JPH08219759A - 座標測定機における回転ヘッドの固有パラメータ作成方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 回転ヘッドの固有パラメータを専用の工具を
用いずに求めることができ、座標測定機への取り付け後
でも固有パラメータを求めることができる座標測定機に
おける回転ヘッドの固有パラメータ作成方法及び装置を
提供する。 【構成】 直交する２つの回転軸と両回転軸によって２
方向に回転可能な検出子を有する回転ヘッドと有し、回
転ヘッドの固有パラメータを用いて検出子の測定座標値
を算出する座標測定機における回転ヘッドの固有パラメ
ータ作成方法で、座標測定機の被検物載置面上に基準球
を固定し、検出子を９箇所以上の角度位置に移動させる
と共に、検出子で基準球の表面の４箇所以上の測定点を
９箇所以上の角度位置でそれぞれ検出して基準球の中心
位置を算出し、かつ９箇所の角度位置及び各角度位置で
の基準球の中心位置に基づいて回転ヘッドの固有パラメ
ータを算出する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、回転ヘッドを有する
位置検出装置を取り付けて使用される測定機で、回転ヘ
ッドの固有パラメータを用いて検出子の座標位置を算出
するような三次元座標測定機等の座標測定機における回
転ヘッドの固有パラメータ作成方法及び装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、このような座標測定機としては、
互いに直交する２つの回転軸（垂直方向及び水平方向の
回転軸）と両回転軸の回転によって２方向に回転可能な
検出子とを有する回転ヘッドと、座標測定機における回
転ヘッドの基準点（例えば、座標測定機のＺ軸スピンド
ルの中心軸上にある点）の座標値を検出する座標値検出
部と、両回転軸により回転する検出子の角度位置（両回
転軸の角度位置）を検出する位置検出部と、前記座標
値、検出子の角度位置及び回転ヘッドの固有パラメータ
から検出子の測定座標値を算出する測定座標値検出部と
を備えたものが知られている。回転ヘッドの固有パラメ
ータとは、垂直方向の回転軸の回転半径、水平方向の回
転軸の回転半径等の因子である。

【０００３】このような従来の座標測定機において、回
転ヘッドの固有パラメータを作成するために、回転ヘッ
ドの組み立て直後に専用の工具を使用して回転ヘッドの
固有パラメータを求め、その回転ヘッドを有する位置検
出装置が取り付けられる座標測定機に前記求めた回転ヘ
ッドの固有パラメータを覚えこませ、かつ前記位置検出
装置を座標測定機に取り付けた状態で座標測定機に対す
る（座標測定機のＺ軸スピンドルに対する）回転ヘッド
の両回転軸の位置関係を設定するという方法をとってい
た。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の座標測定機における回転ヘッドの固有パラメータ作
成方法では、回転ヘッドの組み立て直後に、必ず専用の
工具を使用して回転ヘッドの固有パラメータを作成する
ための検査作業を行わなければならず、その検査作業の
分だけ製造工程において手間がかかってしまい、専用の
工具を用いて求めた固有パラメータを座標測定機にいち
いち覚えこませなければならず、かつ、前記検査作業時
と位置検出装置を座標測定機に取り付けた後とで固有パ
ラメータになんらかの変化が生じた場合あるいは位置検
出装置を座標測定機から取り外してからもう一度取り付
けた場合には、回転ヘッドの固有パラメータを新たに求
めて座標測定機に対する回転ヘッドの両回転軸の位置関
係を再設定するのが非常に難しいという問題があった。

【０００５】この発明はこのような事情に鑑みてなされ
たもので、その課題は回転ヘッドの固有パラメータを専
用の工具を用いずに求めることができ、座標測定機への
取り付け後でも固有パラメータを求めることができる座
標測定機における回転ヘッドの固有パラメータ作成方法
及び装置を提供することである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
め請求項１記載の発明の回転ヘッドの固有パラメータ作
成方法は、互いに直交する２つの回転軸と両回転軸の回
転によって２方向に回転可能な検出子とを有する回転ヘ
ッドと、座標測定機における前記回転ヘッドの基準点の
座標値を検出する座標値検出部と、前記両回転軸で回転
した前記検出子の角度位置を検出する位置検出部と、前
記座標値、前記検出子の角度位置及び前記回転ヘッドの
固有パラメータから前記検出子の測定座標値を算出する
測定座標値検出部とを備えた座標測定機における回転ヘ
ッドの固有パラメータ作成方法であって、前記座標測定
機の被検物載置面上の所定箇所に基準球を固定し、前記
検出子を９箇所以上の角度位置に移動させると共に、前
記検出子で前記基準球の表面の４箇所以上の測定点を前
記９箇所以上の角度位置でそれぞれ検出して前記基準球
の中心位置を算出し、かつ前記９箇所の角度位置及び各
角度位置での前記基準球の中心位置に基づいて前記回転
ヘッドの固有パラメータを算出する。

