JPH08247900A - 流量制御設備の異常診断装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 流量制御設備の流量制御弁の異常と管路の異
常を識別して検出する。 【構成】 弁開度／流量特性演算部１０９は、入力され
る弁開度信号Ｚとその弁開度での流量Ｑから弁開度／流
量特性を求める。判定演算部１１１は求めた弁開度／流
量特性からの流量と実測した流量とを比較し、その流量
差が異常と判定する値を超えると判定１の信号を送出す
る。一方、弁開閉時発生音周波数特性演算部１１０で弁
動作音を周波数分析しておき、この分析データと実測値
との偏差が異常と判定する値を超えると判定２の信号を
送出する。警報出力部１１２では判定１と判定２との信
号の組み合わせにより異常の部位を診断する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、流体を搬送する流体
制御設備の異常診断を行う異常診断装置に関するもの
で、例えば、送配水プラント等の取水場から浄水場など
へ送水、または浄水場から配水設備へ送水する送配水管
に設けた流量制御設備に対する異常診断装置に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】図１１は、例えば特開平２−２８７１３
６号公報に示された従来の取水流量弁の異常装置を示す
図であり、図において、１は取水井、２は調整池、３は
取水導水管、４は取水流量制御弁、５は流量計、６は流
量制御器、７は異常診断装置、８は流量データ読出部、
９は演算部、１０はタイマ、１１は警報器、１２は流量
指示計、１４は弁開度／流量特性、１５は弁開度検出器
である。

【０００３】次に動作について説明する。流量計５で計
測した流量実測値Ｑ１を流量制御部６で取り込み、流量
設定値との偏差を制御信号として取水流量制御弁４の弁
開度を調整することにより、取水井１から調整池２に送
り込む取水流量を一定に保つように流量制御している。

【０００４】一方、流量計５で計測した流量実測値Ｑ
１、および弁開度検出器１５で検出した取水流量制御弁
４の弁開度Ｚは時々刻々、異常診断装置７に取り込まれ
る。そして演算部９では、流量実測値Ｑ１と弁開度／流
量特性１４から求めた検出弁開度Ｚに対応する流量デー
タＱ２との流量差｜Ｑ１−Ｑ２｜を演算した上で予め定
めた異常判定基準値Ｑ３と対比する。

【０００５】ここで、流量差｜Ｑ１−Ｑ２｜の演算値が
異常判定基準値Ｑ３を超える条件で取水流量制御弁４に
異常が発生したと判定し、且つ、タイマ１０によりこの
異常状態が所定時間（数分程度）継続したことを確認し
た上で、警報器１１に警報信号Ａを与え、異常発生をオ
ペレータに知らせる。同時にこの警報信号Ａは制御部６
にも与えられ（図示しないが）、取水流量制御弁４の弁
開度をその時点の状態に止めるように以降の流量制御動
作を中断する。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】従来の取水流量制御弁
の異常診断装置は以上のように構成されているので、次
のような問題点があった。 （１）異常判定は流量制御弁の異常しか判定できず、管
路等の異常の判定はできなかった。即ち、設備の異常の
部位を判定することができなかった。 （２）また、異常判定では、予め流量制御弁の弁開度／
流量特性を設定しておいて判定する必要があった。 （３）また、弁開度／流量特性は、流量制御弁や管路等
の経年変化に応じて変更する必要があるが、経年変化を
考慮していなかった。

【０００７】この発明は上記のような課題を解決するた
めになされたもので、（１）設備の異常部位を判定する
ことができ、（２）また、予め流量制御弁の弁開度／流
量特性を設定しておいく必要がなく、（３）また、流量
制御弁や管路等の経年変化に応じて弁開度／流量特性を
変更できる流量制御設備の異常診断装置を得ることを目
的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】

（１）この発明に係る流量制御設備の異常診断装置は、
管路に流れる流体の流量を計測し、その計測結果に応じ
て流量制御弁を制御して流量制御を行う流量制御設備に
あって、流量制御弁の開度に応じた流量のデータを収集
する第１の収集手段、この第１の収集手段で収集した複
数個のデータから上記流量制御弁の弁開度／流量特性を
求める弁開度／流量特性生成手段、この求めた弁開度／
流量特性と上記第１の収集手段で収集したデータとを比
較し、この比較に応じて異常と判定する第１の判定手段
を備えたものである。

【０００９】（２）また、管路に流れる流体の流量を計
測し、その計測結果に応じて流量制御弁を制御して流量
制御を行う流量制御設備にあって、流量制御弁の開度に
応じた流量のデータを収集する第１の収集手段、予め求
めた上記流量制御弁の弁開度／流量特性を上記第１の収
集手段で収集したデータで補正する弁開度／流量特性補
正成手段、この補正した弁開度／流量特性と上記第１の
収集手段で収集したデータとを比較し、この比較に応じ
て異常と判定する第１の判定手段を備えたものである。

【００１０】（３）また、管路に流れる流体の流量を計
測し、その計測結果に応じて流量制御弁を制御して流量
制御を行う流量制御設備にあって、上記流量制御弁の流
体圧力に対応する弁開度と流量とのデータを収集する第
１の収集手段、この第１の収集手段で収集した複数個の
データから上記流量制御弁の流体圧力に対する弁開度／
流量特性を求める圧力・弁開度／流量特性生成手段、こ
の求めた圧力・弁開度／流量特性と上記第１の収集手段
で収集したデータとを比較し、この比較に応じて異常と
判定する第１の判定手段を備えたものである。

【００１１】（４）また、管路に流れる流体の流量を計
測し、その計測結果に応じて流量制御弁を制御して流量
制御を行う流量制御設備にあって、上記流量制御弁の流
体圧力に対応する弁開度と流量とのデータを収集する第
１の収集手段、予め求めた上記流量制御弁の流体圧力に
対する弁開度／流量特性を上記第１の収集手段で収集し
たデータで補正する圧力・弁開度／流量特性補正成手
段、この補正した圧力・弁開度／流量特性と上記第１の
収集手段で収集したデータとを比較し、この比較に応じ
て異常と判定する第１の判定手段を備えたものである。

【００１２】（５）また、管路に流れる流体の流量を計
測し、その計測結果に応じて流量制御弁を制御して流量
制御を行う流量制御設備にあって、流量制御弁の開度に
応じた流量のデータを収集する第１の収集手段、この収
集したデータと上記流量制御弁の弁開度／流量特性とを
比較し、この比較に応じて異常と判定する第１の判定手
段、上記流量制御弁の動作音のデータを収集する第２の
収集手段と、この収集した弁動作音のデータと正常時の
弁動作音のデータとを比較して、その比較に応じて異常
と判定する第２の判定手段、上記第１と第２の判定手段
の結果に応じて異常状態を判別して警報信号を出力する
警報出力部を備えたものである。

