JPH08251455A - 画像入力装置 - Google Patents
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- JPH08251455A JPH08251455A JP7052697A JP5269795A JPH08251455A JP H08251455 A JPH08251455 A JP H08251455A JP 7052697 A JP7052697 A JP 7052697A JP 5269795 A JP5269795 A JP 5269795A JP H08251455 A JPH08251455 A JP H08251455A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 透明な基板上に透光性有色ペ−ストが塗布さ
れていても、確実に撮像することができるようにする。 【構成】 面発光照明部２０からの平行光線はハーフミ
ラー３１で反射されて基板４に照射され、基板４からの
反射光がハーフミラー３１を通って画像入力部４０に送
られ、ＣＣＤ撮像素子４２で基板４の視野Ｆ内が撮像さ
れる。面発光照明部２０とハーフミラーボックス３０の
支持部材５１の下面には、内部を囲うように、反射板５
２ａ〜５２ｄが設けられ、これらで囲まれる空間内にリ
ング蛍光灯６１が取り付けられている。また、このリン
グ蛍光灯６１の下方には、上記の平行光線や反射光の通
過口を有する遮光板５３，５４が設けられ、リング蛍光
灯６１が基板４上の視野Ｆ内を直接光照射しないように
している。リング蛍光灯６１からの光は反射板５２ａ〜
５２ｄで反射され、基板４の表面を間接照明する。
れていても、確実に撮像することができるようにする。 【構成】 面発光照明部２０からの平行光線はハーフミ
ラー３１で反射されて基板４に照射され、基板４からの
反射光がハーフミラー３１を通って画像入力部４０に送
られ、ＣＣＤ撮像素子４２で基板４の視野Ｆ内が撮像さ
れる。面発光照明部２０とハーフミラーボックス３０の
支持部材５１の下面には、内部を囲うように、反射板５
２ａ〜５２ｄが設けられ、これらで囲まれる空間内にリ
ング蛍光灯６１が取り付けられている。また、このリン
グ蛍光灯６１の下方には、上記の平行光線や反射光の通
過口を有する遮光板５３，５４が設けられ、リング蛍光
灯６１が基板４上の視野Ｆ内を直接光照射しないように
している。リング蛍光灯６１からの光は反射板５２ａ〜
５２ｄで反射され、基板４の表面を間接照明する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、画像入力装置に係り、
特に、ステ−ジに載置された基板を撮像手段で画像とし
て取り込む際の基板への照明構成に関する。
特に、ステ−ジに載置された基板を撮像手段で画像とし
て取り込む際の基板への照明構成に関する。
【０００２】
【従来の技術】ステ−ジに載置された基板の表面を、画
像入力装置の撮像手段により、画像として取り込んで、
基板上に設けられた電極パタ−ンを確認したり、電極パ
タ−ンなどの上に塗布した透光性有色ペ−ストの表面状
況を確認することなどが行なわれている。
像入力装置の撮像手段により、画像として取り込んで、
基板上に設けられた電極パタ−ンを確認したり、電極パ
タ−ンなどの上に塗布した透光性有色ペ−ストの表面状
況を確認することなどが行なわれている。
【０００３】液晶表示装置の製作においては、基板は透
明なガラスであって、基板表面に設けた電極パタ−ンは
金属薄膜であり、撮像手段は基板に対してほぼ垂直な方
向から画像として取り込むが、電極パタ−ンは高反射率
で鏡面状になっていることが多いことから、基板の照明
は撮像手段の光軸に沿った同軸落射方式としている。具
体的には、撮像手段と基板の間にハ−フミラ−を設け、
照射源からハ−フミラ−で直角に反射させた入射光を基
板に照射し、基板での反射光はハ−フミラ−を通過させ
て撮像手段に至るようにしている。
明なガラスであって、基板表面に設けた電極パタ−ンは
金属薄膜であり、撮像手段は基板に対してほぼ垂直な方
向から画像として取り込むが、電極パタ−ンは高反射率
で鏡面状になっていることが多いことから、基板の照明
は撮像手段の光軸に沿った同軸落射方式としている。具
体的には、撮像手段と基板の間にハ−フミラ−を設け、
照射源からハ−フミラ−で直角に反射させた入射光を基
板に照射し、基板での反射光はハ−フミラ−を通過させ
て撮像手段に至るようにしている。
