JPH08248641A - レーザ描画装置 - Google Patents

レーザ描画装置

Info

Publication number
JPH08248641A
JPH08248641A JP7052360A JP5236095A JPH08248641A JP H08248641 A JPH08248641 A JP H08248641A JP 7052360 A JP7052360 A JP 7052360A JP 5236095 A JP5236095 A JP 5236095A JP H08248641 A JPH08248641 A JP H08248641A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
laser light
laser
light
opening
optical fiber
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP7052360A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshiki Nitta
佳樹 新田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Olympus Corp
Original Assignee
Olympus Optical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Olympus Optical Co Ltd filed Critical Olympus Optical Co Ltd
Priority to JP7052360A priority Critical patent/JPH08248641A/ja
Publication of JPH08248641A publication Critical patent/JPH08248641A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70216Mask projection systems
    • G03F7/70358Scanning exposure, i.e. relative movement of patterned beam and workpiece during imaging

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Optical Head (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は、光の回折限界以下の微細パターン
を描画することができるレーザ描画装置を提供する。 【構成】 本発明に係るレーザ描画装置は、レーザ光を
発するレーザ光源1と、このレーザ光源1からのレーザ
光の波長より小さな開口部を設けた光ファイバー5と、
この光ファイバー5の開口部から射出されるレーザ光を
被描画材11に対して走査する走査手段とを有するもの
である。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は微細パターンを形成する
レーザ描画装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、レーザビームを描画に用いるレー
ザ描画装置として、光源としてHe−Neレーザ、He
−CdレーザやLD(レーザダイオード)等がある。最
近はパターンの微細化が求められ、光学系の最適化や高
精度位置決め機構等によりパターンの微細化対策が提案
されている。
【0003】例えば、特開平4−109438号公報に
開示されている微細パターン描画装置があり、この微細
パターン描画装置は、LDを光源として用い、レーザビ
ームの進行方向の光路中に透光性の位相変化用光学素子
を取り付けるという構成で、レーザビームの位相の空間
分布を帯状に変化させることでレーザビームの集光スポ
ット径を縮小させている。位相変化用光学素子として
は、透明基板の片面に中央部と周辺部とで屈折率が異な
る2種の透光層を均一な厚さに積層形成したものを用い
ている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
微細パターン描画装置を用いてもレーザビームの集光ス
ポット径は本来のレーザビームの径の2分の1程度にし
かならない。光の回折によりビーム径を光学系で絞って
集光させても限界があるためである。 NAや波長に
よっても異なるが現在光源として利用されているものを
考えるとレーザビームの径は、略1μmかその数分の1
であり、従来の微細パターン描画装置によっても0.1
μm以下の微細パターンの描画は困難である。
【0005】本発明は、光の回折限界以下の微細パター
ンを描画することができるレーザ描画装置を提供するこ
とを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明に係るレーザ描画
装置は、レーザ光を発する光源と、この光源からのレー
ザ光の波長より小さな開口部を設けた導光手段と、この
導光手段の開口部から射出されるレーザ光を被描画材に
対して走査する走査手段とを有することを特徴とするも
のである。
【0007】前記導光手段の開口部は、光ファイバーに
おいて先端をレーザ光の波長以下に尖鋭化した後、先端
