JPH08220186A - 試料加熱装置 - Google Patents
試料加熱装置Info
- Publication number
- JPH08220186A JPH08220186A JP4897195A JP4897195A JPH08220186A JP H08220186 A JPH08220186 A JP H08220186A JP 4897195 A JP4897195 A JP 4897195A JP 4897195 A JP4897195 A JP 4897195A JP H08220186 A JPH08220186 A JP H08220186A
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- Japan
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 この発明は、試料を直接に加熱すると共に、
試料を取付ける基板と電気特性を調整する基板からなっ
て高温下において配線抵抗および外部からのノイズの影
響を防止できるよう各基板間を最短距離で接続して電気
的特性を計測する試料加熱装置に関する。 【構成】 装置本体４の試験室３内に設けられた加熱ブ
ロック５上に試料７を載置して直接に高温に加熱すると
共に、該試料７のピン７ａを試料取付基板８の接続ピン
９のピン孔に嵌込む。この接続ピン８は、マッチング回
路１２を有する電気特性調整基板１０の接続孔１０ａに
接続され、接続ピン８を介して電気的特性を計測する素
子を有するマッチング回路１２が試料７のピン７ａと接
続して電気的特性を計測することができる。
試料を取付ける基板と電気特性を調整する基板からなっ
て高温下において配線抵抗および外部からのノイズの影
響を防止できるよう各基板間を最短距離で接続して電気
的特性を計測する試料加熱装置に関する。 【構成】 装置本体４の試験室３内に設けられた加熱ブ
ロック５上に試料７を載置して直接に高温に加熱すると
共に、該試料７のピン７ａを試料取付基板８の接続ピン
９のピン孔に嵌込む。この接続ピン８は、マッチング回
路１２を有する電気特性調整基板１０の接続孔１０ａに
接続され、接続ピン８を介して電気的特性を計測する素
子を有するマッチング回路１２が試料７のピン７ａと接
続して電気的特性を計測することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、試料を加熱しながら
電気的特性を評価するための装置に関する。
電気的特性を評価するための装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体素子等の配線設計を確認する評価
方法として、試料に加熱しながら電気的特性評価を行う
方法が知られている。その加熱の方法として、従来は試
料に熱風を当てて加熱していた。しかし、熱風を試験室
内で循環させるために試料の近傍での温度調節が難し
く、試料に正確な温度を伝達することが難しかった。更
に、加熱しながら試料の電気的特性を評価する必要があ
るので、従来は、試料から配線を出して試験室の外部に
設けた計測装置と接続する必要があった。しかし、試料
の周囲は高温に晒されているために、外部との接続が難
しく、また試料によっては配線の抵抗や外部からのノイ
ズの影響を受けてしまい電気的特性を正確に計測しえな
い虞れがあった。
方法として、試料に加熱しながら電気的特性評価を行う
方法が知られている。その加熱の方法として、従来は試
料に熱風を当てて加熱していた。しかし、熱風を試験室
内で循環させるために試料の近傍での温度調節が難し
く、試料に正確な温度を伝達することが難しかった。更
に、加熱しながら試料の電気的特性を評価する必要があ
るので、従来は、試料から配線を出して試験室の外部に
設けた計測装置と接続する必要があった。しかし、試料
の周囲は高温に晒されているために、外部との接続が難
しく、また試料によっては配線の抵抗や外部からのノイ
ズの影響を受けてしまい電気的特性を正確に計測しえな
い虞れがあった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この発明は上記事情に
鑑みて創案されたものであって、その主たる課題は、試
料を直接に加熱すると共に、試料を取付ける基板と電気