【００１３】（６）また、流量制御弁の弁開度／流量特
性は、第１の収集手段で収集した複数個のデータから弁
開度／流量特性を求める弁開度／流量特性生成手段を設
けて導出するようにしたものである。

【００１４】（７）また、流量制御弁の弁開度／流量特
性は、予め求めた弁開度／流量特性を第１の収集手段で
収集したデータで補正する弁開度／流量特性補正手段を
設けて、この補正した弁開度／流量特性を用いるように
したものである。

【００１５】（８）また、管路に流れる流体の流量を計
測し、その計測結果に応じて流量制御弁を制御して流量
制御を行う流量制御設備にあって、上記流量制御弁の流
体圧力に対応する弁開度と流量とのデータを収集する第
１の収集手段、この収集したデータと上記流量制御弁の
流体圧力に対する弁開度／流量特性とを比較し、この比
較に応じて異常と判定する第１の判定手段、上記流量制
御弁の動作音のデータを収集する第２の収集手段と、こ
の収集した弁動作音のデータと正常時の弁動作音のデー
タとを比較して、その比較に応じて異常と判定する第２
の判定手段、上記第１と第２の判定手段の結果に応じて
異常状態を判別して警報信号を出力する警報出力部を備
えたものである。

【００１６】（９）また、流量制御弁の流体圧力に対す
る弁開度／流量特性は、第１の収集手段で収集した複数
個のデータから流量制御弁の流体圧力に対する弁開度／
流量特性を求める圧力・弁開度／流量特性生成手段を設
けて導出するようにしたものである。

【００１７】（１０）また、流量制御弁の流体圧力に対
する弁開度／流量特性は、予め求めた流量制御弁の流体
圧力に対する弁開度／流量特性を第１の収集手段で収集
したデータで補正する圧力・弁開度／流量特性補正手段
を設けて、この補正した流体圧力に対する弁開度／流量
特性を用いるようにしたものである。

【００１８】（１１）また、正常時の弁動作音のデータ
は、第２の収集手段で収集した複数個の弁動作音のデー
タから正常時の弁動作音のデータを求める弁動作音デー
タ収集手段を設けて導出するようにしたものである。

【００１９】（１２）また、正常時の弁動作音のデータ
は、予め求めた正常時の弁動作音のデータを第２の収集
手段で収集したデータで補正する弁動作音データ補正手
段を設けて、この補正した弁動作音のデータを用いるよ
うにしたものである。

【００２０】（１３）また、管路に流れる流体の流量を
計測し、その計測結果に応じて流量制御弁を制御して流
量制御を行う流量制御設備にあって、流体搬送用ポンプ
の運転時の発生音のデータを収集する発生音収集手段、
この収集したデータと正常時のポンプ運転時の発生音の
データとを比較して、その比較に応じて異常と判定する
第３の判定手段を備えたものである。

【００２１】（１４）また、正常時のポンプ運転時の発
生音のデータは、発生音収集手段からの複数個の発生音
のデータから正常時のポンプ運転時の発生音のデータを
求める発生音データ収集手段を設けて導出するようにし
たものである。

【００２２】（１５）また、正常時のポンプ運転時の発
生音のデータは、予め求めた正常時のポンプ運転時の発
生音のデータを発生音収集手段からの発生音のデータで
補正する発生音データ補正手段を設けて、この補正した
発生音のデータを用いるようにしたものである。

【００２３】

【作用】

（１）この発明の流量制御設備の異常診断装置は、第１
の収集手段で流量制御弁の開度に応じた流量のデータを
収集し、この収集した複数個のデータから弁開度／流量
特性生成手段で、弁開度／流量特性を求め、第１の判定
手段で、この求めた弁開度／流量特性と第１の収集手段
で収集したデータとを比較し、この比較に応じて異常と
判定する。

【００２４】（２）また、第１の収集手段で流量制御弁
の開度に応じた流量のデータを収集し、弁開度／流量特
性補正成手段は予め求めた流量制御弁の弁開度／流量特
性を第１の収集手段で収集したデータで補正し、第１の
判定手段は、この補正した弁開度／流量特性と第１の収
集手段で収集したデータとを比較し、この比較に応じて
異常と判定する。

【００２５】（３）また、第１の収集手段で流量制御弁
の流体圧力に対応する弁開度と流量とのデータを収集
し、この第１の収集手段で収集した複数個のデータから
圧力・弁開度／流量特性生成手段で、流量制御弁の流体
圧力に対する弁開度／流量特性を求め、第１の判定手段
は、この求めた圧力・弁開度／流量特性と上記第１の収
集手段で収集したデータとを比較し、この比較に応じて
異常と判定する。

【００２６】（４）また、第１の収集手段は流量制御弁
の流体圧力に対応する弁開度と流量とのデータを収集
し、圧力・弁開度／流量特性補正成手段は、予め求めた
流量制御弁の流体圧力に対する弁開度／流量特性を上記
第１の収集手段で収集したデータで補正し、第１の判定
手段は、この補正した圧力・弁開度／流量特性と上記第
１の収集手段で収集したデータとを比較し、この比較に
応じて異常と判定する。

【００２７】（５）また、第１の収集手段で流量制御弁
の開度に応じた流量のデータを収集し、第１の判定手段
は、この収集したデータと流量制御弁の弁開度／流量特
性とを比較し、この比較に応じて異常と判定し、第２の
収集手段で流量制御弁の動作音のデータを収集し、第２
の判定手段は、この収集した弁動作音のデータと正常時
の弁動作音のデータとを比較して、その比較に応じて異
常と判定し、警報出力部は、第１と第２の判定手段の結
果に応じて異常状態を判別して警報信号を出力する。

【００２８】（６）また、流量制御弁の弁開度／流量特
性は、第１の収集手段で収集した複数個のデータから弁
開度／流量特性を求める弁開度／流量特性生成手段を設
けて導出する。

【００２９】（７）また、流量制御弁の弁開度／流量特
性は、予め求めた弁開度／流量特性を第１の収集手段で
収集したデータで補正する弁開度／流量特性補正手段を
設けて、この補正した弁開度／流量特性を用いる。

【００３０】（８）また、第１の収集手段で流量制御弁
の流体圧力に対応する弁開度と流量とのデータを収集
し、第１の判定手段はこの収集したデータと流量制御弁
の流体圧力に対する弁開度／流量特性とを比較し、この
比較に応じて異常と判定し、流量制御弁の動作音のデー
タを収集する第２の収集手段と、第２の判定手段は、こ
の収集した弁動作音のデータと正常時の弁動作音のデー
タとを比較して、その比較に応じて異常と判定し、警報
出力部は、第１と第２の判定手段の結果に応じて異常状
態を判別して警報信号を出力する。