【０００７】請求項２記載の発明の回転ヘッドの固有パ
ラメータ作成方法は、前記固定パラメータを記憶する。

【０００８】請求項３記載の発明の回転ヘッドの固有パ
ラメータ作成装置は、互いに直交する２つの回転軸と両
回転軸の回転によって２方向に回転可能な検出子とを有
する回転ヘッドと、座標測定機における前記回転ヘッド
の基準点の座標値を検出する座標値検出部と、前記両回
転軸で回転した前記検出子の角度位置を検出する位置検
出部と、前記座標値、前記検出子の角度位置及び前記回
転ヘッドの固有パラメータから前記検出子の測定座標値
を算出する測定座標値検出部とを備えた座標測定機にお
ける回転ヘッドの固有パラメータ作成装置であって、前
記座標測定機の被検物載置面上の所定箇所に固定された
基準球と、前記検出子を９箇所以上の角度位置に移動さ
せる第１駆動部と、前記検出子の各角度位置で、前記検
出子を前記基準球の表面の４箇所以上の測定点に移動さ
せる第２駆動部と、前記各角度位置における前記測定点
を検出して前記基準球の中心位置を算出すると共に、前
記９箇所以上の角度位置及び各角度位置での前記基準球
の中心位置に基づいて前記回転ヘッドの固有パラメータ
を算出する固有パラメータ算出手段とを備えている。

【０００９】請求項４記載の発明の回転ヘッドの固有パ
ラメータ作成装置は、前記固有パラメータを記憶する固
有パラメータ記憶部を備えている。

【００１０】

【作用】請求項１記載の回転ヘッドの固有パラメータ作
成方法では、座標測定機の被検物載置面上に固定された
基準球の中心位置を検出子の９箇所以上の角度位置で算
出すると共に、９箇所以上の角度位置及び各角度位置で
の基準球の中心位置に基づいて回転ヘッドの固有パラメ
ータを算出するので、回転ヘッドを座標測定機に取り付
けた状態で固有パラメータを求めることができる。

【００１１】請求項２記載の回転ヘッドの固有パラメー
タ作成方法では、固有パラメータを記憶するので、回転
ヘッドを座標測定機から取り外すまでは記憶した固有パ
ラメータを用いて測定を行える。

【００１２】請求項３記載の回転ヘッドの固有パラメー
タ作成装置では、固有パラメータ算出手段によって、座
標測定機の被検物載置面上に固定された基準球の中心位
置を検出子の９箇所以上の角度位置で算出すると共に、
９箇所以上の角度位置及び各角度位置での基準球の中心
位置に基づいて回転ヘッドの固有パラメータを算出する
ので、回転ヘッドを座標測定機に取り付けた状態で固有
パラメータを求めることができる。

【００１３】請求項４記載の回転ヘッドの固有パラメー
タ作成装置では、固有パラメータ記憶部で固有パラメー
タを記憶するので、回転ヘッドを座標測定機から取り外
すまでは記憶した固有パラメータを用いて測定を行え
る。

【００１４】

【実施例】以下この発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。

【００１５】図１はこの発明の一実施例に係る回転ヘッ
ドの固有パラメータ作成装置を示すブロック図、図２は
図１に示す固有パラメータ作成装置が使用される三次元
座標測定機及びこの測定機に取り付けられた位置検出装
置を示す概略構成図である。

【００１６】図２に示す三次元座標測定機１は、被検物
を載せるベース２と、ベース２上に配置されたブリッジ
３とを備えている。ブリッジ３は、左右の支柱３ａ、３
ｂと両支柱の上部に架け渡されたＸ軸ガイド３ｃとから
なり、ベース２上に設けられたＹ軸ガイド（図示略）に
より案内されてＹ軸方向に移動可能である。Ｘ軸ガイド
３ｃにはキャリッジ（図示略）がＸ軸方向に移動可能に
支持され、キャリッジにはスピンドル４がＺ軸方向（鉛
直方向）に移動可能に支持されている。この三次元座標
測定機は、キャリッジのＸ軸方向の移動量、ブリッジ３
のＹ軸方向の移動量及びスピンドル４のＺ軸方向の移動
量をそれぞれ検出するＸ軸用、Ｙ軸用及びＺ軸用エンコ
ーダ（図示略）を有し、各エンコーダの検出値から被検
物の寸法等を三次元座標値として測定する。