特性を調整する基板からなって高温下において配線抵抗
および外部からのノイズの影響を防止できるよう各基板
間を最短距離で接続して電気的特性を計測する試料加熱
装置を提供することにある。
鑑みて創案されたものであって、その主たる課題は、試
料を直接に加熱すると共に、試料を取付ける基板と電気
特性を調整する基板からなって高温下において配線抵抗
および外部からのノイズの影響を防止できるよう各基板
間を最短距離で接続して電気的特性を計測する試料加熱
装置を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この発明は上記課題を解
決するため、請求項１の発明では、（ａ）試験室を備え
た装置本体を設ける、（ｂ）該試験室内に設けられて加
熱された熱源からなる加熱体を設ける、（ｃ）該加熱体
上に載置される試料を設ける、（ｄ）試料のピンを接続
可能なピン孔を有して外方へ延出する接続ピンを備えた
試料取付基板を設ける、（ｅ）上記接続ピンにより試料
取付基板に隙間を隔てて対向して取付けられると共に電
気特性を計測する素子と該素子と上記嵌合した接続ピン
とを接続する配線とを備えた回路を有する電気特性調整
基板を設ける、（ｆ）試料を加熱してその電気的特性を
計測する、という技術的手段を講じている。また、請求
項２の発明では、装置本体に、電気特性調整基板へ低温
気体を流して温度を下げる冷却手段を設ける、という技
術的手段を講じている。更に、請求項３の発明では、加
熱体が上部に試料を載置可能なブロック体からなってお
り、該加熱体の温度を調整する温度調整部が設けられ
る、という技術的手段を講じている。また請求項４の発
明では、試料取付基板が、固定ネジによって加熱体に固
着されると共に、試料取付基板と加熱体との間に試料を
挟圧する、という技術的手段を講じている。
決するため、請求項１の発明では、（ａ）試験室を備え
た装置本体を設ける、（ｂ）該試験室内に設けられて加
熱された熱源からなる加熱体を設ける、（ｃ）該加熱体
上に載置される試料を設ける、（ｄ）試料のピンを接続
可能なピン孔を有して外方へ延出する接続ピンを備えた
試料取付基板を設ける、（ｅ）上記接続ピンにより試料
取付基板に隙間を隔てて対向して取付けられると共に電
気特性を計測する素子と該素子と上記嵌合した接続ピン
とを接続する配線とを備えた回路を有する電気特性調整
基板を設ける、（ｆ）試料を加熱してその電気的特性を
計測する、という技術的手段を講じている。また、請求
項２の発明では、装置本体に、電気特性調整基板へ低温
気体を流して温度を下げる冷却手段を設ける、という技
術的手段を講じている。更に、請求項３の発明では、加
熱体が上部に試料を載置可能なブロック体からなってお
り、該加熱体の温度を調整する温度調整部が設けられ
る、という技術的手段を講じている。また請求項４の発
明では、試料取付基板が、固定ネジによって加熱体に固
着されると共に、試料取付基板と加熱体との間に試料を
挟圧する、という技術的手段を講じている。
【０００５】
【作用】この発明の試料加熱装置によれば、加熱した加
熱体へ直接に試料を接触させて高温を伝えるので、正確
な高温を伝達することができる。また、加熱体を直接に
温度調節することもできるので、試料への温度供給が正
確に行われる。また、試料の電気的特性を計測するに際
して、試料取付基板と電気特性調整基板の間を接続ピン
により最短距離で連結するので高温下において配線抵抗
や外部からのノイズの影響を防止することができる。更
に、試料取付基板を固定ネジで加熱体に高さ調整可能に
固着し、試料取付基板と加熱体との間に試料を挟圧する
ので、試料に加熱体の高温を効率よく且つ確実に伝導す
ることができる。
熱体へ直接に試料を接触させて高温を伝えるので、正確
な高温を伝達することができる。また、加熱体を直接に
温度調節することもできるので、試料への温度供給が正
確に行われる。また、試料の電気的特性を計測するに際
して、試料取付基板と電気特性調整基板の間を接続ピン
により最短距離で連結するので高温下において配線抵抗
や外部からのノイズの影響を防止することができる。更
に、試料取付基板を固定ネジで加熱体に高さ調整可能に
固着し、試料取付基板と加熱体との間に試料を挟圧する
ので、試料に加熱体の高温を効率よく且つ確実に伝導す
ることができる。
【０００６】
【実施例】以下に、この発明の試料加熱装置の好適実施