【００３１】（９）また、流量制御弁の流体圧力に対す
る弁開度／流量特性は、第１の収集手段で収集した複数
個のデータから流量制御弁の流体圧力に対する弁開度／
流量特性を求める圧力・弁開度／流量特性生成手段を設
けて導出する。

【００３２】（１０）また、流量制御弁の流体圧力に対
する弁開度／流量特性は、予め求めた流量制御弁の流体
圧力に対する弁開度／流量特性を第１の収集手段で収集
したデータで補正する圧力・弁開度／流量特性補正手段
を設けて、この補正した流体圧力に対する弁開度／流量
特性を用いる。

【００３３】（１１）また、正常時の弁動作音のデータ
は、第２の収集手段で収集した複数個の弁動作音のデー
タから正常時の弁動作音のデータを求める弁動作音デー
タ収集手段を設けて導出する。

【００３４】（１２）また、正常時の弁動作音のデータ
は、予め求めた正常時の弁動作音のデータを第２の収集
手段で収集したデータで補正する弁動作音データ補正手
段を設けて、この補正した弁動作音のデータを用いる。

【００３５】（１３）また、発生音収集手段は、流体搬
送用ポンプの運転時の発生音のデータを収集し、第３の
判定手段は、この収集したデータと正常時のポンプ運転
時の発生音のデータとを比較して、その比較に応じて異
常と判定する。

【００３６】（１４）また、正常時のポンプ運転時の発
生音のデータは、発生音収集手段からの複数個の発生音
のデータから正常時のポンプ運転時の発生音のデータを
求める発生音データ収集手段を設けて導出する。

【００３７】（１５）また、正常時のポンプ運転時の発
生音のデータは、予め求めた正常時のポンプ運転時の発
生音のデータを発生音収集手段からの発生音のデータで
補正する発生音データ補正手段を設けて、この補正した
発生音のデータを用いる。

【００３８】

【実施例】

実施例１．以下、この発明の実施例１を図に基づいて説
明する。図１において、１０１は浄水池、１０２は配水
池、１０３は送水管、１０４は送水管１０３の水量を調
整する流量制御弁、１０５は送水管１０３の流量を検出
する流量計、１０６は流量制御器、１０７は異常診断装
置、この異常診断装置１０７は、弁開度／流量特性演算
部１０９、弁開閉時発生音周波数特性演算部１１０、判
定演算部１１１、警報出力部１１２、アンド回路１２
１，１２２、反転回路１２３で構成される。１１５は弁
開度検出器、１１６は弁動作音検出器で、通常、可聴音
帯域（０〜１００００Ｈｚ）のマイクロフォンが用いら
れ、外部音の影響を除去するため流量制御弁１０４に密
着して取り付けられる。

【００３９】次に動作について説明する。流量計１０５
で計測した流量実測値Ｑ１０１を流量制御部１０６で取
り込み、流量設定値との偏差を制御信号として流量制御
弁１０４の弁開度を調整することにより、浄水池１０１
から配水池１０２に送り込む流量を一定に保つように流
量制御している。

【００４０】一方、流量計１０５で計測した流量実測値
Ｑ１０１、および弁開度検出器１１５で検出した流量制
御弁１０４の弁開度Ｚは時々刻々、異常診断装置１０７
に取り込まれる。そして判定演算部１１１では、流量実
測値Ｑ１０１と弁開度／流量特性１０９から求めた検出
弁開度Ｚに対応する流量データＱ１０２との流量差｜Ｑ
１０１−Ｑ１０２｜を演算した上で予め定めた異常判定
基準値Ｑ１０３と対比する。

【００４１】そして流量差｜Ｑ１０１−Ｑ１０２｜の演
算値が異常判定基準Ｑ１０３を超える条件を判定１とす
る。なお、この判定１を導出する手段は従来の技術の手
段と同一である。

【００４２】ここで上記弁開度／流量特性を求める手段
は、図２に示すように、弁開度とその弁開度の流量とを
実測し、その実測平均から弁開度／流量特性を求める。

【００４３】一方、弁動作音Ｆは時々刻々、異常診断装
置１０７に取り込まれる。そして弁開閉時発生音周波数
特性演算部１１０では、収集した弁動作音からの周波数
特性実測値ＦＺ１０１が導出されると共に、過去データ
から求めた周波数特性値実測値ＦＺ１０２を出力する。
そして判定演算部１１１では、周波数特性実測値ＦＺ１
０１と過去データから求めた周波数特性値ＦＺ１０２と
のスペクトル差｜ＦＺ１０１−ＦＺ１０２｜を演算した
上で、予め定めた異常判定基準スペクトル値ＦＺ１０３
と対比する。

【００４４】そしてスペクトル差｜ＦＺ１０１−ＦＺ１
０２｜の演算値が異常判定基準値ＦＺ１０３を超える条
件を判定２とする。

【００４５】ここで過去データから求める周波数特性値
ＦＺ１０２は、図３に示すように、所定の弁開度毎（図
３の例では０〜１０％の弁開度）の動作音の周波数波ｆ
と波高値Ｐとの関係を示す周波数スペクトルを求め、そ
のピーク値を弁開度Ｚに対してプロットしたものが図３
のような求める周波数特性となり、この周波数特性から
所定の弁開度に対する周波数特性値ＦＺ１０２を読み出
して出力する。

【００４６】なお、図３では周波数スペクトルから、ピ
ーク値を抽出しているが、ピーク値を示した特定周波数
は、ただ一つだけでは実質的に判定誤差（誤判定）を生
じ易いので、ある範囲、即ち、±何ヘルツ（Ｈｚ）かの
幅をもたせてそのピーク値を抽出する。

【００４７】次に収集した弁動作音から求める周波数特
性実測値ＦＺ１０１は、図３の手段と同様に周波数スペ
クトルからその時点の弁開度に対するピーク値を求め出
力する。

【００４８】判定演算部１１１からの判定信号により警
報出力部１１２は、判定１のみの時には流量制御弁１０
４に異常が発生したとし、また、アンド回路１２２と反
転回路１２３により判定２のみの時には、管路異常が発
生したとし、アンド回路１２１により判定１と判定２が
同時に発生した時には、流量制御弁および管路の異常が
発生したとし、これらの異常状態が所定時間継続した時
点（図示しないがタイマ等で信号を遅延させる）で警報
を出力する。

