JPH08257518A - 洗浄装置及び洗浄方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】少量のワークの洗浄に適した小型で安価な洗浄
装置を提供する。 【構成】洗浄槽２より下方に洗浄液３ａを貯留する第１
貯留槽５ａを設ける。洗浄液用導管６ａ，８から洗浄液
３ａを供給する洗浄液供給手段１３ａ，１４，１５と、
洗浄液３ａを自重により排出する洗浄液排出手段７ａ，
８，１２を設ける。洗浄槽２より下方にリンス液３ｂを
貯留する第２貯留槽５ｂを設ける。リンス液用導管６
ｂ，８からリンス液３ｂを供給するリンス液供給手段１
３ｂ，１４，１５と、リンス液３ｂを自重により排出す
るリンス液排出手段７ｂ，８，１２を設ける。貯留槽５
ａ，５ｂを密封槽とし、両密封槽に交互に気体を供給す
る加圧気体供給手段１６を設ける。洗浄槽２にワークＷ
に気体を吹付ける気体吹付け手段２３，２８を設け、各
密封槽に対する気体供給停止時に加圧気体供給手段１６
から気体を供給する。洗浄槽２に液体吐出手段３３と油
分捕捉手段３４を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、洗浄槽に供給された洗
浄液にワークを浸漬して洗浄する洗浄装置に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】従来、超音波洗浄装置等のように、洗浄
槽に供給された洗浄液にワークを浸漬して洗浄し、該ワ
ークに付着している油分、異物等を除去する洗浄装置が
知られている。このような洗浄装置では、１つの洗浄液
による洗浄だけでは前記油分、異物、バリ等が除去され
た洗浄後のワークに該洗浄液が付着しており、そのまま
乾燥させるとワーク表面にウォーターマークと呼ばれる
付着した洗浄液のしみ等が残り、優れた洗浄品質が得ら
れない。そこで、前記洗浄液による洗浄処理に続いて、
前記洗浄液に対するリンス液を用いてリンス洗浄処理を
行って該洗浄液を除去した後、ワークを乾燥させて洗浄
操作を完了する。

【０００３】前記リンス洗浄処理を行うために、通常
は、前記洗浄槽とは別に独立のリンス洗浄槽を設け、洗
浄用のカゴ等に収容されたワークをまず前記洗浄槽に供
給された洗浄液に浸漬して洗浄処理を行い、次に前記カ
ゴ等に収容されたワークを該リンス洗浄槽に移送して、
該リンス槽に供給されたリンス液に浸漬してリンス洗浄
処理を行うというようにしている。前記のような洗浄装
置によれば、ワークが連続して各槽に移送されるので、
多量のワークを短時間で処理することができる。

【０００４】しかしながら、ワークがそれほど多量でな
い場合には、前記のように洗浄とリンスとのためにそれ
ぞれ独立の洗浄槽を設けると装置全体が不必要に大型化
するとの不都合がある。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、かかる不都
合を解消して、少量のワークの洗浄に適した小型で安価
な洗浄装置を提供することを目的とする。また、本発明
の目的は、簡単な構成で優れた洗浄品質が得られる洗浄
装置を提供することにもある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
めに、本発明の洗浄装置は、洗浄槽に供給された洗浄液
にワークを浸漬して洗浄する洗浄装置において、該洗浄
槽より下方に該洗浄槽に供給する洗浄液を貯留する第１
の貯留槽を設け、該洗浄槽及び該第１の貯留槽を接続す
る洗浄液用導管と、該洗浄液用導管を介して該第１の貯
留槽から該洗浄槽に洗浄液を供給する洗浄液供給手段
と、洗浄液により洗浄処理を行ったのち、該洗浄槽と該
第１の貯留槽とを該洗浄液用導管を介して連通し、該洗
浄槽に供給された洗浄液をその自重により該第１の貯留
槽に排出する洗浄液排出手段とを設けると共に、該洗浄
槽より下方に該洗浄槽に供給するリンス液を貯留する第
２の貯留槽を設け、該洗浄槽及び該第２の貯留槽を接続
するリンス液用導管と、該洗浄液を排出したのち、該リ
ンス液用導管を介して該第２の貯留槽から該洗浄槽にリ
ンス液を供給するリンス液供給手段と、リンス液により
リンス洗浄処理を行ったのち、該洗浄槽と該第２の貯留
槽とを該リンス液用導管を介して連通し、該洗浄槽に供
給されたリンス液をその自重により該第２の貯留槽に排
出するリンス液排出手段とを設けてなることを特徴とす
る。

【０００７】また、本発明の洗浄装置は、前記第１及び
第２の貯留槽が密封槽で構成され、前記洗浄液供給手段
及び前記リンス液供給手段は、各密封槽に交互に気体を
供給してその中に貯留される洗浄液またはリンス液の液
面を加圧して、前記洗浄槽に前記洗浄液またはリンス液
を供給する加圧気体供給手段を備えることを特徴とす
る。

【０００８】また、本発明の洗浄装置は、前記洗浄槽に
前記洗浄処理後のワークに気体を吹付ける気体吹付け手
段を設け、前記各密封槽に対する気体供給停止時に前記
加圧気体供給手段から該気体吹付け手段に気体を供給す
ることを特徴とする。

