JPH08250640A - Manufacture of lead frame and plastic molded type semiconductor device using the same - Google Patents

Manufacture of lead frame and plastic molded type semiconductor device using the same

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JPH08250640A
JPH08250640A JP4768395A JP4768395A JPH08250640A JP H08250640 A JPH08250640 A JP H08250640A JP 4768395 A JP4768395 A JP 4768395A JP 4768395 A JP4768395 A JP 4768395A JP H08250640 A JPH08250640 A JP H08250640A
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JP
Japan
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lead
island
resin
leads
outer frame
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Application number
JP4768395A
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Inventor
Kenji Yoshida
賢司 吉田
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Rohm Co Ltd
Original Assignee
Rohm Co Ltd
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Publication date
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  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Abstract

PURPOSE: To restrain the trouble due to position deviation of a resin molding part which is caused by the cutting of island support, by connecting lead tips which are not resin molded by a linkage part, and connecting the linked lead group with an outer frame by a holding part. CONSTITUTION: A lead frame 1 to be used for assembling a plastic molded type semiconductor device has the following; an island for mounting a semiconductor element, a plurality of leads 3 arranged around the island 2, and an outer frame 4 holding the island 2 and the leads 3. The tips of a plurality of the leads 3 constituting a lead group which tips are not resin molded are connected by a linkage part 6. The connected leads 3 are further connected with the outer frame 4 by a holding part 7. In the case of carriage to a metal mold for bending the leads 3, the carriage is performed in the state held on the outer frame by the holding part 7, so that the trouble caused by the cutting of island support can be restrained, and metal mold breakdown and product breakdown can be prevented.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明はリードフレーム及びこれ
を用いた樹脂封止型半導体装置の製造方法に関し、特に
樹脂封止後の外部リードの曲げ加工時のトラブルを防ぐ
リードフレーム及びこれを用いた樹脂封止型半導体装置
の製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a lead frame and a method for manufacturing a resin-encapsulated semiconductor device using the same, and more particularly to a lead frame for preventing troubles during bending of external leads after resin encapsulation and the use thereof. The present invention relates to a method for manufacturing a resin-sealed semiconductor device.

【0002】[0002]

【従来の技術】樹脂封止型半導体装置の組立の最終工程
に、モールド装置でリードフレームを樹脂封止した後、
樹脂封止部から導出したリードの部分を曲げ加工を行な
い、最終製品形状にする工程がある。一般に、樹脂封止
型半導体装置の組立には、図6に示すようなリードフレ
ーム20が使用される。リードフレーム20は、半導体
素子を搭載するアイランド21と、アイランド21の周
囲に配置された複数のリード22とを備え、アイランド
21はアイランドサポート23により外枠24に保持さ
れるとともに、リード22は外枠24に直接接続されて
いる。
2. Description of the Related Art In a final step of assembling a resin-sealed semiconductor device, a lead frame is resin-sealed by a molding machine,
There is a step of bending the lead portion led out from the resin sealing portion to form the final product shape. Generally, a lead frame 20 as shown in FIG. 6 is used for assembling a resin-sealed semiconductor device. The lead frame 20 includes an island 21 on which a semiconductor element is mounted, and a plurality of leads 22 arranged around the island 21. The island 21 is held by an outer frame 24 by an island support 23, and the leads 22 are kept outside. It is directly connected to the frame 24.

【0003】このリードフレーム20を用いた樹脂封止
型半導体装置の曲げ加工は図7〜9に示す方法で行われ
ている。図7(a)に示す方法は、リードフレーム20
を樹脂封止した後、外枠24と樹脂封止部25から導出
されたリード22を切断し、樹脂封止部25をアイラン
ドサポート23で外枠24に保持した状態で、リードフ
レーム20単位に曲げ金型に搬送する。そして、図7
(b)に示すように、樹脂封止部25から導出されたリ
ード22を、図示しない曲げ金型により所定の形状に加
工する。そして、最後にアイランドサポート23を切断
し、所定のリード形状の樹脂封止型半導体装置を完成す
る。
Bending of a resin-sealed semiconductor device using the lead frame 20 is performed by the method shown in FIGS. The method shown in FIG.
After resin-sealing, the leads 22 led out from the outer frame 24 and the resin-sealing portion 25 are cut, and the resin-sealing portion 25 is held on the outer frame 24 by the island support 23, and the lead frame 20 is used as a unit. Transfer to a bending mold. And FIG.
As shown in (b), the lead 22 led out from the resin sealing portion 25 is processed into a predetermined shape by a bending die (not shown). Finally, the island support 23 is cut to complete a resin-molded semiconductor device having a predetermined lead shape.