【００４９】同時にこれらいずれかの警報信号は制御部
１０６にも与えられ（図示しないが）、流量制御弁１０
４の弁開度をその時点の状態に止めるように以降の流量
制御動作を中断する。

【００５０】前記の管路異常は管路の破断、漏水、接合
部の外れ、管路の詰まり等を指すが、管路異常の場合
は、例えば、流量制御弁の前で管路破断の場合、流量が
極端に少なくなり、また、流量調整弁の後で管路破断の
場合、流量が極端に多くなるので、いずれの場合でも流
量調整弁の調整範囲外となるので、流量制御弁の動作音
で異常を判定する。このように出力警報出力部１１２か
ら制御弁異常、管路異常、制御弁と管路との異常のよう
に異常部位を判定することができ、異常の発生をオペレ
ータに知らせることができる。

【００５１】上記説明では、流量制御弁の弁開度／流量
特性、および、弁動作音の周波数特性を予め実測して求
めたが、場合により設計値等を用いてもよい。

【００５２】実施例２．図４において、３０１は浄水
池、３０２は配水池、３０３は送水管、３０４は流量制
御弁、３０５は流量計、３０６は流量制御器、３０８は
圧力計、３０７は異常診断装置、この異常診断装置３０
７は、３０９圧力、弁開度／流量特性演算部、３１０弁
開閉時発生音周波数特性演出部、３１１判定演算部、３
１２警報出力部、アンド回路３２１，３２２、反転回路
３２３で構成される。

【００５３】３１５は弁開度検出器、３１６は弁動作音
検出器である。なお、上記の圧力・弁開度／流量特性演
算部３０９は、送水管３０３の水の圧力に対する弁開度
／流量特性を演算するものである。

【００５４】次に動作について説明する。流量計３０５
で計測した流量実測値Ｑｐ３０１を流量制御部３０６で
取り組み、流量設定値との偏差を制御信号として流量制
御弁３０４の弁開度を調整することにより、浄水池３０
１から配水池３０２に送り込む流量を一定に保つように
流量制御している。

【００５５】一方、流量計３０５で計測した流量実測値
Ｑｐ３０１、圧力計３０８で計測した圧力実測値Ｐ３０
１および弁開度検出器３１５で検出した流量制御弁３０
４の弁開度Ｚは時々刻々、異常診断装置３０７に取り込
まれる。そして、判定演算部３１１では流量実測値Ｑｐ
３０１、圧力実測値Ｐ３０１と弁開度／流量特性３０９
から求めた検出圧力Ｐ、検出弁開度Ｚに対応する流量デ
ータＱｐ３０２との流量差｜Ｑｐ３０１−Ｑｐ３０２｜
を演算した上で、予め定めた異常判定基準値Ｑｐ３０３
と対比する。ここで、流量差｜Ｑｐ３０１−Ｑｐ３０２
｜の演算値が異常判定基準値Ｑ３０３を超える条件を判
定１とする。

【００５６】ここで上記圧力・弁開度／流量特性を求め
る手段は、実施例１の図２に示した手段を用い、水の圧
力毎に（圧力をパラメータとして）弁開度／流量特性を
実測し、その実測平均から弁開度／流量特性を求める。

【００５７】一方、弁動作音Ｆは時々刻々、異常診断装
置３０７に取り込まれる。そこで収集した弁動作音から
の周波数特性実測値ＦＺ３０１が演算される。そして、
判定演算部３１１では、周波数特性実測値ＦＺ３０１と
過去データから求めた周波数特性値ＦＺ３０２とのスペ
クトル差｜ＦＺ３０１−ＦＺ３０２｜を演算した上で、
予め定めた異常判定基準スペクトル値ＦＺ３０３と対比
する。

【００５８】ここで、スペクトル差｜ＦＺ３０１−ＦＺ
３０２｜の演算値が異常判定基準ＦＺ３０３を超える条
件を判定２とする。なお、この判定２を求める手段は、
実施例１と同様である。

【００５９】判定演算部３１１からの判定信号により警
報出力部３１２は、判定１のみの時には流量制御弁３０
４に異常が発生したとし、また、アンド回路１２３と反
転回路１２３により判定２のみの時には、管路異常が発
生したとし、アンド回路１２１により判定１と判定２が
同時に発生した時には、流量制御弁および管路の異常が
発生したとし、これらの異常状態が所定時間継続した時
点（図示しないがタイマ等で信号を遅延させる）で警報
を出力する。

【００６０】同時にこれらいずれかの警報信号は制御部
３０６にも与えられ（図示しないが）、流量制御弁３０
４の弁開度をその時点の状態に止めるように以降の流量
制御動作を中断する。

【００６１】このように出力警報出力部３１２から制御
弁異常、管路異常（管路の破断、漏水、接合部の外れ、
管路の詰まり等）、制御弁と管路との異常のように異常
部位を判定することができ、異常発生をオペレータに知
らせることができる。

【００６２】特にこの実施例２は、実施例１に比べて、
弁開度／流量特性に水の圧力を考慮したので、判定誤差
を少なくすることができるので、より精度の高い判定が
でき、また、判定誤差が少ないことから判定時間も早く
することができる。

【００６３】上記説明では、流量制御弁の圧力・弁開度
／流量特性、および、弁動作音の周波数特性を予め実測
して求めたが、場合により設計値等を用いてもよい。

【００６４】実施例３．上記実施例１では弁動作音検知
器１１６により、制御弁等の異常診断に対する場合につ
いて述べたが、この実施例ではポンプ設備の異常を検出
するものである。

【００６５】図５において、４０１は浄水池、４０２は
配水池、４０３は送水管、４０４はポンプ、４０５は流
量制御弁、４０６はポンプ制御部、４０７は異常診断装
置、この異常診断装置４０７は、ポンプ動作音周波数特
性演算部４１０、判定演算部４１１、警報出力部４１２
で構成される。４１６はポンプ動作音検出器である。

【００６６】図に示すように、ポンプ４０４の動作音を
ポンプ動作音検出器４１６で検出し、この検出信号Ｆｔ
４０１と予め求めたポンプ動作音周波数特性からのデー
タＦｔ４０２とを比較し、その差が所定の値Ｆｔ４０３
を超えると異常と判定する。そしてこの判定結果を警報
出力部４１２からポンプ異常信号を出力する。

【００６７】上記説明では、ポンプ動作音周波数特性を
予め実測して求めたが、場合により設計値等を用いても
よい。また、上記説明ではポンプ動作音周波数特性は、
ポンプの出力は一定（回転数制御なし）の場合を考えた
が、ポンプの出力・回転数を可変にする場合は、ポンプ
の出力または回転数をパラメータとしたポンプ動作音周
波数特性を得るようにすればよい。また、ポンプ動作音
周波数特性は運転時間により変化するが、この場合は運
転時間に対する周波数特性を得るようにすればよい。

