りに回転する。また、ピストン１２１の左室に圧縮空気
が流入されると、ピストン１２１は、摺動してシリンダ
ボディ１２９の右側壁に当接する位置に来る。このと
き、ロッド１２２は、ボール１２５の作用により、左側
から見て反時計回りに回転する。

【０００５】次に、第二従来例としてネジ式ロータリー
アクチュエータの構造を図７に示す。これは、本出願人
が実開昭６２−１６２４０１号で提案したものである。
シリンダボディ１３９を貫通してロッド１３２が２つの
回転軸受１３８により回転可能に支持されている。ロッ
ド１３２の中央部には、段付状の雄ネジ部１３３が形成
されている。シリンダボディ１３９の内部には、ピスト
ン１３１が、ロッド１３２に対して軸方向に摺動可能に
嵌合されている。雄ネジ部１３３に係合して雌ネジ部材
１３６が、ピストン１３１に一体的に固設されている。
また、ピストン１３１は、（ｂ）に示すように、断面が
楕円形状であり、回転しない構造となっている。従っ
て、ピストン１３１がロッド１３２に対して摺動するこ
とにより、雄ネジ部１３３と雌ネジ部材１３６の作用
で、ロッド１３２が回転する。シリンダボディ１３９の
内側は、ピストン１３１により右室と左室に分割されて
いる。

【０００６】次に、上記構成を有するネジ式ロータリー
アクチュエータの作用を説明する。ピストン１３１の左
室に圧縮空気が流入されると、ピストン１３１は、摺動
して図７の位置に来る。このとき、ロッド１３２は、雄
ネジ部１３３と雌ネジ部材１３６の作用により、左側か
ら見て反時計回りに回転する。また、ピストン１３１の
右室に圧縮空気が流入されると、ピストン１３１は、摺
動してシリンダボディ１３９の左側壁に当接する位置に
来る。このとき、ロッド１３２は、雄ネジ部１３３と雌
ネジ部材１３６の作用により、左側から見て時計回りに
回転する。

【０００７】しかし、従来のボールネジ式ロータリーア
クチュエータ及びネジ式ロータリーアクチュエータに
は、次のような問題があった。すなわち、ネジのトルク
伝達効率が低いため、必要とする回転出力トルクに比較
して、ロータリーアクチュエータ全体が大型化する問題
があった。また、ボールネジでは、局部的な当り面でト
ルクが伝達されるため、面圧が高くなり、寿命が短いと
いう問題があった。

【０００８】従来のボールネジ式ロータリーアクチュエ
ータ及びネジ式ロータリーアクチュエータの問題点を解
決するために、本出願人は、特開昭６２−４６００５号
において、ネジやボールネジの代わりに、磁気ネジを採
用することを提案した。図８にその構成を示す。シリン
ダ１４６を貫通するロッド１４１の中央に段付部があ
り、その表面に螺旋状の着磁帯１４２が形成されてい
る。一方、ピストン１４３の溝１４４には、２つの永久
磁石である案内磁石１４５が埋設され固着されている。
２つの案内磁石１４５は、ピストン１４３と共にシリン
ダ１４６内を摺動する。また、同公開公報の第３頁左下
欄第１２〜１６行目に、「本実施例の変形例として、ピ
ストンの中心孔の内周には螺旋形をなす案内磁石を設
け、ローターの外周にはブロック形をなす従動磁石を設
けるようにしてもよく、この場合にも、ピストンの上下
動とともに、ローターが回転する。」と記載されてい
る。

