JPH0823500A - 空間光変調素子および該素子を用いた投影型表示装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 高い解像力での多階調表示を、駆動系の負荷
を大きくすることなく行うことの出来るマイクロミラー
方式の空間光変調素子を提供する。 【構成】 電気信号に従って揺動可能な複数のミラーが
１つの画素に対して２次元的に配列され、該複数のミラ
ーの揺動状態を組み合せることにより、１つの画素につ
いて３値以上の値を出力する空間光変調素子において、
前記複数のミラーのうち、少なくとも２つは互いに異な
る値を出力するように構成されていることを特徴とす
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、複数の単位素子からな
る空間光変調素子に関し、特に、変形可能なミラーを用
いて光の進行方向を変調する手段を用いた空間光変調素
子と該空間光変調素子を用いた投影装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】複数の単位素子からなる空間光変調素子
として、従来より特開昭６１−１２９６２７号公報、特
開昭５８−１０７１４号公報および特公平３−７８６２
２号公報等に記載されるように、半導体微細加工技術を
用いたマイクロミラーにより光の進行方向を変調する空
間光変調素子が提案されている。また、これらの素子を
応用した投影型大画面表示装置も提案されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】複数の単位素子からな
る空間光変調素子を表示装置に応用する場合、特にテレ
ビジョン装置を構成する場合には階調表示（８ビット、
２５６階調程度）が不可欠である。しかし、本素子は基
本的に２値表示を行う素子であり、安定的に多階調表示
を行うことが困難であった。従って、複数の単位素子を
組合せてその面積比で階調を表現する面積変調方式、ま
たは単位素子に変調を掛ける時間幅で階調を表現するパ
ルス幅変調方式が多階調表示手段として考えられる。

【０００４】まず、面積変調方式による多階調表示につ
いて述べる。例えば８ビット、２５６階調を表示する場
合には、２値表示の単位画素を２５６個まとめて１画素
とする必要があり、表示画像の空間解像力が著しく低下
してしまう。すなわち、１６単位素子四方で一画素を表
すことになるので、１単位素子のサイズを１０μｍ角と
すると、１画素の大きさは１６０μｍ角となり、幅３イ
ンチの空間光変調素子の場合には精々５００画素程度の
解像力しか得られないという問題点がある。

【０００５】次に、パルス幅変調方式による多階調表示
について述べる。面積変調方式の場合と同じく、８ビッ
ト、２５６階調を表示する場合、フレーム数３０Ｈｚを
走査するためには、１３０μｓ（＝１／３０／２５６）
内に１画面走査を行う必要がある。例えば、走査線数が
１０００本の表示系においては１走査線の走査時間は
０．１３μｓ以内になる。

【０００６】また、１走査線分のデータを転送するのに
必要なシフトレジスタの転送は、１走査線分の画素数が
２０００個の場合、１サイクル当たりのシフト時間は
０．０６ｎｓ以内になる。従って、シフトレジスタの駆
動周波数は約１６ＧＨｚとなり、駆動系の負荷が非常に
大きくなるという問題点がある。

【０００７】本発明は、上述したような従来の技術が有
する問題点に鑑みてなされたものであって、高い解像力
での多階調表示を、駆動系の負荷を大きくすることなく
行うことの出来るマイクロミラー方式の空間光変調素子
を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の空間光変調素子
は、電気信号に従って揺動可能な複数のミラーが１つの
画素に対して２次元的に配列され、該複数のミラーの揺
動状態を組み合せることにより、１つの画素について３
値以上の値を出力する空間光変調素子において、前記複
数のミラーのうち、少なくとも２つは互いに異なる値を
出力するように構成されていることを特徴とする。

