JPH08253304A - 二重管型オゾナイザーの投入電力の制御方法 - Google Patents
二重管型オゾナイザーの投入電力の制御方法Info
- Publication number
- JPH08253304A JPH08253304A JP5223495A JP5223495A JPH08253304A JP H08253304 A JPH08253304 A JP H08253304A JP 5223495 A JP5223495 A JP 5223495A JP 5223495 A JP5223495 A JP 5223495A JP H08253304 A JPH08253304 A JP H08253304A
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- Japan
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- ozone concentration
- ozone
- input power
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- Treatment Of Water By Oxidation Or Reduction (AREA)
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】オゾンの熱分解に伴う余分な電力消費を取り除
く。 【構成】第１の方法は、レベル測定器を用いて、オゾン
濃度の最大値と平衡値を計測し、オゾン濃度が最大値か
ら平衡値に減少した時点で電源の投入電力を下げ、続い
てオゾン濃度が平衡値より低下しはじめる時点で投入電
力を一定として保持する。第２の方法は、微分演算器を
用いて、オゾン濃度の変化率を算出し、オゾン濃度の変
化率が負になりはじめる時点で電源の投入電力を下げ、
続いてオゾン濃度変化率が０になる時点で投入電力を一
定として保持する。オゾン濃度の最大値と平衡値、また
はオゾン濃度の変化率を求めながら、これらの変化に対
応して設定電力の初期値を変えることにより、いずれの
方法も、オゾンの熱分解に消費される電力を省き、必要
最小限の電力でオゾンを生成することができる。
く。 【構成】第１の方法は、レベル測定器を用いて、オゾン
濃度の最大値と平衡値を計測し、オゾン濃度が最大値か
ら平衡値に減少した時点で電源の投入電力を下げ、続い
てオゾン濃度が平衡値より低下しはじめる時点で投入電
力を一定として保持する。第２の方法は、微分演算器を
用いて、オゾン濃度の変化率を算出し、オゾン濃度の変
化率が負になりはじめる時点で電源の投入電力を下げ、
続いてオゾン濃度変化率が０になる時点で投入電力を一
定として保持する。オゾン濃度の最大値と平衡値、また
はオゾン濃度の変化率を求めながら、これらの変化に対
応して設定電力の初期値を変えることにより、いずれの
方法も、オゾンの熱分解に消費される電力を省き、必要
最小限の電力でオゾンを生成することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、主として水処理の分野
に用いられる二重管型オゾナイザーの投入電力を制御す
る方法に関する。
に用いられる二重管型オゾナイザーの投入電力を制御す
る方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来用いられている二重管型オゾナイザ
ーの構造を図５の模式断面図に示す。図５（ａ）は、二
重管型オゾナイザーを側面からみ見た断面図であり、図
５（ｂ）は、これと直角な方向からみ見た断面図であ
る。図５（ａ），（ｂ）において、この二重管型オゾナ
イザーは、円筒形のステンレス鋼製の筐体１を有し、筐
体１の内部にステンレス鋼製の円筒形の接地電極２が同
心状に配置され、接地電極２の内面には誘電体層３とし
て例えばガラスを密着してあり、これら接地電極２，誘
電体層３も両端部が筐体１に固定されている。さらにこ
のオゾン発生管の中心部は、円筒形のステンレス鋼製の
高圧電極４が、誘電体層３の表面と放電空間５を隔てて
同心状に配置されており、その一部に取り付けた電源接
続部は筐体１の外部まで延び、ブッシング６を通して高