【０００９】上記構成を有することにより、ピストン１
４３が摺動すると、ロッド１４１が回転する。この発明
の効果は、「本発明のロータリーアクチュエータは、駆
動時に相対的に動き合う部分のシールをＯリングによっ
て確実に行うようにしたから、高度なシール技術が不要
となり、また、互いに吸引し合う永久磁石の一方を螺旋
形にすることによって、出力軸に回転を生じさせるよう
にしたから、螺旋のリードを小さくするか、シリンダの
軸方向に長くすることにより出力軸の最大回転角度を３
６０度以上にすることができる。」（同公開公報の第４
頁右上欄第３〜１１行目）と記載されている。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の特開昭
６２−４６００５号の磁気ネジ式ロータリーアクチュエ
ータには、次のような問題があった。 （１）ピストン１３１と回転するロッド１３２との間の
空気漏れを防止するために、シール材としてＯリング１
４０を設けているが、磁気ネジ式ロータリーアクチュエ
ータの場合、磁気ネジ同士のカップリングのため、カッ
プリング力があまり大きくないため、回転ロッド１３２
に対してＯリング１４０等の弾性体を直接当接させてシ
ールすると、Ｏリング１４０の摩擦力が影響して、回転
ロッド１３２の実効トルクが低下する問題があった。

【００１１】（２）また、Ｏリング１４０等の弾性体シ
ールを使用する場合、使用流体である圧縮空気等の圧力
変化、または回転ロッド１３２の回転速度変化等によ
り、摩擦力が変化するため、出力トルクが変動する問題
があり、出力トルクを一定に保ちたい場合に不都合であ
った。

【００１２】本発明は、上記問題点を解決して、大きな
トルクで、かつトルク変動の少ない安定した回転の可能
な、磁気ネジを利用したロータリーアクチュエータを提
供することを目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、 （１）本発明のロータリーアクチュエータは、中空状の
シリンダと、シリンダ内を摺動するピストンと、端部が
該シリンダカバーの外側に突出しピストンの摺動に応じ
て回転するロッドとを有するロータリーアクチュエータ
であって、（ａ）ピストンが、摺動方向と平行に形成さ
れ内周に螺旋状の着磁帯を有する雌磁気ネジと、ピスト
ン内周と雌磁気ネジとで形成される円周溝と、円周溝の
ピストン内周に設けられた弾性シール部材とを有し、
（ｂ）ロッドが、雌磁気ネジに回転可能に装着されると
共に、外周に螺旋状の着磁帯を有する雄磁気ネジを有
し、（ｃ）シリンダカバーが、ピストンの円周溝に進入
して延出し、弾性シール部材が当接するシールガイドを
有し、（ｄ）ピストンの摺動により、雄磁気ネジが雌磁
気ネジから磁力を受け、ロッドが回転されることを特徴
とする。

【００１４】（２）また、本発明のロータリーアクチュ
エータは、両端がカバーで密閉された中空状のシリンダ
と、シリンダ内を摺動するピストンと、端部が該シリン
ダカバーの外側に突出しピストンの摺動に応じて回転す
るロッドとを有するロータリーアクチュエータであっ
て、（ａ）ピストンが、摺動方向と平行に形成され内周
に螺旋状の着磁帯を有する雌磁気ネジと、ピストン内周
に設けられた弾性シール部材とを有し、（ｂ）ロッド
が、雌磁気ネジに回転可能に装着されると共に、外周に
螺旋状の着磁帯を有する雄磁気ネジを有し、（ｃ）シリ
ンダカバーが、ピストンの雌磁気ネジとロッドの雄磁気
ネジとの間の空間を遮り、弾性シール部材が外周に当接
する非磁性体シールチューブを有し、（ｄ）ピストンの
摺動により、雄磁気ネジが雌磁気ネジから磁力を受け、
ロッドが回転されることを特徴とする。

【００１５】

【作用】上記構成を有するロータリーアクチュエータの
ピストンは、シリンダに供給される流体により駆動力を
与えられ、シリンダ内を摺動する。このとき、ピストン
の雌磁気ネジが磁力により、ロッドの雄磁気ネジに作用
して、ロッドを回転させる。ここで、ピストンに設けら
れた雌磁気ネジが、内周に螺旋状の着磁帯を有してお
り、また、ロッドに設けられた雄磁気ネジが、外周に螺
旋状の着磁帯を有しているので、ピストンの摺動によ
り、雄磁気ネジが雌磁気ネジから磁力を受け、ロッドが
回転されるときに、ロッドの回転がスムーズであり、回
転ムラが発生することがない。