【０００４】なお、同軸落射方式の照明構成を示すもの
としては、例えば、特開平６−１２０６９７号公報など
に記載されている。
としては、例えば、特開平６−１２０６９７号公報など
に記載されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】基板を載置するステ−
ジには、基板の載置（ロ−ド）や除去（アンロ−ド）の
ために、ロ−ダあるいはアンロ−ダのフォ−クを差し入
れる溝が掘られており、作業者の怪我防止のために、溝
の角部には、面取り加工が施されている。面取角度はス
テ−ジあるいは基板の表面に対して大概４５°であるか
ら、同軸落射方式の照明では、ガラス基板を透過して面
取部に至った入射光が、面取部でステ−ジあるいは基板
の表面と平行な方向に反射されてどこかに行ってしまっ
て、ハ−フミラ−を通過して撮像手段に至らなくなる。
このため、面取部に至った入射光の反射光がないことか
ら、面取部の画像は暗くなり、面取部を含めてステ−ジ
の表面を正確に画像化できないという問題がある。
ジには、基板の載置（ロ−ド）や除去（アンロ−ド）の
ために、ロ−ダあるいはアンロ−ダのフォ−クを差し入
れる溝が掘られており、作業者の怪我防止のために、溝
の角部には、面取り加工が施されている。面取角度はス
テ−ジあるいは基板の表面に対して大概４５°であるか
ら、同軸落射方式の照明では、ガラス基板を透過して面
取部に至った入射光が、面取部でステ−ジあるいは基板
の表面と平行な方向に反射されてどこかに行ってしまっ
て、ハ−フミラ−を通過して撮像手段に至らなくなる。
このため、面取部に至った入射光の反射光がないことか
ら、面取部の画像は暗くなり、面取部を含めてステ−ジ
の表面を正確に画像化できないという問題がある。
【０００６】また、ガラス基板上に透光性有色ペ−スト
が塗布されている場合には、光が吸収されて反射する光
量が少なくなり、横断面が蒲鉾型になるように塗布され
ている場合には、さらにペ−ストの傾斜面は入射光と垂
直にならないので、ステ−ジの面取部の場合と同様に、
反射光がないことから、ペ−ストにおける傾斜面の画像
は暗くなり、一層ペ−ストの表面を正確に画像化できな
いという問題がある。
が塗布されている場合には、光が吸収されて反射する光
量が少なくなり、横断面が蒲鉾型になるように塗布され
ている場合には、さらにペ−ストの傾斜面は入射光と垂
直にならないので、ステ−ジの面取部の場合と同様に、
反射光がないことから、ペ−ストにおける傾斜面の画像
は暗くなり、一層ペ−ストの表面を正確に画像化できな
いという問題がある。
【０００７】同軸落射方式照明に代えて、特開昭６３−
１０６５０６号公報に示されたような間接照明方式を採
用すると、照明光はステ−ジや基板の表面に対して斜め
に入射されるので、面取部やペ−ストにおける傾斜面は
画像化できるが、基板上の電極パタ−ンなどでは鏡面反
射が生じ、反射光が撮像手段に入らないため、画像化で
きない。
１０６５０６号公報に示されたような間接照明方式を採
用すると、照明光はステ−ジや基板の表面に対して斜め
に入射されるので、面取部やペ−ストにおける傾斜面は
画像化できるが、基板上の電極パタ−ンなどでは鏡面反
射が生じ、反射光が撮像手段に入らないため、画像化で
きない。
【０００８】反射光が撮像手段に入らないために画像化
できない極端な例では、暗くなると云うより真っ黒くな
ってしまう。そうなると、その部分には何があるのか全
く判断できない状況になる。
できない極端な例では、暗くなると云うより真っ黒くな
ってしまう。そうなると、その部分には何があるのか全
く判断できない状況になる。
【０００９】本発明の目的は、かかる問題を解消し、透
明な基板上に透光性有色ペ−ストが塗布されていても、
確実に撮像することができるようにした画像入力装置を
提供することにある。
明な基板上に透光性有色ペ−ストが塗布されていても、
確実に撮像することができるようにした画像入力装置を
提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、ステ−ジに載置された基板を画像として
取り込む撮像手段と、該基板に対して該撮像手段の光軸
に沿った照明を行なう同軸落射方式照明手段とを有する
画像入力装置において、該照明手段における照明光の光
束を取り囲むように設けられた環状の照明手段と、該環
状照明手段における照明光で該撮像手段の該基板におけ
る視野内の該基板に対して間接照明を行なうための間接
照明手段と、該環状照明手段における照明光が該撮像手