【００１７】三次元座標測定機のスピンドル４に取り付
けられた位置検出装置５は、互いに直交する２つの回転
軸（垂直方向の回転軸６及び水平方向の回転軸７）、垂
直方向の回転軸（以下、Ｂ軸という）６の回転によって
回転する第１回転部８及び水平方向の回転軸（以下、Ａ
軸という）７の回転によって回転する第２回転部９から
なる回転ヘッド１０と、第２回転部９の側部に固定され
た検出子１１とを有する。第２回転部９は、Ｂ軸６の回
転によって第１回転部８と一緒にＢ軸６を中心に回転す
ると共にＡ軸７の回転によってＡ軸７を中心に回転する
ように、第１回転部８の下端部に結合されている。これ
によって、検出子１１は、Ｂ軸６を中心とする回転（図
３の回転軌跡１２で示す回転）とＡ軸７を中心とする回
転（図３の回転軌跡１３で示す回転）の２方向に回転可
能である。

【００１８】図１に示す回転ヘッドの固有パラメータ作
成装置は、三次元座標測定機１における回転ヘッド１０
の基準点１Ａ（図２参照）のＸ、Ｙ、Ｚ各軸の座標値を
読み込む座標値取り込み部（座標値検出部）２０と、前
記両回転軸６、７により回転した検出子１１の角度位置
を検出する回転ヘッド位置検出部（位置検出部）２１
と、座標値取り込み部２０で読み込んだ座標値、検出子
１１の角度位置及び回転ヘッド１０の固有パラメータか
ら検出子１１の測定座標値Ｐｔを算出する測定データ設
定部（測定座標値検出部）２２とを備えている。

【００１９】さらに、固有パラメータ作成装置は、三次
元座標測定機１のベース２の上面（被検物載置面）２ａ
上の測定領域の真ん中付近（所定箇所）に固定された基
準球１４（図４参照）と、検出子１１を９箇所以上の角
度位置（図５の〜で示す角度位置）に移動させる回
転ヘッド駆動部（第１駆動部）２３と、検出子１１の各
角度位置〜で、検出子１１を基準球１４の表面の４
箇所以上の測定点に移動させるように三次元座標測定機
１を駆動する測定機駆動部（第２駆動部）２４と、各角
度位置〜における前記測定点を検出して基準球１４
の中心位置を算出すると共に、角度位置〜及び各角
度位置での基準球１４の中心位置に基づいて回転ヘッド
１０の固有パラメータを算出する固有パラメータ設定部
（固有パラメータ算出手段）２５と、固有パラメータの
設定に必要な測定を行うための三次元座標測定機１の測
定移動経路を設定する自動測定経路設定部２６と、固有
パラメータ設定部２５で算出された固有パラメータを記
憶する固有パラメータテーブル（固有パラメータ記憶
部）２７とを備えている。

【００２０】前記回転ヘッド１０の第１回転部８の角度
位置と第２回転部９の角度位置が（Ａ、Ｂ）の関係にあ
るときに、被検物１５に検出子１１の接触子１１ａを接
触させることにより得られる測定座標値は接触子１１ａ
の三次元座標測定機１における座標位置で求められ、こ
の測定座標値Ｐｔは回転ヘッド１０の固有パラメータを
使用して次の式により算出される。

【００２１】

【数１】 ここで、Ｒ１はＡ軸（水平方向の回転軸）７の回転半
径、Ｒ２はＢ軸（垂直方向の回転軸）６の回転半径、Ａ
０はＡ軸７による回転の原点角度、Ｂ０はＢ軸６による
回転の原点角度、Ｖ１は原点角度Ａ０の時の第２回転部
９の回転軸ベクトル、Ｕ１は原点角度Ｂ０で原点角度Ａ
０の時の第２回転部９の基準軸ベクトル、Ｖ２は第１回
転部８の回転軸ベクトル、Ｕ２は原点角度Ｂ０の時の第
１回転部８の基準軸ベクトル、Ｐｍは三次元座標測定機
１の座標値である。