【０００９】さらに、本発明の洗浄装置では、前記洗浄
槽に、前記洗浄液またはリンス液の液面に浮遊する油分
を除去する油分除去する油分除去手段を設けることを特
徴とする。前記油分除去手段は、前記洗浄槽の一方の壁
面の上部に該洗浄槽に供給された洗浄液またはリンス液
の液面に臨んで設けられ、洗浄槽内に洗浄液またはリン
ス液を吐出する液体吐出手段と、該液体吐出手段に対向
する壁面付近の該洗浄槽内に設けられた油分捕捉手段と
からなる。

【００１０】本発明の洗浄方法は、洗浄槽に供給された
洗浄液にワークを浸漬して洗浄する洗浄方法において、
該洗浄槽に供給する洗浄液を貯留する第１の貯留槽と、
該洗浄槽に供給するリンス液を貯留する第２の貯留槽と
を設け、該第１または第２の貯留槽から該洗浄槽に洗浄
液またはリンス液を交互に供給して洗浄処理またはリン
ス洗浄処理を行うことを特徴とする。

【００１１】また、本発明の洗浄方法は、前記洗浄槽に
供給された洗浄液またはリンス液に超音波を放射してワ
ークを超音波洗浄する方法であって、前記リンス洗浄処
理の間に前記第１の貯留槽に貯留されている洗浄液の脱
気を行うことを特徴とする。

【００１２】

【作用】本発明によれば、まず、洗浄液供給手段により
第１の貯留槽から所定量の洗浄液が、洗浄液用導管を介
して前記洗浄槽に供給され、該洗浄液用導管を閉鎖する
ことにより前記洗浄槽に貯留される。次に、前記洗浄槽
に供給された洗浄液にワークを浸漬することにより洗浄
処理が施され、ワークに付着している油分、異物等が除
去される。前記洗浄処理が終了すると、洗浄液排出手段
により洗浄槽と第１の貯留槽とが前記洗浄液用導管によ
り連通される。ここで、前記第１の貯留槽は前記洗浄槽
より下方に設けられているので、前記洗浄槽に収容され
ていた前記洗浄液は、その自重により前記洗浄液用導管
を介して前記第１の貯留槽に排出される。

【００１３】次に、リンス液供給手段により、前記洗浄
液の場合と同様にして、第２の貯留槽から所定量のリン
ス液が、リンス液用導管を介して前記洗浄槽に供給さ
れ、貯留される。すると、前記ワークは今度はリンス液
に浸漬された状態となり、該リンス液によりリンス洗浄
処理され、該ワークに付着している洗浄液が除去され
る。そして、前記リンス洗浄処理が終了すると、リンス
液排出手段により洗浄槽と第２の貯留槽とが前記リンス
液用導管により連通され、リンス液は前記洗浄液の場合
と同様に、その自重によりリンス液用導管を介して前記
洗浄槽より下方に設けられている前記第２の貯留槽に排
出される。

【００１４】また、本発明の洗浄装置によれば、洗浄液
が貯留される前記第１の貯留槽と、リンス液が貯留され
る前記第２の貯留槽とを密封槽とし、前記洗浄液供給手
段及び前記リンス液供給手段に備えられた加圧気体供給
手段から交互に気体を供給する。そして、前記のように
供給される気体で各密封槽に貯留されている洗浄液また
はリンス液の液面を加圧することにより、前記洗浄液ま
たはリンス液を前記洗浄液用導管または前記リンス液用
導管を介して前記洗浄槽に供給する。

【００１５】また、本発明の洗浄装置によれば、前記加
圧気体供給手段の前記各密封槽に対する気体供給停止時
に、該加圧気体供給手段から該気体吹付け手段に気体を
供給し、該気体をワークに吹付ける。

【００１６】前記洗浄処理によれば、前記ワーク表面に
付着している油分が除去されるが、該油分は洗浄槽内に
残留し、前記洗浄液または前記リンス液の液面に浮遊し
ているので、該洗浄液または該リンス液を排出するとき
に液面が下降すると、洗浄後のワークに再付着すること
が懸念される。そこで、本発明の洗浄装置では、前記洗
浄槽に油分除去手段を設け、前記洗浄液または前記リン
ス液の液面に浮遊している油分を除去する。前記油分除
去手段は、前記洗浄槽の一方の壁面の上部に該洗浄槽に
供給された洗浄液またはリンス液の液面に臨んで設けら
れた液体吐出手段から洗浄槽内に前記洗浄液または前記
リンス液を吐出することにより、洗浄液またはリンス液
の液面を浮遊している油分を該吐出手段に対向する側の
壁面の方に移動させ、該壁面付近の洗浄槽内に設けられ
た油分捕捉手段により捕捉して除去する。

【００１７】本発明の洗浄方法によれば、前記洗浄液と
リンス液とが交互に前記洗浄槽に供給されるので、前記
リンス洗浄処理の間、前記洗浄液は前記第１の貯留槽に
貯留されている。そこで、前記ワークを超音波洗浄する
ときには、前記リンス洗浄処理の間に、前記第１の貯留
槽内に貯留されている洗浄液を脱気することにより、次
の洗浄処理を準備する。