段に直接取り込まれることを阻止するための照明光遮断
手段とを備える。
に、本発明は、ステ−ジに載置された基板を画像として
取り込む撮像手段と、該基板に対して該撮像手段の光軸
に沿った照明を行なう同軸落射方式照明手段とを有する
画像入力装置において、該照明手段における照明光の光
束を取り囲むように設けられた環状の照明手段と、該環
状照明手段における照明光で該撮像手段の該基板におけ
る視野内の該基板に対して間接照明を行なうための間接
照明手段と、該環状照明手段における照明光が該撮像手
段に直接取り込まれることを阻止するための照明光遮断
手段とを備える。
【００１１】
【作用】同軸落射方式照明手段によって位置合せマ−ク
は撮像でき、間接照明手段によってステ−ジの面取部や
ペ−ストにおける傾斜面も画像できるが、撮像手段の基
板における視野外において基板に環状照明手段が映って
も、撮像手段には反射光が入らない。また、照明光遮断
手段があって、環状照明手段の照明光が撮像手段に直接
入らないから、撮像手段には、基板やステ−ジの表面を
明確に取り込むことができる。
は撮像でき、間接照明手段によってステ−ジの面取部や
ペ−ストにおける傾斜面も画像できるが、撮像手段の基
板における視野外において基板に環状照明手段が映って
も、撮像手段には反射光が入らない。また、照明光遮断
手段があって、環状照明手段の照明光が撮像手段に直接
入らないから、撮像手段には、基板やステ−ジの表面を
明確に取り込むことができる。
【００１２】
【実施例】まず、図２により、本発明による画像入力装
置をガラス基板検査装置付きペ−スト塗布機に使用した
場合について説明する。但し、１はペースト塗布機、２
はＸＹテーブル、３はステージ、４はガラス基板、５は
ボールねじ、６は位置合わせカメラ、７はモニタ、８は
本発明による画像入力装置、９は支持部、１０はＺテー
ブル、１１はシリンジ、１２は搬送用の空間、１３は制
御装置、１４は画像処理装置である。
置をガラス基板検査装置付きペ−スト塗布機に使用した
場合について説明する。但し、１はペースト塗布機、２
はＸＹテーブル、３はステージ、４はガラス基板、５は
ボールねじ、６は位置合わせカメラ、７はモニタ、８は
本発明による画像入力装置、９は支持部、１０はＺテー
ブル、１１はシリンジ、１２は搬送用の空間、１３は制
御装置、１４は画像処理装置である。
【００１３】同図において、ペ−スト塗布機１は、ＸＹ
テ−ブル２のステ−ジ３上にガラス基板４を載置してい
る。ボ−ルねじ５の回転により、図面上、左右に移動
し、かつ、手動操作で上下に移動させることができる位
置合わせカメラ６が備えられており、位置合わせカメラ
６で捉えた基板４上の位置合わせマ−ク（図示せず）を
モニタ７の画面に表示させつつ、ＸＹテ−ブル２を駆動
して、ステ−ジ３上のガラス基板４の位置合わせを行な
う。
テ−ブル２のステ−ジ３上にガラス基板４を載置してい
る。ボ−ルねじ５の回転により、図面上、左右に移動
し、かつ、手動操作で上下に移動させることができる位
置合わせカメラ６が備えられており、位置合わせカメラ
６で捉えた基板４上の位置合わせマ−ク（図示せず）を
モニタ７の画面に表示させつつ、ＸＹテ−ブル２を駆動
して、ステ−ジ３上のガラス基板４の位置合わせを行な
う。
【００１４】支持部９にＺ軸テ−ブル１０が図面上垂直
方向に移動可能に支持されており、画像入力装置８がＺ
軸テ−ブル１０に固定されている。Ｚ軸テ−ブル１０に
は、また、透光性有色ペ−ストをガラス基板４上に塗布
するシリンジ１１も固定されている。Ｚ軸テ−ブル１０
を操作してガラス基板４とシリンジ１１の間隔を所望の
値に保ち、この状態でＸＹテ−ブル２を駆動することに
より、透光性有色ペ−ストをガラス基板４上に任意のパ
タ−ンで塗布することができる。
方向に移動可能に支持されており、画像入力装置８がＺ
軸テ−ブル１０に固定されている。Ｚ軸テ−ブル１０に
は、また、透光性有色ペ−ストをガラス基板４上に塗布
するシリンジ１１も固定されている。Ｚ軸テ−ブル１０
を操作してガラス基板４とシリンジ１１の間隔を所望の
値に保ち、この状態でＸＹテ−ブル２を駆動することに
より、透光性有色ペ−ストをガラス基板４上に任意のパ
タ−ンで塗布することができる。
【００１５】画像入力装置８は、ガラス基板４の状況を
捉えてモニタ７の画面に表示させつつ、シリンジ１１か
らガラス基板４に塗布したペ−ストの塗布状況を検査す
るものである。搬送用の空間１２は、ステ−ジ３上にガ
ラス基板４を垂直方向から搬入あるいは搬出するための
ものである。
