JPH0824228A

JPH0824228A - 検査装置

Info

Publication number: JPH0824228A
Application number: JP6185521A
Authority: JP
Inventors: Joji Nikaido; 讓治二階堂
Original assignee: UNITEC RES KK
Current assignee: UNITEC RES KK
Priority date: 1994-07-13
Filing date: 1994-07-13
Publication date: 1996-01-30

Abstract

(57)【要約】【目的】肌等の皮膚における表皮の状態や、肌等の皮
膚の表面における凹凸状態等の被検査物における表面状
態を簡単且つ正確に検査できるようにする。【構成】被検査物２の表面状態を転写させた透光性フ
ィルム１と、この透光性フィルム１に光を照射する照射
手段２１と、上記透光性フィルム１を通過した光の像の
状態を観察する観察手段６０とを有する検査装置におい
て、上記照射手段２１と観察手段６０との間に第１及び
第２の偏光子３１，３２を設けると共に、この第１及び
／又は第２の偏光子３１，３２による偏光条件を調整す
る調整手段４１，４２を設けるようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、皮膚等の状態を検査
する検査装置に係り、特に、皮膚等の被検査物を採取
し、このように採取した皮膚等の被検査物の状態を簡単
かつ正確に検査できる検査装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】皮膚等の状態を検査する検査装置として
は、従来より様々な検査装置が開発されていた。例え
ば、特公昭６３−１４６１６５号公報に示されるよう
に、皮膚に光を照射し、その反射光を電気信号に変換さ
せて皮膚の状態を検査するようにしたものや、特開平４
−３８９３０号公報に示されるように、皮膚を減圧下に
おいて、その皮膚の変位を検出して皮膚の特性を測定す
るようにしたものや、特開平５−１０３７７１号公報に
示されるように、可視光を含んだ微弱な紫外線を用い
て、皮膚表面のポルフィリンをカラー画像として検出す
るようにしたもの等様々な検査装置が開発されている。

【０００３】しかし、上記のような従来の各検査装置に
おいては、肌等の皮膚における表皮の状態や、肌等の皮
膚の表面における凹凸状態を十分に検査できるようには
なっておらず、肌等に対する検査が必ずしも十分に行わ
れているとは言えなかった。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明者は、
上記のように肌における表皮の状態や、肌等の皮膚にお
ける表皮の状態や、肌等の皮膚の表面における凹凸状態
を検査するため、フィルムに粘着剤を付与し、この粘着
剤の部分を肌等の皮膚に貼り付けて剥がし、粘着剤の部
分に肌等の皮膚における表皮の状態や凹凸状態を転写さ
せて、これを検査することを考え付いた。

【０００５】そして、本発明者は、上記のようにフィル
ムの粘着部に転写された肌等の皮膚における表皮の状態
や凹凸状態を検査するため、このように肌等の皮膚にお
ける表皮の状態や凹凸状態が転写されたフィルムに光を
照射し、このフィルムにおいて反射された光の像をＣＣ
Ｄカメラやルーペ等で観察したり、また上記フィルムに
透光性のフィルムを使用し、上記のように肌等の皮膚に
おける表皮の状態や凹凸状態を転写させたフィルムを通
過した光の像をＣＣＤカメラやルーペ等で観察すること
を考え付いた。

【０００６】しかし、上記のように肌等の皮膚における
表皮の状態や凹凸状態が転写されたフィルムにおいて反
射された光の像や、このフィルムを通過した光の像を直
接ＣＣＤカメラやルーペ等で観察するようにした場合、
フィルムに転写された肌等の皮膚における表皮の状態や
凹凸状態を適切な観察することができず、肌等の皮膚に
おける表皮の状態や、肌等の皮膚の表面における凹凸状
態を正確に検査することができない等の問題があった。

【０００７】そこで、本発明者は更に研究を行い、この
発明を完成するに至ったのである。

【０００８】すなわち、この発明においては、肌等の皮
膚における表皮の状態や、肌等の皮膚の表面における凹
凸状態等の被検査物における表面状態を簡単且つ正確に
検査できるようにすることを課題とするものである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】この発明においては、上
記のような課題を解決するため、被検査物の表面状態を
転写させた透光性フィルムと、この透光性フィルムに光
を照射する照射手段と、上記透光性フィルムを通過した
光の像の状態を観察する観察手段とを有する検査装置に
おいて、上記照射手段と観察手段との間に第１及び第２
の偏光子を設けると共に、この第１及び／又は第２の偏
光子による偏光条件を調整する調整手段を設けるように
したのである。

