JPH08257911A - 電解ドレッシング用電流調整装置 - Google Patents
電解ドレッシング用電流調整装置Info
- Publication number
- JPH08257911A JPH08257911A JP8884095A JP8884095A JPH08257911A JP H08257911 A JPH08257911 A JP H08257911A JP 8884095 A JP8884095 A JP 8884095A JP 8884095 A JP8884095 A JP 8884095A JP H08257911 A JPH08257911 A JP H08257911A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- current
- electrolytic
- grindstone
- dressing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 電解ドレッシング研削装置において、電極と
砥石のクリアランス量を自動的に補正することでドレッ
シング状態を良好にする。 【構成】 精密テーブル１には絶縁材３を介して電極２
が設けられ、電極２と砥石４には、電解ドレッシング用
電源５から電解電流が研削液６を介し供給されている。
電流検出部７は、電極２と電解ドレッシング用電源５と
の間に接続され、随時電流の変化を検出し、電流調整コ
ントローラ８へ送る。コントローラ８は、電流の変化量
を電極の移動に変換して、電流の変化に応じて、モータ
コントローラ９に指令してテーブル１を駆動し、電極２
を移動させて、電極２と砥石４とのクリアランスを自動
的に調整することで電解電流を一定にする。
砥石のクリアランス量を自動的に補正することでドレッ
シング状態を良好にする。 【構成】 精密テーブル１には絶縁材３を介して電極２
が設けられ、電極２と砥石４には、電解ドレッシング用
電源５から電解電流が研削液６を介し供給されている。
電流検出部７は、電極２と電解ドレッシング用電源５と
の間に接続され、随時電流の変化を検出し、電流調整コ
ントローラ８へ送る。コントローラ８は、電流の変化量
を電極の移動に変換して、電流の変化に応じて、モータ
コントローラ９に指令してテーブル１を駆動し、電極２
を移動させて、電極２と砥石４とのクリアランスを自動
的に調整することで電解電流を一定にする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電解ドレッシング研削
装置の電解電流を調整する装置に関し、特に、電解電流
値が一定になるように調整する装置に関する。
装置の電解電流を調整する装置に関し、特に、電解電流
値が一定になるように調整する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】電解ドレッシング研削装置においては、
メタルボンド砥石等の砥石の研削作業面に隣接して電解
電極を固定し、砥石と電解電極との間に研削液を供給
し、この研削液を介した電解反応によりドレッシングを
行っている（特開平４−４６７６４号等）。そして、砥
石が摩耗した場合、定期的に砥石の減り量に合せて、電
極を動かし、クリアランスの調整が行われる。
メタルボンド砥石等の砥石の研削作業面に隣接して電解
電極を固定し、砥石と電解電極との間に研削液を供給
し、この研削液を介した電解反応によりドレッシングを
行っている（特開平４−４６７６４号等）。そして、砥
石が摩耗した場合、定期的に砥石の減り量に合せて、電
極を動かし、クリアランスの調整が行われる。
【０００３】また、電極を板バネにて支持し、研削液圧
力にて電極を浮上させ、クリアランスを保つ装置も提案
されている（特開平４−１３５１７４号）。
力にて電極を浮上させ、クリアランスを保つ装置も提案
されている（特開平４−１３５１７４号）。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来のクリンアランス
調整方法によれば、調整頻度が多く、電極と砥石との適
切な関係を長期的に保つことが難しい。また、電極を板
バネ等にて支持し研削液圧力にて浮上させ電極と砥石の
クリアランスを保つ方法は、研削液の汚れや研削液圧力
変化により、通電率及びクリアランスの変化が生じ電解
電流が不安定になり、有効な砥粒の突出が長期的に得に
くく、加工面の粗のバラツキ及びうねり等の発生はさけ
られないという問題があった。
調整方法によれば、調整頻度が多く、電極と砥石との適
切な関係を長期的に保つことが難しい。また、電極を板
バネ等にて支持し研削液圧力にて浮上させ電極と砥石の
クリアランスを保つ方法は、研削液の汚れや研削液圧力
変化により、通電率及びクリアランスの変化が生じ電解
電流が不安定になり、有効な砥粒の突出が長期的に得に
くく、加工面の粗のバラツキ及びうねり等の発生はさけ
られないという問題があった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明においては、電解ドレッシング研削装置の電
極を移動可能に構成するとともに、電極と砥石との間の
電流値を検出する電流検出部を設け、砥石と電極の間の
電流値が一定になるように電極を移動させるようにし
た。
め、本発明においては、電解ドレッシング研削装置の電
極を移動可能に構成するとともに、電極と砥石との間の
電流値を検出する電流検出部を設け、砥石と電極の間の
電流値が一定になるように電極を移動させるようにし
た。
【０００６】