【００１８】

【実施例】次に、添付の図面を参照しながら本実施例の
洗浄装置についてさらに詳しく説明する。図１は本実施
例の洗浄装置の構成を示す説明的断面図であり、図２は
図１示の洗浄装置のＩＩ−ＩＩ線断面図、図３は本実施
例の洗浄処理の工程を示す流れ図である。

【００１９】本実施例の洗浄装置は、図１示のように、
底部に超音波振動子１が設けられた超音波洗浄槽２に供
給された洗浄液３ａ（またはリンス液３ｂ）に上下動自
在の洗浄用のカゴ４に収容されたワークＷを浸漬し、超
音波振動子１から洗浄液３ａ（またはリンス液３ｂ）に
超音波を放射することにより、ワークＷを洗浄するよう
になっており、超音波洗浄槽２の下方に洗浄液３ａを貯
留する密封された第１貯留槽５ａ及び第２貯留槽５ｂが
設けられている。

【００２０】第１貯留槽５ａは、底部に設けられた洗浄
液３ａを供給する導管６ａ及び上部に設けられた洗浄液
３ａを排出する導管７ａにより、洗浄液３ａまたはリン
ス液３ｂの供給及び排出を行う導管８を介して超音波洗
浄槽２に接続されている。洗浄液３ａは、第１貯留槽５
ａから導管６ａ，８を介して超音波洗浄槽２に供給さ
れ、超音波洗浄槽２から導管８，７ａを介して第１貯留
槽５ａに排出される。

【００２１】導管６ａの途中には洗浄液３ａの供給及び
排出を制御する弁９ａ及び２０〜１００μｍ程度の径の
異物を除去するフィルター１０ａが設けられており、導
管７ａの途中には洗浄液３ａが第１貯留槽５ａから該導
管７ａに侵入することを防止する弁１１ａが設けられて
いる。

【００２２】また、第２貯留槽５ｂは、底部に設けられ
たリンス液３ｂを供給する導管６ｂ及び上部に設けられ
たリンス液３ｂを排出する導管７ｂにより前記導管８を
介して超音波洗浄槽２に接続されている。リンス液３ｂ
は、第２貯留槽５ｂから導管６ｂ，８を介して超音波洗
浄槽２に供給され、超音波洗浄槽２から導管８，７ｂを
介して第２貯留槽５ｂに排出される。

【００２３】導管６ｂの途中にはリンス液３ｂの供給及
び排出を制御する弁９ｂ及び２０〜１００μｍ程度の径
の異物を除去するフィルター１０ｂが設けられており、
導管７ｂの途中にはリンス液３ｂが第２貯留槽５ｂから
該導管７ｂに侵入することを防止する弁１１ｂが設けら
れている。

【００２４】前記導管８の途中には、該導管８を第１貯
留槽５ａまたは第２貯留槽５ｂと連通するように切り換
えるために、例えばモーターバルブ等からなる弁１２が
設けられている。尚、弁１２は、洗浄液３ａまたはリン
ス液３ｂが超音波洗浄槽２に供給された後には導管８を
閉鎖して、洗浄液３ａまたはリンス液３ｂが超音波洗浄
槽２内に貯留されるようにする。

【００２５】次に、第１貯留槽５ａ及び第２貯留槽５ｂ
の細部について説明する。前記第１貯留槽５ａの上部に
は、洗浄液３ａの液面を加圧する空気を第１貯留槽５ａ
内に供給する導管１３ａが設けられ、洗浄液３ａまたは
リンス液３ｂの液面を加圧する空気を供給する導管１
４、各部に気体を供給する導管１５を介してエア・コン
プレッサー等の加圧気体供給手段１６に接続されてい
る。導管１３ａの途中には洗浄液３ａの加圧を制御する
弁１７ａが設けられており、導管１４の途中には洗浄液
３ａまたはリンス液３ｂの加圧のための気体の流通を制
御する弁１８が設けられている。

【００２６】また、第１貯留槽５ａの上部には、第１貯
留槽５ａを大気に解放して槽内の気圧を常圧に戻すため
の弁１９ａ及び第１貯留槽５ａ内の空気を吸引して減圧
する導管２０が設けられている。導管２０の途中には第
１貯留槽５ａ内の減圧を制御する弁２１が設けられてお
り、その下流に真空ポンプ２２が設けられている。

【００２７】第２貯留槽５ｂは、その上部に減圧用導管
２０が設けられていないことを除いて、第１貯留槽５ａ
と同様の構成となっており、その上部には、リンス液３
ｂの液面を加圧する空気を第２貯留槽５ｂ内に供給する
導管１３ｂが設けられ、洗浄液３ａまたはリンス液３ｂ
の液面を加圧する空気を供給する導管１４、各部に気体
を供給する導管１５を介してエア・コンプレッサー等の
加圧気体供給手段１６に接続されている。導管１３ｂの
途中にはリンス液３ｂの加圧を制御する弁１７ｂが設け
られている。また、第２貯留槽５ｂの上部には、第２貯
留槽５ｂを大気に解放して槽内の気圧を常圧に戻すため
の弁１９ｂが設けられている。