【００１０】ここで、上記の透光性フィルムとしては、
塩化ビニル等の透明な樹脂フィルム等を用いることがで
き、このような透光性フィルムに被検査物の表面状態を
転写させるにあたっては、例えば、この透光性フィルム
に低粘着性の粘着剤を付与しておき、この透光性フィル
ムにおける粘着剤の部分を検査する肌等の被検査物の表
面に貼り付けて剥がし、皮膚等の表皮の状態をこの透光
性フィルムに転写させるようにしたり、また皮膚等に対
して悪影響がない型取り用の塗布液を検査する肌等の被
検査物の表面に塗布し、その後、上記の透光性フィルム
を塗布液が塗布された部分にあてがって、硬化した塗布
液をこの透光性フィルムに付着させ、皮膚等の被検査物
の表面における凹凸状態をこの透光性フィルムに転写さ
せるようにすることができる。

【００１１】また、この透光性フィルムに光を照射する
照射手段としては、ランプ等の光源を使用することがで
き、この光源からの光を乳白プラスチック等で構成され
た透光性の分散部材を通過させて分散させ、均一な光が
透光性フィルムに導かれるようにすることが好ましい。

【００１２】また、上記の第１及び第２の偏光子を設け
る位置は、上記のように照射手段と観察手段との間であ
ればよく、上記の透光性フィルムと照射手段との間、或
は透光性フィルムと観察手段との間のいずれか一方に第
１及び第２の偏光子を設けるようにしてもよいが、透光
性フィルムに転写された皮膚等の被検査物の表面におけ
る様々な状態を検査する上では、透光性フィルムと照射
手段との間と、透光性フィルムと観察手段との間にそれ
ぞれ第１偏光子と第２偏光子とを分離させて設けること
が好ましい。

【００１３】また、第１及び／又は第２の偏光子による
偏光条件を調整する調整手段としては、例えば、第１及
び／又は第２の偏光子を回転させる回転手段を設け、こ
れらの偏光子における偏光面の角度を変更させるように
したり、また第１偏光子と第２偏光子との間に液晶素子
や電気光学効果を有するＰＬＺＴ等の偏光面回転素子を
設け、この偏光面回転素子に適当な電圧を印加させて偏
光面を適当な角度回転させるようにすることができる。

【００１４】また、透光性フィルムを通過した光の像を
観察手段により観察するにあたっては、透光性フィルム
に転写された被検査物の表面における状態をより明確に
観察できるようにするため、観察手段として、透光性フ
ィルムを通過した光の像を撮像するＣＣＤカメラ等の撮
像装置を用い、この撮像装置による画像をモニター等に
表示させるようにしたり、またこの撮像装置によって撮
像された像を画像処理装置等によりネガ・ポジ反転させ
てモニター等に表示させるようにすることも可能であ
る。

【００１５】さらに、透光性フィルムを通過した光の像
を色付けして、皮膚等の被検査物にの表面状態を適切に
確認できるようにするため、適当な位置に発色フィルタ
ーを設けることも可能である。

【００１６】

【作用】この発明における検査装置においては、被検査
物の表面状態を転写させた透光性フィルムに対して照射
手段から光を照射し、この透光性フィルムを通過した光
の像を観察手段によって観察するにあたり、照射手段と
観察手段との間に設けられた第１偏光子と第２偏光子に
おける偏光条件を、前記の回転手段や偏光面回転素子等
による調整手段によって調整し、照射手段から照射され
た光が透光性フィルムを通過して観察手段に導かれる途
中において、この第１及び第２の各偏光子によって偏光
させるようする。

【００１７】ここで、上記のように調整手段によって第
１偏光子と第２偏光子との偏光条件を適当に調整する
と、透光性フィルムを通過した光の像が様々な状態で観
察手段に導かれるようになり、透光性フィルムに転写さ
れた皮膚等の被検査物の表面における様々な状態を正確
に観察できるようになる。

【００１８】また、この検査装置において、上記の観察
手段として、透光性フィルムを通過した光の像を撮像す
るＣＣＤカメラ等の撮像装置を用い、この撮像装置によ
る画像をモニター等に表示させるようにすると、透光性
フィルムに転写された被検査物の表面における状態を明
確に観察できるようになり、またこの撮像装置によって
撮像された像を画像処理装置等によりネガ・ポジ反転さ
せてモニター等に表示させるようにすると、被検査物の
表面における状態を様々な角度から観察できるようにな
る。