部以外に遮光層を設けて形成したり、ゲルマニウム酸化
物をドープしたコアを有するシングルモード光ファイバ
ーの先端を、液相エッチングによりレーザ光の波長以下
に尖鋭化した後、遮光層をコートし、プラズマエッチン
グ、液相エッチング又は放電加工により先端の遮光層を
除去して形成することができる。また、前記導光手段の
開口部は、ゲルマニウム酸化物をドープしたコアを有す
るシングルモード光ファイバーの先端を、液相エッチン
グによりレーザ光の波長以下に尖鋭化した後、真空蒸着
法により先端部以外を遮光層でコートして形成すること
ができる。
【0008】前記走査手段は、レーザ光照射による被描
画材表面に局材するエバネッセント光を検出して3次元
走査を行う。また、別の走査手段は、光ファイバーと被
描画材との間に発生する原子間力を検出して3次元走査
を行う。
【0009】さらに、前記導光手段の開口部を、ゲルマ
ニウム酸化物をドープしたコアを有するシングルモード
光ファイバーの先端を、液相エッチングによりレーザ光
の波長以下に尖鋭化した後、側面にITO等の透明導電
膜を形成し、更に遮光層をコートし、プラズマエッチン
グ、液相エッチング又は放電加工により先端の遮光層を
除去することで構成し、前記走査手段を、光ファイバー
と被描画材に電位差を与えたときに発生するトンネル電
流を検出して前記導光手段の3次元走査を行う構成とす
ることもできる。
【0010】
【作用】本発明のレーザ描画装置によれば、レーザ光
は、被描画材に近接した導光手段の先端にあるこのレー
ザ光の波長以下、即ちこのレーザ光の回折限界以下の大
きさに制限された開口部を通して被描画材に照射される
ので、レーザ光の波長以下の領域にのみ照射されること
になる。これにより、レーザ光の波長以下の微細パター
ンを被描画材に描画することができる。
【0011】以下に本発明の作用をさらに詳述する。導
光手段としての光ファイバーは、先端をレーザ光の波長
以下に尖鋭化した後、先端部以外に遮光層を設ける。遮
光層としてはアルミニウムや銀と金といった金属膜又は
誘電体の多層膜さらにはそれらの複合膜がある。
【0012】前記光ファイバーは、ゲルマニウム酸化物
をドープしたコアを有するシングルモード光ファイバー
を用いて液相エッチングにより先端をレーザ光の波長以
下に尖鋭化する。その上にアルミニウムや銀と金といっ
た金属等を遮光層としてコートし、さらにプラズマエッ
チングや液相エッチングや放電加工により先端のコート
層を微小径となるように除去してレーザ光の波長以下の
開口部を形成する。これにより、レーザ光の波長以下の
光を開口部から射出することができる。
【0013】また別の手段では、光ファイバーは、ゲル
マニウム酸化物をドープしたコアを有するシングルモー
ド光ファイバーを用い、液相エッチングによりその先端
をレーザ光の波長以下に尖鋭化した後、真空蒸着法によ
り先端部以外を遮光層でコートしてレーザ光の波長以下
の開口部を形成する。これにより、レーザ光の波長以下
の光を開口部から射出することができる。
【0014】走査手段については、レーザ光照射による
被描画材表面に局在するエバネッセント光を検出して光
ファイバーを被描画材に対して3次元走査する。また別
の走査手段は、光ファイバーと被描画材との間に発生す
る原子間力を検出して光ファイバーを被描画材に対して
3次元走査する。このような走査手段を用いることで精
度の良い3次元走査を実現できる。
【0015】更に別の手段では、光ファイバーとして、
ゲルマニウム酸化物をドープしたコアを有するシングル
モード光ファイバーを用い、液相エッチングによりその
先端をレーザ光の波長以下に尖鋭化した後、側面にIT
O等の透明導電膜を形成し、金属、誘電体又はこれらの
複合膜等からなる遮光層をコートし、その後プラズマエ
ッチングや液相エッチングや放電加工により先端の遮光
層を除去してレーザ光の波長以下の開口部を形成すると
ともに、走査手段については、光ファイバーと被描画材
との間に電位差を与えたときに発生するトンネル電流を
検出して光ファイバーを被描画材に対して3次元走査す
るものである。このように作用により、被描画材の表面
形状に沿って3次元的に、かつ、精度良くレーザ光の波
長以下の光を射出して描画を行うことができる。
【0016】
【実施例】以下に本発明の実施例を詳細に説明する。
【0017】(第1実施例)本発明の第1の実施例を図
1、図2を用いて説明する。レーザ描画装置は、レーザ
光を発する光源としてのエキシマを用いたレーザ光源1
と、光変調器3と、集光レンズ4と、前記レーザ光源1
からのレーザ光2の波長より小さな開口部である出射端
7を設けた導光手段としての光ファイバー5と、被描画
材11を走査する図示していないスライド機構、制御装
置からなる走査手段とを具備し、光ファイバー5の開口
部である出射端7から射出されるレーザ光を被描画材1
1に対して照射するようになっている。
【0018】前記光ファイバー5は、ゲルマニウム酸化
物をドープしたコアを有するシングルモード光ファイバ
ーである。図2は光ファイバー5の尖鋭化した出射端7
の拡大図を示すものであり、出射端7に対して、弗酸と
水と弗化アンモニウムの混合液による選択エッチングに
よりレーザ光の波長以下の大きさの先端部を有する円錐
部8を形成した。尖鋭化した光ファイバー5の出射端7
に真空蒸着法によりアルミニウムをコートして遮光層9
を形成した後、プラズマエッチングにより円錐部8の先
端の遮光層9を除去して直径50nmの開口部10を形成