【０００９】この場合、前記複数のミラーの互いの出力
値が等比級数的であるミラーの組合せを含むものであっ
てもよい。

【００１０】さらに、前記複数のミラーのうち、少なく
とも一つは３値以上の値を出力してもよい。

【００１１】３値以上の値を出力するミラーは、前記複
数のミラーのうち、その最大出力値の最も小さなミラー
であってもよい。

【００１２】上記の３値以上の値を出力するミラーはパ
ルス幅変調方式により駆動されてもよい。

【００１３】また、３値以上の値を出力するミラーはア
ナログ変調方式により駆動されてもよい。

【００１４】本発明の投影型表示装置は、上述したよう
な空間光変調素子を用いて画像を投影することを特徴と
する。

【００１５】

【作用】本発明では、素子中の一画素に相当する部分を
複数のミラーおよび各ミラーの駆動部で構成し、しかも
上記複数のミラーの少なくとも一部については、その面
積が互いに異なる様に構成することにより、一画素に相
当する素子部分の駆動方法を複雑にすることなく、面積
階調表示を行うことが出来る。特に、上記ミラーの面積
比を等比級数的に構成することにより、最も少ないミラ
ー数で一画素を構成出来る。

【００１６】さらに、本面積階調表示素子をパルス幅変
調方式と組み合わせることにより、さらに少ないミラー
数で一画素を構成出来る。特に、最も面積の小さなミラ
ーをパルス幅変調駆動することにより、その効果は最も
大きくなる。

【００１７】また、上記複数のミラーのうち、少なくと
も二つはアナログ的な変調を出来る素子で構成すること
により、一画素に必要なミラー数をより少なくすること
が出来る。特に、最も面積の小さなミラーをアナログ変
調素子で構成することにより、その効果は最も大きくな
る。

【００１８】上記複数のミラーのうち、相対的に面積の
大きなミラーは多階調のうち上位のピット値に対応し
て、また相対的に面積の小さいミラーは下位のビット値
に対応して駆動することにより、必要なビット数と同程
度のミラー数によって一画素の値を表現できる。

【００１９】さらに、最小の面積を持つミラーに対して
パルス巾変調駆動、アナログ変調駆動等を行い、下位の
数ビットを表現することにより素子の駆動周波数を最も
小さく出来る。

【００２０】

【実施例】図１は本発明の実施例をなす投影型大画面表
示装置の概略構成を示したものである。キセノンランプ
等からなる光源１０１の発光光は、照明系１０２により
集光され、本発明の空間光変調素子１０３を照明する。
空間光変調素子１０３からの反射光は、結像光学系１０
４により、表示スクリーン１０５に向けて拡大投影され
る。

【００２１】図２は図１に示した空間光変調素子１０３
の一部を拡大して示す斜視図であり、図３は照明される
側から見たの平面図である。

【００２２】空間光変調素子１０３は、図２および図３
に示すように、縦方向および横方向に複数列を成すマト
リックス状の画素配置を有するもので、図中点線で囲ま
れた１画素領域２０１が本素子において表示する１画素
を形成する部分である。１画素領域２０１は、図３に示
すように、さらに、６個の素子２０１ａ、２０１ｂ、２
０１ｃ、２０１ｄ、２０１ｅ、２０１ｆから構成されて
いる。素子２０２ａ〜２０２ｆは各々斜線で示されるミ
ラー部分２０３ａ〜２０３ｆの面積が一様ではなく、２
０３ａから順に、面積比（７／８）：１：２：４：８：
１６となるように形成されている。

【００２３】上記の各ミラー部分２０３ａ〜２０３ｆ
は、その下部に空気層を有するはりを成しており、各々
二つの丁番部分２０４ａ〜２０４ｆおよび２０５ａ〜２
０５ｆにより、空間光変調素子１０３の基板部分と接続
されている。はりを成す各ミラー部分２０３は、空気層
を介してその下部に形成された電極と対をなす電極部を
兼ねており、入力信号に応じて印加される電圧により、
はりの両端部に接続された捩れ丁番部を支持軸とした撓
みが生じる。この撓みにより、照明光の反射方向が変わ
るので、結像光学系１０４に向かう光と、それからはず
れて遮光部（不図示）で避断される光を選択的に生成で
きる。