【００６８】実施例４．上記実施例１では、異常診断装
置１０７として、弁開度／流量特性演算部１０９、弁開
閉時発生音周波数特性演算部１１０、判定演算部１１
１、警報出力部１１２などを内蔵して構成されていた
が、異常診断装置１０７を遠隔の場所に設置し、各種入
出力信号を伝送してもよい。

【００６９】また、弁開閉時発生音周波数特性演算部１
１０、判定演算部１１１を遠隔場所に置き必要な信号を
伝送して、そこで同様の演算を行うようにしてもよい。
また、この演算は他の処理や制御を行う計算機を用いて
演算・判定等を行うようにしてもよい。この実施例４
は、実施例２および実施例３に対しても適用するとこが
でき、また、この実施例５以降の実施例に対しても適用
することができる。

【００７０】実施例５．実施例１では、流量制御弁の弁
開度／流量特性を予め実測や設計値などで求めたが、こ
の実施例では予め弁開度／流量特性を求める必要のない
異常診断装置を提供しようとするものである。

【００７１】図６はこの実施例の要部の構成図で、５０
１は流量制御弁の弁開度／流量特性生成手段、５０２は
メモリで、検出時点の弁開度Ｚとその流量Ｑが格納され
る。５０３は弁開度／流量特性特性テーブルで、その出
力は弁開度／流量特性演算部１０９に入力される。

【００７２】次に動作を説明する。検出時点の弁開度Ｚ
とその流量Ｑが時々刻々、弁開度／流量特性生成手段５
０１に入力され１，２，・・・ｎと順次格納される。こ
の格納されたデータは、弁開度／流量特性テーブル５０
３において、弁開度Ｚに対する流量Ｑのテーブルに変換
され弁開度／流量特性が求められる。この求めた結果が
弁開度／流量特性演算部１０９に入力され、それ以降の
動作は実施例１と同様であるので省略する。

【００７３】このように構成すると、弁開度／流量特性
のデータを蓄積しながら弁開度／流量特性を生成するこ
とができる。データ蓄積の当初はデータ数が少ないので
異常判定ができ難いが、実際のプラントの設置の場合種
々のテストや試運転を行うのでこの間にデータが蓄積さ
れる。従って、予め事前に弁開度／流量特性を設定して
いなくても動作可能とすることができる。また、データ
が蓄積されていくと、経年変化による弁開度／流量特性
の変化に対して追従することができるという効果があ
る。

【００７４】なお、上記メモリ５０２は、１，２，・・
・ｎと順次ＺとＱのデータが格納されるが、無限に格納
するメモリ容量は持たないので、実際はデータ数は１０
００個迄または１００００個迄などと制限される。その
場合、通常は一番初めの古いデータから消去して行き、
最新のデータ１０００個または１００００個等を用いる
ようにする。このようにすると、経年変化に対する弁開
度／流量特性の変化に対しては、古いデータを用いず最
新のデータで弁開度／流量特性を生成するので経年変化
に対する追従性がよくなる。

【００７５】この実施例では、弁開度／流量特性生成手
段５０１を弁開度／流量特性演算部１０９と別にした
が、弁開度／流量特性演算部１０９内に組み込んでもよ
い。弁開度／流量特性演算部１０９内に組み込むことに
よって、弁開度／流量特性テーブル５０２は省略して、
弁開度／流量特性演算部１０９内の弁開度／流量特性デ
ータを兼用することができる。

【００７６】この実施例では、弁開度／流量特性を生成
する手段について説明したが、弁開閉時発生音周波数特
性についても、この実施例で説明したと同様に弁開閉時
発生音周波数特性生成手段を設けて実現することができ
る。従って、この詳細説明は省略する。なお、実施例２
の弁開閉時発生音周波数特性についても弁開閉時発生音
周波数特性生成手段を設けて適用することができる。

【００７７】また、この実施例は、実施例２の圧力・弁
開度／流量特性に対しても適用できる。実施例２に適用
する場合は、検出時点の弁開度とこの弁開度に対する圧
力と流量を記憶して行き圧力・弁開度／流量特性を生成
する。

【００７８】また、この実施例は、実施例３のポンプ動
作音周波数特性に対しても適用できる。実施例３に適用
する場合は、ポンプの発生音を記憶して行きポンプ動作
音周波数特性を生成する。

【００７９】実施例６．この実施例は実施例５をより改
良したものである。図７はこの実施例を示す要部の構成
図で、５０４は一次メモリで、弁開度Ｚと流量Ｑとの一
組のデータのみをストアするメモリで、ストアされたデ
ータは異常信号によりクリアされ、また、ストアされた
データは、次の弁開度Ｚと流量Ｑの入力で書き換えられ
る。他の構成は図６と同一である。

【００８０】次に動作について説明する。入力された弁
開度Ｚと流量Ｑのデータは、一次メモリ５０４にストア
され、図１に示す警報出力部１１２からのいずれかの異
常信号が入力されるとクリアされ、メモリ５０２に入力
されるのを禁止する。異常信号が入力されない場合は、
メモリ５０２に入力されデータとして格納される。

【００８１】このようにすると異常信号を発生するよう
な検出されたデータは、弁開度／流量特性の生成データ
に採用されないので、実施例５に比べてより精度のよい
弁開度／流量特性が得られる。勿論、実施例１の場合も
データ数が多くなるにつれ母集団が大きくなるので統計
誤差は小さくなり、異常データの影響は少なくなるが、
この実施例ではデータ数が少ないとき特に有利である。

【００８２】また、この実施例は、実施例２の圧力・弁
開度／流量特性に対しても適用できる。実施例２に適用
する場合は、検出時点の弁開度とこの弁開度に対する圧
力と流量を記憶して行き圧力・弁開度／流量特性を生成
する。

【００８３】また、この実施例は、実施例３のポンプ動
作音周波数特性に対しても適用できる。実施例３に適用
する場合は、ポンプの発生音を記憶して行きポンプ動作
音周波数特性を生成する。

【００８４】実施例７．この実施例は設備の経年変化に
追従して弁開度／流量特性の変化を行う異常診断装置を
提供しようとするものである。

【００８５】図８はこの実施例の要部の構成図で、５１
１は弁開度／流量特性補正手段、５１２はメモリで、検
出時点の弁開度Ｚとその流量Ｑが格納される。５１３は
弁開度／流量特性特性補正テーブルで、予め実測値また
は設計値等から求めた弁開度／流量特性が格納される。
その出力は弁開度／流量特性演算部１０９に入力され
る。