【００１９】さらに、前記のようにこの検査装置に発色
フィルターを設けると、被検査物の状態を適切に色付け
してより明確に検査できるようになる。

【００２０】

【実施例】以下、この発明の実施例を添付図面に基づい
て具体的に説明する。

【００２１】この実施例においては、図１に示すよう
に、塩化ビニル等の透明樹脂フィルムで構成された透光
性フィルム１の片面に低粘着性の粘着剤が塗布された粘
着部１ａを設け、図２の（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、
この透光性フィルム１に設けられた粘着部１ａを肌等の
被検査物２に貼り付けて剥がし、この透光性フィルム１
の粘着部１ａに皮膚等の被検査物２における表面状態を
転写させるようにした。なお、透光性フィルム１に皮膚
等の被検査物２における表面状態を転写させる方法は、
特にこのような方法に限られず、図３の（Ａ）〜（Ｃ）
に示すように、皮膚等の被検査物２の表面に被検査物２
に対して悪影響がない型取り用の塗布液１ｂを塗布した
後、上記の透光性フィルム１を塗布液１ｂが塗布された
部分にあてがって塗布液１ｂを硬化させ、このように硬
化した塗布液１ｂをこの透光性フィルム１に付着させ
て、皮膚等の被検査物３の表面における凹凸状態をこの
透光性フィルム１に転写させるようにすることも可能で
ある。

【００２２】そして、このように皮膚等の被検査物２に
おける表面状態が転写された透光性フィルム１を、図４
に示すように、装置本体１０の適当な位置に着脱自在に
装着させるようにした。

【００２３】ここで、図４に示す実施例のものにおいて
は、被検査物２の表面状態が転写された透光性フィルム
１に光を照射させる照射手段として、上記の装置本体１
０内における一方の端部にランプ等の光源２１を設ける
ようにした。そして、この光源２１より透光性フィルム
１側の位置に、乳白プラスチック等で構成された透光性
の分散部材２２を設け、光源２１から照射された光をこ
の分散部材２２を通過させて分散させ、光が全体に均一
化されるようにした。

【００２４】また、この分散部材２２により透光性フィ
ルム１側の位置において、分散部材２２を通過した光を
偏光させる第１偏光子３１を装置本体１０内に設けるよ
うにした。

【００２５】ここで、この実施例のものにおいては、第
１偏光子３１を装置本体１０内に設けるにあたり、この
第１偏光子３１における偏光条件を調整できるようにす
るため、この第１偏光子３１を装置本体１０の軸方向と
直交する面で回転できるように配し、この第１偏光子３
１を回転用ノブ４１により手動で回転させて、この第１
偏光子３１における偏光面の角度を自由に調整できるよ
うにした。なお、この第１偏光子３１を回転させる手段
は、上記のような回転用ノブ４１による手動式のものに
限られず、図示していないがモーター等を用いた電動式
のものであってもよい。

【００２６】そして、この第１偏光子３１を通過して偏
光された光を上記のように皮膚等の検査物２が採取され
た透光性フィルム１に照射させるようにした。

【００２７】一方、この透光性フィルム１を介して上記
の第１偏光子３１と反対側における装置本体１０内に
は、透光性フィルム１を通過した光を偏光させる第２偏
光子３２を設けると共に、この第２偏光子３２を通過し
て偏光された光の像を観察する観察手段６０として、Ｃ
ＣＤカメラ等の撮像装置６１を設け、さらにこの撮像装
置６１と上記の第２偏光子３２との間に、第２偏光子３
２を通過した光の像を撮像装置６１に導くレンズ等の光
学系５を設けるようにした。

【００２８】そして、この実施例では、上記の撮像装置
６１による画像情報を装置本体１０外に設けられた画像
処理装置６２に伝え、この画像処理装置６２により画像
処理を行ってモニター６３に表示させるようにした。

【００２９】そして、この実施例における検査装置によ
り、透光性フィルム１に転写された皮膚等の被検査物２
における表面状態を検査するにあたっては、皮膚等の被
検査物２における表面状態を転写させた透光性フィルム
１を装置本体１０内にセットし、上記のように光源２１
から照射された光を分散部材２２を通して均一化させ
て、このように均一化された光を上記の第１偏光子３１
を通して偏光させた後、この偏光された光を皮膚等の被
検査物２の表面状態が転写された透光性フィルム１に照
射させるようにした。