例を図面を参照しつつ説明する。この発明の試料加熱装
置１は、図１から図５に示すように制御部２に試験室３
を連接した装置本体４からなっている。該試験室３は、
ラッチを有する扉３Ａを備えた断熱壁で囲まれた箱型か
らなっており、底面の凹部に熱源からなる加熱体の一例
として加熱ブロック５が固設されている。
例を図面を参照しつつ説明する。この発明の試料加熱装
置１は、図１から図５に示すように制御部２に試験室３
を連接した装置本体４からなっている。該試験室３は、
ラッチを有する扉３Ａを備えた断熱壁で囲まれた箱型か
らなっており、底面の凹部に熱源からなる加熱体の一例
として加熱ブロック５が固設されている。
【０００７】この加熱ブロック５は、ヒーターＨをヒー
ターパネルで囲ってブロック状としたもので、制御部２
に設けられた温度調整部６によって直接に所望の高温度
に制御される。この加熱ブロック５の上面は半導体素子
等の試料７の接触側の面７’が隙間無く接触して熱が直
接に伝導されるように試料７の接触側の面７’に合わせ
て水平面に設定されている。一方、上記加熱ブロック５
上にはネジ孔が設けられており、試料取付基板８が高さ
方向の所望位置で固定ネジ１５によって取り付け可能と
なっている（図５参照）。
ターパネルで囲ってブロック状としたもので、制御部２
に設けられた温度調整部６によって直接に所望の高温度
に制御される。この加熱ブロック５の上面は半導体素子
等の試料７の接触側の面７’が隙間無く接触して熱が直
接に伝導されるように試料７の接触側の面７’に合わせ
て水平面に設定されている。一方、上記加熱ブロック５
上にはネジ孔が設けられており、試料取付基板８が高さ
方向の所望位置で固定ネジ１５によって取り付け可能と
なっている（図５参照）。
【０００８】図６から図９に示すように、試料取付基板
８は、基板に、試料７のピン７ａを嵌合するピン孔９ａ
を有する接続ピン９をピン孔９ａが下向きとなるように
多数立設している。ここで図８に示す試料取付基板８
は、試料７を４つ取り付ける場合を例示したが、取り付
ける試料数は１個からｎ個まで増減可能である。この試
料取付基板８のピン孔９ａに、加熱ブロック５上に載置
された試料７のピン７ａを嵌込み接続し、その状態で試
料７が加熱ブロック５に隙間無く衝合するように固定ネ
ジ１５を締付けて、試料取付基板８を加熱ブロック５上
に固定する。これによって、試料７は試料取付基板８に
取付けられ且つ挟圧されて加熱ブロック５に密着するよ
う保持されるので、加熱ブロック５から試料７に高温が
効率よく且つ均一に伝導される。
８は、基板に、試料７のピン７ａを嵌合するピン孔９ａ
を有する接続ピン９をピン孔９ａが下向きとなるように
多数立設している。ここで図８に示す試料取付基板８
は、試料７を４つ取り付ける場合を例示したが、取り付
ける試料数は１個からｎ個まで増減可能である。この試
料取付基板８のピン孔９ａに、加熱ブロック５上に載置
された試料７のピン７ａを嵌込み接続し、その状態で試
料７が加熱ブロック５に隙間無く衝合するように固定ネ
ジ１５を締付けて、試料取付基板８を加熱ブロック５上
に固定する。これによって、試料７は試料取付基板８に
取付けられ且つ挟圧されて加熱ブロック５に密着するよ
う保持されるので、加熱ブロック５から試料７に高温が
効率よく且つ均一に伝導される。
【０００９】この試料取付基板８に電気特性調整基板１
０が着脱可能に連結される。該電気特性調整基板１０
は、上記接続ピン９を嵌め込むと共に嵌合した接続ピン
９と導通可能な接続孔１１を上記接続ピン９に対応して
配置している。ここで図９の電気特性調整基板１０は、
前記試料取付基板８に取り付けられた２つの試料７に対
応するもので本実施例では１枚の試料取付基板８に２枚
取り付けられる。この電気特性調整基板１０は単品の試
料に対応するものであっても、２つ以上の複数の試料に
対応するものであってもよい。そして、電気特性調整基
板１０には、試料の所定の電気特性を計測する素子と該
素子と上記接続孔１１とを接続する配線とを備えたマッ
チング回路１２が一体に取付けられている。
０が着脱可能に連結される。該電気特性調整基板１０
は、上記接続ピン９を嵌め込むと共に嵌合した接続ピン
９と導通可能な接続孔１１を上記接続ピン９に対応して
配置している。ここで図９の電気特性調整基板１０は、
前記試料取付基板８に取り付けられた２つの試料７に対