【作用】砥石−電極間の電流を検出し、それが所定範囲
外であれば、電極位置を変えて電流値が一定になるよう
にする。
外であれば、電極位置を変えて電流値が一定になるよう
にする。
【０００７】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。図１は、本発明の一実施例のブロック図である。精
密テーブル１には、絶縁材３を介して電極２が設けら
れ、電極２とメタルボンド砥石４との間には、ノズル６
から研削液が供給され、その研削液を介して電解ドレッ
シング用電源５から電解電流が供給されている。
る。図１は、本発明の一実施例のブロック図である。精
密テーブル１には、絶縁材３を介して電極２が設けら
れ、電極２とメタルボンド砥石４との間には、ノズル６
から研削液が供給され、その研削液を介して電解ドレッ
シング用電源５から電解電流が供給されている。
【０００８】電流検出部７は例えば電流計等を備え、電
極２と電解ドレッシング用電源５との間に接続され、随
時電解電流を検出する。検出された電流値は電流調整コ
ントローラ８へ送られる。電流調整コントローラ８は、
例えばマイクロコンピュータ等を備え、電流の変化量を
電極移動量に変換して、モータコントローラ９へ送る。
モータコントローラ９は、モータ１０を制御して精密テ
ーブル１を移動させることで砥石４と電極２とのクリア
ランスを自動的に調整し、よって電解電流を一定にす
る。
極２と電解ドレッシング用電源５との間に接続され、随
時電解電流を検出する。検出された電流値は電流調整コ
ントローラ８へ送られる。電流調整コントローラ８は、
例えばマイクロコンピュータ等を備え、電流の変化量を
電極移動量に変換して、モータコントローラ９へ送る。
モータコントローラ９は、モータ１０を制御して精密テ
ーブル１を移動させることで砥石４と電極２とのクリア
ランスを自動的に調整し、よって電解電流を一定にす
る。
【０００９】次に図２のフローチャートを用いて実施例
の動作を説明する。まず電流検出部７により電流値が検
出され（ステップ２０１）、この電流値が予め設定した
範囲内かどうか判定し（ステップ２０２）、範囲内であ
れば砥石４による加工を開始する（ステップ２０７）。
範囲内でなければ、コントローラ８は電流値の変化量を
電極２の移動量に変換する（ステップ２０３）。この電
流値の変化量と電極移動量との関係は、予め実験等によ
りデータ化しておき、所定の計算式ないしデーブルとし
てまとめておいてコントローラ８内のメモリに記憶して
おく。次いで電極移動量に基づいてモータコントローラ
９を指令し、モータ１０によってテーブル１を駆動して
電極２を移動させる（ステップ２０４）。電極２は、電
流値が設定値より小さいときは砥石４に近づく方向（図
１の左方向）へ移動し、逆に電流値が設定値より大きい
ときは砥石４から離れる方向（図１の右方向）へ移動す
る。
の動作を説明する。まず電流検出部７により電流値が検
出され（ステップ２０１）、この電流値が予め設定した
範囲内かどうか判定し（ステップ２０２）、範囲内であ
れば砥石４による加工を開始する（ステップ２０７）。
範囲内でなければ、コントローラ８は電流値の変化量を
電極２の移動量に変換する（ステップ２０３）。この電
流値の変化量と電極移動量との関係は、予め実験等によ
りデータ化しておき、所定の計算式ないしデーブルとし
てまとめておいてコントローラ８内のメモリに記憶して
おく。次いで電極移動量に基づいてモータコントローラ
９を指令し、モータ１０によってテーブル１を駆動して
電極２を移動させる（ステップ２０４）。電極２は、電
流値が設定値より小さいときは砥石４に近づく方向（図
１の左方向）へ移動し、逆に電流値が設定値より大きい
ときは砥石４から離れる方向（図１の右方向）へ移動す
る。
【００１０】次に再び電流値を検出し（ステップ２０
５）、設定範囲内かどうか判定する（ステップ２０
６）。範囲内であれば加工を開始し（ステップ２０
７）、範囲内でなければステップ２０３に戻って再度電
極位置を調整する。
５）、設定範囲内かどうか判定する（ステップ２０
６）。範囲内であれば加工を開始し（ステップ２０
７）、範囲内でなければステップ２０３に戻って再度電
極位置を調整する。
【００１１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
研削加工中に砥石と電極のクリアランスを自動的に調整
し、電解ドレッシング電流を一定にすることで砥石の砥
粒突出し状態を最良に保ち、研削性を向上させ高品質な
研削面の加工を可能にする。これにより、微細砥粒砥石
の使用が容易になり、仕上げ粗さの小さい高精度な加工
面が得られる。
研削加工中に砥石と電極のクリアランスを自動的に調整
し、電解ドレッシング電流を一定にすることで砥石の砥
粒突出し状態を最良に保ち、研削性を向上させ高品質な
研削面の加工を可能にする。これにより、微細砥粒砥石
の使用が容易になり、仕上げ粗さの小さい高精度な加工
面が得られる。
【図１】本発明の一実施例のブロック図
【図２】図１の装置の動作を説明するフローチャート
１ 精密テーブル ２ 電極 ３ 絶縁材 ４ 砥石 ５ 電解ドレッシング電源 ６ 研削液ノズル ７ 電流検出部 ８ 電流調整コントローラ ９ モータコントローラ １０ モータ
Claims (3)
- 【請求項１】 電解ドレッシング研削装置の電極を移動
させるテーブルと、前記テーブルを駆動する駆動部と、
前記電極と砥石との間に電解電流を印加する電源と、加
工中の電流値を検出する電流検出部と、前記電極と砥石
の間の電流値が一定になるように前記駆動部を制御する
制御装置とを備えたことを特徴とする電解ドレッシング
用電流調整装置。 - 【請求項２】 前記制御装置が、前記電流検出部で検出
された電流値を電極移動量に変換する手段を有し、前記
移動量に応じて前記駆動部を制御する請求項１に記載の
装置。 - 【請求項３】 電解ドレッシング研削装置の電極と砥石
との間に電解電流を供給し、前記電解電流を検出し、前
記電解電流が一定になるように前記電極を移動させるこ
とを特徴とする電解ドレッシング研削装置の電極位置制
御方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8884095A JPH08257911A (ja) | 1995-03-22 | 1995-03-22 | 電解ドレッシング用電流調整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8884095A JPH08257911A (ja) | 1995-03-22 | 1995-03-22 | 電解ドレッシング用電流調整装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08257911A true JPH08257911A (ja) | 1996-10-08 |
Family
ID=13954165
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8884095A Pending JPH08257911A (ja) | 1995-03-22 | 1995-03-22 | 電解ドレッシング用電流調整装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08257911A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003071719A (ja) * | 2001-09-04 | 2003-03-12 | Inst Of Physical & Chemical Res | メタルレスボンド砥石とそれによる電解ドレッシング研削方法及び装置 |
| KR100762074B1 (ko) * | 2000-06-20 | 2007-10-01 | 리켄 | 미세형상 가공용 이엘아이디 연삭장치 |
| JP2010069544A (ja) * | 2008-09-16 | 2010-04-02 | Toyo Advanced Technologies Co Ltd | 砥石加工方法及び同装置 |
| JP2011067921A (ja) * | 2009-09-28 | 2011-04-07 | Fuji Heavy Ind Ltd | 研削加工装置 |
| JP2014113677A (ja) * | 2012-12-12 | 2014-06-26 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 半導体ウエハの加工装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02303766A (ja) * | 1989-05-19 | 1990-12-17 | Tomita Tekkosho:Kk | 導電性砥石のドレッシング装置 |
| JPH071333A (ja) * | 1993-06-18 | 1995-01-06 | Rikagaku Kenkyusho | 電解ドレッシング制御方法と装置 |
-
1995
- 1995-03-22 JP JP8884095A patent/JPH08257911A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02303766A (ja) * | 1989-05-19 | 1990-12-17 | Tomita Tekkosho:Kk | 導電性砥石のドレッシング装置 |
| JPH071333A (ja) * | 1993-06-18 | 1995-01-06 | Rikagaku Kenkyusho | 電解ドレッシング制御方法と装置 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100762074B1 (ko) * | 2000-06-20 | 2007-10-01 | 리켄 | 미세형상 가공용 이엘아이디 연삭장치 |
| JP2003071719A (ja) * | 2001-09-04 | 2003-03-12 | Inst Of Physical & Chemical Res | メタルレスボンド砥石とそれによる電解ドレッシング研削方法及び装置 |
| JP2010069544A (ja) * | 2008-09-16 | 2010-04-02 | Toyo Advanced Technologies Co Ltd | 砥石加工方法及び同装置 |
| JP2011067921A (ja) * | 2009-09-28 | 2011-04-07 | Fuji Heavy Ind Ltd | 研削加工装置 |
| JP2014113677A (ja) * | 2012-12-12 | 2014-06-26 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 半導体ウエハの加工装置 |
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