【００８６】次に動作を説明する。検出時点の弁開度Ｚ
とその流量Ｑが時々刻々、弁開度／流量特性生成手段５
１１に入力され１，２，・・・ｎと順次格納される。こ
の格納されたデータは、弁開度／流量特性補正テーブル
５１３は、予め設定された弁開度／流量特性のデータを
メモリ５１２に格納されたデータで補正する。

【００８７】この補正手段は、予め設定された弁開度／
流量特性のデータに、メモリ５１２に格納されたデータ
を追加して補正する手段と、予め設定された弁開度／流
量特性のデータを、メモリ５１２に格納されたデータで
置き換えて補正する手段とがあるがいずれを用いてもよ
い。後者の方が経年変化に対する追従は早くなる。

【００８８】この補正された弁開度／流量特性データが
演算部１０９に入力され、それ以降の動作は実施例１と
同様であるので省略する。このように構成すると、設備
の経年変化に対応して弁開度／流量特性を変化させるこ
とがてきる。

【００８９】この実施例では、弁開度／流量特性補正手
段５１１を弁開度／流量特性演算部１０９と別にした
が、弁開度／流量特性演算部１０９内に組み込んでもよ
い。弁開度／流量特性演算部１０９内に組み込むことに
よって、弁開度／流量特性補正テーブル５１２は省略す
ることができる。この省略は弁開度／流量特性演算部１
０９内で弁開度／流量特性を演算する場合に、補正動作
も合わせて行うようにすればよい。

【００９０】この実施例では、弁開度／流量特性を補正
する手段について説明したが、弁開閉時発生音周波数特
性についても、この実施例で説明したと同様に弁開閉時
発生音周波数特性補正手段を設けて実現することができ
る。従って、この詳細説明は省略する。なお、実施例２
の弁開閉時発生音周波数特性についても弁開閉時発生音
周波数特性生成手段を設けて適用することができる。

【００９１】また、この実施例は、実施例２の圧力・弁
開度／流量特性に対しても適用できる。実施例２に適用
する場合は、検出時点の弁開度とこの弁開度に対する圧
力と流量で圧力・弁開度／流量特性を補正する。

【００９２】また、この実施例は、実施例３のポンプ動
作音周波数特性に対しても適用できる。実施例３に適用
する場合は、検出したポンプの発生音でポンプ動作音周
波数特性を補正する。

【００９３】実施例８．この実施例は実施例７を改良し
たものである。図９はこの実施例を示す要部の構成図
で、５１４は一次メモリで、弁開度Ｚと流量Ｑとの一組
のデータのみをストアするメモリで、ストアされたデー
タは異常信号によりクリアされ、また、ストアされたデ
ータは、次の弁開度Ｚと流量Ｑの入力で書き換えられ
る。他の構成は図８と同一である。

【００９４】次に動作について説明する。入力された弁
開度Ｚと流量Ｑのデータは、一次メモリ５１４にストア
され、図１に示す警報出力部１１２からのいずれかの異
常信号が入力されるとクリアされ、メモリ５１２に入力
されるのを禁止する。異常信号が入力されない場合は、
メモリ５１２に入力されデータとして格納される。

【００９５】このようにすると異常信号を発生するデー
タは、弁開度／流量特性の生成データに採用されないの
で、実施例７に比べてより精度のよい弁開度／流量特性
の補正が行われる。

【００９６】また、この実施例は、実施例２の圧力・弁
開度／流量特性に対しても適用できる。実施例２に適用
する場合は、検出時点の弁開度とこの弁開度に対する圧
力と流量を記憶して行き圧力・弁開度／流量特性を生成
する。

【００９７】また、この実施例は、実施例３のポンプ動
作音周波数特性に対しても適用できる。実施例３に適用
する場合は、検出したポンプの発生音でポンプ動作音周
波数特性を補正する。

【００９８】実施例９．この実施例は実施例１から弁動
作音による異常診断を省いて、弁開度／流量特性のみを
用いて異常診断を行うもので、この異常診断の際、実施
例５から実施例８までに示す弁開度／流量特性生成手段
または弁開度／流量特性補正手段を設けたものである。
また、これは従来の異常診断装置に弁開度／流量特性生
成手段または弁開度／流量特性補正手段を設けたもので
ある。

【００９９】この実施例を図１０の構成図に示す。図の
ように、判定２の動作系統は全て省略して、判定１の動
作系統のみとし、弁開度／流量特性生成手段５０１を設
けたものである。動作については実施例５（図６）で説
明したので省略する。また、実施例５の弁開度／流量特
性生成手段５０１の代わりに、実施例６の図７の弁開度
／流量特性生成手段５０１を用いてもよい。また、実施
例５の弁開度／流量特性生成手段５０１の代わりに、実
施例７の図８の弁開度／流量特性補正手段５１１を用い
てもよく、実施例８の図９の弁開度／流量特性補正手段
５１１を用いてもよい。

【０１００】実施例１０．この実施例は実施例２から弁
動作音による異常診断を省いて、圧力・弁開度／流量特
性のみを用いて異常診断を行うもので、この異常診断の
際、実施例５から実施例８までに示す弁開度／流量特性
生成手段または弁開度／流量特性補正手段を設けたもの
である。

【０１０１】図は省略するが、図４の判定２の動作系統
は全て省略して、判定１の動作系統のみとし、弁開度／
流量特性生成手段５０１を設けたものである。動作につ
いては実施例５（図６）で説明したので省略する。

【０１０２】また、実施例５の弁開度／流量特性生成手
段５０１の代わりに、実施例６の図７の弁開度／流量特
性生成手段５０１を用いてもよい。また、実施例５の弁
開度／流量特性生成手段５０１の代わりに、実施例７の
図８の弁開度／流量特性補正手段５１１を用いてもよ
く、実施例８の図９の弁開度／流量特性補正手段５１１
を用いてもよい。

【０１０３】実施例１１．上記実施例では送配水プラン
トに適用したが、水のみでなく他の液体の送配を行う流
量制御設備に広く適用することができる。

【０１０４】

【発明の効果】

（１）以上のように、この発明によれば弁開度／流量特
性生成手段で求めた弁開度／流量特性と実測データとを
比較し、この比較に応じて異常と判定するようにしたの
で、予め弁開度／流量特性を設定しておく必要がなく、
また、流量制御設備の経年変化に対応して弁開度／流量
特性を変化するとこができる。。

【０１０５】（２）また、弁開度／流量特性補正成手段
で補正した弁開度／流量特性と実測データとを比較し、
この比較に応じて異常と判定するようにしたので、流量
制御設備の経年変化に対応して弁開度／流量特性を変化
するとこができる。