した。この出射端7は描画可能な距離になるまで被描画
材11に近接配置される。
【0019】このようなレーザ描画装置により、直径5
0nmの開口部10から出射したレーザ光2を被描画材1
1に照射して、被描画材11を走査手段により走査する
ことによりその任意領域を描画する。本実施例による
と、平面上にレーザ光の波長以下である50nm程度の線
幅からなる描画領域を被描画材11上に形成できる。
【0020】(第2実施例)本発明の第2実施例におい
ては、円錐部8(図2参照)の形成方法以外は第1の実
施例と同様である。図3は本実施例の光ファイバー5の
尖鋭化した出射端7の拡大図を示している。本実施例で
は出射端7に対して、弗酸と水と弗化アンモニウムの混
合液による選択エッチングにより第1のエッチングを行
い、細径部12を形成する。その後第2のエッチングに
よりレーザ光の波長以下の大きさの先端部を有する円錐
部8を形成するものである。
【0021】本実施例によると、エッチングを2段階に
分けることにより、鋭角で非常に小さい先端部を有する
円錐部8を形成できるので、大きさ10nm程度の開口部
10を形成することが可能であり、被描画材11上にレ
ーザ光の波長以下である10nm程度の線幅からなる描画
領域を形成できる。
【0022】(第3実施例)本発明の第3の実施例にお
いては、開口部10の形成方法以外は上述した第1の実
施例の場合と同様である。本実施例の開口部10におい
ては、尖鋭化した光ファイバー5の出射端7に対して真
空蒸着法によりアルミニウムをコートして図2に示すよ
うな遮光層9を形成した後、エッチング液により円錐部
8の先端の遮光層9を除去して大きさ50nmの開口部1
0を形成した。本実施例によると、第1実施例と同様に
被描画材11上にレーザ光の波長以下である50nm程度
の線幅からなる描画領域を形成できる。
【0023】(第4実施例)本発明の第4の実施例にお
いては、開口部10の形成方法以外は第1の実施例と同
様である。本実施例の開口部10においては、尖鋭化し
た光ファイバー5の出射端7に対して真空蒸着法により
アルミニウムをコートして遮光層9を形成した後、放電
加工により円錐部8の先端の遮光層9を除去して大きさ
50nmの開口部10を形成した。本実施例によると、第
1実施例と同様に被描画材11上にレーザ光の波長以下
である50nm程度の線幅からなる描画領域を形成でき
る。
【0024】(第5実施例)本発明の第5の実施例にお
いては、開口部10の形成方法以外は第1の実施例と同
様である。本実施例の開口部10においては、エッチン
グにより尖鋭化した光ファイバーの出射端7に対して、
蒸着源から飛来する蒸着粒子が開口部10に付着しない
ように光ファイバー5を傾けたり、あるいは光ファイバ
ー5を冷却して付着粒子の面内移動を抑えたり、または
飛来する蒸着粒子を荷電した後電界により飛来する蒸着
粒子の行路を屈折させたりした。このようにして開口部
10に蒸着粒子が付着しないように真空蒸着法によりア
ルミニウムや銀と金といった金属を成膜して遮光層9を
形成とし、大きさ50nmの開口部10を形成した。本実
施例によると、被描画材11上にレーザ光の波長以下で
ある50nm程度の線幅からなる描画領域を形成できる。
また開口部10の形成において遮光層9のエッチング工
程を不要にできるという利点がある。
【0025】(第6実施例)本発明の第6の実施例を図
4、図5を用いて説明する。炭酸ガスを用いたレーザ光
源1からでたレーザ光2は、光変調器3を通り、集光レ
ンズ4によりマスク13の被描画材側面14に集光され
る。図5にマスク13の被描画材側面14の拡大図を示
す。マスク13はガラスからなる基板の片面にクロム等
の遮光膜15を形成した後、リソグラフィーによって開
口部16を形成したものである。開口部16の大きさは
0.06μmである。被描画材11は開口部16より描
画可能な距離まで近接される。被描画材11は図示しな
いスライド機構、制御装置からなる走査手段によりXY
方向に駆動される。このような構成により開口部16か
ら出射したレーザ光2を被描画材11に照射して、か
つ、被描画材11を走査することによりその任意領域を
描画できる。本実施例によると、被描画材11上にレー
ザ光の波長以下である60nm程度の線幅からなる描画領
域を形成できる。
【0026】(第7実施例)本発明の第7の実施例を図
6を用いて説明する。第1実施例と同様に、レーザ光源
1から出たレーザ光2は、光変調器3を通り、集光レン
ズ4により光ファイバー5に入射端6に入射される。光
ファイバー5の出射端7は第1実施例と同様にして形成
されている。本実施例では大きさ30nmの開口部10を
形成した。一方被描画材17はプリズム18上に設置さ
れている。このプリズム18にはレーザ光源19からレ
ーザ光20が照射されている。レーザ光20照射により
被描画材17表面に局在化したエバネッセント光は、光
ファイバー5の開口部10から光ファイバー5、集光レ
ンズ4を通過した後、セパレータ21により検出器22
に入射する。検出器22に入射したエバネッセント光強
度により、被描画材17と光ファイバー5の先端の開口
部10との距離が検出される。
【0027】本実施例では光ファイバー5はPZTから
なる走査手段としてのXYZ駆動装置23により被描画
材17と独立に微動が可能であり、XYZ駆動装置23
は検出器22の検出データを基に被描画材17の表面形
