JP2001059795A5 - - Google Patents

Description

また、光学補償フィルター付き欠陥検査装置１０は、ＣＣＤカメラ１８で得られた輝度信号をデジタルデータとしてＡＤ変換して画像データとするコンピュータから成るデータ処理装置３８に接続される。データ処理装置３８は、得られた画像から、欠陥部分の輝点の最も高い１画素の位置または複数画素の範囲を指定して、所定の視角（入射角）θ₁および所定の方位角θ₂での輝度値を得ることができる。複数画素の範囲を指定する場合、輝度値の平均値を得る。また、上記方法によって指定された位置や指定された範囲の輝度信号値を得てもよい。
また、θ₁ステージ２８を調整して視角（入射角）θ₁を変化させて、欠陥部分の輝点の輝度値の変化を測定し、後述する図５（Ｂ）に示すような、欠陥部分の輝点の輝度値のみの視角依存性を得ることができる。

まず、偏光子１２ａと光学補償フィルター１４の間に被検査フィルムＦを挿入し、偏光子１２ａ、被検査フィルムＦ、光学補償フィルター１４および偏光子１２ｂを平行に配置した測定層Ｌを形成し、θ₂ステージ３４上に載置固定する。さらに偏光子１２ａの外側に直径１ｍｍの孔の開いた図示されない金属板を重ね、予め目視することによって注目する欠陥部分を上記直径１ｍｍの孔に合わせる。この配置関係を維持したまま、Ｚステージ２２により、基台２０に対する高さ方向の位置を調整して、ＣＣＤ素子の配列される受光面に適切に結像するように調整する。
さらに、θ₂ステージ３４により、方位角θ₂を所望の値に調整する。位相差膜、例えば液晶用視野角改善フィルムの場合、可撓性支持体上に液晶を塗布する際の液晶の塗布ムラや、ラビング処理を行う際の配向の乱れ等による欠陥は、方位角θ₂によって視角依存性を適切に得ることができない場合があるからである。方位角θ₂の調整方法は、ＣＣＤカメラ１８によって撮影された画像をデータ処理装置３８に付属する図示されない画像表示装置に撮影画像を表示させ、欠陥部分の輝点の輝度値の最も高くなる方位角θ2 を探し出す。

つぎに、定まった方位角θ₂を維持したまま、視角（入射角）θ₁を−６０度から＋６０度の範囲で、ロタリーエンコーダ３２から送られてくる回転角度のパルス信号を読み取って視角θ₁を設定し、目視によって金属板の直径１ｍｍの孔に位置合わせして欠陥部分の輝点を含んだ像をＣＣＤカメラ１８によって撮影する。撮影した像の輝度信号はデータ処理装置３８に送られ、ＡＤ変換やＬＯＧ変換等を行って画像データとし、図示されない画像表示装置に表示する。オペレータは、表示された画像から欠陥部分の輝点を、マウスやキーボード等による入力系により画素単位あるいは複数の画素単位で指示し、欠陥部分の輝点の輝度値を測る。

【符号の説明】
１０ 光学補償フィルター付き欠陥検査装置
１２ａ、１２ｂ 偏光子
１４ 光学補償フィルター
１６ 光源
１８ ＣＣＤカメラ
２０ 基台
２２ Ｚステージ
２４、３０、３６ 手動つまみ
２６ 対物レンズ
２８ θ₁ステージ
３２ ロータリーエンコーダ
３４ θ₂ステージ
３８ データ処理装置
４０、４４ 屈折率楕円体
４２ 透過光