【0004】また、図8(a)に示す方法は、樹脂封止
が終了したリードフレームの外枠からリード及びアイラ
ンドサポートを切断し、樹脂封止部25とリードフレー
ムを分離し、加工前の単品の状態で曲げ金型に搬送す
る。そして、図8(b)に示すように、樹脂封止部25
から導出されたリード22を、図示しない曲げ金型によ
り所定の形状に加工し、所定のリード形状の樹脂封止型
半導体装置を完成する。
Further, in the method shown in FIG. 8A, the leads and the island support are cut from the outer frame of the lead frame which has been resin-sealed, and the resin-sealed portion 25 and the lead frame are separated from each other. It is conveyed as a single item to the bending die. Then, as shown in FIG. 8B, the resin sealing portion 25
The lead 22 derived from the above is processed into a predetermined shape by a bending die (not shown) to complete a resin-sealed semiconductor device having a predetermined lead shape.

【0005】また、図9に示す方法は、リードフレーム
20を樹脂封止した後、樹脂封止部25をリード22で
外枠24に保持した状態で、曲げ金型に搬送し、図9
(b)に示すように、樹脂封止部25から導出されたリ
ード22を、図示しない曲げ金型により所定の形状に加
工し、所定のリード形状の樹脂封止型半導体装置を完成
する。
In the method shown in FIG. 9, the lead frame 20 is resin-sealed, and then the resin-sealed portion 25 is held by the leads 22 on the outer frame 24 and conveyed to a bending die.
As shown in (b), the leads 22 led out from the resin encapsulation portion 25 are processed into a predetermined shape by a bending die (not shown) to complete a resin encapsulation type semiconductor device having a predetermined lead shape.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述の方法
では、次のような問題が生じるおそれがあった。図7の
方法では、アイランドサポート23のみで樹脂封止部2
5を外枠24に保持しているため、曲げ金型への搬送中
にアイランドサポート23が切れて、金型が破損した
り、製品自体が破壊されたする場合があった。特に、ア
イランドサポート23を切断する際の樹脂封止部25の
欠け防止のためのノッチ26をコーナ部に設けるとアイ
ランドサポート23が弱くなり、切断される場合が多く
みられた。
However, the above-mentioned method may cause the following problems. In the method shown in FIG. 7, only the island support 23 is used for the resin sealing portion 2.
Since 5 is held in the outer frame 24, the island support 23 may be cut during the transportation to the bending die, and the die may be damaged or the product itself may be destroyed. In particular, when the notch 26 for preventing the resin sealing portion 25 from being chipped when the island support 23 is cut is provided in the corner portion, the island support 23 becomes weak and is often cut.

【0007】また、図8に示す方法では、リードフレー
ムの外枠からリード及びアイランドサポートを切断し
て、加工前の単品の状態で曲げ金型に搬送して、樹脂封
止部25から導出するリード22を加工しているので、
リードフレーム単位で搬送する上述の方法に対して生産
性が低いという問題が生じていた。また、図9に示す方
法では、リード22の切断と曲げ加工を同時に行ってい
るため、リード22のメッキを削りながら成形すること
となり、この削れたメッキがリード22間に付着してシ
ョートの原因ともなっていた。
Further, in the method shown in FIG. 8, the leads and the island supports are cut from the outer frame of the lead frame, conveyed to a bending die in the state of a single product before processing, and led out from the resin sealing portion 25. Since the lead 22 is processed,
There is a problem that the productivity is low as compared with the above-described method of carrying in lead frame units. Further, in the method shown in FIG. 9, since the lead 22 is cut and bent at the same time, the lead 22 is molded while scraping the plating, and the scraped plating adheres between the leads 22 to cause a short circuit. It was also accompanied.