周波電源７を経て筐体１の一端に接続される。高圧電極
４の両端は矢印で示した冷却水８を流すために、オゾン
発生管内には絶縁チューブ９を被せた細管を設け、これ
が筐体１から突出している。また、冷却水８は筐体１の
一部からも流通させ接地電極２を冷却する。
ーの構造を図５の模式断面図に示す。図５（ａ）は、二
重管型オゾナイザーを側面からみ見た断面図であり、図
５（ｂ）は、これと直角な方向からみ見た断面図であ
る。図５（ａ），（ｂ）において、この二重管型オゾナ
イザーは、円筒形のステンレス鋼製の筐体１を有し、筐
体１の内部にステンレス鋼製の円筒形の接地電極２が同
心状に配置され、接地電極２の内面には誘電体層３とし
て例えばガラスを密着してあり、これら接地電極２，誘
電体層３も両端部が筐体１に固定されている。さらにこ
のオゾン発生管の中心部は、円筒形のステンレス鋼製の
高圧電極４が、誘電体層３の表面と放電空間５を隔てて
同心状に配置されており、その一部に取り付けた電源接
続部は筐体１の外部まで延び、ブッシング６を通して高
周波電源７を経て筐体１の一端に接続される。高圧電極
４の両端は矢印で示した冷却水８を流すために、オゾン
発生管内には絶縁チューブ９を被せた細管を設け、これ
が筐体１から突出している。また、冷却水８は筐体１の
一部からも流通させ接地電極２を冷却する。
【０００３】このような構成を持つ装置の放電空間５の
一端から、矢印で示した空気または酸素の原料ガス１０
を供給し、放電空間５の他端近傍で筐体１の外部に設け
た排気バルブ１１を調整し、ガス圧を例えば０．６気圧
として、高周波電源７により接地電極２と高圧電極４の
間に電圧を印加すると、無声放電が生じてオゾン１２を
発生させることができる。発生したオゾンの濃度は、オ
ゾン１２の経路に取り付けたオゾン濃度計１３で監視す
る。実際のオゾナイザーは放電管（接地電極２と高圧電
極４）を数百本並べて用いる。
一端から、矢印で示した空気または酸素の原料ガス１０
を供給し、放電空間５の他端近傍で筐体１の外部に設け
た排気バルブ１１を調整し、ガス圧を例えば０．６気圧
として、高周波電源７により接地電極２と高圧電極４の
間に電圧を印加すると、無声放電が生じてオゾン１２を
発生させることができる。発生したオゾンの濃度は、オ
ゾン１２の経路に取り付けたオゾン濃度計１３で監視す
る。実際のオゾナイザーは放電管（接地電極２と高圧電
極４）を数百本並べて用いる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】オゾンが利用される水
処理技術の高度化に伴い、オゾン濃度を高める必要性が
増しており、高濃度オゾンを発生するために、二重管型
オゾナイザーに大電力を投入すると、放電管が加熱さ
れ、その結果、発生するオゾンが熱分解を起こし、オゾ
ン濃度が低下してしまう。即ち、オゾナイザーに投入す
る電力の一部はオゾンの熱分解に使われ、余分な電力が
消費されるという問題がある。
処理技術の高度化に伴い、オゾン濃度を高める必要性が
増しており、高濃度オゾンを発生するために、二重管型
オゾナイザーに大電力を投入すると、放電管が加熱さ
れ、その結果、発生するオゾンが熱分解を起こし、オゾ
ン濃度が低下してしまう。即ち、オゾナイザーに投入す
る電力の一部はオゾンの熱分解に使われ、余分な電力が
消費されるという問題がある。
【０００５】前述のように、オゾナイザーの接地電極２
と高圧電極４の間に電圧を印加（電力を投入）すると放
電が起き、オゾン濃度は徐々に増加して最大値に達する
が、オゾンの熱分解のために時間の経過とともにオゾン
濃度は減少し、その後、オゾン濃度は、生成されるオゾ
ンと熱分解とがバランスを保つ平衡値となって、これを
持続する。
と高圧電極４の間に電圧を印加（電力を投入）すると放
電が起き、オゾン濃度は徐々に増加して最大値に達する
が、オゾンの熱分解のために時間の経過とともにオゾン
濃度は減少し、その後、オゾン濃度は、生成されるオゾ
ンと熱分解とがバランスを保つ平衡値となって、これを
持続する。
【０００６】一方、初めからオゾンの熱分解に消費され
る電力分だけ少ない電力を投入しても、大電力を投入し
た場合に比べて、得られるオゾン濃度は結果的に等しく
なる。本発明者の実験によれば、電力２１００Ｗ投入時