【００１６】また、請求項１の構成によれば、ピストン
の内周に設けられたシール部材が、シリンダカバーに設
けられたシールガイドと当接することにより、ピストン
両側の空気室を遮断して作動流体の漏れを防止している
ので、回転軸であるロッドの回転トルクに影響を与える
ことがなく、ロッドの回転トルクを大きくでき、かつロ
ッドの出力トルクの変動を軽減することができる。

【００１７】また、請求項２の構成によれば、ピストン
の内周に設けられたシール部材が、シリンダカバーによ
り保持される非磁性体シールチューブと当接することに
より、ピストン両側の空気室を遮断して作動流体の漏れ
を防止しているので、回転軸であるロッドの回転トルク
に影響を与えることがなく、ロッドの回転トルクを大き
くでき、かつロッドの出力トルクを安定させることがで
きる。

【００１８】

【実施例】以下、本発明を具体化した一実施例であるロ
ータリーアクチュエータを図面に基づいて詳細に説明す
る。図１にロータリーアクチュエータ１１の構成を断面
図で示す。また、図２に図１のＢＢ断面図を示す。シリ
ンダカバーは、中空円筒状のシリンダチューブ２０とそ
の両端を塞ぐ左エンドカバー２１，右エンドカバー２２
により構成されている。エンドカバー２１，２２の中心
を貫通してロッド１２が、エンドカバー２１，２２に固
設された２つの回転軸受２７により回転可能に支持され
ている。左エンドカバー２１には、圧縮空気を供給する
ための空気ポート２５が形成されている。また、右エン
ドカバー２２には、圧縮空気を供給するための空気ポー
ト２６が形成されている。

【００１９】次に、磁気ネジの構成を詳細に説明する。
ロッド１２は、図６に示すように、ロッド部材２８、及
びロッド部材２８の中央外周に嵌合され接着された雄ス
パイラル円筒磁石３０より構成される雄磁気ネジ１４と
から構成されている。ロッド部材２８は、高透磁性の材
料（例えば鉄、酸化鉄、ニッケル、コバルト若しくはこ
れらを主成分とする合金その他の化合物等）より成形さ
れている。雄スパイラル円筒磁石３０は円筒形状の磁石
であって、螺旋状に形成された複数本の着磁帯１３を有
している。隣接する着磁帯１３同士は着磁の極性が逆向
きとなっている。即ち、ある着磁帯１３において外面に
Ｎ極が着磁されていれば、その隣の着磁帯１３において
は外面にＳ極が着磁されている。そして、図６に示すよ
うに、雄磁気ネジ１４の表面には、螺旋状にＮ極とＳ極
とが交互に着磁された着磁帯１３が整然と形成されてい
る。

【００２０】一方、シリンダチューブ２０の内側には、
ピストン１７が、ロッド１２に対して軸方向に摺動可能
に嵌合されている。ピストン１７は、図２に示すように
外周が長円形状である。長円形状のピストンを使用して
いるのは、ピストン１７が回転するのを防止するためで
ある。ピストン１７の内側には、雄磁気ネジ１４に対応
する位置に雌磁気ネジ１５が固設されている。ピストン
１７の外周には、シール部材用溝が形成され、Ｏリング
２０ａが保持されている。雌磁気ネジ１５は、図６に示
すように、中空円筒状の雌スパイラル円筒磁石３３が、
高透磁性材料（例えば鉄、酸化鉄、ニッケル、コバルト
若しくはこれらを主成分とする合金その他化合物等）か
ら成形されるジャケット部材４１の内周に嵌合されるこ
とにより構成されている。雌磁気ネジ１５の内周には、
図６に示すように、螺旋状にＮ極とＳ極とが交互に着磁
された着磁帯１６が形成されている。