【0008】本発明は、上述した問題点に鑑み、樹脂封
止部をより強固に保持でき、しかも生産性の良いリード
フレーム及びこれを用いた樹脂封止型半導体装置の製造
方法を提供するものである。
In view of the above-mentioned problems, the present invention provides a lead frame capable of holding the resin encapsulation portion more firmly and having high productivity, and a method of manufacturing a resin encapsulation type semiconductor device using the same. Is.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明は、上記の目的を
達成するために次のような構成をとる。すなわち、本発
明のリードフレームは、半導体素子を搭載するアイラン
ドと、前記アイランドの周囲に配置された複数のリード
と、前記アイランド及びリードを保持する外枠とを有す
る樹脂封止型半導体装置用のリードフレームにおいて、
前記リードの樹脂封止されない先端部を接続する連結部
と、連結部により接続されたリードと外枠とを保持する
保持部を有することを特徴とするものである。
The present invention has the following constitution in order to achieve the above object. That is, the lead frame of the present invention is for a resin-sealed semiconductor device having an island on which a semiconductor element is mounted, a plurality of leads arranged around the island, and an outer frame holding the island and the lead. In the lead frame,
It is characterized in that it has a connecting portion for connecting the leading end portion of the lead that is not resin-sealed, and a holding portion for holding the lead and the outer frame connected by the connecting portion.

【0010】上記リードフレームを好適に実施すること
ができる本発明の樹脂封止型半導体装置の製造方法は、
半導体素子を請求項1記載のリードフレームに固着する
工程と、前記半導体素子のボンディングパッドとこれに
対応するリードを金属線によりワイヤボンディングする
工程と、前記リードフレームの所定部分を樹脂封止する
工程と、前記工程後に樹脂封止部を保持部によりリード
フレームの外枠に保持した状態でリードを成形する工程
とを有するものである。
A method of manufacturing a resin-sealed semiconductor device according to the present invention, which can suitably implement the above lead frame, comprises:
The step of fixing the semiconductor element to the lead frame according to claim 1, the step of wire bonding the bonding pad of the semiconductor element and the corresponding lead with a metal wire, and the step of resin-sealing a predetermined portion of the lead frame. And a step of molding the lead after the above steps while the resin sealing portion is held by the holding portion on the outer frame of the lead frame.

【0011】[0011]

【作用】本発明のリードフレームは、樹脂封止されない
リードの先端部を接続する連結部を有し、この連結され
たリード群と外枠を保持部で接続しているので、樹脂封
止後のリード成形工程の搬送途中に発生していたアイラ
ンドサポートの切れによる樹脂封止部の位置ズレによる
トラブルが抑えられ、金型破損、製品破壊等の問題が防
止できる。
The lead frame of the present invention has a connecting portion for connecting the tip portions of the leads which are not resin-sealed, and the connected lead group and the outer frame are connected by the holding portion. It is possible to prevent problems due to positional displacement of the resin sealing portion due to breakage of the island support that occurred during the transportation of the lead molding process, and prevent problems such as mold damage and product destruction.

【0012】[0012]

【実施例】以下、本発明の実施例を、図1を参照しつつ
説明する。樹脂封止型半導体装置の組立に利用される本
発明のリードフレーム1は、例えば、鉄ニッケル合金
(42アロイ)や銅合金の薄板を打抜きや化学処理する
ことにより、半導体素子を搭載するアイランド2と、ア
イランド2の周囲に配置された複数のリード3と、アイ
ランド2及びリード3を保持する外枠4を有しており、
アイランド2はアイランドサポート5により外枠4に接
続されている。アイランド2の周囲に配置された複数の
リード3は、アイランド2の各辺に対し略垂直方向に延
在している。アイランド2の各辺に延在しているリード
3は各辺毎にリード群を構成する。リード群を構成する
複数のリード3の樹脂封止されない先端部は連結部6に
より接続されている。連結部6により接続された複数の
リード3は、さらに保持部7により外枠4と接続されて
いる。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG. The lead frame 1 of the present invention used for assembling a resin-sealed semiconductor device has an island 2 on which a semiconductor element is mounted, for example, by punching or chemically treating a thin plate of iron-nickel alloy (42 alloy) or copper alloy. And a plurality of leads 3 arranged around the island 2 and an outer frame 4 for holding the island 2 and the leads 3,
The island 2 is connected to the outer frame 4 by an island support 5. The plurality of leads 3 arranged around the island 2 extend in a direction substantially perpendicular to each side of the island 2. The leads 3 extending on each side of the island 2 form a lead group on each side. The ends of the plurality of leads 3 forming the lead group, which are not resin-sealed, are connected by a connecting portion 6. The plurality of leads 3 connected by the connecting portion 6 are further connected to the outer frame 4 by the holding portion 7.