応するもので本実施例では１枚の試料取付基板８に２枚
取り付けられる。この電気特性調整基板１０は単品の試
料に対応するものであっても、２つ以上の複数の試料に
対応するものであってもよい。そして、電気特性調整基
板１０には、試料の所定の電気特性を計測する素子と該
素子と上記接続孔１１とを接続する配線とを備えたマッ
チング回路１２が一体に取付けられている。
【００１０】なお、図中１３は制御部２に設けられたパ
ワースイッチ、１４はヒーターＨの加熱スイッチであ
る。また、装置本体４には、冷却装置１６を設けてもよ
い。この冷却装置１６は、電気特性調整基板１０へ低温
気体（窒素）を流して温度を下げる構成からなってい
る。
ワースイッチ、１４はヒーターＨの加熱スイッチであ
る。また、装置本体４には、冷却装置１６を設けてもよ
い。この冷却装置１６は、電気特性調整基板１０へ低温
気体（窒素）を流して温度を下げる構成からなってい
る。
【００１１】上記構成からなっているので、加熱ブロッ
ク５が設定された高温になると、直接に試料７が加熱さ
れるので、温度を正確に伝達することができる。また、
試料７のピン７ａは試料取付基板８の接続ピン９のピン
孔９ａに嵌込まれ、該接続ピン９は電気特性調整基板１
０の接続孔１１を介してマッチング回路１２に接続され
るので、試料７の電気的特性を計測することができる。
ク５が設定された高温になると、直接に試料７が加熱さ
れるので、温度を正確に伝達することができる。また、
試料７のピン７ａは試料取付基板８の接続ピン９のピン
孔９ａに嵌込まれ、該接続ピン９は電気特性調整基板１
０の接続孔１１を介してマッチング回路１２に接続され
るので、試料７の電気的特性を計測することができる。
【００１２】なお、上記実施例では、試料取付基板を固
定ネジを用いて加熱体に固定する構造を例示したが、こ
の発明で試料取付基板を一定位置に固定する構造は特に
限定されず、着脱可能な固定手段で加熱体に固定される
構造であると、試験室の側壁や別に設けた支持体に着脱
可能な固定手段で固定されるものであるとを問わず、要
するに試料取付基板は、試料を取り付け該試料を加熱体
に押し付けた位置で拘束する構造が好ましい。また、こ
の発明では、試料取付基板を上記のように固定乃至拘束
せず、これと連結される電気特性調整基板と共に自重だ
けで試料を加熱体上に衝合させる構造であってもよい。
定ネジを用いて加熱体に固定する構造を例示したが、こ
の発明で試料取付基板を一定位置に固定する構造は特に
限定されず、着脱可能な固定手段で加熱体に固定される
構造であると、試験室の側壁や別に設けた支持体に着脱
可能な固定手段で固定されるものであるとを問わず、要
するに試料取付基板は、試料を取り付け該試料を加熱体
に押し付けた位置で拘束する構造が好ましい。また、こ
の発明では、試料取付基板を上記のように固定乃至拘束
せず、これと連結される電気特性調整基板と共に自重だ
けで試料を加熱体上に衝合させる構造であってもよい。
【００１３】
【発明の効果】以上のように、この試料加熱装置では、
加熱した加熱体へ直接に試料を接触させて高温を伝える
ので、正確な高温を伝達することができる。また、試料
の電気的特性を計測するに際して、試料取付基板と電気
特性調整基板の間を接続ピンにより最短距離で連結する
ので高温下において配線抵抗や外部からのノイズの影響
を防止することができ、正確な電気的特性を得ることが
できる。
加熱した加熱体へ直接に試料を接触させて高温を伝える
ので、正確な高温を伝達することができる。また、試料
の電気的特性を計測するに際して、試料取付基板と電気
特性調整基板の間を接続ピンにより最短距離で連結する
ので高温下において配線抵抗や外部からのノイズの影響
を防止することができ、正確な電気的特性を得ることが
できる。
【図１】この発明の試料加熱装置の実施例を示す外観図
である。
である。
【図２】図１の平面図である。
【図３】同側面図である。
【図４】同正面図である。
【図５】（ａ）は試験室内の要部を示す正面から見た
図、（ｂ）は同側面から見た図である。
図、（ｂ）は同側面から見た図である。
【図６】試料と試料取付基板と電気特性調整基板との接
続状態を示す拡大図である。
続状態を示す拡大図である。
【図７】同取付状態を示す分解斜視図である。
【図８】試料取付基板の一例を示す平面図である。
【図９】電気特性調整基板の一例を示す平面図である。