【００２１】上記構成を有する雄スパイラル円筒磁石３
０及び雌スパイラル円筒磁石３３は、以下の特徴を有し
ている。すなわち、機械的強度に優れる。中空部分に強
度部材を挿入するか、又は周囲を強度部材で覆うことが
できるからである。図６の磁気ネジでは、ロッド部材２
８及びジャケット部材４１が、かかる強度部材に相当す
る。この強度部材により機械的強度が確保されるので、
雄スパイラル円筒磁石３０及び雌スパイラル円筒磁石３
３として、磁石材料としては優れるが材質的に脆いフェ
ライト系や希土類系の材料で形成しても問題はない。そ
して、強度部材を高透磁性の材料で構成すれば、雄スパ
イラル円筒磁石３０及び雌スパイラル円筒磁石３３の強
い磁力を更に有効に利用することができる。

【００２２】次に、図１に戻って、ロータリーアクチュ
エータ１１の全体構成の説明を続ける。雌磁気ネジ１５
は、ジャケット部材４１の中央部が、ピストン１７の中
央凸部の内周に固着されている。これにより、ピストン
１７の内周と雌磁気ネジ１５とにより円周溝１７ａが形
成されている。また、ピストン１７の内周にはＯリング
溝が形成され、弾性シール部材であるＯリング１８が保
持されている。一方、左エンドカバー２１及び右エンド
カバー２２には、内側に向けて、円周溝１７ａに進入し
て右シールガイド２１ａ及び左シールガイド２２ａが形
成されている。そして、ピストン１７の内周に保持され
ているＯリング１８が当接している。

【００２３】次に、上記構成を有するロータリーアクチ
ュエータ１１の作用を説明する。図１は、空気ポート２
６に圧縮空気が供給され、ピストン１７が左側に押し付
けられている状態を示している。ここで、空気ポート２
６に供給された圧縮空気は、Ｏリング１８及びＯリング
２０ａにより漏れが防止されている。次に、図示しない
電磁弁により、圧縮空気の供給が、空気ポート２６から
空気ポート２５へ切り替えられた場合を説明する。ピス
トン１７は、圧縮空気に押されて右方向に移動する。ピ
ストン１７の左側に空気ポート２５から供給される圧縮
空気は、２つのＯリング１８及びＯリング２０ａにより
漏れが防止されている。

【００２４】ピストン１７が右方向に移動すると、雌磁
気ネジ１５も共に移動するため、雄磁気ネジ１４が雌磁
気ネジ１５により磁力を受け、ロッド１２は、図中矢印
Ａで示すように、左から見て反時計回りに回転する。こ
こで、Ｏリング１８が左シールガイド２２ａに当接し、
ロッド１２には接触していないため、ロッド１２の出力
トルクに影響を与えることがない。また、ピストン１７
に設けられた一体的な雌磁気ネジ１５が、内周全周に螺
旋状の着磁帯１６を有しており、また、ロッド１２に設
けられた一体的な雄磁気ネジ１４が、外周全周に螺旋状
の着磁帯１３を有しているので、ピストン１７の摺動に
より、雄磁気ネジ１４が雌磁気ネジ１５から磁力を受
け、ロッド１２が回転されるときに、ロッド１２の回転
がスムーズであり、回転ムラが発生することがない。