【００２２】回転ヘッド１０の角度位置（Ａ、Ｂ）がど
のような値であっても、被検物６を測定したときの測定
座標値Ｐｔを常に上記式１により求めることができる。
上記Ｒ１、Ｒ２、Ａ０、Ｖ１、Ｕ１、Ｖ２及びＵ２が三
次元座標測定機に装着された回転ヘッド１０の固有パラ
メータである。

【００２３】次に、この発明の一実施例に係る回転ヘッ
ドの固有パラメータ作成方法を説明する。この方法は、
上記一実施例に係る回転ヘッドの固有パラメータ作成装
置を用いて実施することができる。

【００２４】回転ヘッド１０の固有パラメータを作成す
るには、 （１）まず、三次元座標測定機１のベース２の上面２ａ
上の所定箇所に基準球１４を固定する。

【００２５】（２）次に、検出子１１を９箇所以上の角
度位置〜に移動させる（図５参照）と共に、検出子
１１で基準球１４の表面の４箇所以上の測定点を９箇所
以上の角度位置〜でそれぞれ検出して基準球１４の
中心位置ｏ１〜ｏ９（図６参照）を算出する。なお、検
出子１１の９箇所の角度位置（すなわち回転ヘッド１０
の９箇所の角度位置）〜と基準球１４の中心位置ｏ
１〜ｏ９の関係は次のようになる。 回転ヘッド角度位置（ａ１＝９０ 、ｂ１＝９０）
基準球中心位置＝ｏ１ 回転ヘッド角度位置（ａ２＝０ 、 ｂ１＝９０）
基準球中心位置＝ｏ２ 回転ヘッド角度位置（ａ３＝−９０、ｂ１＝９０）
基準球中心位置＝ｏ３ 回転ヘッド角度位置（ａ４＝９０、 ｂ２＝０）
基準球中心位置＝ｏ４ 回転ヘッド角度位置（ａ５＝０ 、 ｂ２＝０）
基準球中心位置＝ｏ５ 回転ヘッド角度位置（ａ６＝−９０、ｂ２＝０）
基準球中心位置＝ｏ６ 回転ヘッド角度位置（ａ７＝９０、 ｂ３＝−９０）
基準球中心位置＝ｏ７ 回転ヘッド角度位置（ａ８＝０、 ｂ３＝−９０）
基準球中心位置＝ｏ８ 回転ヘッド角度位置（ａ９＝−９０、ｂ３＝−９０）
基準球中心位置＝ｏ９ （３）次に、検出子１１の９箇所の角度位置〜及び
各角度位置での基準球１４の中心位置ｏ１〜ｏ９に基づ
いて回転ヘッド１０の固有パラメータを以下のようにし
て算出する。

【００２６】ｏ１、ｏ２、ｏ３により求まる平面の法線
ベクトルをｎ１、円弧中心をＱ１、半径をｒ１とし、ｏ
４、ｏ５、ｏ６により求まる平面の法線ベクトルをｎ
２、円弧中心をＱ２、半径をｒ２とし、ｏ７、ｏ８、ｏ
９により求まる平面の法線ベクトルをｎ３、円弧中心を
Ｑ３、半径をｒ３とし、かつＱ１、Ｑ２、Ｑ３により求
まる平面の法線ベクトルをｎ０、円弧中心をＱ０、半径
をｒ０とすると、回転ヘッド１０の固有パラメータを次
の式により算出される。

【００２７】

【数２】 このようにして算出した固有パラメータは三次元座標測
定機１に装着された回転ヘッド１０に固有のものであ
り、固有パラメータを前記固有パラメータテーブル２７
に記憶させておくことにより、回転ヘッド１０を三次元
座標測定機１から取り外すまでは記憶した固有パラメー
タを用いて測定を行うことができる。

【００２８】なお、上記一実施例に係る回転ヘッドの固
有パラメータ作成方法において、検出子１１で基準球１
４の表面の４箇所以上の測定点を９箇所以上の角度位置
〜でそれぞれ検出する作業を、手動で行うこともで
きるし、ＣＮＣによる自動測定で行うこともできる。

【００２９】次に、上記一実施例に係る回転ヘッドの固
有パラメータ作成装置により実施される回転ヘッドの固
有パラメータの自動測定を図７及び図８に基づいて説明
する。