【0013】上述のリードフレーム1を用いて樹脂封止
型半導体装置を製造する方法について、図2,3を参照
に説明する。まず図2(a)に示すように、まずアイラ
ンド2上に半導体素子8搭載した後、半導体素子8のボ
ンディングパッドとこれに対応するリード3の先端部を
Au線9によりワイヤボンディングする。次いで、図2
(b)に示すように、半導体素子8を搭載しワイヤボン
ディングを行ったリードフレーム1を樹脂封止工程で、
アイランド2とリード3の一部とを覆う樹脂封止部10
を形成する。樹脂封止部10の各コーナ部にはアイラン
ドサポート5の切断を容易にするためノッチ11が設け
られている。
A method of manufacturing a resin-sealed semiconductor device using the above lead frame 1 will be described with reference to FIGS. First, as shown in FIG. 2A, after mounting the semiconductor element 8 on the island 2, the bonding pad of the semiconductor element 8 and the corresponding tip of the lead 3 are wire-bonded by the Au wire 9. Then, FIG.
As shown in (b), the lead frame 1 on which the semiconductor element 8 is mounted and wire bonding is performed in a resin sealing step,
Resin sealing portion 10 covering the island 2 and a part of the lead 3
To form. Notches 11 are provided at the respective corners of the resin sealing portion 10 to facilitate the cutting of the island support 5.

【0014】次に、図3(c)に示すように、樹脂封止
工程が終了した後、次のリード成形工程で、まず外枠4
からアイランドサポート5を切断し、樹脂封止部10の
各辺から導出されるリード3の先端部を連結部6により
接続されたリード群を保持部7により外枠4に保持した
状態で、リード3の曲げ加工用の金型に搬送する。係る
搬送は、従来アイランドサポート5により保持しながら
行われていたが、本発明では、リード群に接続する保持
部7で外枠4に保持しながら搬送しているので、アイラ
ンドサポートの切れによるトラブルが抑えられ、金型破
損、製品破壊等の問題が防止できる。曲げ金型では、リ
ード3とともに保持部7を同時に曲げ加工が行なわれ
る。
Next, as shown in FIG. 3 (c), after the resin sealing step is completed, in the next lead forming step, the outer frame 4 is first formed.
The island support 5 is cut from the lead, and the lead group derived from each side of the resin-sealed portion 10 is connected to the tip portion of the lead 3 by the connecting portion 6. It is conveyed to the bending mold of No. 3. Conventionally, the transportation is carried out while being held by the island support 5, but in the present invention, since it is carried while being held by the outer frame 4 by the holding portion 7 connected to the lead group, troubles due to the island support being cut off may occur. Can be suppressed, and problems such as mold damage and product destruction can be prevented. In the bending die, the lead 3 and the holding portion 7 are simultaneously bent.

【0015】最後に、図3(d)に示すように、リード
3間同士を接続する連結部6の所定位置を切断してリー
ド3を分離するともに、外枠4から保持部7を切断し、
所定のリード形状の樹脂封止型半導体装置を完成する。
次に、本発明に使用されるリードフレームの他の実施例
について説明する。図4,図5に示すリードフレーム
は、樹脂封止部10のある一辺から導出されるリード
3,連結部6,保持部7と外枠4の位置関係および形状
を示している。
Finally, as shown in FIG. 3D, the lead 3 is separated by cutting a predetermined position of the connecting portion 6 connecting the leads 3 to each other, and the holding portion 7 is cut from the outer frame 4. ,
A resin-sealed semiconductor device having a predetermined lead shape is completed.
Next, another embodiment of the lead frame used in the present invention will be described. The lead frame shown in FIGS. 4 and 5 shows the positional relationship and shape of the lead 3, the connecting portion 6, the holding portion 7 and the outer frame 4 which are led out from one side where the resin sealing portion 10 is present.

【0016】図4(a)(b)(c)に示すリードフレ
ームの保持部7はクランク状の形状を有しており、外枠
4とリード3及び連結部6を接続している。とくに
(c)に示す形状では、4本の保持部7により接続され
ている。保持部7を上述の形状とすることで、バリ処
理,リードメッキ等を行う際の保持部7の変形が生じに
くくなる。
The holding portion 7 of the lead frame shown in FIGS. 4A, 4B and 4C has a crank shape and connects the outer frame 4 to the leads 3 and the connecting portion 6. Particularly, in the shape shown in (c), four holding portions 7 are connected. By making the holding portion 7 have the above-described shape, the holding portion 7 is less likely to be deformed when performing burr treatment, lead plating, or the like.