【００２５】以上詳細に説明したように、本実施例のロ
ータリーアクチュエータ１１によれば、（ａ）ピストン
１７が、摺動方向と平行に形成され内周に螺旋状の着磁
帯１６を有する雌磁気ネジ１５と、ピストン１７内周と
雌磁気ネジ１５とで形成される円周溝１７ａと、円周溝
１７ａのピストン１７内周に設けられたＯリング１８と
を有し、（ｂ）ロッド１２が、雌磁気ネジ１５に回転可
能に装着されると共に、外周に螺旋状の着磁帯１３を有
する雄磁気ネジ１４を有し、（ｃ）エンドカバー２１，
２２が、ピストン１７の円周溝１７ａに進入して延出
し、Ｏリング１８が当接するシールガイド２１ａ，２２
ａを有し、（ｄ）ピストン１７の摺動により、雄磁気ネ
ジ１４が雌磁気ネジ１５から磁力を受け、ロッド１２が
回転されるので、Ｏリング１８が、シールガイド２１
ａ，２２ａと当接することにより、ピストン１７両側の
空気室を遮断して作動流体の漏れを防止しているので、
回転軸であるロッド１２の回転トルクに影響を与えるこ
とがなく、ロッド１２の回転トルクを大きくでき、かつ
ロッド１２の出力トルクの変動を軽減することができ
る。

【００２６】次に、本発明の第二の実施例を説明する。
図３に第二実施例のロータリーアクチュエータ１１の構
成を断面図で示す。また、図４に図３のＣＣ断面図を示
す。ほとんどの構成は第一実施例と同様であるので、異
なる点のみ説明する。第二実施例が異なるのは、円周溝
１７ａ、右シールガイド２１ａ、左シールガイド２２ａ
が無く、両端が左エンドカバー２１と右エンドカバー２
２とで保持される非磁性体シールチューブ１９を有して
いる点である。また、Ｏリング１８がシールチューブ１
９と当接している点である。第二の実施例によれば、ピ
ストン１７の内周に設けられたＯリング１８が、エンド
カバー２１，２２により保持される非磁性体シールチュ
ーブ１９と当接することにより、ピストン１７両側の空
気室を遮断して圧縮空気の漏れを防止しているので、回
転軸であるロッド１２の回転トルクに影響を与えること
がなく、ロッド１２の回転トルクを大きくでき、かつロ
ッド１２の出力トルクを安定させることができる。

【００２７】本発明の第三の実施例について説明する。
構成は、第一実施例とほとんど同じなので、異なる点の
み説明する。左エンドカバー２１のピストン１７に当接
する箇所に弾性部材２１ｂが固設されている。また、右
エンドカバー２２のピストン１７に当接する箇所に弾性
部材２２ｂが固設されている。弾性部材２１ｂ，２２
ｂ，によれば、ピストン１７が左エンドカバー２１や右
エンドカバー２２に衝突するショックを軽減できるた
め、ロッド１２に与える振動を軽減させることができ
る。

【００２８】以上本発明の磁気ネジについて実施例に基
づいて詳細に説明したが、本発明は上記実施例に限定さ
れることなく、色々な変形が可能である。本実施例で
は、シール部材としてＯリング１８を使用しているが、
他の形状の弾性部材を使用しても同様である。また、本
実施例では、雄スパイラル円筒磁石３０とロッド部材２
８とを別体として後で固着しているが、強度的に問題が
ない場合等においては、完全に一体として構成してもよ
い。

【００２９】

【発明の効果】以上説明したことから明かなように本発
明のロータリーアクチュエータによれば、（ａ）ピスト
ンが、摺動方向と平行に形成され内周に螺旋状の着磁帯
を有する雌磁気ネジと、ピストン内周と雌磁気ネジとで
形成される円周溝と、円周溝のピストン内周に設けられ
た弾性シール部材とを有し、（ｂ）ロッドが、雌磁気ネ
ジに回転可能に装着されると共に、外周に螺旋状の着磁
帯を有する雄磁気ネジを有し、（ｃ）エンドカバーが、
ピストンの円周溝に進入して延出し、弾性シール部材が
当接するシールガイドを有し、（ｄ）ピストンの摺動に
より、雄磁気ネジが雌磁気ネジから磁力を受け、ロッド
が回転されるので、弾性シール部材が、シールガイドと
当接することにより、ピストン両側の空気室を遮断して
作動流体の漏れを防止しているので、回転軸であるロッ
ドの回転トルクに影響を与えることがなく、ロッドの回
転トルクを大きくでき、かつロッド１２の出力トルクの
変動を軽減することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第一実施例のロータリーアクチュエー
タ１１の構成を示す断面図である。