【００３０】まず、固有パラメータの設定が開始される
と、図７のステップ７０で基準球１４の表面の測定点の
数（４箇所以上）を入力し、次のステップ７１で三次元
座標測定機１のベース２の上面２ａ上の所定箇所に固定
された基準球１４の中心の座標位置を設定する。この設
定後、次のステップ７２で、検出子１１が図５に示す角
度位置〜に順に移動するように回転ヘッド１０の角
度位置の指定を順に変更する。次のステップ７３で、検
出子１１が基準球１４の表面の４箇所以上の測定点を９
箇所の角度位置〜でそれぞれ検出するように、すな
わち９箇所の各角度位置〜で検出子１１の接触子１
１ａが基準球１４の表面の４箇所以上の測定点を通るよ
うに、検出子１１の測定移動経路を設定する。この測定
移動経路には、基準球１４の表面の４箇所以上の測定点
のデータと、各測定点間にある基準球１４の表面から一
定距離だけ離れた複数の経過点とが含まれている。

【００３１】次にステップ７４で、検出子１１を前記測
定移動経路に沿って移動させて各測定点の座標位置を測
定すると共に、測定したデータを取り込む。このステッ
プ７４での測定移動及び測定データ取込みは図８に示す
サブルーチンに従って実行される。

【００３２】まず、図８のステップ８０で、９箇所の各
角度位置〜における前記測定移動経路の先頭の移動
データを読み込む。次に、ステップ８１に進み、ステッ
プ８０で読み込んだ移動データが測定点への移動を表す
データなのか経過点への移動を表すデータなのかを判別
する。測定点への移動を表すデータであればステップ８
１の答えがＹＥＳになってステップ８２に進み、経過点
への移動を表すデータであればステップ８１の答えが
ＮＯになってステップ８７に進む。

【００３３】ステップ８２に進むと、ステップ８０で読
み込んだ移動データにより次の測定点への移動指令を出
し、次のステップ８３で移動した測定点での測定座標値
を取り込み、次のステップ８４で取り込んだ測定座標値
を測定バッファに保存する。この保存の後、ステップ８
５に進み、前記測定移動経路中の全ての移動データが終
了したか否か、すなわち検出子１１が測定移動経路中の
全ての測定点及び経過点を通過したか否かを判別する。
その答えが ＮＯの場合にはステップ８６に進んで次の
移動データを読み込み、この読み込み後、再びステップ
８１に進む。

【００３４】ステップ８１の答えが ＮＯになってステ
ップ８７に進むと、ステップ８０で読み込んだ移動デー
タにより次の経過点への移動指令を出し、ステップ８５
に進む。

【００３５】そして、測定移動経路中の全ての移動デー
タが終了すると、すなわち検出子１１が測定移動経路中
の全ての測定点及び経過点を通過すると、ステップ８５
の答えがＹＥＳになって終了する。

【００３６】このようにして図８のサブルーチンが終了
すると、図７のステップ７５に進み、基準球１４の中心
位置ｏ１〜ｏ９を算出する。この算出後、ステップ７６
に進み、９箇所の角度位置〜の全ての位置で基準球
１４の中心位置ｏ１〜ｏ９を算出したか否かを判別す
る。その答えがＮＯの場合には前記ステップ７２に戻
り、ステップ７６の答えがＹＥＳになると、ステップ７
７に進んで固有パラメータを算出し、次のステップ７８
で算出した固有パラメータを固有パラメータテーブル２
７に記憶して終了する。

【００３７】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１記載の発
明に係る回転ヘッドの固有パラメータ作成方法によれ
ば、座標測定機の被検物載置面上に固定された基準球の
中心位置を検出子の９箇所以上の角度位置で算出すると
共に、９箇所以上の角度位置及び各角度位置での基準球
の中心位置に基づいて回転ヘッドの固有パラメータを算
出するので、回転ヘッドを座標測定機に取り付けた状態
で固有パラメータを求めることができる。したがって、
回転ヘッドの固有パラメータを専用の工具を用いずに求
めることができ、座標測定機への取り付け後でも固有パ
ラメータを求めることができる。

【００３８】請求項２記載の発明に係る回転ヘッドの固
有パラメータ作成方法によれば、固有パラメータを記憶
するので、回転ヘッドを座標測定機から取り外すまでは
記憶した固有パラメータを用いて測定を行うことができ
る。

【００３９】請求項３記載の発明に係る回転ヘッドの固
有パラメータ作成装置によれば、固有パラメータ算出手
段によって、座標測定機の被検物載置面上に固定された
基準球の中心位置を検出子の９箇所以上の角度位置で算
出すると共に、９箇所以上の角度位置及び各角度位置で
の基準球の中心位置に基づいて回転ヘッドの固有パラメ
ータを算出するので、回転ヘッドを座標測定機に取り付
けた状態で固有パラメータを求めることができる。した
がって、回転ヘッドの固有パラメータを専用の工具を用
いずに求めることができ、座標測定機への取り付け後で
も固有パラメータを求めることができる。