捉えてモニタ７の画面に表示させつつ、シリンジ１１か
らガラス基板４に塗布したペ−ストの塗布状況を検査す
るものである。搬送用の空間１２は、ステ−ジ３上にガ
ラス基板４を垂直方向から搬入あるいは搬出するための
ものである。
【００１６】これらの操作や駆動は、ペ−スト塗布機１
に内蔵された制御装置１３の制御によって行なわれ、位
置合わせカメラ６や画像入力装置８でガラス基板４を撮
像して得られる画像をモニタ７の画面に表示させること
は、ペ−スト塗布機１に内蔵された画像処理装置１４で
行なわれる。
に内蔵された制御装置１３の制御によって行なわれ、位
置合わせカメラ６や画像入力装置８でガラス基板４を撮
像して得られる画像をモニタ７の画面に表示させること
は、ペ−スト塗布機１に内蔵された画像処理装置１４で
行なわれる。
【００１７】次に、本発明の実施例を図面により説明す
る。図３は図２における本発明による画像入力装置８の
外観斜視図であって、２０は面発光照明部、３０はハー
フミラーボックス、４０は画像入力部、５０は光拡散
部、６０はリング蛍光部である。
る。図３は図２における本発明による画像入力装置８の
外観斜視図であって、２０は面発光照明部、３０はハー
フミラーボックス、４０は画像入力部、５０は光拡散
部、６０はリング蛍光部である。
【００１８】同図において、画像入力装置８は、面発光
照明部２０，ハ−フミラ−ボックス３０，画像入力部４
０及び光拡散部５０から構成されており、この光拡散部
５０に環状照明手段としてのリング蛍光部６０が内蔵さ
れている。
照明部２０，ハ−フミラ−ボックス３０，画像入力部４
０及び光拡散部５０から構成されており、この光拡散部
５０に環状照明手段としてのリング蛍光部６０が内蔵さ
れている。
【００１９】図１は本発明による画像入力装置の一実施
例を示す縦断面図であって、３ａは溝、３ｂは面取部、
３１はハーフミラー、４１はレンズ系、４２はＣＣＤ撮
像素子、５１は支持部材、５１ａは光束通過口、５１ｂ
は突出部、５２ａ〜５２ｃは反射板、５３，５４は遮光
板、６１はリング蛍光灯、６１ａは接続ソケット、６２
は金具であり、図３に対応する部分には同一符号を付け
ている。
例を示す縦断面図であって、３ａは溝、３ｂは面取部、
３１はハーフミラー、４１はレンズ系、４２はＣＣＤ撮
像素子、５１は支持部材、５１ａは光束通過口、５１ｂ
は突出部、５２ａ〜５２ｃは反射板、５３，５４は遮光
板、６１はリング蛍光灯、６１ａは接続ソケット、６２
は金具であり、図３に対応する部分には同一符号を付け
ている。
【００２０】また、図４は図１における光拡散部５０の
分解組立図であって、５２ｄは反射板、５３ａは光束通
過口、５３ｂは切欠部、５４ａは光束通過口、５４ｂは
切欠部であり、図１に対応する部分には同一符号を付け
ている。
分解組立図であって、５２ｄは反射板、５３ａは光束通
過口、５３ｂは切欠部、５４ａは光束通過口、５４ｂは
切欠部であり、図１に対応する部分には同一符号を付け
ている。
【００２１】図１及び図４において、面発光照明部２０
は光ファイバで外部から得られた光を方向転換して平行
光線としたり、面発光体などからなって、平行光線を発
生するものであり、この平行光線はハ−フミラ−ボック
ス３０のハ−フミラ−３１に照射される。面発光照明部
２０とハ−フミラ−ボックス３０は、光拡散部５０の支
持部材５１上に固定されている。
は光ファイバで外部から得られた光を方向転換して平行
光線としたり、面発光体などからなって、平行光線を発
生するものであり、この平行光線はハ−フミラ−ボック
ス３０のハ−フミラ−３１に照射される。面発光照明部
２０とハ−フミラ−ボックス３０は、光拡散部５０の支
持部材５１上に固定されている。
【００２２】画像入力部４０はハ−フミラ−ボックス３
０上に設置されており、レンズ系４１とＣＣＤ撮像素子
４２を備えている。ＣＣＤ撮像素子４２で撮像された基
板４の画像信号は画像処理装置１４（図２）に送られて
処理され、モニタ７の映像信号などに変換される。
０上に設置されており、レンズ系４１とＣＣＤ撮像素子
４２を備えている。ＣＣＤ撮像素子４２で撮像された基
板４の画像信号は画像処理装置１４（図２）に送られて
処理され、モニタ７の映像信号などに変換される。
【００２３】光拡散部５０の支持部材５１に光束通過口
５１ａが設けられており、ハ−フミラ−３１で反射され
た面発光照明部２０からの平行光線はこの光束通過口５
１ａを通過して基板４に照射される。基板４及びステ−
ジ３の表面からの反射光は、再び光束通過口５１ａを通