のオゾン濃度の平衡値は、１４００Ｗ投入時の値とほぼ
同じである。以上のことから、本発明の目的は、オゾン
の熱分解に伴う余分な電力を消費することなく、高濃度
オゾンを発生させることができる二重管型オゾナイザー
の投入電力の制御方法を提供することにある。
る電力分だけ少ない電力を投入しても、大電力を投入し
た場合に比べて、得られるオゾン濃度は結果的に等しく
なる。本発明者の実験によれば、電力２１００Ｗ投入時
のオゾン濃度の平衡値は、１４００Ｗ投入時の値とほぼ
同じである。以上のことから、本発明の目的は、オゾン
の熱分解に伴う余分な電力を消費することなく、高濃度
オゾンを発生させることができる二重管型オゾナイザー
の投入電力の制御方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明の投入電力の制御方法は、次の二つであ
る。第１の方法は、高周波電源とオゾン濃度計との間に
接続設置したレベル測定器を用いて、経時的にオゾン濃
度の最大値と平衡値を計測し、オゾン濃度が最大値から
減少して平衡値に達した時点で高周波電源の投入電力を
下げ、続いてオゾン濃度が平衡値より低下しはじめる時
点で投入電力を一定として保持する。
めに、本発明の投入電力の制御方法は、次の二つであ
る。第１の方法は、高周波電源とオゾン濃度計との間に
接続設置したレベル測定器を用いて、経時的にオゾン濃
度の最大値と平衡値を計測し、オゾン濃度が最大値から
減少して平衡値に達した時点で高周波電源の投入電力を
下げ、続いてオゾン濃度が平衡値より低下しはじめる時
点で投入電力を一定として保持する。
【０００８】第２の方法は、高周波電源とオゾン濃度計
との間に接続設置した微分演算器を用いて、経時的にオ
ゾン濃度の変化率を算出し、オゾン濃度の変化率が負に
なりはじめる時点で高周波電源の投入電力を下げ、続い
てオゾン濃度変化率が０になる時点で投入電力を一定と
して保持する。
との間に接続設置した微分演算器を用いて、経時的にオ
ゾン濃度の変化率を算出し、オゾン濃度の変化率が負に
なりはじめる時点で高周波電源の投入電力を下げ、続い
てオゾン濃度変化率が０になる時点で投入電力を一定と
して保持する。
【０００９】
【作用】上記の如く、本発明の投入電力の制御方法は、
レベル測定器または微分演算器により、オゾン濃度の最
大値と平衡値、またはオゾン濃度の変化率を求めなが
ら、これらの変化に対応して設定電力の初期値を変える
ことにより、オゾンの熱分解に消費される電力を省き、
オゾン濃度が平衡値となる電力を一定として保つよう
に、投入電力を制御することができるので、オゾンの生
成に必要な電力を最小限にする。
レベル測定器または微分演算器により、オゾン濃度の最
大値と平衡値、またはオゾン濃度の変化率を求めなが
ら、これらの変化に対応して設定電力の初期値を変える
ことにより、オゾンの熱分解に消費される電力を省き、
オゾン濃度が平衡値となる電力を一定として保つよう
に、投入電力を制御することができるので、オゾンの生
成に必要な電力を最小限にする。
【００１０】
【実施例】以下本発明を実施例に基づき説明する。図１
は本発明の第１の方法が適用される二重管型オゾナイザ
ーの要部構成を示す模式断面図であり、図５と共通部分
に同一符号を用いてある。図１に示す装置は、基本的に
図５に示す装置と同じであり、異なるところは、高周波
電源７とオゾン濃度計１３との間にレベル測定器１４を
取り付けたことのみであるから、ここでは、図５（ｂ）
に相当する円筒形断面は図示を省略し、本発明に係わる
点のみについて述べる。
は本発明の第１の方法が適用される二重管型オゾナイザ
ーの要部構成を示す模式断面図であり、図５と共通部分
に同一符号を用いてある。図１に示す装置は、基本的に
図５に示す装置と同じであり、異なるところは、高周波
電源７とオゾン濃度計１３との間にレベル測定器１４を
取り付けたことのみであるから、ここでは、図５（ｂ）
に相当する円筒形断面は図示を省略し、本発明に係わる
点のみについて述べる。
【００１１】レベル測定器１４は、オゾン濃度計１３か
らの信号により、オゾン濃度の最大値と平衡値を計測し
て、その情報に基づく信号を高周波電源７に送るもので
あり、オゾン濃度が最大値を経て平衡値に達した時点