【００２８】次に、超音波洗浄槽２の細部について説明
する。前記超音波洗浄槽２の上部には、前記洗浄処理後
のワークＷに空気を吹付ける気体ノズル２３が、ガイド
部材２４に沿って往復動自在に設けられている。気体ノ
ズル２３は、スパイラル状の弾性体からなる乾燥用の気
体を供給する導管２５及び前記導管１５を介して加圧気
体供給手段１６に接続されている。導管２５の途中には
乾燥用の気体の流通を制御する弁２６が設けられてお
り、その下流にエアシリンダ２７が接続されている。

【００２９】また、前記超音波洗浄槽２の側壁には、洗
浄後のワークＷに温風を吹付ける左右１対の温風ノズル
２８（図１にはその一方のみを示す）が設けられてお
り、温風ノズル２８は温風用の気体を供給する導管２９
及び前記導管１５を介して加圧気体供給手段１６に接続
されている。導管２９の途中には温風用の気体の流通を
制御する弁３０が設けられており、その下流に加圧気体
供給手段１６から導管１５を介して供給される空気を加
熱するラインヒータ３１が設けられている。また、導管
２９の温風ノズル２８とラインヒータ３１との間には洗
浄液３ａまたはリンス液３ｂが該導管２９に侵入するの
を防止する弁３２が設けられている。

【００３０】さらに、前記超音波洗浄槽２には供給され
た洗浄液３ａまたはリンス液３ｂの液面に浮遊する油分
を除去する油分除去手段が設けられている。前記油分除
去手段は、前記超音波洗浄槽２の一方の壁面の上部に超
音波洗浄槽２に供給された洗浄液３ａまたはリンス液３
ｂの液面に臨んで設けられた洗浄液３ａまたはリンス液
３ｂを吐出する液体吐出手段３３と、超音波洗浄槽２の
前記液体吐出手段３３に対向する壁面付近に設けられた
油分捕捉手段３４とからなる。

【００３１】前記液体吐出手段３３は吐出用の洗浄液３
ａを供給する導管３５ａにより導管６ａと、また吐出用
のリンス液３ｂを供給する導管３５ｂにより導管６ｂと
接続されている。導管３５ａ及び導管３５ｂの途中に
は、それぞれ洗浄液３ａまたはリンス液３ｂの吐出を制
御する弁３６ａ，３６ｂが設けられている。

【００３２】また、前記油分捕捉手段３４は、図２示の
ように前記液体吐出手段３３に対向する方向に広い入口
部３７を備えると共に、液体吐出手段３３と反対側に狭
い出口部３８を備え、その下部は図１示のように超音波
洗浄槽２の底部付近まで延在されている。入口部３７
は、例えば円形の断面形状を備え、次第に縮径する側壁
部３９を介して出口部３８に接続されている。

【００３３】尚、第１貯留槽５ａ及び第２貯留槽５ｂ
は、共にその底部に槽壁に沿って１２０メッシュ程度の
網状部材４０ａ，４０ｂを備えている。

【００３４】次に、図３に従って本実施例の洗浄装置の
作動について説明する。

【００３５】本実施例の洗浄装置では、まず、洗浄液３
ａの脱気を行う。洗浄液３ａの脱気は、まず、図１示の
第１貯留槽５ａの弁９ａ，１３ａ，１９ａを閉鎖し、弁
２１を開放して、真空ポンプ２２を作動させる。このと
き、第１貯留槽５ａは前記のように密封されているの
で、第１貯留槽５ａ内の空気が真空ポンプ２２に吸引さ
れて導管２０から排出され、第１貯留槽５ａ内の洗浄液
３ａの上方に減圧された空間が形成される。すると、洗
浄液３ａに溶存している気体がこの減圧された空間に放
出されるので、洗浄液３ａを短時間で脱気することがで
きる。

【００３６】次に、洗浄液３ａを超音波洗浄槽２に供給
する。洗浄液３ａを供給するときには、まず図１示の弁
２１を閉鎖し、弁９ａを開き、弁１２を導管８が導管６
ａと連通するように切り換える。このようにすることに
より、超音波洗浄槽２と第１貯留槽５ａとが導管８，６
ａにより連通される。

【００３７】そこで、次に弁１７ａ，１８を開放し、加
圧気体供給手段１６を作動させることにより、導管１
５，１４，１３ａを介して、第１貯留槽５ａ内に空気が
供給される。このとき、第１貯留槽５ａは前記のように
密封されているので、供給された空気により洗浄液３ａ
の液面が加圧され、前記のように脱気された洗浄液３ａ
が前記のように連通している導管６ａ，８を介して、超
音波洗浄槽２に供給される。このとき、脱気された洗浄
液３ａが加圧されることにより空気が溶解し、溶存気体
量が増加することが懸念されるが、洗浄液３ａが超音波
洗浄槽２に供給されるのに要する時間は極く短く、溶存
気体量が増加するとしても超音波洗浄に影響は無い。前
記のようにして、所定量の洗浄液３ａが超音波洗浄槽２
に供給されると、弁１２は導管８を閉鎖して、超音波洗
浄槽２に洗浄液３ａが貯留された状態となる。