過し、さらに、ハ−フミラ−３１とレンズ系４１を通っ
てＣＣＤ撮像素子４２に至る。これにより、基板４の表
面が撮像される。
５１ａが設けられており、ハ−フミラ−３１で反射され
た面発光照明部２０からの平行光線はこの光束通過口５
１ａを通過して基板４に照射される。基板４及びステ−
ジ３の表面からの反射光は、再び光束通過口５１ａを通
過し、さらに、ハ−フミラ−３１とレンズ系４１を通っ
てＣＣＤ撮像素子４２に至る。これにより、基板４の表
面が撮像される。
【００２４】従って、面発光照明部２０から出力された
平行光線は、撮像手段としてのＣＣＤ撮像素子４２の光
軸に沿った照明を行なう同軸落射方式照明となってい
る。
平行光線は、撮像手段としてのＣＣＤ撮像素子４２の光
軸に沿った照明を行なう同軸落射方式照明となってい
る。
【００２５】光拡散部５０の支持部材５１に突出部５１
ｂが設けられ、この突出部５１ｂの下部にリング蛍光灯
６１を有するリング蛍光部６０が設けられている。即
ち、突出部５１ｂの下面に接続ソケット６１ａが取り付
けられて金具６２がねじで固定されており、この接続ソ
ケット６１ａにリング蛍光灯６１が設置される。
ｂが設けられ、この突出部５１ｂの下部にリング蛍光灯
６１を有するリング蛍光部６０が設けられている。即
ち、突出部５１ｂの下面に接続ソケット６１ａが取り付
けられて金具６２がねじで固定されており、この接続ソ
ケット６１ａにリング蛍光灯６１が設置される。
【００２６】図１においては、一点鎖線が面発光照明部
２０から発せられて基板４に照射される平行光線、二点
鎖線がこの平行光線の基板４からの反射光であり、基板
４上のこれら一点鎖線，二点差線の光束範囲がＣＣＤ撮
像素子４２の基板４上の視野Ｆとなり、リング蛍光灯６
１はこれら光束の範囲外でこれら光束を取り囲むように
配置されている。これにより、リング蛍光灯６１がＣＣ
Ｄ撮像素子４２で撮像されないようにしている。
２０から発せられて基板４に照射される平行光線、二点
鎖線がこの平行光線の基板４からの反射光であり、基板
４上のこれら一点鎖線，二点差線の光束範囲がＣＣＤ撮
像素子４２の基板４上の視野Ｆとなり、リング蛍光灯６
１はこれら光束の範囲外でこれら光束を取り囲むように
配置されている。これにより、リング蛍光灯６１がＣＣ
Ｄ撮像素子４２で撮像されないようにしている。
【００２７】支持部材５１の周囲には、接続ソケット６
１ａが取り付けられている場所を除いて、基板４側に垂
下した反射板５２ａ〜５２ｄがねじ止めされている。ま
た、突出部５１ｂから垂下した反射板５２ａには、遮光
板５３がねじで固定され、さらに、遮光板５３の下面に
遮光板５４がねじで固定されている。これら遮光板５
３，５４は基板４とリング蛍光灯６１との間に位置付け
られており、リング蛍光灯６１の照明光が基板４上での
ＣＣＤ撮像素子４２の視野Ｆ内を直接照射しないように
している。図１では、リング蛍光灯６１の照明光がＣＣ
Ｄ撮像素子４２の視野Ｆに最も接近して直接基板４を照
射する光を点線で示している。
１ａが取り付けられている場所を除いて、基板４側に垂
下した反射板５２ａ〜５２ｄがねじ止めされている。ま
た、突出部５１ｂから垂下した反射板５２ａには、遮光
板５３がねじで固定され、さらに、遮光板５３の下面に
遮光板５４がねじで固定されている。これら遮光板５
３，５４は基板４とリング蛍光灯６１との間に位置付け
られており、リング蛍光灯６１の照明光が基板４上での
ＣＣＤ撮像素子４２の視野Ｆ内を直接照射しないように
している。図１では、リング蛍光灯６１の照明光がＣＣ
Ｄ撮像素子４２の視野Ｆに最も接近して直接基板４を照
射する光を点線で示している。
【００２８】遮光板５３，５４には、支持部材５１の光
束通過口５１ａと同様に、面発光照明部２０からの光束
や基板４からの反射光が通過できる光束通過口５３ａ，
５４ａが設けられている。
束通過口５１ａと同様に、面発光照明部２０からの光束
や基板４からの反射光が通過できる光束通過口５３ａ，
５４ａが設けられている。
【００２９】しかし、遮光板５３，５４が厚すぎると、
光束通過口５３ａ，５４ａの内周面が広くなり、これが
リング蛍光灯６１の照明光で明るく照らされると、これ
ら内周面の反射光でこれら内周面の形が基板４に写り、
これをＣＣＤ撮像素子４２が基板３を介して撮像してし
まうことになる。このため、基板４側の遮光板５４はで
きるだけ薄いものとし、機械的な支持は厚目の遮光板５
３で行なうようにし、さらに、遮光板５３の光束通過口
５３ａを遮光板５４の光束通過口５４ａよりも大口径と