【００２４】空間光変調素子１０３上には、上記素子部
以外に各素子を駆動するための縦および横方向のドライ
バ２１０、２１１が形成される。

【００２５】６個の素子群２０２ａ〜２０２ｆはいずれ
も二つの安定な撓み状態を持っており、そのいずれかに
おいて結像光学系１０４に光を向けることが出来る。各
素子は特願平１−６４８９７に記載される実施例のもの
と基本的には同等の構造、および作動原理を有するもの
であり、ここでは以下にその概略を示すに留める。

【００２６】図４ないし図６のそれぞれは各素子の詳細
な構造を示したものであり、図４は斜視図、図５は平面
図、図６は図５中のＡ−Ａ断面図である。

【００２７】図４に示すように、各素子５０１は、基本
的に浅い井戸を覆うはり（フラップ）状に形成されるも
のであり、シリコン基板５０２、絶縁スペーサ５０４、
金属丁番層５０６、金属はり層５０８、金属丁板層５０
６および金属はり層５０８に形成されたはり５１０、お
よび、はり５１０に形成されるプラズマ・エッチ・アク
セス孔５１２を含むものである。

【００２８】金属丁番層５０６のうち、金属はり層５０
８に覆われていない部分が、はり５１０をスペーサ５０
４によって支持された金属丁板層５０６および金属はり
層５０８の部分に取り付ける捩れ丁番（トーション・ロ
ッド）５１４、５１６を形成する。

【００２９】電極５２０、５２２、５２６、５２１が絶
縁スペーサ５０４および基板５０２の間を延びていて、
二酸化シリコン層５２４によって基板から隔離されてい
る。

【００３０】各素子は、金属層と基板上の電極の間に電
圧を印加することによって動作する。はりおよび電極が
空隙キャパシタの２つの極板を形成し、印加された電圧
によって２つの極板に誘起された反対の電荷が、はりを
基板に引き寄せる静電気を加え、これに対して電極はは
りと同じ電圧に保たれる。この引力により、はりは丁番
のところで捩れ、基板に向かって撓む。

【００３１】各素子は、電気的に撮れはり５０８に接続
されたランディング電極５２０、５２１によって、はり
５０８の先端部がランディング電極５２０または５２１
に当たり、はりをアドレス電極５２２、５２６から離れ
た状態を保つ。従って、はり５０８とアドレス電極５２
２、５２６の接触により起こる破壊的現象を防止し、か
つ、はり５０８の撓み角を安定かつ一定に保つことが出
来る。

【００３２】上記６個の素子のうち、特に、最も面積の
小さな素子である素子２０２ａは、後述するようにその
撓みを持たせる時間を離散的に選択することによってパ
ルス幅変調による８値の表示を行う。この８値および等
比的な面積比を持つ他の５素子２０２ｂ〜２０２ｆを組
合せることにより、１画素当たり８ビット、２５６階調
の多階調表現が出来る。

【００３３】以下に、各階調値を表現するための組合せ
を示す。表示したい階調値をＶ（０〜２５５）とすると
６個の各素子は、 素子２０２ａ：Ｖを８で割った剰余値 素子２０２ｂ：Ｖを８で割った数値（整数部）が奇数な
ら１、偶数なら０ 素子２０２ｃ：Ｖを１６で割った数値（整数部）が奇数
なら１、偶数なら０ 素子２０２ｄ：Ｖを３２で割った数値（整数部）が奇数
なら１、偶数なら０ 素子２０２ｅ：Ｖを６４で割った数値（整数部）が奇数
なら１、偶数なら０ 素子２０２ｆ：Ｖを１２８で割った数値（整数部） で求まる値に従って駆動される。