【0017】図5(a)(b)に示すリードフレームの
保持部7は、連結部6と外枠4との間に略コの字状の屈
曲部12を有している。また、保持部7を上述の形状と
することで、保持部7が曲がり易い形状となるので、リ
ード3の成形時のストレスの緩和ができる。
The holding portion 7 of the lead frame shown in FIGS. 5A and 5B has a substantially U-shaped bent portion 12 between the connecting portion 6 and the outer frame 4. In addition, since the holding portion 7 has a shape that is easily bent by forming the holding portion 7 in the above-described shape, stress during molding of the lead 3 can be relieved.

【0018】[0018]

【発明の効果】以上、説明したように本発明では、樹脂
封止されないリードの先端部を接続する連結部を有し、
この連結されたリード群と外枠を保持部で接続している
ので、樹脂封止後のリード成形工程の搬送途中に発生し
ていたアイランドサポートの切れによる樹脂封止部の位
置ズレによるトラブルが抑えられ、金型破損、製品破壊
等の問題が防止できる。
As described above, according to the present invention, the connecting portion for connecting the tip portions of the leads which are not resin-sealed,
Since the connected lead group and the outer frame are connected by the holding part, there is no problem due to misalignment of the resin sealing part due to island support breakage that occurred during the lead molding process after resin sealing. It can be suppressed and problems such as mold damage and product destruction can be prevented.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明のリードフレームを示す斜視図。FIG. 1 is a perspective view showing a lead frame of the present invention.

【図2】本発明の曲げ加工方法を示す斜視図。FIG. 2 is a perspective view showing a bending method of the present invention.

【図3】本発明の曲げ加工方法を示す斜視図。FIG. 3 is a perspective view showing a bending method of the present invention.

【図4】本発明の他のリードフレームを示す説明図。FIG. 4 is an explanatory diagram showing another lead frame of the present invention.

【図5】本発明の他のリードフレームを示す説明図。FIG. 5 is an explanatory diagram showing another lead frame of the present invention.

【図6】従来のリードフレームを示す斜視図。FIG. 6 is a perspective view showing a conventional lead frame.

【図7】従来の曲げ加工方法を示す斜視図。FIG. 7 is a perspective view showing a conventional bending method.

【図8】従来の曲げ加工方法を示す斜視図。FIG. 8 is a perspective view showing a conventional bending method.

【図9】従来の曲げ加工方法を示す斜視図。FIG. 9 is a perspective view showing a conventional bending method.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 リードフレーム 2 アイランド 3 リード 4 外枠 5 アイランドサポート 6 連結部 7 保持部 10 樹脂封止部 1 lead frame 2 island 3 lead 4 outer frame 5 island support 6 connecting part 7 holding part 10 resin sealing part

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 半導体素子を搭載するアイランドと、前
記アイランドの周囲に配置された複数のリードと、前記
アイランド及びリードを保持する外枠とを有する樹脂封
止型半導体装置用のリードフレームにおいて、前記リー
ドの樹脂封止されない先端部を接続する連結部と、連結
部により接続されたリードと外枠とを保持する保持部を
有することを特徴とするリードフレーム。
1. A lead frame for a resin-sealed semiconductor device, comprising: an island on which a semiconductor element is mounted; a plurality of leads arranged around the island; and an outer frame for holding the island and the lead. A lead frame, comprising: a connecting portion for connecting a tip end portion of the lead, which is not resin-sealed, and a holding portion for holding the lead and the outer frame connected by the connecting portion.
【請求項2】 半導体素子を請求項1記載のリードフレ
ームに固着する工程と、前記半導体素子のボンディング
パッドとこれに対応するリードを金属線によりワイヤボ
ンディングする工程と、前記リードフレームの所定部分
を樹脂封止する工程と、前記工程後に樹脂封止部を保持
部によりリードフレームの外枠に保持した状態でリード
を成形する工程とを有する樹脂封止型半導体装置の製造
方法。
2. A step of fixing a semiconductor element to the lead frame according to claim 1, a step of wire-bonding a bonding pad of the semiconductor element and a lead corresponding thereto with a metal wire, and a predetermined portion of the lead frame. A method of manufacturing a resin-encapsulated semiconductor device, comprising: a step of resin-sealing; and a step of molding a lead after the step with the resin-sealing portion being held by an outer frame of a lead frame by a holding portion.
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