して、光束通過口５３ａ内周面が広くても、遮光板５４
によってリング蛍光灯６１の形が基板４に写らないよう
にし、ＣＣＤ撮像素子４２に直接取り込まれることを阻
止している。
光束通過口５３ａ，５４ａの内周面が広くなり、これが
リング蛍光灯６１の照明光で明るく照らされると、これ
ら内周面の反射光でこれら内周面の形が基板４に写り、
これをＣＣＤ撮像素子４２が基板３を介して撮像してし
まうことになる。このため、基板４側の遮光板５４はで
きるだけ薄いものとし、機械的な支持は厚目の遮光板５
３で行なうようにし、さらに、遮光板５３の光束通過口
５３ａを遮光板５４の光束通過口５４ａよりも大口径と
して、光束通過口５３ａ内周面が広くても、遮光板５４
によってリング蛍光灯６１の形が基板４に写らないよう
にし、ＣＣＤ撮像素子４２に直接取り込まれることを阻
止している。
【００３０】また、リング蛍光灯６１がＣＣＤ撮像素子
４２の視野Ｆ以外の領域を照射することは差し支えな
く、基板４が明るいと、ＣＣＤ撮像素子４２による撮像
が容易になるので、遮光板５３，５４の４隅部には、切
欠部５３ｂ，５４ｂを設けている。
４２の視野Ｆ以外の領域を照射することは差し支えな
く、基板４が明るいと、ＣＣＤ撮像素子４２による撮像
が容易になるので、遮光板５３，５４の４隅部には、切
欠部５３ｂ，５４ｂを設けている。
【００３１】なお、反射板５２ａ〜５２ｄ及び遮光板５
４としては、軽く乱反射して光を散乱させ易いアルミニ
ュウムや白色の紙などを、また、遮光板５３としては、
薄くても強度の高いステンレスを用いるが、同様の間接
照明用の機能を持つものであれば、その他の素材も利用
することができる。
４としては、軽く乱反射して光を散乱させ易いアルミニ
ュウムや白色の紙などを、また、遮光板５３としては、
薄くても強度の高いステンレスを用いるが、同様の間接
照明用の機能を持つものであれば、その他の素材も利用
することができる。
【００３２】基板４の上面あるいは下面などに蒸着され
たクロムの電極パタ−ンなど平坦で高反射率のものは、
面発光照明部２０による同軸落射方式の照明でＣＣＤ撮
像素子４２に容易に撮像される。また、基板４の上面に
シリンジ１１で塗布された透光性有色ペ−ストや、ステ
−ジ３に基板４をロ−ドあるいはアンロ−ドするフォ−
クを差し入れるために設けられた溝３ａの面取部３ｂに
は、反射板５２ａ〜５２ｄで反射された基板４の主面に
平行に近い角度のリング蛍光灯６１の光が間接照射さ
れ、図１に実線矢印Ａで示すように、その反射光が同軸
落射方式の照明光と平行になってＣＣＤ撮像素子４２に
至るので、透光性有色ペ−ストや面取部３ｂの形も容易
に撮像される。
たクロムの電極パタ−ンなど平坦で高反射率のものは、
面発光照明部２０による同軸落射方式の照明でＣＣＤ撮
像素子４２に容易に撮像される。また、基板４の上面に
シリンジ１１で塗布された透光性有色ペ−ストや、ステ
−ジ３に基板４をロ−ドあるいはアンロ−ドするフォ−
クを差し入れるために設けられた溝３ａの面取部３ｂに
は、反射板５２ａ〜５２ｄで反射された基板４の主面に
平行に近い角度のリング蛍光灯６１の光が間接照射さ
れ、図１に実線矢印Ａで示すように、その反射光が同軸
落射方式の照明光と平行になってＣＣＤ撮像素子４２に
至るので、透光性有色ペ−ストや面取部３ｂの形も容易
に撮像される。
【００３３】ＣＣＤ撮像素子４２は、リング蛍光灯６１
を撮像せず、ステ−ジ３や基板４の表面状態のみを撮像
することができる。その映像を鮮明にするために、遮光
板５３，５４の４隅に設けられた切欠部５３ｂ，５４ｂ
の大きさを調節したり、面発光照明部２０やリング蛍光
部６０に調光手段を設けるとよい。面発光照明部２０や
リング蛍光部６０を個別に調光することにより、反射率
の高いものと透過率の高いものを同時に明瞭に撮像する
ことができる。
を撮像せず、ステ−ジ３や基板４の表面状態のみを撮像
することができる。その映像を鮮明にするために、遮光
板５３，５４の４隅に設けられた切欠部５３ｂ，５４ｂ
の大きさを調節したり、面発光照明部２０やリング蛍光
部６０に調光手段を設けるとよい。面発光照明部２０や
リング蛍光部６０を個別に調光することにより、反射率
の高いものと透過率の高いものを同時に明瞭に撮像する
ことができる。
【００３４】図５は本発明による画像入力装置の他の実
施例を示す縦断面図であって、５１ｃは内筒部、５５は
支持板、５５ａは光束通過口、５６は透光板であり、図
１に対応する部分には同一符号を付けて重複する説明を
省略する。