【００４０】請求項４記載の回転ヘッドの固有パラメー
タ作成装置によれば、固有パラメータ記憶部で固有パラ
メータを記憶するので、回転ヘッドを座標測定機から取
り外すまでは記憶した固有パラメータを用いて測定を行
うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１はこの発明の一実施例に係る回転ヘッドの
固有パラメータ作成装置を示すブロック図である。

【図２】図２は図１に示す固有パラメータ作成装置が使
用される三次元座標測定機及びこの測定機に取り付けら
れた位置検出装置を示す概略構成図である。

【図３】図３は回転ヘッドの固有パラメータの説明図で
ある。

【図４】図４は基準球を示す斜視図である。

【図５】図５はこの発明の一実施例に係る回転ヘッドの
固有パラメータ作方法を示す説明図である。

【図６】図６は図５と同様の説明図である。

【図７】図７は固有パラメータの設定動作を示すフロー
チャートである。

【図８】図８は測定移動及び測定データ取り込み動作を
示すフローチャートである。

【符号の説明】

１Ａ 基準点 ６ 垂直方向の回転軸 ７ 水平方向の回転軸 １０ 回転ヘッド １１ 検出子 １４ 基準球 ２０ 座標値取り込み部（座標値検出部） ２１ 回転ヘッド位置検出部（位置検出部） ２２ 測定データ設定部（測定座標値検出部） ２３ 回転ヘッド駆動部（第１駆動部） ２４ 測定機駆動部（第２駆動部） ２５ 固有パラメータ設定部（固有パラメータ算出手
段） ２７ 固有パラメータテーブル（固有パラメータ記憶
部）

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 互いに直交する２つの回転軸と両回転軸
   の回転によって２方向に回転可能な検出子とを有する回
   転ヘッドと、座標測定機における前記回転ヘッドの基準
   点の座標値を検出する座標値検出部と、前記両回転軸で
   回転した前記検出子の角度位置を検出する位置検出部
   と、前記座標値、前記検出子の角度位置及び前記回転ヘ
   ッドの固有パラメータから前記検出子の測定座標値を算
   出する測定座標値検出部とを備えた座標測定機における
   回転ヘッドの固有パラメータ作成方法であって、 前記座標測定機の被検物載置面上の所定箇所に基準球を
   固定し、 前記検出子を９箇所以上の角度位置に移動させると共
   に、前記検出子で前記基準球の表面の４箇所以上の測定
   点を前記９箇所以上の角度位置でそれぞれ検出して前記
   基準球の中心位置を算出し、かつ前記９箇所の角度位置
   及び各角度位置での前記基準球の中心位置に基づいて前
   記回転ヘッドの固有パラメータを算出することを特徴と
   する座標測定機における回転ヘッドの固有パラメータ作
   成方法。
2. 【請求項２】 前記固定パラメータを記憶することを特
   徴とする請求項１記載の固有パラメータ作成方法。
3. 【請求項３】 互いに直交する２つの回転軸と両回転軸
   の回転によって２方向に回転可能な検出子とを有する回
   転ヘッドと、座標測定機における前記回転ヘッドの基準
   点の座標値を検出する座標値検出部と、前記両回転軸で
   回転した前記検出子の角度位置を検出する位置検出部
   と、前記座標値、前記検出子の角度位置及び前記回転ヘ
   ッドの固有パラメータから前記検出子の測定座標値を算
   出する測定座標値検出部とを備えた座標測定機における
   回転ヘッドの固有パラメータ作成装置であって、 前記座標測定機の被検物載置面上の所定箇所に固定され
   た基準球と、 前記検出子を９箇所以上の角度位置に移動させる第１駆
   動部と、 前記検出子の各角度位置で、前記検出子を前記基準球の
   表面の４箇所以上の測定点に移動させる第２駆動部と、 前記各角度位置における前記測定点を検出して前記基準
   球の中心位置を算出すると共に、前記９箇所以上の角度
   位置及び各角度位置での前記基準球の中心位置に基づい
   て前記回転ヘッドの固有パラメータを算出する固有パラ
   メータ算出手段とを備えていることを特徴とする座標測
   定機における回転ヘッドの固有パラメータ作成装置。
4. 【請求項４】 前記固有パラメータを記憶する固有パラ
   メータ記憶部を備えていることを特徴とする請求項３記
   載の固有パラメータ作成装置。