【００３４】図７は空間光変調素子１０３およびその周
辺駆動部の概略構成を示したものである。シフトレジス
タ３０１は空間光変調素子１０３の横方向の画素数に相
当する段数を持つビットシフトレジスタである。また、
縦方向には縦方向の画素数の６倍の数に対応した仮想走
査線セレクタ３０２が設けられている。図７中、ｍは横
方向のｍ番目の画素を示し、ｎａ〜ｎｆのそれぞれは、
縦方向のｎ番目の画素内の６つの素子２０２ａ〜２０２
ｆに各々対応している。

【００３５】図８は空間光変調素子１０３を駆動する駆
動信号のタイミングチャートを示したものである。図８
のタイミングチャートは、説明を簡単にするためにブラ
ンキング期間は省略して示したので、実際にはこれらの
時間を考慮して考えれば良い。本実施例では、フレーム
数６０Ｈｚ、ノンインターレース表示（６０フィール
ド）、走査線数（縦画素数）５００本、横画素数７５０
本の場合について示す（ＥＤＴＶレベル相当）。

【００３６】図８（ａ）に示すように、１６．６ｍｓの
１フィールド期間が１４等分に時分割する（番号０〜１
３の領域、各１．１８５ｍｓ）。図８（ｂ）に示すよう
に、１４等分に時分割されたフィールド期間のうち、偶
数番目の時分割領域は素子２０２ａ群に対する信号書込
みに割り当てる。

【００３７】一方、図８（ｃ）に示すように、奇数番目
の時分割領域のうち、５つを素子２０２ｂ群〜２０２ｆ
群に対する信号書込みに割り当てられる。各時分割領域
で行なわれる１フィールド分の信号書込みは、ほば共通
のフォーマットに従うので、代表として素子２０２ｂ群
に対する書込み方法を述べる。

【００３８】素子２０２ｂ群は空間光変調素子１０３上
に約３８万個（縦５００×横７５０）のミラー素子を有
しており、時分割領域１が信号書込みに割り当てられ
る。図８（ｄ）は領域１を拡大して示したものであり、
ノンインタレース表示なので時分割領域１をさらに５０
０等分した２．３７１μｓが１ライン分の書込みに割り
当てられる。例えば、第ｎ画素（第ｎ走査線）の１ライ
ン分の２０２ｂ群に対する信号はシフトレジスタ３０１
上に転送された後、仮想走査線セレクタ３０２で第ｎｂ
走査線をセレクトすると同時に信号線上に出力される。
従って、素子２０２ｂ群の各素子に対する書込みは約
２．５μｓ以内に終了しなければならない。また、シフ
トレジスタの転送周波数は約３００ＭＨｚ必要になる。

【００３９】上記の条件は画面分割駆動を行うことによ
って緩和することもできる。例えば縦方向に４分割すれ
ば、素子２０２ｂ群の各素子への書込みは約１０μｓ以
内に緩和されるし、また、各セグメントに対応して設け
られるシフトレジスタは約７５ＭＨｚで駆動すれば良
い。マイクロミラー部の応答速度、およびシフトレジス
タなどの応答速度を考慮すると、これらにより素子応答
性に対する負荷が軽減され、さらに実現が容易となる。

【００４０】各素子のマイクロミラー部の電極への電圧
印加は各素子部に１個ずつ設けられたトランジスタを通
じて行なわれる。従って、書込み動作が終わった後、次
の書込みが行なわれる迄の１フレ一ム時間の間、印加電
圧を保つことが出来るので書込み状態が保持される。

【００４１】以上のようにして、素子２０２ｂ群への信
号書込みが時分割領域１の間に完了する。同様にして、
素子２０２ｃ〜２０２ｆ群についての時分割領域３、
５、７、９、１１の間に各々信号書込みが行なわれる。
なお、本実施例では時分割領城１３を書込みに用いなか
ったが、上記素子２０２ｂ〜２０２ｆへの書込み処理の
一部をこの時間に割り当てることで素子の駆動周波数を
さらに低く押えることも出来る。