【図２】図１のＢＢ断面図である。

【図３】第二実施例のロータリーアクチュエータ１１の
構成を示す断面図である。

【図４】図３のＣＣ断面図である。

【図５】雄磁気ネジ１４と雌磁気ネジ１５の構成を示す
説明図である。

【図６】第三実施例のロータリーアクチュエータ１１の
構成を示す断面図である。

【図７】従来のネジ式ロータリーアクチュエータの構成
を示す断面図である。

【図８】従来の磁気ネジ式ロータリーアクチュエータの
構成を示す分解斜視図である。

【図９】従来のボールネジ式ロータリーアクチュエータ
の構成を示す断面図である。

【符号の説明】

１１ ロータリーアクチュエータ １２ ロッド １３ 着磁帯 １４ 雄磁気ネジ １５ 雌磁気ネジ １７ ピストン １８ Ｏリング １９ シールチューブ ２０ シリンダチューブ ２１ 左エンドカバー ２１ａ 右シールガイド ２２ 右エンドカバー ２２ａ 左シールガイド ２８ ロッド部材

フロントページの続き (72)発明者 吉田 泰裕 愛知県小牧市大字北外山字早崎3005 シー ケーディ株式会社内 (72)発明者 遠藤 方志 愛知県小牧市大字北外山字早崎3005 シー ケーディ株式会社内

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 両端がカバーで密閉された中空状のシリ
   ンダと、シリンダ内を摺動するピストンと、端部が該シ
   リンダカバーの外側に突出しピストンの摺動に応じて回
   転するロッドとを有するロータリーアクチュエータにお
   いて、 前記ピストンが、前記摺動方向と平行に形成され内周に
   螺旋状の着磁帯を有する雌磁気ネジと、前記ピストン内
   周と前記雌磁気ネジとで形成される円周溝と、前記円周
   溝のピストン内周に設けられた弾性シール部材とを有
   し、 前記ロッドが、前記雌磁気ネジに回転可能に装着される
   と共に、外周に螺旋状の着磁帯を有する雄磁気ネジを有
   し、 前記シリンダカバーが、前記ピストンの円周溝に進入し
   て延出し、前記弾性シール部材が当接するシールガイド
   を有し、 前記ピストンの摺動により、前記雄磁気ネジが前記雌磁
   気ネジから磁力を受け、前記ロッドが回転されることを
   特徴とするロータリーアクチュエータ。
2. 【請求項２】 両端がカバーで密閉された中空状のシリ
   ンダと、シリンダ内を摺動するピストンと、端部が該シ
   リンダカバーの外側に突出しピストンの摺動に応じて回
   転するロッドとを有するロータリーアクチュエータにお
   いて、 前記ピストンが、前記摺動方向と平行に形成され内周に
   螺旋状の着磁帯を有する雌磁気ネジと、ピストン内周に
   設けられた弾性シール部材とを有し、 前記ロッドが、前記雌磁気ネジに回転可能に装着される
   と共に、外周に螺旋状の着磁帯を有する雄磁気ネジを有
   し、 前記シリンダカバーが、前記ピストンの雌磁気ネジと前
   記ロッドの雄磁気ネジとの間の空間を遮り、前記弾性シ
   ール部材が外周に当接する非磁性体シールチューブを有
   し、 前記ピストンの摺動により、前記雄磁気ネジが前記雌磁
   気ネジから磁力を受け、前記ロッドが回転されることを
   特徴とするロータリーアクチュエータ。