状に沿って3次元的に走査することが可能である。尚、
被描画材17を取り付けたプリズム18は図示しないス
ライド機構、制御装置を用いた走査手段によりXYZ方
向に可動する。これにより広い範囲の走査が可能であ
る。このような装置により開口部10から出射したレー
ザ光2を被描画材17に照射して、被描画材17を移動
することにより任意領域を描画する。また、エバネッセ
ント光を検出してPZTにより走査することで高精度な
位置決めを行いつつ3次元微細形状を有する被描画材1
7に対して描画することができる。本実施例によると、
3次元形状の被描画材17表面にレーザ光の波長以下で
ある30nm程度の線幅からなる描画領域を形成できる。
【0028】(第8実施例)本発明の第8の実施例を図
7を用いて説明する。光源であるLD(レーザダイオー
ド)24から出たレーザ光2は、光変調器3を通り、集
光レンズ4により光ファイバー5に入射端6に入射され
る。光ファイバー5の出射端7は第2実施例と同様にし
て形成されている。本実施例では大きさ20nmの開口部
10を形成した。一方被描画材17はXYZ駆動装置2
3によりXYZ方向に可動する。これにより広い範囲の
走査が可能である。レーザ光2により被描画材17表面
に局在化したエバネッセント光は、開口部10により光
ファイバー5に導かれ集光レンズ4を通過した後、セパ
レータ21により検出器22に入射する。検出器22に
入射したエバネッセント光の光強度により、被描画材1
7と光ファイバー5の先端の開口部10との距離が検出
される。本実施例では、光ファイバー5はPZTからな
るXYZ駆動装置23により被描画材17と独立に微動
が可能であり、検出器22の検出データを基にXYZ駆
動装置23を制御することによって被描画材17の表面
形状に沿って3次元的に走査することが可能である。
【0029】このような装置により光ファイバー5の開
口部10から出射したレーザ光2を、被描画材17に照
射して、被描画材17を移動することにより任意領域を
描画する。また、エバネッセント光を検出してXYZ駆
動装置23により走査することで高精度な位置決めを行
いつつ3次元微細形状を有する被描画材17に対して描
画することができる。本実施例によると、3次元形状の
被描画材17表面にレーザ光の波長以下である20nm程
度の線幅からなる描画領域を形成できる。
【0030】(第9実施例)本発明の第9の実施例を図
8を参照して説明する。光源であるHe−Ne光源1A
からでたレーザ光2は、光変調器3を通り、集光レンズ
4により光ファイバー5の入射端6に入射される。光フ
ァイバー5の出射端7は第2実施例と同様にして形成さ
れている。また、光ファイバー5はカンチレバー25に
取り付けられている。本実施例では大きさ10nmの開口
部10を形成した。一方被描画材11はXYZ駆動装置
23によりXYZ方向に移動するようになっており、こ
れにより広い範囲の走査が可能である。このような装置
により開口部10から出射したレーザ光2を被描画材1
1に照射して、被描画材17を可動することにより任意
領域を描画する。本実施例では開口部10を被描画材1
1に近接したときに発生する原子間力をカンチレバー2
5のたわみ量として検出することにより、開口部10と
被描画材11との距離を算出することが可能である。そ
の検出データを基にXYZ駆動装置23を制御すること
によって被描画材11の表面形状に沿って3次元的に走
査することが可能である。本実施例によると、3次元形
状の被描画材11にレーザ光の波長以下である10nm程
度の線幅からなる描画領域を形成できる。
【0031】(第10実施例)本発明の第10実施例を
図9、図10を参照して説明する。He−Ne光源1か
らでたレーザ光2は、光変調器3を通り、集光レンズ4
により光ファイバー5に入射端6に入射される。光ファ
イバー5の出射端7は第2実施例と同様にして形成され
ている。本実施例では大きさ20nmの開口部10を形成
した。一方被描画材11はXYZ駆動装置23によりX
YZ方向に移動するようになっており、これにより広い
範囲の走査が可能である。
【0032】図10は光ファイバー5の出射端7の拡大
図である。この図10に示すように本実施例では、光フ
ァイバー5の出射端7に対して、弗酸と水と弗化アンモ
ニウムの混合液による選択エッチングによりレーザ光の
波長以下の大きさの先端部を有する円錐部8を形成し、
尖鋭化した光ファイバーの出射端7に対して真空蒸着法
あるいはスパッタリング法によりITOをコートして透
明導電層26とする。
【0033】更に透明導電層26の上に真空蒸着法によ
りクロムを5nmの膜厚で成膜してその上にアルミニウム
を100nmの膜厚で成膜して遮光層9を形成した。その
後、プラズマエッチングにより円錐部8の先端の遮光層
9を除去して大きさ20nmの開口部10を形成した。本
実施例では、透明導電層26と被描画材11には電源2
5により所定の電圧が印加される構成である。また、光
ファイバー5はXYZ駆動装置23に取り付けられてい
る。
【0034】このような装置により光ファイバー5の開
口部10から出射したレーザ光2を被描画材11に照射
して、被描画材11を移動することにより任意領域を描
画する。本実施例では開口部10を被描画材11に近接
して、透明導電層26と被描画材11に電圧を印加させ
たときに発生するトンネル電流を検出することにより、
開口部10と被描画材11との距離を検出することが可
能である。その検出データをもとにXYZ駆動装置23