施例を示す縦断面図であって、５１ｃは内筒部、５５は
支持板、５５ａは光束通過口、５６は透光板であり、図
１に対応する部分には同一符号を付けて重複する説明を
省略する。
【００３５】同図において、支持部材５１に、基板４側
に垂下し、面発光照明部２０からの平行光線や基板４か
らの反射光の通路を形成しているが、リング蛍光灯６１
をこの光束の通路から隔離するようにした内筒部５１ｃ
が設けられている。内筒部５１ｃの内周面は、カメラの
レンズ鏡筒のように黒色にしている。
に垂下し、面発光照明部２０からの平行光線や基板４か
らの反射光の通路を形成しているが、リング蛍光灯６１
をこの光束の通路から隔離するようにした内筒部５１ｃ
が設けられている。内筒部５１ｃの内周面は、カメラの
レンズ鏡筒のように黒色にしている。
【００３６】また、この実施例では、図１での遮光板５
３，５４に代えて、環状の支持板５５と透光板５６とが
用いられている。支持板５５の光束通過口５５ａは、支
持板５５が透光板５６を支持できる程度にできるだけ大
口径としている。透光板５６はリング蛍光灯６１の照明
光を透過させるものであるが、さらに、これを散乱させ
る機能も有している。また、内筒部５１ｃの外周面も、
リング蛍光灯６１の照明光を散乱させる。
３，５４に代えて、環状の支持板５５と透光板５６とが
用いられている。支持板５５の光束通過口５５ａは、支
持板５５が透光板５６を支持できる程度にできるだけ大
口径としている。透光板５６はリング蛍光灯６１の照明
光を透過させるものであるが、さらに、これを散乱させ
る機能も有している。また、内筒部５１ｃの外周面も、
リング蛍光灯６１の照明光を散乱させる。
【００３７】従って、リング蛍光灯６１からの直進照明
光は、点線矢印Ｂで示すように、基板４を直接照射する
が、この照射はＣＣＤ撮像素子４２の視野Ｆ外であって
問題はない。また、透光板５６，内筒部５１ｃの外周面
及び反射板５２ａ〜５２ｄで散乱したリング蛍光灯６１
からの照明光は、図１に示した実施例と同様に、実線矢
印Ａで示すように、面取部３ｂや図示していないペ−ス
トの傾斜面でＣＣＤ撮像素子４２に向かうように反射さ
れて撮像される。
光は、点線矢印Ｂで示すように、基板４を直接照射する
が、この照射はＣＣＤ撮像素子４２の視野Ｆ外であって
問題はない。また、透光板５６，内筒部５１ｃの外周面
及び反射板５２ａ〜５２ｄで散乱したリング蛍光灯６１
からの照明光は、図１に示した実施例と同様に、実線矢
印Ａで示すように、面取部３ｂや図示していないペ−ス
トの傾斜面でＣＣＤ撮像素子４２に向かうように反射さ
れて撮像される。
【００３８】この実施例では、リング蛍光灯６１がＣＣ
Ｄ撮像素子４２の視野Ｆに映ることを全く気にしなくて
よい。
Ｄ撮像素子４２の視野Ｆに映ることを全く気にしなくて
よい。
【００３９】以上、本発明の実施例を説明したが、本発
明は、かかる実施例のみに限定されるものではない。例
えば、基板４をガラス製のものとしていたが、透明なプ
ラスチック製のフレクシブルプリント基板などであって
もよい。また、基板４が不透明であれば適用できないと
いうものではなくて、当然のことながら不透明であって
も画像入力は可能である。
明は、かかる実施例のみに限定されるものではない。例
えば、基板４をガラス製のものとしていたが、透明なプ
ラスチック製のフレクシブルプリント基板などであって
もよい。また、基板４が不透明であれば適用できないと
いうものではなくて、当然のことながら不透明であって
も画像入力は可能である。
【００４０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
基板上に透光性有色ペ−ストが塗布されていても、確実
にこれを撮像することができる。
基板上に透光性有色ペ−ストが塗布されていても、確実
にこれを撮像することができる。
【図１】本発明による画像入力装置の一実施例を示す縦
断面図である。
断面図である。
【図２】本発明による画像入力装置を用いたガラス基板
検査装置付きペ−スト塗布機を示す側面図である。
検査装置付きペ−スト塗布機を示す側面図である。
【図３】本発明による画像入力装置の外観斜視図であ
る。
る。
【図４】図１における光拡散部の分解組立図である。
【図５】本発明による画像入力装置の他の実施例を示す
縦断面図である。
縦断面図である。