【００３８】そこで、次に、ワークＷを超音波洗浄槽２
に搬入する。前記ワークＷの搬入は、図１に仮想線示す
るワークＷを収容した洗浄用のカゴ４を下降させ、ワー
クＷを洗浄液３ａに浸漬することにより行われる。

【００３９】次に、ワークＷの洗浄処理を行う。ワーク
Ｗの洗浄処理は、図１示の超音波振動子１から洗浄液３
ａに超音波を所定時間放射することにより行われる。洗
浄液３ａは前記のように脱気されているので、超音波を
放射すると洗浄液３ａ中に多数のキャビテーションが発
生し、該キャビテーションが崩壊する際の衝撃波によ
り、ワークＷ表面に付着している油分、異物はもちろ
ん、ワークＷと一体的に形成されているバリも除去する
ことができる。

【００４０】前記洗浄処理によりワークＷから除去され
た油分や比重の小さい異物は、洗浄液３ａの液面に浮遊
している。そこで、前記超音波の放射が終了したなら
ば、続いて弁３６ａを開放し、このときにはまだ第１貯
留槽５ａ内に供給されている空気により、第１貯留槽５
ａ内に残っている洗浄液３ａを加圧して、導管６ａ，３
５ａを介して液体吐出手段３３から超音波洗浄槽２内の
洗浄液３ａの液面に吐出させる。

【００４１】洗浄液３ａが液体吐出手段３３から吐出さ
れると、図２に矢示するように、超音波洗浄槽２内の洗
浄液３ａの液面に、液体吐出手段３３から油分捕捉手段
３４に向かう液流が形成され、前記のように洗浄液３ａ
の液面に浮遊している油分や異物が油分捕捉手段３４方
向に移動される。そして、前記油分や異物は、さらに油
分捕捉手段３４の広い入口部３７から反対側の狭い出口
部３８に移動して、出口部３８から油分捕捉手段３４の
液体吐出手段３３と反対の側に流出して捕捉される。前
記液体吐出手段３３からの洗浄液３ａの吐出は、所定時
間後に弁３６ａを閉じることにより終了する。油分捕捉
手段３４は超音波洗浄槽２の上部から底部付近まで延設
されており、前記油分や異物が捕捉されている区画とワ
ークＷが浸漬されている区画とを仕切っているので、一
旦捕捉された油分や異物は後述のように洗浄液３ａの排
出により液面が下がるとワークＷの側に流出することな
く油分捕捉手段３４に沿って下降し、その大部分は洗浄
液３ａと共に排出される。従って、前記油分や異物の洗
浄後のワークＷに対する再付着が阻止される。

【００４２】次に、洗浄液３ａを超音波洗浄槽２から排
出する。洗浄液３ａを排出するときには、まず図１示の
弁１７ａ，１８を閉じて第１貯留槽５ａへの空気の供給
を停止し、弁１９ａを開放して第１貯留槽５内の気圧を
常圧に戻す。次いで、弁９ａを閉じ、弁１２を導管８が
導管７ａと連通するように切り換えることにより、超音
波洗浄槽２と第１貯留槽５ａとが導管８，７ａにより連
通される。このようにすると、第１貯留槽５ａは超音波
洗浄槽２より下方に設けられているので、超音波洗浄槽
２内の洗浄液３ａがその自重により第１貯留槽５ａに排
出される。

【００４３】洗浄液３ａの排出が完了すると、次に、ワ
ークＷに付着している洗浄液３ａの液切りが行われる。
前記液切りは、貯留槽５ａに対する空気の供給が停止し
ている加圧気体供給手段１６から気体ノズル２３に気体
を供給することにより行われる。即ち、図１示の弁２６
を開放することにより、加圧気体供給手段１６から導管
２５を介して供給される空気が気体ノズル２３から洗浄
後のワークＷに吹付けられる。このとき、エアシリンダ
２７を作動させて導管２５に間欠的に空気を供給するこ
とにより、前記のようにスパイラル状の弾性体からなる
導管２５が伸縮し、気体ノズル２３がガイド部材２４に
沿ってワークＷの上方を往復動する。この結果、ワーク
Ｗの液切りを該ワークの各部に対して均一に行うことが
できる。ワークＷの液切りは、所定時間後に弁２６を閉
じることにより終了する。

【００４４】次に、リンス液３ｂを超音波洗浄槽２に供
給する。リンス液３ｂを供給するときには、まず図１示
の第２貯留槽５ｂの弁９ｂを開き、弁１２を導管８が導
管６ｂと連通するように切り換えることにより、超音波
洗浄槽２と第２貯留槽５ｂとが導管６ｂ，８により連通
される。そこで、弁１７ｂ，１８を開放することによ
り、加圧気体供給手段１６から導管１５，１４，１３ｂ
を介して、第２貯留槽５ｂ内に空気が供給される。この
とき、第２貯留槽５ｂは前記のように密封されているの
で、供給された空気によりリンス液３ｂの液面が加圧さ
れ、リンス液３ｂが前記のように連通している導管６
ｂ，８を介して、超音波洗浄槽２に供給される。前記の
ようにして、所定量のリンス液３ｂが図１示の超音波洗
浄槽２に供給されると、弁１２は導管８を閉鎖して、超
音波洗浄槽２にリンス液３ｂが貯留された状態となる。