を制御することによって被描画材11の表面形状に沿っ
て3次元的に走査することが可能となる。本実施例によ
ると、3次元形状の被描画材11表面にレーザ光の波長
以下である20nm程度の線幅からなる描画領域を形成で
きる。
【0035】
【発明の効果】本発明によれば、以下の効果を奏する。
【0036】請求項1記載の発明によれば、レーザ光の
波長以下の微細パターンを被描画材に描画することがで
きるレーザ描画装置を提供することができる。
【0037】請求項2記載の発明によれば、レーザ光の
波長以下の光を射出する開口部を有する光ファイバーを
備えたレーザ描画装置を提供することができる。
【0038】請求項3記載の発明によれば、高精度に被
描画材表面の描画を実行できる走査手段を備えたレーザ
描画装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のレーザ描画装置の第1実施例を示す全
体構成図である。
【図2】本発明のレーザ描画装置の第1実施例における
光ファイバーの出射端の拡大断面図である。
【図3】本発明のレーザ描画装置の第2実施例における
光ファイバーの出射端の拡大図である。
【図4】本発明のレーザ描画装置の第6実施例を示す全
体構成図である。
【図5】本発明のレーザ描画装置の第6実施例における
被描画材側面の拡大図である。
【図6】本発明のレーザ描画装置の第7実施例を示す全
体構成図である。
【図7】本発明のレーザ描画装置の第8実施例を示す全
体構成図である。
【図8】本発明のレーザ描画装置の第9実施例を示す全
体構成図である。
【図9】本発明のレーザ描画装置の第10実施例を示す
全体構成図である。
【図10】本発明のレーザ描画装置の第10実施例にお
ける光ファイバーの出射端の拡大断面図である。
【符号の説明】
1 レーザ光源 2 レーザ光 3 光変調器 4 集光レンズ 5 光ファイバー 6 入射端 7 出射端 10 開口部 11 被描画材 23 XYZ駆動装置

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 レーザ光を発する光源と、この光源から
    のレーザ光の波長より小さな開口部を設けた導光手段
    と、この導光手段の開口部から射出されるレーザ光を被
    描画材に対して走査する走査手段とを有することを特徴
    とするレーザ描画装置。
  2. 【請求項2】 前記導光手段の開口部は、光ファイバー
    において先端をレーザ光の波長以下に尖鋭化した後、先
    端部以外に遮光層を設けて形成されたことを特徴とする
    請求項1記載のレーザ描画装置。
  3. 【請求項3】 前記走査手段は、レーザ光照射による被
    描画材表面に局在するエバネッセント光を検出して導光
    手段を3次元走査することを特徴とする請求項1記載の
    レーザ描画装置。
JP7052360A 1995-03-13 1995-03-13 レーザ描画装置 Pending JPH08248641A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7052360A JPH08248641A (ja) 1995-03-13 1995-03-13 レーザ描画装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7052360A JPH08248641A (ja) 1995-03-13 1995-03-13 レーザ描画装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH08248641A true JPH08248641A (ja) 1996-09-27

Family

ID=12912647

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7052360A Pending JPH08248641A (ja) 1995-03-13 1995-03-13 レーザ描画装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH08248641A (ja)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10269602A (ja) * 1997-03-26 1998-10-09 Samsung Electron Co Ltd 光ファイバーを用いたマスターディスク露光装置
JPH116838A (ja) * 1997-04-23 1999-01-12 Seiko Instr Inc 光プローブおよび光プローブ製造方法および走査型プローブ顕微鏡
WO2000014733A1 (fr) * 1998-09-02 2000-03-16 Hitachi, Ltd. Enregistreur/lecteur de donnees
FR2827967A1 (fr) * 2001-07-26 2003-01-31 Essilor Int Procede d'impression d'une structure stable photoinduite en champ proche,et pointe de fibre optique pour sa mise en oeuvre