で、高周波電源７に電力を下げるように指示を出し、次
いでオゾン濃度が平衡値より低くなりはじめる時点で、
そのときの電力を保つように指示する。
らの信号により、オゾン濃度の最大値と平衡値を計測し
て、その情報に基づく信号を高周波電源７に送るもので
あり、オゾン濃度が最大値を経て平衡値に達した時点
で、高周波電源７に電力を下げるように指示を出し、次
いでオゾン濃度が平衡値より低くなりはじめる時点で、
そのときの電力を保つように指示する。
【００１２】図２は、時間経過に伴うオゾン濃度および
設定電力の関係を表わす線図であり、図２（ａ）はオゾ
ン濃度−時間線図，図２（ｂ）は設定電力−時間線図で
ある。すでに述べたように、放電が起きた後、オゾン濃
度は図２（ａ）の実線の曲線が示すように、徐々に増加
して最大値に達し、オゾンの熱分解により濃度を下げ、
その後時間ｔで平衡値となる。この平衡値は図２（ａ）
の一点鎖線の曲線が示すように、オゾンの熱分解に消費
される電力分だけ低い電力を投入しても、結果的にオゾ
ン濃度は等しくなる。そこで、図２（ｂ）に示すよう
に、初期値の設定電力（実線）を、時間ｔの時点で、オ
ゾンの熱分解の消費電力分だけ低い変更値の電力（一点
鎖線）を投入することにより、電力を節減することがで
きる。したがって、図１に示したレベル測定器１４は、
上述のオゾン濃度と設定電力の挙動に対応して作動す
る。
設定電力の関係を表わす線図であり、図２（ａ）はオゾ
ン濃度−時間線図，図２（ｂ）は設定電力−時間線図で
ある。すでに述べたように、放電が起きた後、オゾン濃
度は図２（ａ）の実線の曲線が示すように、徐々に増加
して最大値に達し、オゾンの熱分解により濃度を下げ、
その後時間ｔで平衡値となる。この平衡値は図２（ａ）
の一点鎖線の曲線が示すように、オゾンの熱分解に消費
される電力分だけ低い電力を投入しても、結果的にオゾ
ン濃度は等しくなる。そこで、図２（ｂ）に示すよう
に、初期値の設定電力（実線）を、時間ｔの時点で、オ
ゾンの熱分解の消費電力分だけ低い変更値の電力（一点
鎖線）を投入することにより、電力を節減することがで
きる。したがって、図１に示したレベル測定器１４は、
上述のオゾン濃度と設定電力の挙動に対応して作動す
る。
【００１３】図３は、本発明の第２の方法が適用される
二重管型オゾナイザーの要部構成を示す模式断面図であ
るが、図１に示したレベル測定器１４の代わりに、微分
演算器１５を設けたことが図１と異なるだけであり、そ
の他は全く同じである。微分演算器１５は、オゾン濃度
の変化率を算出し、その情報に基づいて高周波電源７に
電力を下げる指示を出すものである。このことを次の図
４を併用参照して説明する。
二重管型オゾナイザーの要部構成を示す模式断面図であ
るが、図１に示したレベル測定器１４の代わりに、微分
演算器１５を設けたことが図１と異なるだけであり、そ
の他は全く同じである。微分演算器１５は、オゾン濃度
の変化率を算出し、その情報に基づいて高周波電源７に
電力を下げる指示を出すものである。このことを次の図
４を併用参照して説明する。
【００１４】図４は、図２に倣って、時間経過に伴うオ
ゾン濃度，濃度変化率および設定電力の関係を表わす線
図であり、図４（ａ）はオゾン濃度−時間線図，図４
（ｂ）は濃度変化率−時間線図，図４（ｃ）は設定電力
−時間線図である。図４（ａ）は、図２（ａ）に示した
線図と同じであるから、説明を省略する。オゾン濃度の
変化率は、図４（ｂ）に示すように、オゾン濃度が最大
値を過ぎて減少しはじめる時間ｔ0 で０から負の値とな
り、オゾン濃度が平衡値に達する時間ｔ1 で再び０にな
る。微分演算器１５は、オゾン濃度の変化率が負になっ
た時点（ｔ0 ）で、高周波電源７に徐々に電力を下げる
指令を出す。そして微分演算器１５は、図４（ｃ）に示
すように、初期値の設定電力（実線）を、オゾン濃度が
平衡値に達し変化率が０になる時間ｔ1 の時点で、投入
電力を変更値（一点鎖線）として一定に保つように制御
する。この場合も、初期値の大電力を投入し続けるのに
比べて、オゾン濃度が平衡値に達した時点から、オゾン
の熱分解の消費電力分だけ低い電力で、高濃度オゾンを
発生させることができるので、電力の節減に寄与する。
ゾン濃度，濃度変化率および設定電力の関係を表わす線
図であり、図４（ａ）はオゾン濃度−時間線図，図４
（ｂ）は濃度変化率−時間線図，図４（ｃ）は設定電力
−時間線図である。図４（ａ）は、図２（ａ）に示した
線図と同じであるから、説明を省略する。オゾン濃度の
変化率は、図４（ｂ）に示すように、オゾン濃度が最大
値を過ぎて減少しはじめる時間ｔ0 で０から負の値とな
り、オゾン濃度が平衡値に達する時間ｔ1 で再び０にな
る。微分演算器１５は、オゾン濃度の変化率が負になっ
た時点（ｔ0 ）で、高周波電源７に徐々に電力を下げる
指令を出す。そして微分演算器１５は、図４（ｃ）に示
すように、初期値の設定電力（実線）を、オゾン濃度が
平衡値に達し変化率が０になる時間ｔ1 の時点で、投入
電力を変更値（一点鎖線）として一定に保つように制御
する。この場合も、初期値の大電力を投入し続けるのに
比べて、オゾン濃度が平衡値に達した時点から、オゾン
の熱分解の消費電力分だけ低い電力で、高濃度オゾンを
発生させることができるので、電力の節減に寄与する。
【００１５】以上の如く、本発明の方法は、レベル測定
器１４または微分演算器１５を用いて、オゾン濃度の平
衡値が最小限の電力で得られるように、オゾナイザーの
投入電力を制御するものである。
器１４または微分演算器１５を用いて、オゾン濃度の平
衡値が最小限の電力で得られるように、オゾナイザーの
投入電力を制御するものである。
【００１６】
【発明の効果】二重管型オゾナイザーにより高濃度のオ
ゾンを発生させるには大電力を投入するので、そのとき
放電管が加熱されてオゾンが分解し、その後オゾン濃度
が平衡値を保つようになるが、電力の方は一部がオゾン
の熱分解に使われるために、余剰に消費することにな
り、従来、必要以上の電力を供給していた。これに対し
て、本発明では、レベル測定器または微分演算器を設置
して、高周波電源に電圧を印加する際に、生成されるオ
ゾン濃度の最大値と平衡値，またはオゾン濃度の変化率
に基づいて、初期の設定電力を下げ、最終的にオゾン濃
度が平衡値を保つように投入電力を制御しているので、
オゾンの熱分解に使われる電力が省かれ、単位オゾン発
生量当たりの消費電力を最小限で済ませることができ
る。
ゾンを発生させるには大電力を投入するので、そのとき
放電管が加熱されてオゾンが分解し、その後オゾン濃度
が平衡値を保つようになるが、電力の方は一部がオゾン
の熱分解に使われるために、余剰に消費することにな
り、従来、必要以上の電力を供給していた。これに対し
て、本発明では、レベル測定器または微分演算器を設置
して、高周波電源に電圧を印加する際に、生成されるオ
ゾン濃度の最大値と平衡値，またはオゾン濃度の変化率
に基づいて、初期の設定電力を下げ、最終的にオゾン濃
度が平衡値を保つように投入電力を制御しているので、
オゾンの熱分解に使われる電力が省かれ、単位オゾン発
生量当たりの消費電力を最小限で済ませることができ
る。
【図１】本発明の第１の方法が適用されるオゾナイザー
の要部構成を示す模式断面図
の要部構成を示す模式断面図
【図２】時間経過に伴うオゾン濃度および設定電力の関
係を示し、それぞれ（ａ）はオゾン濃度−時間線図，
（ｂ）は設定電力−時間線図
係を示し、それぞれ（ａ）はオゾン濃度−時間線図，
（ｂ）は設定電力−時間線図
【図３】本発明の第２の方法が適用されるオゾナイザー
の要部構成を示す模式断面図
の要部構成を示す模式断面図
【図４】時間経過に伴うオゾン濃度，濃度変化率および
設定電力の関係を示し、それぞれ（ａ）はオゾン濃度−
時間線図，（ｂ）は濃度変化率−時間線図，（ｃ）は設
定電力−時間線図
設定電力の関係を示し、それぞれ（ａ）はオゾン濃度−
時間線図，（ｂ）は濃度変化率−時間線図，（ｃ）は設
定電力−時間線図
【図５】従来のオゾナイザーの要部構成を示し、（ａ）
は側面からみ見た断面図、（ｂ）はこれと直角な方向か
らみ見た断面図
は側面からみ見た断面図、（ｂ）はこれと直角な方向か
らみ見た断面図
１ 筐体 ２ 接地電極 ３ ガラス ４ 高圧電極 ５ 放電空間 ６ ブッシング ７ 高周波電源 ８ 冷却水 ９ 絶縁チューブ １０ 原料ガス １１ 排気バルブ １２ オゾン １３ オゾン濃度計 １４ レベル測定器 １５ 微分演算器
Claims (2)
- 【請求項１】内面に誘電体が密着した円筒形の接地電極