【０１０６】（３）また、圧力・弁開度／流量特性生成
手段で求めた圧力・弁開度／流量特性と実測データとを
比較し、この比較に応じて異常と判定するようにしたの
で、予め弁開度／流量特性を設定しておく必要がなく、
また、流体圧力を加味したので精度のよい判定ができ、
また、流量制御設備の経年変化に対応して圧力・弁開度
／流量特性を変化するとこができる。

【０１０７】（４）また、圧力・弁開度／流量特性補正
成手段で補正した圧力・弁開度／流量特性と実測データ
とを比較し、この比較に応じて異常と判定するようにし
たので、流量制御設備の経年変化に対応して圧力・弁開
度／流量特性を変化するとこができ、また、流体圧力を
加味したので精度のよい判定ができる。

【０１０８】（５）また、流量制御弁の弁開度／流量特
性での異常判定に加え、流量制御弁の動作音のデータで
異常判定をするようにしたので、より広い範囲の異常判
定ができ、また、異常部位の判定をすることができる。

【０１０９】（６）また、流量制御弁の弁開度／流量特
性は、弁開度／流量特性生成手段を設けて導出するよう
にしたので、予め弁開度／流量特性を設定しておく必要
がない。

【０１１０】（７）また、流量制御弁の弁開度／流量特
性は、弁開度／流量特性補正手段を設けて、この補正し
た弁開度／流量特性を用いるようにしたので、流量制御
設備の経年変化に対応して弁開度／流量特性を変化する
とこができる。

【０１１１】（８）また、流量制御弁の流体圧力に対す
る弁開度／流量特性での異常判定に加え、流量制御弁の
動作音のデータで異常判定をするようにしたので、より
広い範囲の異常判定ができ、また、異常部位の判定をす
ることができる。

【０１１２】（９）また、流量制御弁の流体圧力に対す
る弁開度／流量特性は、圧力・弁開度／流量特性生成手
段を設けて導出するようにしたので、予め圧力・弁開度
／流量特性を設定しておく必要がない。

【０１１３】（１０）また、流量制御弁の流体圧力に対
する弁開度／流量特性は、圧力・弁開度／流量特性補正
手段を設けて、この補正した流体圧力に対する弁開度／
流量特性を用いるようにしたので、流量制御設備の経年
変化に対応して圧力・弁開度／流量特性を変化するとこ
ができる。

【０１１４】（１１）また、正常時の弁動作音のデータ
は、弁動作音データ収集手段を設けて導出するようにし
たので、予め正常時の弁動作音データを設定しておく必
要がない。

【０１１５】（１２）また、正常時の弁動作音のデータ
は、弁動作音データ補正手段を設けて、この補正した弁
動作音のデータを用いるようにしたので、流量制御設備
の経年変化に対応して弁開度／流量特性を変化するとこ
ができる。

【０１１６】（１３）また、流体搬送用ポンプの運転時
の発生音のデータを収集して、正常時のポンプ運転時の
発生音のデータとを比較して、その比較に応じて異常と
判定するようにしたので、ポンプの異常を判定すること
ができる。

【０１１７】（１４）また、正常時のポンプ運転時の発
生音のデータは、発生音データ収集手段を設けて導出す
るようにしたので、予め正常時のポンプ運転時の発生音
データを設定しておく必要がない。

【０１１８】（１５）また、正常時のポンプ運転時の発
生音のデータは、発生音データ補正手段を設けて、この
補正した発生音のデータを用いるようにしたので、ポン
プの経年変化による発生音の変化に追従することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施例１による流量制御設備の異常
診断装置のブロック図である。

【図２】 本発明の実施例１による弁開度／流量特性を
求める図である。

【図３】 本発明の実施例１による弁開閉時周波数特性
を求める図である。

【図４】 本発明の実施例２による流量制御設備の異常
診断装置のブロック図である。

【図５】 本発明の実施例３によるポンプ設備の異常診
断装置のブロック図である。

【図６】 本発明の実施例５による弁開度／流量特性生
成手段のブロック図である。

【図７】 本発明の実施例６による弁開度／流量特性生
成手段のブロック図である。

【図８】 本発明の実施例７による弁開度／流量特性補
正手段のブロック図である。

【図９】 本発明の実施例８による弁開度／流量特性補
正手段のブロック図である。

【図１０】 本発明の実施例９による流量制御設備の異
常診断装置のブロック図である。

【図１１】 従来の取水流量弁の異常診断装置を示す図
である。

【符号の説明】

１ 取水井、２ 調整池、３ 取水導水管、４ 取水流
量制御弁、５ 流量計、６ 流量制御器、７ 異常診断
装置、８ 流量データ読み取り部、９ 演算部、１０
タイマ、１１ 警報器、１２ 流量指示計、１０１，３
０１，４０１ 浄水池、１０２，３０２，４０２ 配水
池、１０３，３０３，４０３ 送水管、１０４，３０
４，４０５ 流量制御弁、１０５，３０５ 流量計、１
０６，３０６ 流量制御器、１０７，３０７ 異常診断
装置、１０９ 弁開度／流量特性演算部、１１０，３１
０ 弁開閉時発生音周波数特性演算部、１１１，３１
１，４１１ 判定演算部、１１２，３１２，４１２ 警
報出力部、１１５，３１５ 弁開度検出器、１１６，３
１６ 弁動作音検出器、３０８ 圧力計、３０９ 圧
力、弁開度／流量特性演算部、４０４ ポンプ設備、４
０６ ポンプ制御部、４１６ ポンプ動作音検出器、４
０７ 異常診断装置、４１０ ポンプ動作音周波数特性
演算部、５０１ 弁開度／流量特性生成手段、５０２，
５１２ メモリ、５０３ 弁開度／流量特性テーブル、
５０４，５１４ 一次メモリ、５１３弁開度／流量特性
補正テーブル。