US6683823B2 (en) 2000-12-12 2004-01-27 Hitachi, Ltd. Method for reproducing information on a recording medium
US6692894B1 (en) 1999-08-30 2004-02-17 Agency Of Industrial Science And Technology Photolithographic pattern-forming material and method for formation of fine pattern therwith
US8059345B2 (en) 2002-07-29 2011-11-15 Digitaloptics Corporation East Integrated micro-optical systems

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04370536A (ja) * 1991-06-19 1992-12-22 Nikon Corp 光記録再生装置
JPH0688724A (ja) * 1992-09-08 1994-03-29 Canon Inc 走査型プローブ顕微鏡、メモリー装置及びリソグラフィー装置
JPH06251435A (ja) * 1993-03-01 1994-09-09 Canon Inc 記録再生装置
JPH0721564A (ja) * 1993-07-07 1995-01-24 Sanyo Electric Co Ltd 光記録媒体の記録再生方法およびその装置
JPH07106229A (ja) * 1993-10-05 1995-04-21 Hitachi Ltd 光リソグラフィ方法及び装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04370536A (ja) * 1991-06-19 1992-12-22 Nikon Corp 光記録再生装置
JPH0688724A (ja) * 1992-09-08 1994-03-29 Canon Inc 走査型プローブ顕微鏡、メモリー装置及びリソグラフィー装置
JPH06251435A (ja) * 1993-03-01 1994-09-09 Canon Inc 記録再生装置
JPH0721564A (ja) * 1993-07-07 1995-01-24 Sanyo Electric Co Ltd 光記録媒体の記録再生方法およびその装置
JPH07106229A (ja) * 1993-10-05 1995-04-21 Hitachi Ltd 光リソグラフィ方法及び装置

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10269602A (ja) * 1997-03-26 1998-10-09 Samsung Electron Co Ltd 光ファイバーを用いたマスターディスク露光装置
JPH116838A (ja) * 1997-04-23 1999-01-12 Seiko Instr Inc 光プローブおよび光プローブ製造方法および走査型プローブ顕微鏡
WO2000014733A1 (fr) * 1998-09-02 2000-03-16 Hitachi, Ltd. Enregistreur/lecteur de donnees
US6692894B1 (en) 1999-08-30 2004-02-17 Agency Of Industrial Science And Technology Photolithographic pattern-forming material and method for formation of fine pattern therwith
US6683823B2 (en) 2000-12-12 2004-01-27 Hitachi, Ltd. Method for reproducing information on a recording medium
FR2827967A1 (fr) * 2001-07-26 2003-01-31 Essilor Int Procede d'impression d'une structure stable photoinduite en champ proche,et pointe de fibre optique pour sa mise en oeuvre
WO2003010604A1 (fr) * 2001-07-26 2003-02-06 Essilor International Compagnie Generale D'optique Procede d'impression d'une structure stable photoinduite en champ proche, et pointe de fibre optique pour sa mise en oeuvre
EP1415200A1 (fr) * 2001-07-26 2004-05-06 Essilor International Compagnie Generale D'optique Procede d'impression d'une structure stable photoinduite en champ proche, et pointe de fibre optique pour sa mise en oeuvre