【００４２】次に、素子２０２ａ群に対するパルス幅変
調書込み方法について説明する。まず、時分割領域０に
おいてパルス幅が０の画素以外はすべてｏｎ信号を書き
込む。次に、それ以降の偶数番目の時分割領域で各画素
のパルス幅に応じてｏｆｆ信号を書込む。

【００４３】例えば、パルス幅信号が３の時には時分割
領域２、４ではｏｎ信号、時分割領域６、８、１０、１
２ではｏｆｆ信号を書き込めばよい。各時分割領域内で
の詳しい動作は素子２０２ｂ群について説明したものと
同様である。

【００４４】以上の方法で空間光変調素子１０２の駆動
が行なわれる。例えば或る画素の画像信号値が１８７だ
とすると、素子２０２ａ〜２０２ｆの各々はａ（ｏｎ；
３／８値）、ｂ（ｏｎ）、ｃ（ｏｎ）、ｄ（ｏｎ）、ｅ
（ｏｆｆ）、ｆ（ｏｎ）の様に駆動すれば良い。

【００４５】本実施例は、ノンインタレース表示の場合
で示したが、インタレース表示の場合にも本発明は適用
できる。この場合、パルス幅変調を行う素子２０２ａ群
については１フィールド毎ではなく、フレーム単位で変
調を行えばよい。

【００４６】本実施例の効果としては、まず、単純にパ
ルス幅変調を行う場合に比べ、最も小さなミラーを有す
る素子にのみパルス幅変調を行うことにより（本実施例
では８値）、必要な駆動周波数を少なくとも二桁小さく
出来る。

【００４７】特に、画面分割駆動を加えることで、より
実現性の高い空間光変調素子となる。また、同じミラー
面積の複数の素子を用いて面積変調を行う場合に比べ、
ミラーの面積比を等比とすることにより、必要な画素面
積を少なくとも１／８程度に小さく出来、水平垂直共解
像力は約３倍に向上する。すなわち、本実施例により必
要な階調数を実現するための、駆動周波数の低減と解像
力の向上を同時に実現できる。

【００４８】また、本実施例のさらなる効果としては、
パルス幅変調を下位ビットにのみ適用することにより、
コントラストの高い６０Ｈｚのｏｎ・ｏｆｆ信号の発生
を回避できることにある。これにより、パルス幅変調方
法で生じやすいフリッカー現象を大幅に軽減できる。

【００４９】ここで、本実施例の駆動条件が最適である
ことを簡単な評価値を用いて説明しておく。表１は１画
素をなす素子のうち、最も面積の小さい素子についての
みパルス幅変調を行い、他は２値駆動を行う堀合の必要
画素面積および、このときに必要な駆動のための時分割
数を示したものである。また、表２は１画素をなす素子
のうち、複数についてパルス幅変調を行う場合の必要画
素面積および、この時に必要な駆動のための時分割数を
示したものである。表１、２を比較して分かるように、
パルス幅変調による階調数が等しい場合、必要な画素面
積はほぼ等しいが、必要な時分割数は表１に示した場合
の方が少なくて済むことが分かる。従って、駆動周波数
を低減するためには、最も小さい面積のミラーにのみパ
ルス幅変調を行う方法が最適である。もちろん、この条
件は他の組合せによる本発明の実施形態の有効性を否定
するものではなく、例えば表１、２に示した組合せを含
め、面積の異なる複数のミラー素子による階調表現方法
が従来の形態に比べ、よりすぐれていることはいうまで
もない。

【００５０】また、本実施例に示された１画素の構成形
態と、ディザ法等の通常の複数画素による面積階調表現
方法を組合せた階調表現方法なども本実施例の持つ効果
を示すものであり、当然、本発明の範囲に含まれる。

【００５１】

【表１】

【００５２】

【表２】 （第二の実施例）次に、本発明の第二の実施例について
説明する。ここでは、第一の実施例との違いのみについ
て記述する。

【００５３】第一の実施例においては、８ビット、２５
６階調のうち下位３ビット、８階調分について最小面積
の素子群２０２ａのパルス幅変調により実現した。一
方、本実施例においては、素子２０２ａ群に代わってア
ナログ変調可能な素子を用いる。特願平１−６４８９７
にも一部記載されるように、アナログ変調は双安定駆動
に比べて印加電圧領域が限られていると同時に、再現性
・安定性に乏しい駆動方法である。従って、８ビット、
２５６階調全域にわたってアナログ駆動することは甚だ
困難である。そこで、本実施例では下位３ビットについ
てのみアナログ変調素子を用いる。

【００５４】本実施例の構成上のポイントを以下に示
す。まず。ミラー部に一体化された電極部が双安定状態
のいずれにもいかないようにランディング電極とミラー
一体化電極との隙間を設定する。この構成により、瞬間
的な過電圧等によるアナログ駆動状態からの逸脱を防止
できる。

【００５５】次に、同じ画素中の他の素子２０２ｂ〜２
０２ｆの２値駆動状態（双安定状態）におけるミラー偏
角と同等の偏角を実現するために、ミラー一体化電極と
ランディング電極の間隔および、ミラー一体化電極と駆
動電極の間隔を、上記素子のそれよりも大きくする。こ
の構成により、空間光変調素子１０３からの光を結像光
学系１０４の瞳サイズに対して十分な角度だけ偏向させ
ることができる。もちろん、この場合、本アナログ素子
の駆動電圧は高くとる必要がある。また、第一の実施例
では素子２０２ａを駆動するために１フィールド走査期
間の半分を割り当てたが、本実施例ではアナログ素子に
対しては１フィールド期間中に１度だけ状態を設定すれ
ば良いので、素子２０２ｂ〜２０２ｆを含めて１フィー
ルド期間中を６分割して、各時分割領域内で各々の素子
を駆動すれば良い。

【００５６】本実施例では、３ビットだけのアナログ変
調素子を用いるので、極端に素子の必要精度を高めるこ
と無く、第一の実施例と同様の効果を得ることができ
る。特に、最も小さなミラーをアナログ変調することに
なるので、より大きな面積を持つミラーに対する場合に
比べ、同じ偏角を得るのに必要なミラー下部の空気層厚
は薄くてよい。従って、製造時の作成プロセス時間の短
縮等の効果も得られる。

【００５７】（その他の実施例）本発明は投影型表示装
置への適用に限定されるものではなく、例えばライン状
に一時元配列された空間光変調素子を用いて光プリンタ
の光信号変調部を構成してもよい。また、光インターコ
ネクション、光ニューラルネットワーク等への応用も可
能である。

【００５８】

【発明の効果】本発明は以上説明したように構成されて
いるので、以下に記載するような効果を奏する。

【００５９】請求項１に記載のものにおいては、複数の
単位素子を用いて１画素の面積階調表示を行う空間光変
調素子において、変調素子中の一画素に相当する部分を
複数のミラーで構成し、しかも上記複数のミラーの少な
くとも２つは互いに異なる値を出力するように構成する
（例えば、一部についての面積が互いに異なる様に構成
する）ことにより、少ないミラー数の組合せで一画素に
相当する素子部分を構成出来、かつ、駆動周波数が極端
に高くなることを押えて面積階調表示を行うことが出来
る効果がある。

【００６０】請求項２に記載のものにおいては、上記ミ
ラーの出力する値（面積比）を等比級数的に構成するこ
とにより、最も少ないミラー数で一画素を構成すること
ができる効果がある。

【００６１】請求項３および請求項４に記載のものにお
いては、表示できる階調をよりきめ細かなものとするこ
とができる効果がある。

【００６２】請求項５に記載のものにおいては、本面積
階調表示素子をパルス幅変調方式と組み合わせることに
より、さらに少ないミラー数で一画素を構成出来る。特
に、最も面積の小さいミラーをパルス幅変調駆動するこ
とにより、その効果は最も大きくなる。

【００６３】請求項６に記載のものにおいては、上記複
数のミラーのうち少なくとも一つはアナログ的な変調を
出来る素子で構成することにより、一画素に必要なミラ
ー数をより少なく出来る。特に、最も面積の小さいミラ
ーをアナログ変調素子で構成することにより、その効果
は最も大きくなる。

【００６４】上記各効果を奏する空間光変調素子を用い
ることにより、階調表示の細かな、良質な画像を表示す
ることができる効果がある。

【００６５】これらの効果は、本発明の実施例で示した
マイクロミラー素子による空間光変調素子にのみ限られ
るものではなく、多階調表現を必要とするあらゆる変調
素子において有用な方法である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による投影型表示装置の概略構成図であ
る。

【図２】本発明の実施例の投影型表示装置に用いられる
空間光変調素子の概略構成を表す斜視図である。

【図３】本発明の実施例の投影型表示装置に用いられる
空間光変調素子の概略構成を表す平面図である。

【図４】本発明の実施例の空間光変調素子の単位素子の
構成を示す斜視図である。

【図５】本発明の実施例の空間光変調素子の単位素子の
構成を示す平面図である。

【図６】本発明の実施例の空間光変調素子の単位素子の
構成を示す断面図である。

【図７】本発明の実施例の空間光変調素子の駆動部の概
略構成図である。

【図８】本発明の実施例を駆動する信号のタイミングチ
ャートである。

【符号の説明】

１０１ 光源 １０２ 照明系 １０３ 空間光変調素子 １０４ 結像光学系 １０５ 表示スクリーン ２０１ １画素領域 ２０１ａ〜２０２ｆ 単位ミラー素子 ２１０ 横ドライバ ２１１ 縦ドライバ ３０１ シフトレジスタ ３０２ 仮想走査線セレクタ ５０１ 素子 ５０２ シリコン基板 ５０４ 絶縁スペーサ ５０６，５２０，５２１，５２６ 電極 ５０８ 金属はり層 ５１２ プラズマ・エッチ孔 ５１４，５１６ 捩れ丁板 ５２４ 二酸化シリコン層

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電気信号に従って揺動可能な複数のミラ
   ーが１つの画素に対して２次元的に配列され、該複数の
   ミラーの揺動状態を組み合せることにより、１つの画素
   について３値以上の値を出力する空間光変調素子におい
   て、 前記複数のミラーのうち、少なくとも２つは互いに異な
   る値を出力するように構成されていることを特徴とする
   空間光変調素子。
2. 【請求項２】 請求項１記載の空間光変調素子におい
   て、 前記複数のミラーの互いの出力値が等比級数的であるミ
   ラーの組合せを含むことを特徴とする空間光変調素子。
3. 【請求項３】 請求項１または請求項２に記載の空間光
   変調素子において、 前記複数のミラーのうち、少なくとも一つは３値以上の
   値を出力することを特徴とする空間光変調素子。
4. 【請求項４】 請求項３記載の空間光変調素子におい
   て、 前記複数のミラーのうち、その最大出力値の最も小さな
   ミラーが３値以上の値を出力することが可能であること
   を特徴とする空間光変調素子。
5. 【請求項５】 請求項３または請求項４記載の空間光変
   調素子において、 ３値以上の値を出力するミラーがパルス幅変調方式によ
   り駆動されることを特徴とする空間光変窮素子。
6. 【請求項６】 請求項３または請求項４記載の空間光変
   調素子において、 ３値以上の値を出力するミラーがアナログ変調方式によ
   り駆動されることを特徴とする空間光変調素子。
7. 【請求項７】 請求項１乃至請求項６のいずれかに記載
   の空間光変調素子を用いて画像を投影することを特徴と
   する投影型表示装置。