と、この接地電極に放電空間を隔てて接地電極と同心状
に設置した円筒形の高圧電極と、発生するオゾンの濃度
を測定するオゾン濃度計を有し、前記両電極間に高周波
電源により交流電圧を印加して、原料ガスをオゾン化す
る二重管型オゾナイザーの投入電力を制御するに当た
り、高周波電源とオゾン濃度計との間に接続設置したレ
ベル測定器を用いて、経時的にオゾン濃度の最大値と平
衡値を計測し、オゾン濃度が最大値から減少して平衡値
に達した時点で高周波電源の投入電力を下げ、続いてオ
ゾン濃度が平衡値より低下しはじめる時点で投入電力を
一定として保持することを特徴とする二重管型オゾナイ
ザーの投入電力の制御方法。 - 【請求項２】内面に誘電体が密着した円筒形の接地電極
と、この接地電極に放電空間を隔てて接地電極と同心状
に設置した円筒形の高圧電極と、発生するオゾンの濃度
を測定するオゾン濃度計を有し、前記両電極間に高周波
電源により交流電圧を印加して、原料ガスをオゾン化す
る二重管型オゾナイザーの投入電力を制御するに当た
り、高周波電源とオゾン濃度計との間に接続設置した微
分演算器を用いて、経時的にオゾン濃度の変化率を算出
し、オゾン濃度の変化率が負になりはじめる時点で高周
波電源の投入電力を下げ、続いてオゾン濃度変化率が０
になる時点で投入電力を一定として保持することを特徴
とする二重管型オゾナイザーの投入電力の制御方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05223495A JP3412318B2 (ja) | 1995-03-13 | 1995-03-13 | 二重管型オゾナイザーの投入電力の制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05223495A JP3412318B2 (ja) | 1995-03-13 | 1995-03-13 | 二重管型オゾナイザーの投入電力の制御方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08253304A true JPH08253304A (ja) | 1996-10-01 |
| JP3412318B2 JP3412318B2 (ja) | 2003-06-03 |
Family
ID=12909045
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05223495A Expired - Fee Related JP3412318B2 (ja) | 1995-03-13 | 1995-03-13 | 二重管型オゾナイザーの投入電力の制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3412318B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004043203A (ja) * | 2002-07-09 | 2004-02-12 | Iwasaki Electric Co Ltd | オゾン発生装置 |
| CN103979668A (zh) * | 2014-06-05 | 2014-08-13 | 陕西瑞科特种设备技术有限公司 | 一种旋流气柱的气液界面放电等离子反应装置 |
| CN113503630A (zh) * | 2021-06-28 | 2021-10-15 | 北京金茂绿建科技有限公司 | 一种维持净化因子浓度的方法、系统及净化除味器 |
| CN113669863A (zh) * | 2021-08-11 | 2021-11-19 | 北京金茂绿建科技有限公司 | 一种净化系统 |
-
1995
- 1995-03-13 JP JP05223495A patent/JP3412318B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004043203A (ja) * | 2002-07-09 | 2004-02-12 | Iwasaki Electric Co Ltd | オゾン発生装置 |
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