JP2004536465A (ja) * 2001-07-26 2004-12-02 エシロール アテルナジオナール カンパニー ジェネラーレ デ オプティック 光誘導される近距離場の安定構造をプリントする方法、および該方法を実施するための光ファイバチップ
US7352384B2 (en) 2001-07-26 2008-04-01 Essilor International Compagnie Generale D'optique Method for printing a near field photoinduced stable structure, and optical fibre tip for implementing same
JP4812251B2 (ja) * 2001-07-26 2011-11-09 エシロール アテルナジオナール カンパニー ジェネラーレ デ オプティック 光誘導される近距離場の安定構造をプリントする方法、および該方法を実施するための光ファイバチップ
US8059345B2 (en) 2002-07-29 2011-11-15 Digitaloptics Corporation East Integrated micro-optical systems

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0230578B1 (en) Scanning laser microscope
US6559926B2 (en) Pattern forming apparatus and pattern forming method
US7144685B2 (en) Method for making a pattern using near-field light exposure through a photomask
KR100738262B1 (ko) 포토리소그래피와 전자빔 리소그래피의 하이브리드 장치 및 그 동작 방법
US6292609B1 (en) Optical components including an optical element having a surface that is tapered
US7526158B2 (en) System and method for high resolution optical imaging, data storage, lithography, and inspection
US6300594B1 (en) Method and apparatus for machining an electrically conductive film
JPH0513368B2 (ja)
US5018817A (en) Method of optically coupling optical fiber to waveguide on substrate, and optical device produced by the method
WO2005001914A1 (en) Two-dimensional light-modulating nano/micro aperture array and high-speed nano pattern recording system utilized with the array
US8225482B2 (en) Manufacturing method of waveguide having a metal alignment mark
US20020024004A1 (en) Probe with hollow waveguide and method for producing the same
US7034277B2 (en) Near-field light-generating element for producing localized near-field light, near-field optical recording device, and near-field optical microscope
JPH08248641A (ja) レーザ描画装置
US6525296B2 (en) Method of processing and optical components
JP4368746B2 (ja) 電磁場照射装置、該電磁場照射装置を備えた電磁場加工装置、および該電磁場照射装置を備えた記録再生装置
JP2843249B2 (ja) デバイスを製造する方法および装置
JPH04275007A (ja) レーザ加工装置
JP4457340B2 (ja) 処理方法、型、再生方法及び再生装置
JP2022108161A (ja) 光学装置及び固浸レンズ
US20050016954A1 (en) System and methods of altering a very small surface area
KR101710570B1 (ko) 특이 광 투과 현상을 위한 나노홀 어레이 기판 및 이를 이용하는 초고해상도 이미지 시스템
Wilson et al. Laser writing of masks for integrated optical circuits
JP3111615B2 (ja) 透明膜の形成方法および装置
JP2828030B2 (ja) 光アシストパターン形成方法および装置

Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20040413