Claims (15)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 管路に流れる流体の流量を計測し、その
   計測結果に応じて流量制御弁を制御して流量制御を行う
   流量制御設備にあって、流量制御弁の開度に応じた流量
   のデータを収集する第１の収集手段、この第１の収集手
   段で収集した複数個のデータから上記流量制御弁の弁開
   度／流量特性を求める弁開度／流量特性生成手段、この
   求めた弁開度／流量特性と上記第１の収集手段で収集し
   たデータとを比較し、この比較に応じて異常と判定する
   第１の判定手段を備えたことを特徴とする流量制御設備
   の異常診断装置。
2. 【請求項２】 管路に流れる流体の流量を計測し、その
   計測結果に応じて流量制御弁を制御して流量制御を行う
   流量制御設備にあって、流量制御弁の開度に応じた流量
   のデータを収集する第１の収集手段、予め求めた上記流
   量制御弁の弁開度／流量特性を上記第１の収集手段で収
   集したデータで補正する弁開度／流量特性補正成手段、
   この補正した弁開度／流量特性と上記第１の収集手段で
   収集したデータとを比較し、この比較に応じて異常と判
   定する第１の判定手段を備えたことを特徴とする流量制
   御設備の異常診断装置。
3. 【請求項３】 管路に流れる流体の流量を計測し、その
   計測結果に応じて流量制御弁を制御して流量制御を行う
   流量制御設備にあって、上記流量制御弁の流体圧力に対
   応する弁開度と流量とのデータを収集する第１の収集手
   段、この第１の収集手段で収集した複数個のデータから
   上記流量制御弁の流体圧力に対する弁開度／流量特性を
   求める圧力・弁開度／流量特性生成手段、この求めた圧
   力・弁開度／流量特性と上記第１の収集手段で収集した
   データとを比較し、この比較に応じて異常と判定する第
   １の判定手段を備えたことを特徴とする流量制御設備の
   異常診断装置。
4. 【請求項４】 管路に流れる流体の流量を計測し、その
   計測結果に応じて流量制御弁を制御して流量制御を行う
   流量制御設備にあって、上記流量制御弁の流体圧力に対
   応する弁開度と流量とのデータを収集する第１の収集手
   段、予め求めた上記流量制御弁の流体圧力に対する弁開
   度／流量特性を上記第１の収集手段で収集したデータで
   補正する圧力・弁開度／流量特性補正成手段、この補正
   した圧力・弁開度／流量特性と上記第１の収集手段で収
   集したデータとを比較し、この比較に応じて異常と判定
   する第１の判定手段を備えたことを特徴とする流量制御
   設備の異常診断装置。
5. 【請求項５】 管路に流れる流体の流量を計測し、その
   計測結果に応じて流量制御弁を制御して流量制御を行う
   流量制御設備にあって、流量制御弁の開度に応じた流量
   のデータを収集する第１の収集手段、この収集したデー
   タと上記流量制御弁の弁開度／流量特性とを比較し、こ
   の比較に応じて異常と判定する第１の判定手段、上記流
   量制御弁の動作音のデータを収集する第２の収集手段
   と、この収集した弁動作音のデータと正常時の弁動作音
   のデータとを比較して、その比較に応じて異常と判定す
   る第２の判定手段、上記第１と第２の判定手段の結果に
   応じて異常状態を判別して警報信号を出力する警報出力
   部を備えたことを特徴とする流量制御設備の異常診断装
   置。
6. 【請求項６】 請求項５の流量制御弁の弁開度／流量特
   性は、第１の収集手段で収集した複数個のデータから弁
   開度／流量特性を求める弁開度／流量特性生成手段を設
   けて導出するようにしたことを特徴とする流量制御設備
   の異常診断装置。
7. 【請求項７】 請求項５の流量制御弁の弁開度／流量特
   性は、予め求めた弁開度／流量特性を第１の収集手段で
   収集したデータで補正する弁開度／流量特性補正手段を
   設けて、この補正した弁開度／流量特性を用いるように
   したことを特徴とする流量制御設備の異常診断装置。
8. 【請求項８】 管路に流れる流体の流量を計測し、その
   計測結果に応じて流量制御弁を制御して流量制御を行う
   流量制御設備にあって、上記流量制御弁の流体圧力に対
   応する弁開度と流量とのデータを収集する第１の収集手
   段、この収集したデータと上記流量制御弁の流体圧力に
   対する弁開度／流量特性とを比較し、この比較に応じて
   異常と判定する第１の判定手段、上記流量制御弁の動作
   音のデータを収集する第２の収集手段と、この収集した
   弁動作音のデータと正常時の弁動作音のデータとを比較
   して、その比較に応じて異常と判定する第２の判定手
   段、上記第１と第２の判定手段の結果に応じて異常状態
   を判別して警報信号を出力する警報出力部を備えたこと
   を特徴とする流量制御設備の異常診断装置。
9. 【請求項９】 請求項８の流量制御弁の流体圧力に対す
   る弁開度／流量特性は、第１の収集手段で収集した複数
   個のデータから流量制御弁の流体圧力に対する弁開度／
   流量特性を求める圧力・弁開度／流量特性生成手段を設
   けて導出するようにしたことを特徴とする流量制御設備
   の異常診断装置。
10. 【請求項１０】 請求項８の流量制御弁の流体圧力に対
    する弁開度／流量特性は、予め求めた流量制御弁の流体
    圧力に対する弁開度／流量特性を第１の収集手段で収集
    したデータで補正する圧力・弁開度／流量特性補正手段
    を設けて、この補正した流体圧力に対する弁開度／流量
    特性を用いるようにしたことを特徴とする流量制御設備
    の異常診断装置。
11. 【請求項１１】 請求項５〜１０のいずれか１項の正常
    時の弁動作音のデータは、第２の収集手段で収集した複
    数個の弁動作音のデータから正常時の弁動作音のデータ
    を求める弁動作音データ収集手段を設けて導出するよう
    にしたことを特徴とする流量制御設備の異常検出装置。
12. 【請求項１２】 請求項５〜１０のいずれか１項の正常
    時の弁動作音のデータは、予め求めた正常時の弁動作音
    のデータを第２の収集手段で収集したデータで補正する
    弁動作音データ補正手段を設けて、この補正した弁動作
    音のデータを用いるようにしたことを特徴とする流量制
    御設備の異常検出装置。
13. 【請求項１３】 管路に流れる流体の流量を計測し、そ
    の計測結果に応じて流量制御弁を制御して流量制御を行
    う流量制御設備にあって、流体搬送用ポンプの運転時の
    発生音のデータを収集する発生音収集手段と、この収集
    したデータと正常時のポンプ運転時の発生音のデータと
    を比較して、その比較に応じて異常と判定する第３の判
    定手段を備えたことを特徴とする流量制御設備の異常診
    断装置。
14. 【請求項１４】 請求項１３の正常時のポンプ運転時の
    発生音のデータは、発生音収集手段からの複数個の発生
    音のデータから正常時のポンプ運転時の発生音のデータ
    を求める発生音データ収集手段を設けて導出するように
    したことを特徴とする流量制御設備の異常検出装置。
15. 【請求項１５】 請求項１３の正常時のポンプ運転時の
    発生音のデータは、予め求めた正常時のポンプ運転時の
    発生音のデータを発生音収集手段からの発生音のデータ
    で補正する発生音データ補正手段を設けて、この補正し
    た発生音のデータを用いるようにしたことを特徴とする
    流量制御設備の異常検出装置。