【００４５】尚、リンス液３ｂは、前記洗浄液３ａに炭
化水素系溶剤を使用するときには、洗浄液３ａと同じ炭
化水素系溶剤を使用する。

【００４６】そこで、次に、ワークＷのリンス洗浄を行
う。ワークＷのリンス洗浄処理は、超音波振動子１から
リンス液３ｂに超音波を所定時間放射することにより行
われ、ワークＷの表面に付着している洗浄液３ａの残滓
が除去される。

【００４７】前記リンス液３ｂを超音波洗浄槽２に供給
すると、前記洗浄処理後に油分捕捉手段３４に捕捉され
た油分や異物のうち、洗浄液３ａと共に排出されなかっ
たものがリンス液３ｂの液面に浮遊する。前記油分や異
物は、前記リンス洗浄処理中はリンス液３ｂの液面がワ
ークＷより上方にあるので、ワークＷに再付着する虞れ
はないが、後述のようにリンス液３ｂを排出するときに
液面が下降すると、洗浄後のワークＷに再付着すること
が懸念される。そこで、前記リンス洗浄処理が終了する
と弁３６ｂを開放し、前記洗浄処理後に弁３６ａを開放
したときと同様にして、第２貯留槽５ｂ内に残っている
リンス液３ｂを導管６ｂ，３５ｂを介して液体吐出手段
３３から超音波洗浄槽２内のリンス液３ｂの液面に吐出
し、前記のようにリンス液３ｂの液面に浮遊している油
分や異物を再び油分捕捉手段３４により捕捉する。前記
液体吐出手段３３からのリンス液３ｂの吐出は、所定時
間後に弁３６ｂを閉じることにより終了するが、油分捕
捉手段３４は前記のように超音波洗浄槽２の上部から底
部付近まで延設されているので、一旦捕捉された油分や
異物は後述のようにリンス液３ｂの排出により液面が下
がるとワークＷの側に流出することなく油分捕捉手段３
４に沿って下降し、その大部分はリンス液３ｂと共に排
出される。従って、前記油分や異物の洗浄後のワークＷ
に対する再付着が阻止される。

【００４８】次に、リンス液３ｂを超音波洗浄槽２から
排出する。リンス液３ｂを排出するときには、まず図１
示の弁１７ｂ，１８を閉じて第１貯留槽５への空気の供
給を停止し、弁１９ｂを開放して第２貯留槽５内の気圧
を常圧に戻す。次いで、弁９ｂを閉じ、弁１２を導管８
が導管７ｂと連通するように切り換えることにより、超
音波洗浄槽２と第２貯留槽５ｂとが導管８，７ｂにより
連通される。このようにすると、第２貯留槽５ｂは超音
波洗浄槽２より下方に設けられているので、超音波洗浄
槽２内のリンス液３ｂがその自重により第２貯留槽５ｂ
に排出される。

【００４９】リンス液３ｂの排出が完了すると、次にワ
ークＷの液切り、乾燥を行う。ワークＷの液切り乾燥
は、貯留槽５ｂに対する空気の供給が停止している加圧
気体供給手段１６から、気体ノズル２３及び温風ノズル
２８に気体を供給することにより行われる。即ち、図１
示の弁２６を開放することにより、加圧気体供給手段１
６から導管２５を介して供給される空気が気体ノズル２
３から洗浄後のワークＷに吹付けられる。このとき、エ
アシリンダ２７を作動させることにより、前記洗浄処理
後の液切りと同様にして、気体ノズル２３がガイド部材
２４に沿ってワークＷの上方を往復動し、ワークＷの各
部に対する前記液切りを均一に行うことができる。

【００５０】また、前記弁２６の開放と同時に、弁３０
を開放することにより、加圧気体供給手段１６から導管
２９を介して供給される空気がラインヒータ３１で加熱
されて温風となり、温風ノズル２８からワークＷに吹付
けられる。ワークＷは、前記のように温風を吹きつける
ことにより容易に乾燥することができ、特に本実施例の
ようにリンス液３ｂが前記のように炭化水素系溶剤であ
り、揮発性であるときには短時間で乾燥することができ
る。ワークＷの乾燥は、所定時間後に弁２６，３０を閉
じることにより終了する。

【００５１】次に、乾燥されたワークＷを超音波洗浄槽
２から搬出する。ワークＷの搬出は、前記乾燥の終了
後、カゴ４を上昇させることにより行われる。続いて別
のワークＷの洗浄を行うときには、再び前記洗浄液３ａ
が超音波洗浄槽２に供給され、図３示の各処理が繰り返
される。

【００５２】前記のように図３示の各処理が繰り返され
るときには、前記洗浄液３ａ及びリンス液３ｂには、前
回の洗浄によりワークＷから除去された異物、バリ等が
混入しているが、これらの異物、バリ等のうち、大きい
ものは第１貯留槽５ａ及び第１貯留槽５ｂの底部の槽壁
に沿って設けられた網状部材４０ａ，４０ｂに捕捉さ
れ、より小さいものは導管６ａ，６ｂの途中に設けられ
たフィルター１０ａ，１０ｂに捕捉される。従って、超
音波洗浄槽２に供給される洗浄液３ａまたはリンス液３
ｂに前記異物、バリ等が混入することはない。

【００５３】また、前記のように排出された洗浄液３ａ
は前記洗浄処理により溶存気体量が増大している。そこ
で、リンス洗浄処理と平行して、第１貯留槽５ａに排出
された洗浄液３ａの再脱気を行う。洗浄液３ａの再脱気
は、洗浄液３ａの排出完了後、再び図１示の弁１７ａ，
１９ａを閉鎖して、弁２１を開放し、第１貯留槽５ａ内
に減圧された空間を形成することにより行われる。この
ように洗浄液３ａを再脱気しておくことにより、次の洗
浄処理の際には、再び前記範囲の溶存酸素量になるよう
に脱気された洗浄液３ａが超音波洗浄槽２に供給され、
良好な超音波洗浄を行うことができる。

【００５４】尚、前記洗浄液３ａの再脱気は、洗浄液３
ａを排出しながら、弁１７ａ，１９ａを閉鎖すると共
に、弁２１を開放して行ってもよい。このようにするこ
とにより、洗浄液３ａは真空ポンプ２２により減圧され
つつある第１貯留槽５ａに排出されることになるので、
洗浄液３ａの自重による排出との相乗効果により、排出
に要する時間を短縮することができる。また、洗浄液３
ａは排出される過程で同時に脱気されることなるので、
脱気に要する時間も短縮することができる。

【００５５】本実施例では、前記カゴ４の昇降、加圧気
体供給手段１６及び真空ポンプ２２の作動、各弁の開閉
は、図示しない制御装置によって電気的に制御される。
そこで、洗浄液３ａ及びリンス液３ｂに炭化水素系溶剤
を使用するときには、前記制御装置は防爆構造となって
いることが好ましい。前記防爆構造としては、例えば、
前記制御装置内に導管１５から空気を供給して、前記制
御装置内が常に加圧された状態としておき、前記制御装
置内が負圧になったときには該制御装置に対する給電を
中止する手段などを用いることができる。

【００５６】尚、前記実施例では、加圧気体供給手段１
６から前記第１貯留槽５ａまたは第２貯留槽５ｂに交互
に空気を供給して、前記各貯留槽５ａ，５ｂの中の洗浄
液３ａまたはリンス液３ｂの液面を加圧することによ
り、洗浄液３ａまたはリンス液３ｂを超音波洗浄槽２に
供給するようにしているが、導管６ａまたは導管６ｂの
途中に液体輸送ポンプを設け、洗浄液３ａまたはリンス
液３ｂを超音波洗浄槽２にポンプアップするようにして
もよい。前記液体輸送ポンプを設けるときには、前記第
１貯留槽５ａまたは第２貯留槽５ｂは密封されていなく
てもよい。

【００５７】また、前記実施例では、洗浄液３ａのみを
脱気するようにしているが、超音波洗浄の効果を向上す
るためには、洗浄液３ａまたはリンス液３ｂのどちらか
が脱気されていればよく、前記実施例の方法に変えてリ
ンス液３ｂのみを脱気するようにしてもよく、洗浄液３
ａ及びリンス液３ｂの両方とも脱気するようにしてもよ
い。リンス液３ｂを脱気するときには、前記第２貯留槽
に第１貯留槽と同様に弁２１を介して導管２０を接続
し、該導管２０の途中に真空ポンプ２２を設けるように
すればよい。

【００５８】また、前記実施例では洗浄液３ａ及びリン
ス液３ｂに炭化水素系溶剤を使用しているが、洗浄液３
ａは純水、界面活性剤水溶液等の水系溶剤、アルコール
系溶剤等を使用することもでき、このときリンス液３ｂ
には純水等が使用される。

【００５９】

【発明の効果】以上の詳しく説明したように、本発明に
よれば、１つの洗浄槽で洗浄処理とリンス洗浄処理とを
行うことができ、洗浄とリンス洗浄とのためにそれぞれ
独立の槽を必要としないので、少量のワークの洗浄に適
した小型で安価な洗浄装置を提供することができる。

【００６０】また、本発明の洗浄装置によれば、前記第
１及び第２の貯留槽を密封槽で構成し、加圧気体供給手
段から各密封槽に交互に気体を供給して、前記洗浄槽に
前記洗浄液またはリンス液を供給することにより、１つ
の加圧気体供給手段を洗浄液供給手段とリンス液供給手
段とで兼用することができる。

【００６１】また、本発明の洗浄装置によれば、前記加
圧気体供給手段の前記各密封槽に対する気体供給停止時
に、該加圧気体供給手段から気体吹付け手段に気体を供
給するようにすることにより、１つの加圧気体供給手段
を前記ワークに対する気体の吹付けと、前記洗浄槽に対
する前記洗浄液またはリンス液の供給とで兼用すること
ができる。また、前記洗浄槽に前記気体吹付け手段を設
けることにより、前記洗浄処理及びリンス洗浄処理に加
えて乾燥処理も１つの槽で行うことができ、さらに装置
を小型化することができる。