【００３０】そして、この透光性フィルム１を通過した
光を第２偏光子３２に導き、この第２偏光子３２を通過
して偏光された光の像を光学系５を介して撮像装置６１
で撮像し、この撮像装置６１による画像情報を画像処理
装置６２により画像処理してモニター６３に表示させる
ようにした。なお、このように撮像装置６１による画像
情報を画像処理装置６２により画像処理してモニター６
３に表示させるにあたっては、撮像装置６１による画像
情報を画像処理装置６２により反転させてモニター６３
にネガ画像やポジ画像として表示させることも可能であ
る。

【００３１】ここで、上記のように第１偏光子３１を回
転させて、この第１偏光子３１と上記の第２偏光子３２
とにおける偏光面の角度を適当に調整すると、透光性フ
ィルム１に転写された皮膚等の被検査物２の表面におけ
る様々な状態がモニター６３に映し出されるようにな
り、皮膚等の被検査物２における表面状態を様々な角度
から正確に検査できるようになった。

【００３２】なお、図４に示す実施例のものにおいて
は、第１偏光子３１と第２偏光子３２の偏光条件を調整
するにあたって、第１偏光子３１の方を回転させるよう
にしたが、第１偏光子３１を固定しておき、第２偏光子
３２の方を回転させるようにしたり、第１偏光子３１と
第２偏光子３２の双方を回転させるようにすることも可
能である。

【００３３】また、この実施例においては、上記のよう
に第１偏光子３１や第２偏光子３２を回転させて偏光条
件を調整するようにしたが、第１偏光子３１と第２偏光
子３２との偏光条件を調整する手段はこのようなものに
限られない。

【００３４】例えば、図６に示す検査装置のように、第
１及び第２の各偏光子３１，３２を回転させないように
装置本体１０内に固定させる一方、上記の透光性フィル
ム１と第２偏光子３２との間にＰＬＺＴや液晶等の偏光
面回転素子４２を配し、この偏光面回転素子４２に駆動
電源４３から適当な電圧を印加させて、透光性フィルム
１を通過した光の偏光面をこの偏光面回転素子４２によ
り回転させ、これにより第１偏光子３１と第２偏光子３
２とによる偏光条件を調整するようにした。このように
した場合も、上記の実施例の場合と同様に、透光性フィ
ルム１に採取された皮膚等の被検査物２における様々な
状態がモニター６３に映し出されるようになり、皮膚等
の被検査物２の状態を様々な角度から正確に検査できる
ようになった。

【００３５】また、図４に示す実施例のものにおいて
は、透光性フィルム１を介してその両側に第１偏光子３
１と第２偏光子３２とを設けるようにしたが、第１偏光
子３１と第２偏光子３２とを設ける位置もこのような場
合に限られない。

【００３６】例えば、図７に示す検査装置のように、上
記の透光性フィルム１と光学系５との間に第１偏光子３
１と第２偏光子３２の両方を設け、前記のようにこれら
の偏光子３１，３２の何れか一方或は双方を回転させる
ようにしたり、また図示していないが、この第１偏光子
３１と第２偏光子３２との間にＰＬＺＴや液晶等の上記
の偏光面回転素子４２を設けるようにすることもでき
る。

【００３７】また、例えば、図８に示す検査装置のよう
に、前記の図４に示した検査装置において、透光性フィ
ルム１と第２偏光子３２との間に発色フィルター７を設
けることも可能である。そして、このように発色フィル
ター７を設けると、モニター６３に映し出される皮膚等
の被検査物２の表面状態が適切に色付けされ、より明確
に被検査物２の表面状態を確認できるようになった。但
し、発色フィルター７を設ける位置は特に上記の位置に
限定されるものではない。

【００３８】また、例えば、図９に示した検査装置のよ
うに、前記の図４に示した検査装置において、透光性フ
ィルム１より撮像装置６１側の装置本体１０内の周囲に
多数の光ファイバーからなる導光体８を設け、補助光源
（図示せず）から光をこの導光体８を通して上記の透光
性フィルム１に照射させるようにすることも可能であ
る。

【００３９】ここで、このように導光体８を通して透光
性フィルム１に光を照射させると、被検査物２の表面状
態が転写された透光性フィルム１において反射された光
が、前記のようにしてこの透光性フィルム１を通過した
光と一緒になって前記の第２偏光子３２に導かれ、この
第２偏光子３２を通過して偏光された光の像が光学系５
を介して撮像装置６１で撮像されるようになり、この撮
像装置６１による画像情報がモニター６３に表示される
ようになる。

【００４０】このため、上記のように導光体８を通して
透光性フィルム１に光を照射させた場合には、被検査物
２の表面状態が転写された透光性フィルム１において反
射された光の像が、前記のようにこの透光性フィルム１
を通過した光の像と合わせてモニター６３に表示される
ようになり、被検査物２の表面状態が転写された透光性
フィルム１を通過した光の像だけを撮像させて検査する
場合に加えて、被検査物２における表面状態もさらに一
層明確に検査できるようになる。また、被検査物２の表
面状態をさらに一層明確に検査するため、前記の補助光
源における光量を変更させ、導光体８を通して上記の透
光性フィルム１に照射させる光量を調整することも可能
である。

【００４１】また、前記の各検査装置においては、装置
本体１０を一体に構成するようにしたが、この装置本体
１０を分離させて、その一部を着脱自在に設けるように
することも可能である。

【００４２】例えば、図１０に示す検査装置のように、
装置本体１０を２つに分離させ、光源２１と分散部材２
２と透光性フィルム１を取り付ける部分とを一体にした
照射側装置本体１１と、回転可能に設けられた第１偏光
子３１と固定された第２偏光子３２と光学系５と撮像装
置６１と更に前記の導光体８を内蔵させた撮像側装置本
体１２とで構成し、この撮像側装置本体１２を照射側装
置本体１１に装着させて用いるようにすることも可能で
ある。

【００４３】ここで、このように装置本体１０を照射側
装置本体１１と撮像側装置本体１２とに分離させた検査
装置において、透光性フィルム１に転写された被検査物
２の表面状態を検査するにあたっては、皮膚等の被検査
物２の表面状態を転写させ透光性フィルム１を照射側装
置本体１１にセットすると共に、上記の撮像側装置本体
１２をこの照射側装置本体１１に装着させるようにす
る。

【００４４】そして、この状態で前記のように光源２１
から光を照射し、透光性フィルム１を通過した光を、適
当な偏光条件に調整された第１偏光子３１と第２偏光子
３２とを通して適当に偏光させ、このように偏光された
光の像を前記のように撮像装置６１により撮像してモニ
ター６３に映し出すようにする。

【００４５】また、この検査装置においても、上記の図
９の検査装置と同様に、必要に応じて、撮像側装置本体
１２内に設けられた導光体８を通して、光を上記の透光
性フィルム１に照射し、この透光性フィルム１において
反射された光を、上記のように透光性フィルム１を通過
した光と合わせ、これらの光を前記の第１及び第２の偏
光子３１，３２を通して偏光させ、このように偏光され
た光の像を前記のように撮像装置６１によって撮像して
モニター６３に映し出すようにする。このようにする
と、図９の検査装置の場合と同様に、被検査物２の表面
状態が転写された透光性フィルム１において反射された
光の像が、この透光性フィルム１を通過した光の像と合
わせてモニター６３に表示されるようになり、被検査物
２の表面状態が転写された透光性フィルム１を通過した
光の像だけを撮像させて検査する場合に加えて、被検査
物２における表面状態もさらに一層明確に検査できるよ
うになる。

【００４６】なお、このように装置本体１０を照射側装
置本体１１と撮像側装置本体１２とに分離させた場合、
この撮像側装置本体１１だけを使用して皮膚等の状態を
そのまま検査させることもできるようになる。

【００４７】また、このように装置本体１０を照射側装
置本体１１と撮像側装置本体１２とに分離させる場合、
それぞれの装置本体１１，１２の構成は上記のような場
合に限られず、例えば、図１１に示すように、第１偏光
子３１を照射側装置本体１１内に回転できるように設け
たりする等の変更は自在である。

【００４８】さらに、前記の各検査装置においては、透
光性フィルム１を通過した光の像を観察する観察手段６
０として、ＣＣＤカメラ等の撮像装置６１を設け、この
撮像装置６１による画像情報を画像処理装置６２に伝え
てモニター６３に表示させるようにしたが、図１２に示
すように、透光性フィルム１を通過した光の像を観察す
る観察手段６０として単にルーペ６４を設け、透光性フ
ィルム１を通過し、第２偏光子３２よって偏光された光
の像をこのルーペ６３を通して観察するようにしてもよ
い。