１・・・試料加熱装置 ２・・・制御部 ３・・・試験室 ４・・・装置本体 ５・・・加熱ブロック ６・・・温度制御部 ７・・・試料 ８・・・試料取付基板 ９・・・接続ピン １０・・・電気特性調整基板 １１・・・接続孔 １２・・・マッチング回路 １５・・・固定ネジ
Claims (4)
- 【請求項１】 試験室を備えた装置本体と、 該試験室内に設けられて加熱された熱源からなる加熱体
と、 該加熱体上に載置される試料と、 試料のピンを接続可能なピン孔を有して外方へ延出する
接続ピンを備えた試料取付基板と、 上記接続ピンにより試料取付基板に隙間を隔てて対向し
て取付けられると共に電気特性を計測する素子と該素子
と上記嵌合した接続ピンとを接続する配線とを備えた回
路を有する電気特性調整基板とからなって、 試料を加熱してその電気的特性を計測することを特徴と
した試料加熱装置。 - 【請求項２】 電気特性調整基板に低温気体を流して温
度を下げる冷却手段を設けてなることを特徴とする直接
加熱装置。 - 【請求項３】 加熱体が上部に試料を載置可能なブロッ
ク体からなっており、該加熱体の温度を調整する温度調
整部が設けられていることを特徴とする請求項１または
２に記載の試料加熱装置。 - 【請求項４】 試料取付基板が、固定ネジによって加熱
体に固着されると共に、試料取付基板と加熱体との間に
試料が挟圧されて位置決めされてなることを特徴とする
請求項１、２または３に記載の試料加熱装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04897195A JP3670703B2 (ja) | 1995-02-14 | 1995-02-14 | 試料加熱装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04897195A JP3670703B2 (ja) | 1995-02-14 | 1995-02-14 | 試料加熱装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08220186A true JPH08220186A (ja) | 1996-08-30 |
| JP3670703B2 JP3670703B2 (ja) | 2005-07-13 |
Family
ID=12818165
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04897195A Expired - Fee Related JP3670703B2 (ja) | 1995-02-14 | 1995-02-14 | 試料加熱装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3670703B2 (ja) |
-
1995
- 1995-02-14 JP JP04897195A patent/JP3670703B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3670703B2 (ja) | 2005-07-13 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20040413 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040614 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Effective date: 20050315 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050415 |
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| R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
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| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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