【００６２】さらに、本発明の洗浄装置によれば、前記
洗浄槽に油分除去手段を設けることにより、洗浄後のワ
ークに対する油分の再付着を防止して、優れた洗浄品質
を得ることができる。

【００６３】また、本発明の洗浄方法によれば、前記ワ
ークを超音波洗浄するときには、前記リンス洗浄処理の
間に、前記第１の貯留槽内に貯留されている洗浄液を脱
気することにより、前記洗浄液が洗浄に使用されずに前
記第１の貯留槽内に貯留されている時間を有効に利用す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本実施例の洗浄装置の構成を示す説明的断面
図。

【図２】図１示の洗浄装置のＩＩ−ＩＩ線断面図。

【図３】本実施例の洗浄処理の工程を示す流れ図。

【符号の説明】

１…超音波振動子、 ２…洗浄槽、 ３ａ…洗浄液、
３ｂ…リンス液、 ５ａ…第１の貯留槽、 ５ｂ…第
２の貯留槽、 ６ａ，８…洗浄液用導管、 ６ｂ，８…
リンス液用導管、 ７ａ，８，１２…洗浄液排出手段、
７ｂ，８，１２…リンス液排出手段、 １３ａ，１
４，１５…洗浄液供給手段、 １３ｂ，１４，１５…リ
ンス液供給手段、 １６…加圧気体供給手段、 ２２…
真空脱気手段、 ２３，２８…気体吹付け手段、 ３３
…液体吐出手段、 ３４…油分捕捉手段。

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】洗浄槽に供給された洗浄液にワークを浸漬
   して洗浄する洗浄装置において、 該洗浄槽より下方に該洗浄槽に供給する洗浄液を貯留す
   る第１の貯留槽を設け、 該洗浄槽及び該第１の貯留槽を接続する洗浄液用導管
   と、 該洗浄液用導管を介して該第１の貯留槽から該洗浄槽に
   洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、 洗浄液により洗浄処理を行ったのち、該洗浄槽と該第１
   の貯留槽とを該洗浄液用導管を介して連通し、該洗浄槽
   に供給された洗浄液をその自重により該第１の貯留槽に
   排出する洗浄液排出手段とを設けると共に、 該洗浄槽より下方に該洗浄槽に供給するリンス液を貯留
   する第２の貯留槽を設け、 該洗浄槽及び該第２の貯留槽を接続するリンス液用導管
   と、 該洗浄液を排出したのち、該リンス液用導管を介して該
   第２の貯留槽から該洗浄槽にリンス液を供給するリンス
   液供給手段と、 リンス液によりリンス洗浄処理を行ったのち、該洗浄槽
   と該第２の貯留槽とを該リンス液用導管を介して連通
   し、該洗浄槽に供給されたリンス液をその自重により該
   第２の貯留槽に排出するリンス液排出手段とを設けてな
   ることを特徴とする洗浄装置。
2. 【請求項２】前記第１及び第２の貯留槽が密封槽で構成
   され、前記洗浄液供給手段及び前記リンス液供給手段
   は、各密封槽に交互に気体を供給してその中に貯留され
   る洗浄液またはリンス液の液面を加圧して、前記洗浄槽
   に前記洗浄液またはリンス液を供給する加圧気体供給手
   段を備えることを特徴とする請求項１記載の洗浄装置。
3. 【請求項３】前記洗浄槽に前記洗浄処理後のワークに気
   体を吹付ける気体吹付け手段を設け、前記各密封槽に対
   する気体供給停止時に前記加圧気体供給手段から該気体
   吹付け手段に気体を供給することを特徴とする請求項２
   記載の洗浄装置。
4. 【請求項４】前記洗浄槽に、前記洗浄液またはリンス液
   の液面に浮遊する油分を除去する油分除去する油分除去
   手段を設けることを特徴とする請求項１乃至請求項３の
   いずれか１項記載の洗浄装置。
5. 【請求項５】前記油分除去手段は、前記洗浄槽の一方の
   壁面の上部に該洗浄槽に供給された洗浄液またはリンス
   液の液面に臨んで設けられ、洗浄槽内に洗浄液またはリ
   ンス液を吐出する液体吐出手段と、該液体吐出手段に対
   向する壁面付近の該洗浄槽内に設けられた油分捕捉手段
   とからなることを特徴とする請求項４記載の洗浄装置。
6. 【請求項６】洗浄槽に供給された洗浄液にワークを浸漬
   して洗浄する洗浄方法において、 該洗浄槽に供給する洗浄液を貯留する第１の貯留槽と、
   該洗浄槽に供給するリンス液を貯留する第２の貯留槽と
   を設け、 該第１または第２の貯留槽から該洗浄槽に洗浄液または
   リンス液を交互に供給して洗浄処理またはリンス洗浄処
   理を行うことを特徴とする洗浄方法。
7. 【請求項７】前記洗浄槽に供給された洗浄液またはリン
   ス液に超音波を放射してワークを超音波洗浄する方法で
   あって、前記リンス洗浄処理の間に前記第１の貯留槽に
   貯留されている洗浄液の脱気を行うことを特徴とする請
   求項６記載の洗浄方法。