【００４９】

【発明の効果】以上詳述したように、この発明における
検査装置においては、皮膚等の被検査物における表面状
態を転写させた透光性フィルムに対して照射手段から光
を照射し、この透光性フィルムを通過した光の像を観察
手段によって観察するにあたって、照射手段と観察手段
との間に設けられた第１偏光子と第２偏光子との偏光条
件を、回転手段や偏光面回転素子等による調整手段によ
って調整させるようにしたため、第１偏光子と第２偏光
子との偏光条件を上記の調整手段によって適当に調整す
ることにより、透光性フィルムを通過した光の像が様々
な状態で観察手段に導かれるようになり、透光性フィル
ムに転写された皮膚等の被検査物の表面における様々な
状態を簡単且つ正確に観察できるようになった。

【００５０】また、この発明における検査装置におい
て、上記の観察手段として、透光性フィルムを通過した
光の像を撮像するＣＣＤカメラ等の撮像装置を用い、こ
の撮像装置による画像をモニター等に表示させるように
すると、透光性フィルムに転写された被検査物の表面に
おける状態を明確に観察できるようになった。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施例に係る検査装置において使用
する粘着部が設けられた透光性フィルムの状態を示した
正面図である。

【図２】この発明の実施例における検査装置において、
透光性フィルムの粘着部に皮膚等の被検査物における表
面状態を転写させる工程を示した説明図である。

【図３】この発明の実施例における検査装置において、
被検査物の表面に型取り用の塗布液を塗布して、透光性
フィルムに被検査物の表面における凹凸状態を転写させ
る工程を示した説明図である。

【図４】この発明の実施例における検査装置において、
第１偏光子と第２偏光子を透光性フィルムを両側に分離
させて設けると共に第１偏光子を回転可能に設けた状態
を示した概略説明図である。

【図５】この発明の実施例における検査装置において、
第１偏光子を回転させる状態を示した正面図である。

【図６】この発明の実施例における検査装置において、
第１偏光子と第２偏光子とにおける偏光条件を調整する
調整手段として、偏光面回転素子を設けた状態を示した
概略説明図である。

【図７】この発明の実施例における検査装置において、
第１及び第２の偏光子をともに透光性フィルムと光学系
との間に設けた状態を示した概略説明図である。

【図８】この発明の実施例における検査装置において、
透光性フィルムと第２偏光子との間に発色フィルターを
設けた状態を示した概略説明図である。

【図９】この発明の実施例における検査装置において、
撮像装置側から透光性フィルムに光を照射させる導光体
を設けた状態を示した概略説明図である。

【図１０】この発明の実施例における検査装置におい
て、装置本体を照射側装置本体と撮像側装置本体とに分
離させた状態を示した概略説明図である。

【図１１】この発明の実施例における検査装置におい
て、装置本体を照射側装置本体と撮像側装置本体とに分
離させた場合の変更例を示した概略説明図である。

【図１２】この発明の実施例における検査装置におい
て、透光性フィルムを通過した光の像を観察する観察手
段としてルーペを設けた検査装置の概略説明図である。

【符号の説明】

１透光性フィルム２被検査物１０装置本体２１光源２２分散部材３１第１偏光子３２第２偏光子４１回転用ノブ４２偏光面回転素子６０観察手段６１撮像装置６２画像処理装置６３モニター６４ルーペ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被検査物の表面状態を転写させた透光性
フィルムと、この透光性フィルムに光を照射する照射手
段と、上記透光性フィルムを通過した光の像の状態を観
察する観察手段とを有し、上記照射手段と観察手段との
間に第１及び第２の偏光子が設けられると共に、この第
１及び／又は第２の偏光子による偏光条件を調整する調
整手段が設けられたことを特徴とする検査装置。
【請求項２】請求項１に記載した検査装置において、
第１及び／又は第２の偏光子による偏光条件を調整する
調整手段として、第１及び／又は第２の偏光子を回転さ
せて、これらの偏光子における偏光面の角度を変更させ
る回転手段を設けたことを特徴とする検査装置。
【請求項３】請求項１に記載した検査装置において、
第１及び／又は第２の偏光子による偏光条件を調整する
調整手段として、第１偏光子と第２偏光子との間に偏光
面を回転させる偏光面回転素子を設けたことを特徴とす
る検査装置。
【請求項４】請求項１に記載した検査装置において、
上記の観察手段として透光性フィルムを通過した光の像
を撮像する撮像装置を用いたことを特徴とする検査装
置。