３ ステ−ジ ３ａ 溝 ３ｂ 面取部 ４ ガラス基板 ８ 画像入力装置 ２０ 面発光照明部 ３０ ハ−フミラ−ボックス ３１ ハ−フミラ− ４０ 画像入力部 ４１ レンズ系 ４２ ＣＣＤ撮像素子 ５０ 光拡散部 ５１ 支持部材 ５１ａ 光束通過口 ５１ｂ 突出部 ５１ｃ 内筒部 ５２ａ〜５２ｄ 反射板 ５３ 遮光板 ５３ａ 光束通過口 ５３ｂ 切欠部 ５４ 遮光板 ５４ａ 光束通過口 ５４ｂ 切欠部 ６０ リング蛍光部 ６１ リング蛍光灯 ６１ａ 接続ソケット ６２ 金具
Claims (3)
- 【請求項１】 ステ−ジに載置された基板を画像として
取り込む撮像手段と、該基板に対して該撮像手段の光軸
に沿った照明を行なう同軸落射方式照明手段を有する画
像入力装置において、 該照明手段における照明光の光束を取り囲むように設け
られた環状の照明手段と、 該環状照明手段における照明光で該撮像手段の該基板に
おける視野内の該基板に対し間接照明を行なうための間
接照明手段と、 該環状照明手段における照明光が該撮像手段に直接取り
込まれることを阻止するための照明光遮断手段とを備え
たことを特徴とする画像入力装置。 - 【請求項２】 請求項１において、 前記照明光遮断手段は、前記撮像手段と前記環状照明手
段の間にあって、前記照明手段における照明光の光束通
過口があり、 前記環状照明手段は、前記撮像手段側から見て、前記照
明光遮断手段の光束通過口から隠れた位置において該照
明光遮断手段支持固定されており、 前記間接照明手段は、前記照明光遮断手段の周囲に設け
た光反射板を備えていることを特徴とする画像入力装
置。 - 【請求項３】 請求項１において、 前記間接照明手段は、前記環状照明手段と前記基板との
間に設けた環状の光遮断手段及び前記環状照明手段の内
周側に前記照明手段における照明光の光束は通過させる
ように設けた筒状の光遮断手段のいずれかであることを
特徴とする画像入力装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05269795A JP3217228B2 (ja) | 1995-03-13 | 1995-03-13 | 画像入力装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05269795A JP3217228B2 (ja) | 1995-03-13 | 1995-03-13 | 画像入力装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08251455A true JPH08251455A (ja) | 1996-09-27 |
| JP3217228B2 JP3217228B2 (ja) | 2001-10-09 |
Family
ID=12922088
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05269795A Expired - Fee Related JP3217228B2 (ja) | 1995-03-13 | 1995-03-13 | 画像入力装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3217228B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002268132A (ja) * | 2001-03-14 | 2002-09-18 | Toppan Printing Co Ltd | 一定周期繰り返しパターンを持つ平面状被写体の撮像装置 |
| CN110170772A (zh) * | 2019-05-29 | 2019-08-27 | 重庆凯宝机器人股份有限公司 | 焊接工作站用视觉总成 |
-
1995
- 1995-03-13 JP JP05269795A patent/JP3217228B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002268132A (ja) * | 2001-03-14 | 2002-09-18 | Toppan Printing Co Ltd | 一定周期繰り返しパターンを持つ平面状被写体の撮像装置 |
| CN110170772A (zh) * | 2019-05-29 | 2019-08-27 | 重庆凯宝机器人股份有限公司 | 焊接工作站用视觉总成 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3217228B2 (ja) | 2001-10-09 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |