JPH08233606A - 位置検出装置 - Google Patents

位置検出装置

Info

Publication number
JPH08233606A
JPH08233606A JP7039920A JP3992095A JPH08233606A JP H08233606 A JPH08233606 A JP H08233606A JP 7039920 A JP7039920 A JP 7039920A JP 3992095 A JP3992095 A JP 3992095A JP H08233606 A JPH08233606 A JP H08233606A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
phase difference
circuit
displacement
signal
detecting device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP7039920A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2591512B2 (ja
Inventor
Takeshi Ikemoto
剛 池本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP7039920A priority Critical patent/JP2591512B2/ja
Priority to US08/604,828 priority patent/US5793202A/en
Publication of JPH08233606A publication Critical patent/JPH08233606A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2591512B2 publication Critical patent/JP2591512B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03M—CODING; DECODING; CODE CONVERSION IN GENERAL
    • H03M1/00—Analogue/digital conversion; Digital/analogue conversion
    • H03M1/12—Analogue/digital converters
    • H03M1/20—Increasing resolution using an n bit system to obtain n + m bits
    • H03M1/202—Increasing resolution using an n bit system to obtain n + m bits by interpolation
    • H03M1/206—Increasing resolution using an n bit system to obtain n + m bits by interpolation using a logic interpolation circuit
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/20—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature
    • G01D5/204—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the mutual induction between two or more coils
    • G01D5/2073—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the mutual induction between two or more coils by movement of a single coil with respect to two or more coils
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
    • G01D5/24404—Interpolation using high frequency signals
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03M—CODING; DECODING; CODE CONVERSION IN GENERAL
    • H03M1/00—Analogue/digital conversion; Digital/analogue conversion
    • H03M1/12—Analogue/digital converters
    • H03M1/22—Analogue/digital converters pattern-reading type
    • H03M1/24—Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip
    • H03M1/28—Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip with non-weighted coding
    • H03M1/30—Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip with non-weighted coding incremental
    • H03M1/303—Circuits or methods for processing the quadrature signals

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 基板の加工精度を上げることなく、また変位
を決定するクロックの周波数を上げることなく、精度向
上を図り得る位置検出装置を提供すること。 【構成】 スライダ部から電磁誘導され検出される検出
信号を増幅し且つ矩形波に変換する変位信号出力回路１
と、この変位信号出力回路１からの出力信号ｂと前記ス
ケール部からの交流信号成分対応のクロック信号ｃとを
比較してその位相差を検出する位相差検出回路３と、こ
の位相差検出回路３で検出された位相差ｄを補間パルス
ｅによりディジタル量的変位デ−タを決定する補間パル
スカウンタ４とを備えている。そして、この補間パルス
カウンタ４の出力段に、当該補間パルスカウンタ４にて
順次演算される複数回分のディジタル量的変位ｆの平均
値を算出し出力する平均化回路５を装備したこと。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、位置検出装置に係り、
とくに、電磁誘導方式によって変位量を検出する変位セ
ンサに用いるインダクトシンセンサとしての位置検出装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】インダクトシンセンサは、一般に、一方
の面に平面的なコイルが設けられた基板からなるスケー
ル部とこれに対向してスライド自在に配設されたスライ
ダ部とを備えている。そして、これらスケール部とスラ
イダ部とをそれぞれのコイルの設けられた面を対向させ
て、電磁誘導方式により、変位量を検出するものである
（例えば実開平４−１１４２１号公報参照）。この場
合、スケール部は、センサ本体として被取付装置に固定
され、スライダ部は被取付装置の検出対象に固定される
と共に、スケール部に対向して位置が変わる。そして、
スケール部のコイルに交流電流を流して、スライダ部の
コイルに誘導される電圧により、検出対象の変位量を検
出するようになっている。
【０００３】ここで、このインダクトシン基板を制御す
る方法について説明すると、まず、インダクトシン基板
の動作制御に際しては、図３に示すように、スケール部
のインダクトシンセンサから電磁誘導されたスライダ部
の交流成分を検出信号増幅回路５１により増幅し、これ
をコンパレータ５２を通して矩形波にする。次に、この
スライダ部から得られる信号にかかる矩形波と、前述し
たスケール部のインダクトシンセンサから得られる交流
成分を作った時のクロックとを、位相差検出回路５３を
もって位相差検出を行い、この位相差を、補間パルスカ
ウンタ５４に入る補間パルス（高速クロック）により位
相差のディジタル的な測定を行い、補間パルスの数によ
ってディジタル量的変位を決定するようになっている。
符号５５はラッチ回路を示す。
【０００４】このように、上記従来例では、一つの位置
情報を一つの位置データとして使用している。このた
め、インダクトシンセンサの検出精度をあげるために
は、インダクトシン基板自体の精度を上げるか、ディジ
タル量的変位を決定するクロックの周波数を速くするこ
とが必要とされていた。
【０００５】インダクトシンセンサ基板の精度を上げる
技術については、例えば、特願平１−０９６９６１号公
報ではスケール部のインダクトシン基板上に交互に配置
されるコイルパターンのパス数をそれぞれ二往復以上に
し、ことによりインダクトシンセンサの精度を高めてい
るものが開示されている。また、特願平１−０９２７５
５号では、インダクトシン基板の四角形の隅部を曲線状
に形成することにより、隅部の剥離を防止し、インダク
トシン基板の堅牢性，および耐久性を増大することによ
って歪みなどによる精度低下を防止する、等の工夫が成
されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、インダ
クトシン基板自体の精度を上げるための上記手法として
クロック周波数を上げるには限界がある。また、基板自
体の加工によるものは精度向上を図るのに長年の感や熟
練等を要する等の不都合があり、作業性が悪いという欠
点がある。クロック周波数を上げる方法は、回路的に考
えても周囲への雑音を考慮すると、好ましくないとされ
ている。
【０００７】
【発明の目的】本発明は、かかる従来例の有する不都合
を改善し、とくにインダクトシン基板自体の加工精度を
上げることなく、また変位を決定するクロックの周波数
を上げることなく、インダクトシンセンサの精度向上を
図り得る位置検出装置を提供することを、その目的とす
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明で
は、一方の面に平面的なコイルが設けられた基板からな
るスケール部と，これに対向する面に所定の平面的なコ
イルが設けられた基板からなるスライダ部とを備え、こ
のスケール部とスライダ部の相対的位置を電磁的に検出
する位置検出装置において、スライダ部から電磁誘導さ
れ検出される検出信号を増幅し且つ矩形波に変換する変
位信号出力回路と、この変位信号出力回路からの出力信
号と前記スケール部からの交流信号成分対応のクロック
信号とを比較してその位相差を検出する位相差検出回路
と、この位相差検出回路で検出された位相差を補間パル
スによりディジタル量的変位デ−タを決定する補間パル
スカウンタとを備えている。また、この補間パルスカウ
ンタの出力段に、当該補間パルスカウンタにて順次演算
される複数回分のディジタル量的変位の平均値を算出し
出力する平均化回路を装備する、という構成を採ってい
る。
【０００９】請求項２記載の発明では、前述した平均化
回路が、ディジタル量的変位データを測定毎に入力し加
算する全加算器と、この全加算器で加算されたディジタ
ル量的変位データを測定回数で平均化する除算器とを備
えている、という構成を採っている。
【００１０】請求項３記載の発明では、前述した平均化
回路が、入力デ−タ等を一時的に記憶するバッファを備
えている、という構成を採っている。これによって前述
した目的を達成しようとするものである。
【００１１】
【作 用】前述したスケール部のインダクトシンセンサ
から電磁誘導したスライダ部のインダクトシンセンサの
交流成分は、検出信号増幅回路１Ａにより増幅され、コ
ンパレータ１Ｂにて矩形波に変換される。次に、このス
ライダ部のインダクトシンセンサから得られる矩形波ｂ
と、スケール部のインダクトシンセンサの交流成分を作
った時のクロックｃとを、位相差検出回路３により位相
差検出を行い、この位相差ｄを補間パルスカウンタ４に
入る補間パルスｅにより（高速クロック）位相差のディ
ジタル的な測定を行い、補間パルスｅの数によりディジ
タル量的変位ｆが決定される。
【００１２】次に、このディジタル量的変位ｆが、平均
化回路５によって平均化され制御デ−タとして出力され
る。
【００１３】全加算器１０に入ってくるディジタルデー
タは、設定した測定回数分だけ加算される。設定した測
定回数の加算が終了すると、その後、このデータは除算
器２０にて測定回数で除算され、平均化された制御デー
タとして出力される。この場合、除算器２０における除
算は、ソフトウエア等により実行してもよい。
【００１４】
【実施例】以下、本発明の一実施例を、図１乃至図２に
基づいて説明する。
【００１５】この図１乃至図２に示す実施例では、前述
した従来例の場合と同様に、一方の面に平面的なコイル
が設けられた基板からなるスケール部と，これに対向す
る面に所定の平面的なコイルが設けられた基板からなる
スライダ部とを備え、このスケール部とスライダ部の相
対的位置を電磁的に検出し得るようになっている（図示
略）。
【００１６】また、スライダ部から電磁誘導され検出さ
れる検出信号ａを増幅し且つ矩形波に変換する変位信号
出力回路１と、この変位信号出力回路１からの出力信号
ｂと前述したスケール部からの交流信号成分対応のクロ
ック信号ｃとを比較してその位相差ｄを検出する位相差
検出回路３と、この位相差検出回路３に検出された位相
差情報を補間パルスｅによりディジタル量的変位デ−タ
を決定する補間パルスカウンタ４とを備えている。ここ
で、変位信号出力回路１は、検出信号増幅回路１Ａと該
検出信号増幅回路１Ａの出力を矩形波に変換するコンパ
レータ１Ｂとにより構成されている。
【００１７】補間パルスカウンタ４の出力段には、当該
補間パルスカウンタ４にて順次演算される複数回分のデ
ィジタル量的変位につき，その平均値を算出し出力する
平均化回路５が装備されている。
【００１８】この平均化回路５は、前述したディジタル
量的変位データを測定毎に入力し加算する全加算器１０
と、この全加算器１０で加算されたディジタル量的変位
データを測定回数で平均化する除算器２０とを備えてい
る。
【００１９】これを更に詳述する。前述したスケール部
のインダクトシンセンサから電磁誘導したスライダ部の
インダクトシンセンサの交流成分は、検出信号増幅回路
１Ａにより増幅され、コンパレータ１Ｂにて矩形波に変
換される。次に、このスライダ部のインダクトシンセン
サから得られる矩形波ｂと、スケール部のインダクトシ
ンセンサの交流成分を作った時のクロックｃとを、位相
差検出回路３により位相差検出を行い、この位相差ｄを
補間パルスカウンタ４に入る補間パルスｅにより（高速
クロック）位相差のディジタル的な測定を行い、補間パ
ルスｅの数によりディジタル量的変位ｆを決定する。
【００２０】そこで、次に、このディジタル量的変位ｆ
を平均化回路５により平均化する。図２に、平均化回路
５の一例を示す。
【００２１】この図２において、まず最初に入力段に設
けられたバッファ回路１０Ａを介して全加算器１０に入
ってきたディジタルデータは、そのままラッチ回路１２
にラッチされる。次に入ってきたディジタルデータは、
前にラッチ回路１２にラッチされていた最初のディジタ
ルデータに、全加算器１０によって加算され、この加算
されたディジタルデータが再びラッチ回路１２にラッチ
される。
【００２２】続いて、三番目に入ってきたディジタルデ
ータは、前にラッチ回路１２でラッチされていた最初と
その次のディジタルデータの合計に対して全加算器１０
によって更に加算され、再びラッチ回路１２にラッチさ
れる。
【００２３】このように、次々と全加算器１０に入って
くるディジタルデータは、設定した測定回数分だけ加算
される。このときラッチ回路１２がラッチするタイミン
グは、一回の測定が終わった時にラッチするように、そ
のタイミングが設定されている。つまり、次の新しいデ
ィジタルデータが加算されたものを、次々とラッチする
ように機能する。
【００２４】また、設定した測定回数の加算が終了する
と、ラッチ回路１２はクリアされ、次の段に設けられた
別のラッチ回路１３に測定回数分加算されたデータがラ
ッチされる。そして、このデータを除算器２０にて測定
回数で除算され、平均化された制御データとして出力さ
れる。符号２０Ａは除算器２０の入力段に装備されたバ
ッファを示す。また、除算器２０における除算は、ソフ
トウエア等により実行してもよい。
【００２５】以上のように構成することにより、インダ
クトシンセンサによる複数回の測定を平均したものを一
つの位置データとして使用できるようになり、これによ
って、とくにインダクトシン基板自体の加工精度を上げ
ることなく、また、変位を決定するクロックの周波数を
上げることなく、インダクトシンセンサの精度向上を図
る事が可能となり、また安定した制御データを出力する
ことが可能となり、かかる点において装置全体に信頼性
向上を図ることができるという利点がある。
【００２６】また、本実施例では、ハードウエア的なも
のを述べているが、これがすべてソフトウエアでデータ
処理してもよい。
【００２７】
【発明の効果】本発明は以上のように構成され機能する
ので、これによると、インダクトシンセンサによる複数
回の測定を平均したものを一つの位置データとして使用
し得るようにしたので、前述した従来例のようにインダ
クトシン基板自体の加工精度を上げることなく、また、
変位を決定するクロックの周波数を上げることなく、イ
ンダクトシンセンサの精度向上を図ることが可能とな
り、また安定した制御データを出力することが可能とな
り、かかる点において装置全体に信頼性向上を図ること
ができるという従来にない優れた位置検出装置を提供す
ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例におけるインダクトシンセン
サの制御回路部分を示すブロック図である。
【図２】図１内に開示した平均化回路部分の一例を示す
ブロック図である。
【図３】従来例を示すブロック図である。
【符号の説明】
１ 変位信号出力回路 ３ 位相差検出回路 ４ 補間パルスカウンタ ５ 平均化回路 １０ 全加算器 １２，１３ ラッチ回路 ２０ 除算器

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 一方の面に平面的なコイルが設けられた
    基板からなるスケール部と，これに対向する面に所定の
    平面的なコイルが設けられた基板からなるスライダ部と
    を備え、このスケール部とスライダ部の相対的位置を電
    磁的に検出する位置検出装置において、 前記スライダ部から電磁誘導され検出される検出信号を
    増幅し且つ矩形波に変換する変位信号出力回路と、この
    変位信号出力回路からの出力信号と前記スケール部から
    の交流信号成分対応のクロック信号とを比較してその位
    相差を検出する位相差検出回路と、この位相差検出回路
    で検出された位相差を補間パルスによりディジタル量的
    変位デ−タを決定する補間パルスカウンタとを備え、 この補間パルスカウンタの出力段に、当該補間パルスカ
    ウンタにて順次演算される複数回分のディジタル量的変
    位の平均値を算出し出力する平均化回路を装備したこと
    を特徴とする位置検出装置。
  2. 【請求項２】 前記平均化回路が、前記ディジタル量的
    変位データを測定毎に入力し加算する全加算器と、この
    全加算器で加算されたディジタル量的変位データを測定
    回数で平均化する除算器とを備えていることを特徴とし
    た請求項１記載の位置検出装置。
  3. 【請求項３】 前記平均化回路が、入力デ−タ等を一時
    的に記憶するバッファを備えていることを特徴とした請
    求項２記載の位置検出装置。
JP7039920A 1995-02-28 1995-02-28 位置検出装置 Expired - Fee Related JP2591512B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7039920A JP2591512B2 (ja) 1995-02-28 1995-02-28 位置検出装置
US08/604,828 US5793202A (en) 1995-02-28 1996-02-23 Position sensor, employing electromagnetic induction

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7039920A JP2591512B2 (ja) 1995-02-28 1995-02-28 位置検出装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH08233606A true JPH08233606A (ja) 1996-09-13
JP2591512B2 JP2591512B2 (ja) 1997-03-19

Family

ID=12566380

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7039920A Expired - Fee Related JP2591512B2 (ja) 1995-02-28 1995-02-28 位置検出装置

Country Status (2)

Country Link
US (1) US5793202A (ja)
JP (1) JP2591512B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105917195A (zh) * 2014-01-31 2016-08-31 松下知识产权经营株式会社 位置传感器

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB0126014D0 (en) * 2001-10-30 2001-12-19 Sensopad Technologies Ltd Modulated field position sensor
US7196604B2 (en) * 2001-05-30 2007-03-27 Tt Electronics Technology Limited Sensing apparatus and method
WO2002097374A1 (en) * 2001-05-30 2002-12-05 Gentech Investment Group Ag Sensing apparatus and method
US20040052631A1 (en) * 2002-09-13 2004-03-18 Chan Kun Yuan Mechanical arm device for carrying and detecting wafer
US7298137B2 (en) * 2002-10-16 2007-11-20 Tt Electronics Technology Limited Position sensing apparatus and method
GB2394293A (en) * 2002-10-16 2004-04-21 Gentech Invest Group Ag Inductive sensing apparatus and method
US7045996B2 (en) * 2003-01-30 2006-05-16 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Position determination based on phase difference
GB0303627D0 (en) * 2003-02-17 2003-03-19 Sensopad Technologies Ltd Sensing method and apparatus
IT1397707B1 (it) * 2009-12-22 2013-01-24 Nuovo Pignone Spa Bilanciamento dinamico di spinta per compressori centrifughi.

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3673585A (en) * 1970-10-05 1972-06-27 Inductosyn Corp Position measuring transformer having multiple independent sections for reduction of measurement errors
US3783385A (en) * 1972-11-28 1974-01-01 Itt Digital diversity combiner
US4324218A (en) * 1978-05-30 1982-04-13 Nippon Soken, Inc. Air-fuel ratio detecting system
US4499548A (en) * 1980-07-02 1985-02-12 Hewlett-Packard Company Data compression apparatus
US4358723A (en) * 1980-08-29 1982-11-09 Scholl Jule A Method and apparatus for measuring the rotation of a work table
US4417469A (en) * 1981-03-03 1983-11-29 Caterpillar Tractor Co. Speed and timing angle measurement
US4827531A (en) * 1983-04-11 1989-05-02 Magnetic Peripherals Inc. Method and device for reading a document character
US4503922A (en) * 1983-05-26 1985-03-12 Bitronics, Inc. Electronic bathroom scale apparatus using planar coil sensors
JPS62291515A (ja) * 1986-06-12 1987-12-18 Mitsubishi Electric Corp インダクトシンフイードバック検出回路
JPH02271587A (ja) * 1989-04-12 1990-11-06 Omron Corp インダクトシン基板
JPH02275314A (ja) * 1989-04-17 1990-11-09 Omron Corp インダクトシン基板
JPH0411421A (ja) * 1990-04-30 1992-01-16 Nec Corp パルス符号変調伝送装置
US5070485A (en) * 1990-09-28 1991-12-03 Mts Systems Corporation Low power magnetostrictive sensor

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105917195A (zh) * 2014-01-31 2016-08-31 松下知识产权经营株式会社 位置传感器

Also Published As

Publication number Publication date
US5793202A (en) 1998-08-11
JP2591512B2 (ja) 1997-03-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2591512B2 (ja) 位置検出装置
EP1218700B1 (en) Multi-mode hall-effect sensor
US9952065B2 (en) Position sensor device to determine a position of a moving device
JPH08122097A (ja) 変位量検出装置
US6191576B1 (en) Method of operating or constructing a geartooth sensor
JPH06147922A (ja) 変位測定装置
JP3312504B2 (ja) 位置検出装置
JP2003050270A (ja) 磁気センサの出力補正方法及びその補正回路
JPH05165560A (ja) 座標入力装置
JPH04346069A (ja) 速度信号生成回路
JP3365196B2 (ja) レーダ装置
JP3055360B2 (ja) 流量計
JP4585709B2 (ja) 電磁式溶鋼レベル検出器の簡易校正方法
JPS6031009A (ja) 鋳片凝固厚み測定装置
JP3481151B2 (ja) 超音波レベル計
JPH03289567A (ja) 回転速度検出装置
JPH05142336A (ja) 目標距離検出装置
JPH07320110A (ja) 金属片識別装置
JP2615928B2 (ja) データ読取装置
RU1796885C (ru) Толщиномер
CN117906692A (zh) 一种超声流量传感器飞行时间的测量方法
JPS58108467A (ja) ピ−ク位置検出回路
JP3479145B2 (ja) 超音波計測装置
JP2003257003A (ja) 磁気データ読取り装置及び磁気データ読取り方法
KR20030086670A (ko) 모터의 상 전류 검출 방법

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 19961029

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees